的 一部分、具備第二通氣孔112 W及第立通氣孔113的第一閥殼體191的一部分、隔膜120的一 部分、W及從第=通氣孔113的周圍朝隔膜120側(cè)突出而與隔膜120抵接而被覆蓋的閥座 139。
[0124] 排氣閥170利用第二下閥室132與第二上閥室134之間的壓力差而使隔膜120相對(duì) 于閥座139抵接或者分離。
[0125] 接下來，對(duì)閥101的制造方法進(jìn)行說明。首先，將第二閥殼體192、第二密封件152、 隔膜120、第一密封件151W及第一閥殼體191層疊，使六個(gè)第一突出部180與六個(gè)開口部182 嵌合。由此，隔膜120經(jīng)由第一密封件151W及第二密封件152而被第一閥殼體191W及第二 閥殼體192夾持。
[01%]接下來，將由第二閥殼體192、第二密封件152、隔膜120、第一密封件151W及第一 閥殼體191所構(gòu)成的層疊體載置于臺(tái)S上(參照?qǐng)D6)，對(duì)六個(gè)第一突出部180的前端部進(jìn)行熱 馴接。由此，將六個(gè)第一突出部180的前端部壓塌，從而得到圖6所示的閥101。
[0127]如圖6所示，在從X軸方向俯視觀察時(shí)，閥101在比第一突出部180更靠?jī)?nèi)側(cè)的部分， 第一閥殼體191W及第二閥殼體192經(jīng)由第一密封件151和第二密封件152夾持隔膜120。另 一方面，在比第一突出部180更靠外側(cè)的部分設(shè)置有六個(gè)第二突出部181。
[01巧]因此，將由第一閥殼體191、第一密封件151、隔膜120、第二密封件152 W及第二閥 殼體192所構(gòu)成的層疊體載置于臺(tái)S上，對(duì)六個(gè)第一突出部180的前端部進(jìn)行熱馴接，第一閥 殼體191中的比第一突出部180更靠外側(cè)的部分與六個(gè)第二突出部181接觸，因此能夠抑制 第一閥殼體191中的比第一突出部180更靠外側(cè)的部分朝第二閥殼體192側(cè)翅曲。另外，能夠 抑制第二閥殼體192中的比第一突出部180更靠外側(cè)的部分朝第一閥殼體191側(cè)翅曲。即，在 本實(shí)施方式中，能夠抑制空氣從閥101內(nèi)部泄漏。
[0129] 因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠相對(duì)W往減少閥101的制造成本而不會(huì)使閥的性能比 W往差。
[0130] 此外，六個(gè)第二突出部181的各自的高度優(yōu)選與第一密封件151的厚度、隔膜120的 厚度W及第二密封件152的厚度之和相等。在該情況下，六個(gè)第二突出部181位于第一閥殼 體191的比第一突出部180更靠外側(cè)的部分與第二閥殼體192的比第一突出部180更靠外側(cè) 的部分之間，其中，六個(gè)第二突出部181具有與第一密封件151的厚度、隔膜120的厚度W及 第二密封件152的厚度之和相等的高度。
[0131] 因此，即便對(duì)六個(gè)第一突出部180的前端部進(jìn)行上述熱馴接，由于第一閥殼體191 中的比第一突出部180更靠外側(cè)的部分與六個(gè)第二突出部181接觸，因此能夠進(jìn)一步抑制第 一閥殼體191W及第二閥殼體192中的比第一突出部180更靠外側(cè)的部分產(chǎn)生翅曲。即，能夠 進(jìn)一步抑制空氣從閥101內(nèi)部泄漏。
[0132] 接下來，對(duì)血壓測(cè)定時(shí)的流體控制裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0133] 圖7是表示在圖1所示的壓電累10驅(qū)動(dòng)期間的流體控制裝置100的空氣的流動(dòng)的說 明圖。
[0134] 流體控制裝置100在開始進(jìn)行血壓的測(cè)定時(shí)，首先使壓電累10驅(qū)動(dòng)。若壓電累10驅(qū) 動(dòng)，則首先空氣會(huì)從開口部92W及吸引孔52流入壓電累10內(nèi)的累室45。接下來，空氣從排出 孔55、56排出，流入閥101的第二下閥室132W及第一下閥室131雙方。
[0135] 由此，在排氣閥170中，第二下閥室132的壓力比第二上閥室134的壓力高。因此，如 圖7所示，隔膜120對(duì)第=通氣孔113進(jìn)行密封而遮斷第二通氣孔112與第=通氣孔113的通 氣。
[0136] 另外，在止回閥160中，第一下閥室131的壓力比第一上閥室133的壓力高。因此，隔 膜120的孔部121的周圍從閥座138離開，第一通氣孔111與第二通氣孔112經(jīng)由孔部121連 通。
[0137] 其結(jié)果，空氣從壓電累10經(jīng)由閥101的第一通氣孔111、孔部121、第二通氣孔112而 朝袖套109送出（參照?qǐng)D7 )，袖套109內(nèi)的壓力(空氣壓)升高。
[0138] 此外，隔膜120W隔膜120的孔部121的周圍與閥座138接觸的方式而固定于第一閥 殼體191W及第二閥殼體192。而且，該閥座138對(duì)隔膜120的孔部121的周圍給予壓力。
[0139] 由此，經(jīng)由閥101的第一通氣孔111而從孔部121流出的空氣成為比壓電累10的排 出壓力稍低的壓力，從孔部121流入第一上閥室133W及第二上閥室134。另一方面，對(duì)第二 下閥室132施加壓電累10的排出壓力。
[0140] 其結(jié)果，在閥101中，第二下閥室132的壓力比第二上閥室134的壓力稍高，從而維 持隔膜120對(duì)第=通氣孔113進(jìn)行密封而將孔部121開放的狀態(tài)。
[0141] 此外，在該閥101中，如圖3、圖4所示，各閥室131、132、133、134的各自的外形是圓 形狀，因此對(duì)隔膜120(特別是孔部121附近的周圍）均衡地施加張力。
[0142] 因此，能夠抑制隔膜120的孔部121在相對(duì)于閥座138傾斜的狀態(tài)下抵接，并能夠抑 制隔膜120的孔部121相對(duì)于閥座138在水平方向偏離。因此，利用該閥101，能夠更可靠地進(jìn) 行各個(gè)閥的開閉。
[0143] 圖8是表示圖1所示的壓電累10剛剛停止驅(qū)動(dòng)之后的流體控制裝置100的空氣的流 動(dòng)的說明圖。
[0144] 若血壓的測(cè)定結(jié)束，則流體控制裝置100停止壓電累10的驅(qū)動(dòng)。此處，若壓電累10 的驅(qū)動(dòng)停止，則累室45、第一下閥室131W及第二下閥室132的空氣從壓電累10的吸引孔52 W及開口部92朝流體控制裝置100的外部迅速排氣。另外，在第一上閥室133與第二上閥室 134,從第二通氣孔112施加袖套109的壓力。
[0145] 其結(jié)果，在止回閥160中，第一下閥室131的壓力比第一上閥室133的壓力低。隔膜 120與閥座138抵接，從而對(duì)孔部121進(jìn)行密封。
[0146] 另外，在排氣閥170中，第二下閥室132的壓力比第二上閥室134的壓力低。隔膜120 從閥座139離開而將第=通氣孔113敞開。
[0147] 目P，在閥101中，第二通氣孔112與第S通氣孔113經(jīng)由連通路135W及第二上閥室 134連通。由此，袖套109的空氣經(jīng)由第二通氣孔112、連通路135 W及第二上閥室134而從第 =通氣孔113迅速排氣(參照?qǐng)D8)。
[0148] 因此，根據(jù)該實(shí)施方式的閥101，在袖套109填充了壓縮空氣后，能夠從袖套10則尋 空氣迅速排氣。
[0149] 另外，在閥101中，如上述那樣，第二密封件152的一部分位于第一下閥室131W及 第二下閥室132內(nèi)，第一密封件151的一部分位于第一上閥室133W及第二上閥室134內(nèi)。
[0150] 因此，第一密封件151 W及第二密封件152能夠進(jìn)行第一閥殼體191、第二閥殼體 192W及隔膜120的粘合，W及能夠進(jìn)行對(duì)存在于各閥室131、132、133、134內(nèi)的異物的捕捉。
[0151] 因此，根據(jù)閥101，即使例如有異物混入閥101內(nèi)，也能夠抑制由異物引起的錯(cuò)誤動(dòng) 作。特別是在排氣閥170中，能夠抑制由異物引起的閥座139的第S通氣孔113的關(guān)閉。
[0152] 另外，具備該實(shí)施方式的閥101的流體控制裝置100也能夠起到相同的效果。
[0153] 此外，閥101的性能通過壓力損失W及泄漏壓力來表示。特別是，空氣從壓電累10 驅(qū)動(dòng)期間的閥101的第一通氣孔朝第S通氣孔113的泄漏（leak),運(yùn)對(duì)閥101的性能 產(chǎn)生較大影響。
[0154] 壓力損失是止回閥160處于打開狀態(tài)時(shí)的損失。在隔膜120施加有張力，閥座138W 對(duì)隔膜120的孔部121的周圍給予壓力的方式而設(shè)置于第二閥殼體192。即，在隔膜120施加 有從第一上閥室133側(cè)朝向第一下閥室131側(cè)的應(yīng)力。
[0K5]因此，若使止回閥160處于打開的狀態(tài)，則第一上閥室133的壓力P2比第一下閥室 131的壓力Pl降低與上述的應(yīng)力對(duì)應(yīng)的量。壓力損失通過"壓力損失=第一下閥室131的壓 力Pl-第一上閥室133的壓力P2"的算式計(jì)算。
[0156] 由于該壓力損失，排氣閥170在空氣從閥101的第一通氣孔111向袖套109送入的期 間，始終施加有使排氣閥170處于關(guān)閉狀態(tài)的力(從第二下閥室132側(cè)將隔膜120按壓于閥座 139的力），因此排氣閥170處于關(guān)閉的狀態(tài)。
[0157] 此處，若壓力損失較小，則第一上閥室133的壓力P2與第一下閥室131的壓力Pl之 差變小。即，使排氣閥170處于關(guān)閉的狀態(tài)的力(從第二下閥室132側(cè)將隔膜120按壓于閥座 139的力)減少，從閥101的第一通氣孔朝向第S通氣孔113的空氣的泄漏（leak)增 加。
[0158] 若泄漏較多，則從閥101的第一通氣孔111向袖套109填充空氣時(shí)，效率變差。閥101 利用由隔膜120的張力所產(chǎn)生的壓力損失，抑制袖套109的空氣從第S通氣孔113泄漏。
[0159] 另外，泄漏壓力通過"泄漏壓力=壓電累10驅(qū)動(dòng)期間的袖