專利名稱：氣瓶連接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及氣瓶連接裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝涉及氯氣、磷烷等四十余種高純氣體，且很多氣體有毒， 隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)規(guī)模增大，氣體用量也隨之增加，于是如何安全及時(shí)的將氣體
供應(yīng)給生產(chǎn)部門成為業(yè)界關(guān)注的重點(diǎn)。業(yè)界通常采用的現(xiàn)有供應(yīng)方案為將裝 有相同氣體的兩個(gè)氣瓶置于同一個(gè)氣瓶拒，各氣瓶連接至供氣管路；當(dāng)一個(gè)氣 瓶供氣時(shí)，另一個(gè)氣瓶作為備用氣瓶，在用完供應(yīng)氣瓶?jī)?nèi)的氣體后，氣瓶拒自 動(dòng)切換，由備用氣瓶供氣，然后操作人員用裝滿氣體的氣瓶更換用空的氣瓶， 實(shí)現(xiàn)向生產(chǎn)部門的持續(xù)供氣。
圖1為氣瓶與供氣管路的連接結(jié)構(gòu)示意圖，圖中標(biāo)號(hào)1為聯(lián)接鎖母，標(biāo)號(hào)2 代表供氣管^l姿頭，標(biāo)號(hào)3代表氣瓶閥門接頭，聯(lián)接鎖母1與氣瓶閥門接頭3 通過(guò)螺紋(螺紋如圖中虛線所示)耦合，使得氣瓶閥門接頭3與供氣管路接頭2 緊密連接，從通道4供氣。
圖2為氣瓶連接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該裝置包括聯(lián)接鎖母1及供氣管皿 頭2，可以看出，該氣瓶連接裝置缺乏導(dǎo)向裝置，例如在A和B處均未設(shè)置有 利于聯(lián)接鎖母1與氣瓶閥門接頭3對(duì)正耦合的輔助定位結(jié)構(gòu)，故更換氣瓶將聯(lián) 接鎖母1與氣瓶閥門接頭3耦合時(shí)，只能靠操作人員經(jīng)驗(yàn)與手感將兩者的螺紋 對(duì)正，使得對(duì)正耦合的效率及準(zhǔn)確率降低，將產(chǎn)生如下問(wèn)題
1,耗費(fèi)更換時(shí)間；
2，可能損壞螺紋，導(dǎo)致昂貴的氣瓶報(bào)廢，造成重大損失； 3，在未對(duì)正耦合的情況下供氣，可能造成氣體泄漏，導(dǎo)致財(cái)產(chǎn)損失甚至生 命傷害的安全事故。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供氣瓶連接裝置，以降低氣瓶更換時(shí)間，提高氣瓶連接質(zhì)量 及準(zhǔn)確率，避免財(cái)產(chǎn)生命損失的風(fēng)險(xiǎn)。
本實(shí)用新型提出了氣瓶連接裝置，包括供氣管路接頭和聯(lián)接鎖母，所述聯(lián) 接鎖母包括第 一 內(nèi)孔及第二內(nèi)孔，其中第一內(nèi)孔由第 一子孔和位于第 一子孔與
第二內(nèi)孔之間的第二子孔組成；以及第二子孔表面設(shè)置有耦合結(jié)構(gòu)；第一子孔 的孔徑比第二子孔孔徑大，兩者差值處于第一預(yù)定范圍。
進(jìn)一步的，第二內(nèi)孔的孔徑比供氣管路接頭的對(duì)應(yīng)外徑大，兩者差值處于 第二預(yù)定范圍。
進(jìn)一步的，所述供氣管路接頭包括定位子接頭，所述供氣管落接頭的對(duì)應(yīng) 外徑為該定位子接頭的外徑。
進(jìn)一步的，所述耦合結(jié)構(gòu)是螺紋結(jié)構(gòu)。 進(jìn)一步的，所述第一預(yù)定范圍為0.9-1.1毫米； 進(jìn)一步的，所述第二預(yù)定范圍為0.9 1.1毫米。
本實(shí)用新型通過(guò)在聯(lián)接鎖母上設(shè)置第 一子孔作為導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使得搡作人員 在將聯(lián)接鎖母與氣瓶閥門接頭耦合時(shí)，能通過(guò)將第一子孔套于氣瓶閥門接頭， 輕易將聯(lián)接鎖母的第二子孔與氣瓶閥門接頭對(duì)正進(jìn)行耦合，提高了對(duì)正的效率 及準(zhǔn)確率，從而降低了氣瓶更換時(shí)間，提高了氣瓶連接質(zhì)量及準(zhǔn)確率，避免財(cái) 產(chǎn)生命損失的風(fēng)險(xiǎn)。
本實(shí)用新型還可以設(shè)置聯(lián)接鎖母的第二內(nèi)孔比供氣管路接頭的對(duì)應(yīng)外徑 大，且差值處于第二預(yù)定范圍，則能夠在耦合過(guò)程中通過(guò)將聯(lián)接鎖母套于該供 氣管路接頭，基于所述對(duì)應(yīng)外徑與第二內(nèi)孔的作用定位聯(lián)接鎖母，進(jìn)一步使聯(lián) 接鎖母容易與氣瓶閥門接頭對(duì)正。


圖1為氣瓶與供氣管路的連接結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為氣瓶連接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖3 5分別為本實(shí)施例提出的氣瓶連接裝置連接過(guò)程中的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

針對(duì)背景技術(shù)提及的問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提出可以在聯(lián)接鎖母1上設(shè)
置輔助定位結(jié)構(gòu)，以使聯(lián)接鎖母1與氣瓶閥門接頭3容易對(duì)正耦合，進(jìn)而避免 上述問(wèn)題。
圖3~5分別為本實(shí)施例提出的氣瓶連接裝置連接過(guò)程中的結(jié)構(gòu)示意圖，圖 中標(biāo)號(hào)IO為聯(lián)接鎖母，20代表氣瓶閥門接頭，30代表供氣管,頭，聯(lián)接鎖 母IO設(shè)置有第一內(nèi)孔及第二內(nèi)孔，供氣管i^4妾頭30設(shè)置有定位子接頭31。
第一內(nèi)孔由第一子孔12及第二子孔13組成；第二子孔13表面設(shè)置有螺紋 結(jié)構(gòu)ll作為耦合結(jié)構(gòu)，以與氣瓶閥門接頭20外表面螺紋耦合；第一子孔12的 孔徑比第二子孔13的孔徑大，兩者差值處于第一預(yù)定范圍，以便于套于氣瓶閥 門接頭20,輔助對(duì)正第二子孔13的螺紋結(jié)構(gòu)11與氣瓶閥門接頭20的外表面螺 紋。
第二內(nèi)孔處于圖中定位子接頭31與聯(lián)接鎖母IO接觸的位置，第二內(nèi)孔的 孔徑比定位子接頭31外徑大，兩者差值處于第二預(yù)定范圍，則將^U妄鎖母10 通過(guò)第二內(nèi)孔套于定位子接頭31時(shí)，可以對(duì)聯(lián)接鎖母10定位，使其與氣瓶閥 門接頭對(duì)正。
上述第一預(yù)定范圍和第二預(yù)定范圍通常為1毫米左右，例如0.9-1.1毫米，
實(shí)施時(shí)根據(jù)實(shí)際情況可以自主確定。
下面結(jié)合安裝過(guò)程來(lái)進(jìn)一 步闡述本實(shí)用新型提出的氣瓶連接裝置的結(jié)構(gòu)。 首先將供氣管路接頭30插入氣瓶閥門接頭20的對(duì)應(yīng)位置，將聯(lián)接鎖母10
從供氣管路接頭30左側(cè)套入，則第二內(nèi)孔與定位子接頭31接觸，將聯(lián)接鎖母
進(jìn)行第一次徑向定位，如圖3所示。
然后將聯(lián)接鎖母IO右移，移至第一子孔套于氣瓶閥門接頭20 (圖4中氣瓶
閥門接頭20遮擋住第一子孔，故未標(biāo)識(shí))時(shí)，可使第二子孔13表面的螺紋結(jié)
構(gòu)11與氣瓶閥門接頭20的外表面螺紋對(duì)齊，于是第一子孔作為定位結(jié)構(gòu)，實(shí)
現(xiàn)第二次定位，如圖4所示。
最后將聯(lián)接鎖母10與氣瓶閥門接頭20通過(guò)螺紋耦合連接，如圖5所示。 上述實(shí)施例中有兩次定位，實(shí)際上第一次定位是可選的，例如即使第二內(nèi)孔的孔徑比供氣管膝接頭對(duì)應(yīng)外徑大，其差值處于第二預(yù)定范圍外，無(wú)法進(jìn)行 第一次定位，但僅依靠第二次定位，與現(xiàn)有技術(shù)相比也有較強(qiáng)的定位，使得聯(lián)
接鎖母1與氣瓶閥門接頭20容易對(duì)正耦合。此外供氣管路接頭30的定位子接 頭31也是可選的，因?yàn)槎ㄎ蛔咏宇^31是實(shí)現(xiàn)第一次定位的一種實(shí)施方式，第 一次定位可選，則定位子接頭31也就可選。
上述實(shí)施例中聯(lián)接鎖母10與氣瓶閥門接頭20是通過(guò)螺紋耦合，實(shí)際上如 果兩者采用其他常見(jiàn)耦合結(jié)構(gòu)例如卡合結(jié)構(gòu)等耦合也是可行的。
本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí) 用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng) 和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種氣瓶連接裝置，包括供氣管路接頭和聯(lián)接鎖母，所述聯(lián)接鎖母包括第一內(nèi)孔及第二內(nèi)孔，其特征在于，第一內(nèi)孔由第一子孔和位于第一子孔與第二內(nèi)孔之間的第二子孔組成；以及第二子孔表面設(shè)置有耦合結(jié)構(gòu)；第一子孔的孔徑比第二子孔孔徑大，兩者差值處于第一預(yù)定范圍。
2、 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，第二內(nèi)孔的孔徑比供氣管5^頭的對(duì)應(yīng)外徑大，兩者差值處于第二預(yù)定范圍。
3、 如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述供氣管路接頭包括定位子接頭，所述供氣管路接頭的對(duì)應(yīng)外徑為該定位子接頭的外徑。
4、 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述耦合結(jié)構(gòu)是螺紋結(jié)構(gòu)。
5、 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一預(yù)定范圍為0.9~1.1毫米。
6、 如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二預(yù)定范圍為0.9-1.1毫米。
專利摘要本實(shí)用新型提供氣瓶連接裝置，以降低氣瓶更換時(shí)間，提高氣瓶連接質(zhì)量及準(zhǔn)確率，避免財(cái)產(chǎn)生命損失的風(fēng)險(xiǎn)。該裝置包括供氣管路接頭和聯(lián)接鎖母，所述聯(lián)接鎖母包括第一內(nèi)孔及第二內(nèi)孔，第一內(nèi)孔由第一子孔和位于第一子孔與第二內(nèi)孔之間的第二子孔組成；以及第二子孔表面設(shè)置有耦合結(jié)構(gòu)；第一子孔的孔徑比第二子孔孔徑大，兩者差值處于第一預(yù)定范圍。
文檔編號(hào)F17C13/00GK201297493SQ20082015522
公開(kāi)日2009年8月26日 申請(qǐng)日期2008年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月11日
發(fā)明者王東海 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司