技術編號：5812420
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種排放裝置，且特別涉及一種液體排放裝置。 背景技術目前，電子工業(yè)已經成為世界上規(guī)模最大的工業(yè)，其全球市場份額已經超過了 ioooo億美元。電子器件是電子工業(yè)的基礎，為滿足電子工業(yè)的巨大需求，該領域的發(fā)展十分迅速。隨著微電子技術的發(fā)展，半導體器件的特征尺寸已進入超深亞微米，在原理、結構和制造工藝方面有許多重大突^c，同時出現了許多新型半導體器件。隨著半導體工藝的需求， 一些易于結晶的化學品被用到生 產工藝的機臺中，這樣我們就會面臨這些化學品的...
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