專利名稱：液體排放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種排放裝置，且特別涉及一種液體排放裝置。
背景技術(shù)：
目前，電子工業(yè)已經(jīng)成為世界上規(guī)模最大的工業(yè)，其全球市場份額已經(jīng)超
過了 ioooo億美元。電子器件是電子工業(yè)的基礎(chǔ)，為滿足電子工業(yè)的巨大需求，
該領(lǐng)域的發(fā)展十分迅速。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件的特征尺寸已進(jìn)
入超深亞微米，在原理、結(jié)構(gòu)和制造工藝方面有許多重大突^c，同時(shí)出現(xiàn)了許
多新型半導(dǎo)體器件。隨著半導(dǎo)體工藝的需求， 一些易于結(jié)晶的化學(xué)品被用到生 產(chǎn)工藝的機(jī)臺中，這樣我們就會面臨這些化學(xué)品的排放問題，通常廠家常用的 方法就是將這些易于結(jié)晶的化學(xué)品通過排放管道直接排放，這就引出了一些新 的問題。 一般排放回收系統(tǒng)離生產(chǎn)工廠比較遠(yuǎn)，這些易于結(jié)晶的化學(xué)品在溫度 降低到一定的程度時(shí)便會結(jié)晶，容易堵塞排放管道，而一旦堵塞，技術(shù)人員很 難查到具體的堵塞位置，而且，要堵塞往往是多處堵塞，給導(dǎo)通工作帶來了難 度，排放管道不及時(shí)導(dǎo)通，會直接影響到工廠的運(yùn)行。
一些廠家和個(gè)人針對這個(gè)問題，采取了一些措施，比如將排放管道加厚處 理，或者在排放管道外面加涂防凍層，這些方法不但大大的提高了成本，而且 收效甚微。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服已有技術(shù)中存在的易結(jié)晶化學(xué)品容易在管道中結(jié)晶，并因此堵塞 管道的問題，本實(shí)用新型提供一種具有能保持易結(jié)晶化學(xué)品在管道內(nèi)不結(jié)晶堵 塞管道的液體排放裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種液體排放裝置，包括存儲容器，回 收容器以及連接所述存儲容器和所述回收容器的排放管道，所述排放管道為雙 套管結(jié)構(gòu)，所述排放管道夾層兩端分別與 一熱水供應(yīng)系統(tǒng)和一熱水回收系統(tǒng)相連。
可選的，所述排放管道外管直徑和內(nèi)管直徑比不小于3:2。 可選的，所述存儲容器和回收容器通過所述排放管道的內(nèi)管相連。 可選的，所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)通過第一導(dǎo)管和所述排放管道夾層相連。 可選的，所述存儲容器和所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)位于所述排;改管道的同一端。 可選的，所述回收容器和所述熱水回收系統(tǒng)位于所述排;改管道的同一端。 可選的，所述熱水回收系統(tǒng)包括一熱水回收箱以及連4妄所述熱水回收箱和 所述排放管道夾層的第二導(dǎo)管。
可選的，所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)和一溫度測量計(jì)相連。
本實(shí)用新型所述的液體排放管道的有益效果主要表現(xiàn)在和熱水供應(yīng)系統(tǒng) 相連的溫度測量計(jì)可以顯示熱水溫度，便于根據(jù)化學(xué)品的結(jié)晶點(diǎn)來調(diào)節(jié)熱水溫 度；排放管道為雙套管結(jié)構(gòu)，且在夾層中輸入熱水，以保持管內(nèi)的溫度在化學(xué) 品的結(jié)晶點(diǎn)之上，該裝置能夠保證化學(xué)品沿排放管道順暢排放，減少了堵塞的 情況發(fā)生。


圖1為本實(shí)用新型液體轉(zhuǎn)移裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖2為本實(shí)用新型液體轉(zhuǎn)移裝置實(shí)施例的排放管道的截面示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。
請參考圖1，圖1是所述的一種液體排放裝置，主要用于易結(jié)晶的化學(xué)品 的排放，包括存儲容器110、回收容器114以及連接所述存儲容器和回收容器的 排放管道，存儲容器110用于收集和放置易結(jié)晶的化學(xué)品，可固定于工廠的某 個(gè)生產(chǎn)車間，回收容器114放置于化學(xué)品的回收車間，所述排》文管道為雙套管 結(jié)構(gòu)，所述排放管道的夾層112兩端分別與一熱水供應(yīng)系統(tǒng)111和一熱水回收 系統(tǒng)相連，熱7jc供應(yīng)系統(tǒng)111和排放管道夾層112之間通過第一導(dǎo)管118相連， 熱水回收系統(tǒng)包括熱水回收箱117以及連接熱水回收箱117和排;改管道夾層112 的第二導(dǎo)管115，所述存儲容器110和所述熱7jc供應(yīng)系統(tǒng)111位于所述排放管道 的同一側(cè)，而所述回收容器110和所述熱水回收系統(tǒng)則位于所述排放管道的另一側(cè)，這樣能夠保證存儲容器110中的易結(jié)晶的化學(xué)品進(jìn)入排放管道時(shí)，對應(yīng) 的排放管道的夾層112就有熱水供應(yīng)，維持化學(xué)品的溫度在其結(jié)晶點(diǎn)之上。熱 水供應(yīng)系統(tǒng)111與 一溫度測量計(jì)116相連，熱水供應(yīng)系統(tǒng)111負(fù)責(zé)給水加熱， 溫度測量計(jì)116測試并顯示加熱的溫度，根據(jù)易結(jié)晶的化學(xué)品的結(jié)晶點(diǎn)的高低， 來決定所加熱的水的溫度， 一般加熱的水的溫度要高于化學(xué)品的結(jié)晶點(diǎn)5攝氏 度，才能保證易結(jié)晶的化學(xué)品在排放管道中順暢傳輸，另外，排放管道外管119 直徑和內(nèi)管113直徑的比例不能小于3: 2,否則也不能保證化學(xué)品在傳輸?shù)倪^ 程中不結(jié)晶，外管119直徑和內(nèi)管113直徑的差距越大，就意味著排放管道夾 層112的空間的增大，即其中所能容納的熱水量的增大，有利于維持管道中化 學(xué)品的溫度在熱水的溫度附近。
接著請參考圖2，圖2是本實(shí)用新型液體轉(zhuǎn)移裝置實(shí)施例的排放管道的截 面示意圖，圖中外管119和內(nèi)管112都是圓形，外管和內(nèi)管之間的為夾層113, 化學(xué)品從內(nèi)管112中排放出去，而熱水的供應(yīng)和回收則和夾層113相連，外管 119直徑和內(nèi)管112直徑的比例不能小于3: 2。圖中的外管119和內(nèi)管112的 形狀為圓形只是列舉的一個(gè)實(shí)施例，不構(gòu)成對本實(shí)用新型的限制，在可實(shí)行的 范圍內(nèi)，外管和內(nèi)管的形狀是可以由本領(lǐng)域的技術(shù)人員任意決定的。
實(shí)際操作過程中，當(dāng)存儲容器110中存放了過量的化學(xué)品需要排放，而所 述化學(xué)品的結(jié)晶點(diǎn)為75:懾氏度時(shí)，通過溫度測量計(jì)116的測量和顯示，我們將 熱水供應(yīng)系統(tǒng)111中的水溫設(shè)定在80攝氏度，最好先將80攝氏度的熱水通過 第一導(dǎo)管118流入排放管道夾層112中，待一段時(shí)間比如10分鐘后，再使化學(xué) 品流入內(nèi)管113中，為了保證加熱的有效性以及運(yùn)輸效率，設(shè)置了外管直徑119 和內(nèi)管直徑113比例為3: 2,這樣，既可保證化學(xué)品不結(jié)晶，又可保證化學(xué)品 排放的速度?；瘜W(xué)品經(jīng)內(nèi)管113—直流入回收容器114中，熱水順著排放管道 的夾層112,流入熱水回收箱117,由于熱水在整個(gè)過程中沒有被污染，因此可 以做其他的用途，不浪費(fèi)。
另外，若是為了節(jié)約熱水的使用，平常排放的過程中，在夾層112中不加 熱水，當(dāng)出現(xiàn)排放管道被結(jié)晶體堵塞的情況時(shí),停止排放化學(xué)品，并且打開熱 水供應(yīng)系統(tǒng)lll，往夾層112中添加熱水，融化結(jié)晶體，保證排放的順暢，熱水 由熱水回收箱117回收，不會被浪費(fèi)，這樣做的好處的減少了熱水的使用量，而且也能保證排放管道不被易結(jié)晶的化學(xué)品堵塞。
雖然本實(shí)用新型已以較/f圭實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。 本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范 圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求 書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1. 一種液體排放裝置，包括存儲容器，回收容器以及連接所述存儲容器和所述回收容器的排放管道，其特征在于所述排放管道為雙套管結(jié)構(gòu)，所述排放管道的夾層兩端分別與一熱水供應(yīng)系統(tǒng)和一熱水回收系統(tǒng)相連。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置,其特征在于所述排放管道外管直徑和內(nèi)管直徑比不小于3:2。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置，其特征在于所述存儲容器和回收容器通過所述排放管道的內(nèi)管相連。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置,其特征在于所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)通過第一導(dǎo)管和所述排^:管道夾層相連。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置，其特征在于所述存儲容器和所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)位于所述排放管道的同一端。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置，其特征在于所述回收容器和所述熱水回收系統(tǒng)位于所述排放管道的同 一端。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置，其特征在于所述熱水回收系統(tǒng)包括一熱水回收箱以及連接所述熱水回收箱和所述排;改管道夾層的第二導(dǎo)管。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述液體排放裝置，其特征在于所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)和一溫度測量計(jì)相連。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種液體排放裝置，包括存儲容器，回收容器以及連接所述存儲容器和所述回收容器的排放管道，所述排放管道為雙套管結(jié)構(gòu)，所述排放管道夾層兩端分別與一熱水供應(yīng)系統(tǒng)和一熱水回收系統(tǒng)相連，本實(shí)用新型的排放管道設(shè)計(jì)為雙套管結(jié)構(gòu)且在夾層中輸入熱水，以保持管內(nèi)的溫度在化學(xué)品的結(jié)晶點(diǎn)之上，能夠保證化學(xué)品沿排放管道順暢排放，有效的減少了化學(xué)品堵塞管道的情況發(fā)生。
文檔編號F17D1/18GK201297498SQ20082015449
公開日2009年8月26日 申請日期2008年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月27日
發(fā)明者偉 劉, 安云富 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司