一種側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及閘閥技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種主要用于半導(dǎo)體、微電子以及液晶面板等制造企業(yè)的制程排氣管道內(nèi)的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有閘閥裝置一般工作原理表現(xiàn)為兩種方式:1、如圖1所示，閘閥葉片抽離式，此類閘閥的缺點(diǎn)是閘閥葉片抽離處閥體不好密封，如果是涂層閘閥葉片如何防止閘閥葉片抽離側(cè)空間是否能夠?qū)崿F(xiàn)操作；2、如圖2所示，螺桿升降式，此類閘閥的缺點(diǎn)是螺桿升降時(shí)伸出閥體部分過(guò)長(zhǎng)，制程排氣管道設(shè)計(jì)時(shí)無(wú)法提供此類閥門的操作空間。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其將固有閘閥葉片的直線運(yùn)動(dòng)改為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并使閘閥葉片的運(yùn)動(dòng)在閥體內(nèi)完成，節(jié)省了整個(gè)閘閥的占用空間，同時(shí)解決了閘閥的密封問(wèn)題。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]—種側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其包含:閥體以及閘閥葉片，所述的閥體具有一供液體流通的介質(zhì)通道;其特征是:
[0006]所述閥體內(nèi)設(shè)有一與所述的介質(zhì)通道連通的轉(zhuǎn)移空間，所述閥體上還設(shè)有一閥桿軸套；
[0007]所述的閘閥葉片設(shè)置在所述的閥體內(nèi)，其上設(shè)有閥桿，且閥桿與所述閥體上的閥桿軸套對(duì)應(yīng)連接，閘閥葉片圍繞所述閥桿的軸心旋轉(zhuǎn)使其在所述的介質(zhì)通道和轉(zhuǎn)移空間之間來(lái)回，實(shí)現(xiàn)閘閥的開(kāi)閉。
[0008]上述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其中，所述的閥體包含:
[0009]上閥體，其本體上設(shè)有一上閘口 ；
[0010]位于上閥體下方的下閥體，其本體上設(shè)有一與上閥體的上閘口對(duì)應(yīng)設(shè)置的下閘口，所述的上閘口與下閘口連通形成所述的介質(zhì)通道；
[0011]支撐板，其位于所述的上閥體和下閥體之間，其具有一旋轉(zhuǎn)通道，且該旋轉(zhuǎn)通道局部位于所述上閘口與下閘口的連通位置并構(gòu)成所述介質(zhì)通道的一部分，其剩余部分構(gòu)成所述閥體的轉(zhuǎn)移空間。
[0012]上述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其中，還包含:
[0013]上密封墊，其位于所述的上閥體與支撐板之間，使上閥體與支撐板之間以及閘閥葉片與上閥體之間分別形成密封；
[0014]下密封墊，其位于所述的下閥體與支撐板之間，使下閥體與支撐板之間以及閘閥葉片與下閥體之間分別形成密封。
[0015]上述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其中:
[0016]所述的閥桿與閥桿軸套之間通過(guò)O型密封圈密封。
[0017]上述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其中:
[0018]所述支撐板上旋轉(zhuǎn)通道的形狀與所述閘閥葉片的旋轉(zhuǎn)軌跡匹配。
[0019]上述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其中:
[0020]所述的上閥體、支撐板、下閥體均由金屬板制成；
[0021 ] 所述的上密封墊和下密封墊均采用邵氏硬度高于90度的PTFE板制成。
[0022]上述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其中:
[0023]所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子以及液晶面板制造時(shí)所使用的制程排氣管道內(nèi)。
[0024]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):其將固有閘閥葉片的直線運(yùn)動(dòng)改為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并使閘閥葉片的運(yùn)動(dòng)在閥體內(nèi)完成，節(jié)省了整個(gè)閘閥的占用空間，同時(shí)解決了閘閥的密封問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的葉片抽離式閘閥；
[0026]圖2為現(xiàn)有技術(shù)的螺桿升降式閘閥；
[0027]圖3為本實(shí)用新型的爆炸圖；
[0028]圖4為本實(shí)用新型的閥桿與閥桿軸套的密封結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]以下結(jié)合附圖，通過(guò)詳細(xì)說(shuō)明一個(gè)較佳的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步闡述。
[0031]如圖5所示;一種側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子以及液晶面板制造時(shí)所使用的制程排氣管道內(nèi)，其包含:閥體以及閘閥葉片4，所述的閥體包含上閥體I，其本體上設(shè)有一上閘口，以及位于上閥體I下方的下閥體6，其本體上設(shè)有一與上閥體I的上閘口對(duì)應(yīng)設(shè)置的下閘口，所述的上閘口與下閘口連通形成所述的介質(zhì)通道；所述閥體內(nèi)設(shè)有一與所述的介質(zhì)通道連通的轉(zhuǎn)移空間，所述閥體上還設(shè)有一閥桿軸套11;所述的閘閥葉片4設(shè)置在所述的閥體內(nèi)，其上設(shè)有閥桿41，且閥桿41與所述閥體上的閥桿軸套11對(duì)應(yīng)連接，閘閥葉片4圍繞所述閥桿41的軸心旋轉(zhuǎn)使其在所述的介質(zhì)通道和轉(zhuǎn)移空間之間來(lái)回，實(shí)現(xiàn)閘閥的開(kāi)閉。
[0032]如圖3所示，本實(shí)施例中，所述的轉(zhuǎn)移空間通過(guò)一個(gè)位于所述的上閥體I和下閥體6之間的支撐板3來(lái)實(shí)現(xiàn)，該支撐板3具有一旋轉(zhuǎn)通道31，且該旋轉(zhuǎn)通道31局部位于所述上閘口與下閘口的連通位置并構(gòu)成所述介質(zhì)通道的一部分，其剩余部分構(gòu)成所述閥體的轉(zhuǎn)移空間；所述支撐板3上旋轉(zhuǎn)通道31的形狀與所述閘閥葉片4的旋轉(zhuǎn)軌跡匹配，以實(shí)現(xiàn)一個(gè)側(cè)向旋轉(zhuǎn)的目的。
[0033]所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥還包含:上密封墊2，其位于所述的上閥體I與支撐板3之間，使上閥體I與支撐板3之間以及閘閥葉片4與上閥體I之間分別形成密封;下密封墊5，其位于所述的下閥體6與支撐板3之間，使下閥體6與支撐板3之間以及閘閥葉片4與下閥體6之間分別形成密封;如圖4所示，所述的閥桿41與閥桿軸套11之間還通過(guò)O型密封圈7密封，閥桿41的兩端分別設(shè)有凹槽，O型密封圈7分別套裝在凹槽內(nèi)其外圈與閥桿軸套的內(nèi)壁面貼近。
[0034]為了使本實(shí)用新型的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥的占用空間最低，本實(shí)施例中，所述的上閥體1、下閥體6、支撐板3、閘閥葉片4、上密封墊2以及下密封墊5均為板狀或片狀結(jié)構(gòu)，疊設(shè)在一起，并通過(guò)螺栓將它們連成一體，所述的閘閥葉片4為圓形薄片，其直徑可以略大于所述介質(zhì)通道的直徑，閥桿41安裝在該薄片外沿的一個(gè)凸部上，而不是直接設(shè)置在閘閥葉片4的圓形薄片上的，使閥桿41與介質(zhì)通道之間也能通過(guò)上密封墊2與下密封墊5形成密封，密封效果更好。
[0035]本實(shí)施例中，所述的上閥體1、支撐板3、下閥體6均由金屬板制成;所述的上密封墊
2和下密封墊5均采用邵氏硬度高于90度的PTFE板制成。
[0036]本實(shí)施例中，閥桿41的一端伸出閥體外，通過(guò)一個(gè)連接閥桿41的手輪8控制閥桿41的轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)閥桿41轉(zhuǎn)動(dòng)角度來(lái)判斷閘閥的開(kāi)閉狀態(tài)。
[0037]盡管本實(shí)用新型的內(nèi)容已經(jīng)通過(guò)上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對(duì)于本實(shí)用新型的多種修改和替代都將是顯而易見(jiàn)的。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來(lái)限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其包含:閥體以及閘閥葉片(4)，所述的閥體具有一供液體流通的介質(zhì)通道;其特征在于: 所述閥體內(nèi)設(shè)有一與所述的介質(zhì)通道連通的轉(zhuǎn)移空間，所述閥體上還設(shè)有一閥桿軸套(11)； 所述的閘閥葉片(4)設(shè)置在所述的閥體內(nèi)，其上設(shè)有閥桿(41)，且閥桿(41)與所述閥體上的閥桿軸套(11)對(duì)應(yīng)連接，閘閥葉片(4)圍繞所述閥桿(41)的軸心旋轉(zhuǎn)使其在所述的介質(zhì)通道和轉(zhuǎn)移空間之間來(lái)回，實(shí)現(xiàn)閘閥的開(kāi)閉。2.如權(quán)利要求1所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其特征在于，所述的閥體包含: 上閥體(I)，其本體上設(shè)有一上閘口 ； 位于上閥體(I)下方的下閥體(6 )，其本體上設(shè)有一與上閥體(I)的上閘口對(duì)應(yīng)設(shè)置的下閘口，所述的上閘口與下閘口連通形成所述的介質(zhì)通道； 支撐板(3)，其位于所述的上閥體(I)和下閥體(6)之間，其具有一旋轉(zhuǎn)通道(31)，且該旋轉(zhuǎn)通道(31)局部位于所述上閘口與下閘口的連通位置并構(gòu)成所述介質(zhì)通道的一部分，其剩余部分構(gòu)成所述閥體的轉(zhuǎn)移空間。3.如權(quán)利要求2所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其特征在于，還包含: 上密封墊(2)，其位于所述的上閥體(I)與支撐板(3)之間，使上閥體(I)與支撐板(3)之間以及閘閥葉片(4)與上閥體(I)之間分別形成密封； 下密封墊(5)，其位于所述的下閥體(6)與支撐板(3)之間，使下閥體(6)與支撐板(3)之間以及閘閥葉片(4)與下閥體(6)之間分別形成密封。4.如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其特征在于: 所述的閥桿(41)與閥桿軸套(11)之間通過(guò)O型密封圈(7)密封。5.如權(quán)利要求2所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其特征在于: 所述支撐板(3)上旋轉(zhuǎn)通道(31)的形狀與所述閘閥葉片(4)的旋轉(zhuǎn)軌跡匹配。6.如權(quán)利要求3所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其特征在于: 所述的上閥體(I)、支撐板(3 )、下閥體(6 )均由金屬板制成； 所述的上密封墊(2)和下密封墊(5)均采用邵氏硬度高于90度的PTFE板制成。7.如權(quán)利要求1或2或3或5或6所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其特征在于: 所述的側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子以及液晶面板制造時(shí)所使用的制程排氣管道內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種側(cè)向旋轉(zhuǎn)閘閥，其包含：閥體以及閘閥葉片，所述的閥體具有一供液體流通的介質(zhì)通道；所述閥體內(nèi)設(shè)有一與所述的介質(zhì)通道連通的轉(zhuǎn)移空間，所述閥體上還設(shè)有一閥桿軸套；所述的閘閥葉片設(shè)置在所述的閥體內(nèi)，其上設(shè)有閥桿，且閥桿與所述閥體上的閥桿軸套對(duì)應(yīng)連接，閘閥葉片圍繞所述閥桿的軸心旋轉(zhuǎn)使其在所述的介質(zhì)通道和轉(zhuǎn)移空間之間來(lái)回，實(shí)現(xiàn)閘閥的開(kāi)閉。其優(yōu)點(diǎn)是：其將固有閘閥葉片的直線運(yùn)動(dòng)改為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并使閘閥葉片的運(yùn)動(dòng)在閥體內(nèi)完成，節(jié)省了整個(gè)閘閥的占用空間，同時(shí)解決了閘閥的密封問(wèn)題。
【IPC分類】F16K27/04, F16K3/314, F16K3/06
【公開(kāi)號(hào)】CN205278422
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521042705
【發(fā)明人】鐘平, 周益斌, 蔣景春
【申請(qǐng)人】點(diǎn)奪機(jī)電工程江蘇有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2015年12月15日