移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，包括：移動(dòng)式載物平臺(tái)；二氯乙烯瓶；多個(gè)T型三通、手閥及多根工藝管路；其中，第一T型三通一端接二氯乙烯瓶粗口，另兩端裝第一、第二手閥；第二T型三通一端接二氯乙烯瓶細(xì)口，另兩端裝第三、第四手閥；第三T型三通一端裝第五手閥，另兩端用于接入到設(shè)備側(cè)氮?dú)廨斔凸苈分校坏谒腡型三通一端裝第六手閥，另兩端用于接入到設(shè)備側(cè)二氯乙烯輸出管路中；第一、第四手閥另一側(cè)管路出口連接純氮?dú)?；第二、第六手閥另一側(cè)管路出口用于排放廢氣；第三手閥另一側(cè)通過管路與第五手閥連接。本實(shí)用新型在不拆裝二氯乙烯瓶的情況下，實(shí)現(xiàn)了二氯乙烯加液，節(jié)省了二氯乙烯更換的作業(yè)時(shí)間，減少了殘液浪費(fèi)。
【專利說明】移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及熱氧化生長(zhǎng)工序中，二氯乙烯的補(bǔ)液。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造熱氧化生長(zhǎng)工序中，使用的化學(xué)品二氯乙烯為I升裝玻璃瓶，如圖1Ca)所示，正常使用時(shí)，第四管路出口 P4接純凈氮?dú)猓诹苈烦隹?P6接到反應(yīng)腔，氮?dú)庠诙纫蚁┢恐泄呐?攜帶二氯乙烯蒸汽通過第六管路出口 P6進(jìn)入反應(yīng)腔。當(dāng)?shù)诙纫蚁┎Ａ緽2內(nèi)的二氯乙烯使用到少于30%時(shí)，會(huì)出現(xiàn)工藝參數(shù)偏移現(xiàn)象，此時(shí)就必須更換新的滿瓶的二氯乙烯。通常做法是先將工藝主設(shè)備停止生產(chǎn)，再將第二二氯乙烯玻璃瓶B2的兩側(cè)口封閉，從兩側(cè)接口處與工藝管路斷開，拆下“空瓶”第二二氯乙烯玻璃瓶B2，如圖1(b)所示，然后安裝上全新的滿瓶的第一二氯乙烯玻璃瓶BI，打開兩側(cè)封口，重新與工藝管路連接，如圖1 (c)所示。更換完成后需要經(jīng)過試驗(yàn)，確認(rèn)管路封閉口是否打開，更換過程中是否出現(xiàn)污染等情況，一般20個(gè)小時(shí)以后，主工藝設(shè)備才能交付生產(chǎn)。換下的二氯乙烯“空瓶”中殘留的1/3左右的二氯乙烯無法再使用。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，它不僅補(bǔ)液方便、高效，而且能減少二氯乙烯殘液浪費(fèi)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，包括:
[0005]移動(dòng)式載物平臺(tái)；
[0006]第一二氯乙烯瓶(BI)，充有足夠量的二氯乙烯，放置在移動(dòng)式載物平臺(tái)上；
[0007]多個(gè)T型三通接頭，多個(gè)手閥，以及多根連接用的工藝管路；其中:
[0008]第一 T型三通(Tl)，一端連接第一二氯乙烯瓶(BI)的粗管出口，另外兩端分別安裝第一手閥(VI)、第二手閥(V2)；
[0009]第二 T型三通(T2)，一端連接第一二氯乙烯瓶(BI)的細(xì)管出口，另外兩端分別安裝第三手閥(V3)、第四手閥(V4)；
[0010]第三T型三通(T3)，一端安裝第五手閥(V5)，另外兩端用于接入到設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路的氮?dú)廨斔凸苈分校?br> [0011]第四T型三通(T4)，一端安裝第六手閥(V6)，另外兩端用于接入到設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路的二氯乙烯輸出管路中；
[0012]第一手閥(VI)、第四手閥(V4)另一側(cè)的第一管路出口(P1)、第三管路出口(P3)連接純氮?dú)猓?br> [0013]第二手閥(V2)、第六手閥(V6)另一側(cè)的第二管路出口(P2)、第五管路出口(P5)用于酸性廢氣的排放；
[0014]第三手閥(V3)另一側(cè)通過管路與第五手閥(V5)連接。[0015]本實(shí)用新型的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，能夠在不拆裝玻璃瓶的情況下，補(bǔ)充二氯乙烯液體，如此簡(jiǎn)化了二氯乙烯的更換流程，節(jié)省了二氯乙烯更換的作業(yè)時(shí)間；同時(shí)減少了二氯乙烯殘液的浪費(fèi)，節(jié)省了成本，也保護(hù)了環(huán)境。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是目前普遍采用的二氯乙烯更換方法的示意圖；其中，(a)圖是正常的二氯乙烯壓送管路，即第二二氯乙烯玻璃瓶B2在設(shè)備上正常使用的狀態(tài)示意圖；(b)是第二二氯乙烯玻璃瓶B2中的二氯乙烯“用完”后，從設(shè)備上拆除“空瓶”的第二二氯乙烯玻璃瓶B2的狀態(tài)示意圖；(c)是在設(shè)備上換上滿瓶的第一二氯乙烯玻璃瓶BI的狀態(tài)示意圖。
[0017]圖2是本發(fā)明的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和作業(yè)方式示意圖。
[0018]圖中附圖標(biāo)記說明如下:
[0019]Pl:第一管路(3/8英寸)出口
[0020]P2:第二管路(3/8英寸)出口
[0021]P3:第三管路(1/4英寸)出口
[0022]P4:第四管路(1/4英寸)出口
[0023]P5:第五管路(3/8英寸)出口
[0024]P6:第六管路(3/8英寸)出口
[0025]B1:第一二氯乙烯玻璃瓶
`[0026]B2:第二二氯乙烯玻璃瓶
[0027]Vl:第一手閥(3/8英寸)
[0028]V2:第二手閥(3/8英寸)
[0029]V3:第三手閥(1/4英寸)
[0030]V4:第四手閥(1/4英寸)
[0031]V5:第五手閥(1/4英寸)
[0032]V6:第六手閥(3/8英寸)
[0033]Tl:第一 T型三通(3/8英寸)
[0034]T2:第二 T型三通(1/4英寸)
[0035]T3:第三T型三通(1/4英寸)
[0036]T4::第四T型三通(3/8英寸)
【具體實(shí)施方式】
[0037]為對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效有更具體的了解，現(xiàn)結(jié)合圖示的實(shí)施方式，詳述如下:
[0038]本實(shí)用新型的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，運(yùn)用在半導(dǎo)體制造的熱氧化生長(zhǎng)工序的設(shè)備上，其結(jié)構(gòu)如圖2 (特別是虛線下半部分)所示，主要包括一輛移動(dòng)式推車、一瓶滿瓶的第一二氯乙烯玻璃瓶B1、多條工藝管路以及多個(gè)連接管路用的“T”型三通和多個(gè)控制管路通斷的手閥。
[0039]滿瓶的第一二氯乙烯玻璃瓶BI放置在推車內(nèi)。第一二氯乙烯玻璃瓶BI上方左側(cè)的3/8英寸的出口上連接一個(gè)3/8英寸的第一 T型三通Tl。該第一 T型三通Tl的另外兩側(cè)分別安裝兩個(gè)3/8英寸的第一手閥V1、第二手閥V2。第一手閥Vl另一側(cè)的第一管路出口 Pl連接1.1?1.5公斤壓力的純氮?dú)猓诙珠yV2另一側(cè)的第二管路出口 P2用于酸性廢氣的排放。
[0040]第一二氯乙烯玻璃瓶BI上方右側(cè)的1/4英寸的出口上連接一個(gè)1/4英寸的第二T型三通T2。第二 T型三通T2的另外兩側(cè)分別安裝兩個(gè)1/4英寸第三手閥V3、第四手閥V4。第三手閥V3的另一側(cè)通過一根1/4英寸的工藝管路連接到設(shè)備端，第四手閥V4另一側(cè)的第三管路出口 P3連接1.1?1.5公斤壓力的純氮?dú)狻?br> [0041]圖2中虛線上半部分為正常的設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路，安裝有一瓶使用中的第二二氯乙烯玻璃瓶B2 (—般為半空狀態(tài))。第二二氯乙烯玻璃瓶B2上方左側(cè)的1/4英寸的管路出口上，連接一個(gè)1/4英寸的第三T型三通T3。第三T型三通T3的另外兩側(cè)，一側(cè)連接到第四管路出口 P4，為設(shè)備正常使用時(shí)壓送氮?dú)?；另一?cè)連接第五手閥V5，并通過第五手閥V5與圖2中虛線下半部分的移動(dòng)裝置中的第三手閥V3連接。第二二氯乙烯玻璃瓶B2上方右側(cè)的3/8英寸的管路出口上，連接一個(gè)3/8英寸的第四T型三通T4。第四T型三通T4的另外兩側(cè)，一側(cè)通過第六手閥V6連接到第五管路出口 P5，用于酸性廢氣的排放；另一側(cè)通過一段3/8英寸管路連接到第六管路出口 P6。
[0042]上述第一 T型三通Tl、第二 T型三通T2、第三二 T型三通T3、第四T型三通T4，第一手閥V1、第二手閥V2、第三手閥V3、第四手閥V4、第五手閥V5、第六手閥V6，以及其間使用的1/4英寸和3/8英寸的若干連接管路，全部部件均為PTFE (聚四氟乙烯)材質(zhì)。
[0043]圖2中，虛線上、下兩部分管路的拆卸和安裝，是通過拆、裝第三手閥V3、第五手閥V5之間的一段連接管路來完成的。
[0044]當(dāng)?shù)诙纫蚁┎Ａ緽2中的二氯乙烯的量足夠維持設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路(圖2中虛線上半部分)正常工作時(shí)，圖2中虛線下半部分的管路與虛線上半部分的設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路不連接。
[0045]當(dāng)?shù)诙纫蚁┎Ａ緽2中的二氯乙烯需要補(bǔ)充時(shí)，關(guān)閉所有手閥(包括第一手閥V1、第二手閥V2、第三手閥V3、第四手閥V4、第五手閥V5、第六手閥V6)，將虛線下方的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)的管路連接到生產(chǎn)設(shè)備上，在第二手閥V2、第四手閥V4關(guān)閉的狀態(tài)下，依次打開第六手閥V6、第五手閥V5、第三手閥V3、第一手閥VI，利用第一管路出口Pl 口輸入的氮?dú)獾膲毫?，將第一二氯乙烯玻璃瓶BI中的二氯乙烯補(bǔ)充到設(shè)備側(cè)用完的空的第二二氯乙烯玻璃瓶B2中。補(bǔ)充需要的量以后，依次關(guān)閉第一手閥V1、第三手閥V3、第五手閥V5、第六手閥V6 (此時(shí)第二手閥V2、第四手閥V4仍應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài))，然后再打開第二手閥V2、第四手閥V4，再依次打開第六手閥V6、第五手閥V5、第三手閥V3對(duì)管路進(jìn)行吹掃清潔，最后依次關(guān)閉第四手閥V4、第三手閥V3、第二手閥V2、第五手閥V5、第六手閥V6，拆除加液系統(tǒng)，完成加液工作。
【權(quán)利要求】
1.移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，其特征在于，包括: 移動(dòng)式載物平臺(tái)； 第一二氯乙烯瓶(BI)，充有足夠量的二氯乙烯，放置在移動(dòng)式載物平臺(tái)上； 多個(gè)T型三通接頭，多個(gè)手閥，以及多根連接用的工藝管路；其中: 第一 T型三通(Tl)，一端連接第一二氯乙烯瓶(BI)的粗管出口，另外兩端分別安裝第一手閥(VI)、第二手閥(V2)； 第二 T型三通(T2)，一端連接第一二氯乙烯瓶(BI)的細(xì)管出口，另外兩端分別安裝第三手閥(V3)、第四手閥(V4)； 第三T型三通(T3)，一端安裝第五手閥(V5)，另外兩端用于接入到設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路的氮?dú)廨斔凸苈分校? 第四T型三通(T4)，一端安裝第六手閥(V6)，另外兩端用于接入到設(shè)備側(cè)二氯乙烯壓送管路的二氯乙烯輸出管路中； 第一手閥(VI)、第四手閥(V4)另一側(cè)的第一管路出口(P1)、第三管路出口(P3)連接純氮?dú)猓? 第二手閥(V2)、第六手閥(V6)另一側(cè)的第二管路出口(P2)、第五管路出口(P5)用于酸性廢氣的排放； 第三手閥(V3 )另一側(cè)通過管路與第五手閥(V5 )連接。
2.如權(quán)利要求1所述的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，其特征在于，所述T型三通接頭、手閥和管路的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
3.如權(quán)利要求1所述的移動(dòng)式二氯乙烯手動(dòng)加液系統(tǒng)，其特征在于，所述第一T型三通(Tl)、第四T型三通(T4)的口徑為3/8英寸，所述第二 T型三通(T2)、第三T型三通(T3)的口徑為1/4英寸；所述第一手閥(VI)、第二手閥(V2)、第六手閥(V6)的口徑為3/8英寸；所述第三手閥(V3)、第四手閥(V4)、第五手閥(V5)的口徑為1/4英寸。
【文檔編號(hào)】F17D1/12GK203463944SQ201320225749
【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月28日
【發(fā)明者】周利明 申請(qǐng)人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司