基礎(chǔ)上增加 數(shù)IOwii左右的厚度。隔板53A是在壓電促動(dòng)器40振動(dòng)時(shí)用于不使壓電促動(dòng)器40與曉性板51 接觸的隔板。
[0092] 在隔板53A的下表面設(shè)置有曉性板51。在曉性板51的中屯、設(shè)置有吸入孔52。
[0093] 在曉性板51的下表面設(shè)置有基板91。在基板91的中央部設(shè)置有圓柱形的開口部 92。曉性板51具有固定于基板91的固定部57和相比固定部57位于更靠中屯、側(cè)的位置并面對(duì) 開口部92的可動(dòng)部58。
[0094] 可動(dòng)部58通過伴隨著壓電促動(dòng)器40的振動(dòng)的空氣的壓力變動(dòng)，能夠W與壓電促動(dòng) 器40實(shí)際上相同的頻率振動(dòng)。將可動(dòng)部58的固有振動(dòng)頻率設(shè)計(jì)為與壓電促動(dòng)器40的驅(qū)動(dòng)頻 率相同或比壓電促動(dòng)器40的驅(qū)動(dòng)頻率稍低。
[00M]若將曉性板51的振動(dòng)相位設(shè)為比壓電促動(dòng)器40的振動(dòng)相位延遲(例如延遲90°)的 振動(dòng)，則曉性板51與壓電促動(dòng)器40之間的間隙的厚度變動(dòng)實(shí)際上增加。
[0096] 因此，若對(duì)外部端子63、72施加交流的驅(qū)動(dòng)電壓，則壓電促動(dòng)器40W同屯、圓狀彎曲 振動(dòng)。另外，伴隨著壓電促動(dòng)器40的振動(dòng)，曉性板51的可動(dòng)部58也振動(dòng)。由此，壓電累10經(jīng) 由開口部92W及吸入孔52將空氣向累室45吸引。并且，壓電累10從排出孔55、56將累室45的 空氣排出。
[0097] 此時(shí)，在壓電累10中，壓電促動(dòng)器40的周邊部實(shí)際上沒有被固定。因此，利用壓電 累10,能夠減少伴隨著壓電促動(dòng)器40的振動(dòng)的損失，能夠?qū)崿F(xiàn)小型?低背并且獲得較高的 排出壓力和較大的排出流量。
[0098] 接下來，利用圖1、圖3~圖6對(duì)閥101的構(gòu)造進(jìn)行詳述。
[0099] 圖3、圖4是圖1所示的閥101的分解立體圖。圖3是從與袖套109連接的上面?zhèn)扔^察 該閥101的分解立體圖，圖4是從與壓電累10接合的底面?zhèn)扔^察該閥101的分解立體圖。圖5 是構(gòu)成圖I所示的閥101的第二閥殼體192的仰視圖。圖6是圖I所示的閥101的主要部分的剖 視圖。
[0100] 此處，圖3、圖5、圖6記載有Z軸方向、Y軸方向、W及X軸方向。Z軸方向表示構(gòu)成閥 101的部件的層疊方向。X軸方向表示止回閥160、連通路135、W及排氣閥170的配設(shè)方向。Y 軸方向表示與Z軸方向W及X軸方向垂直的方向。
[0101] 此外，本實(shí)用新型的"第一孔"相當(dāng)于第二通氣孔112。并且，本實(shí)用新型的"第二 孔"相當(dāng)于第一通氣孔11〇、111。另外，本實(shí)用新型的"第一閥室"相當(dāng)于第一上閥室133W及 第二上閥室134。并且，本實(shí)用新型的"第二閥室"相當(dāng)于第一下閥室131W及第二下閥室 132。
[0102] 如圖1、圖3、圖4、圖5所示，閥101具備第二閥殼體192、由長方形的薄膜構(gòu)成的第二 密封件152、由長方形的薄膜構(gòu)成的隔膜120、由長方形的薄膜構(gòu)成的第一密封件151、W及 第一閥殼體191，閥101具有將它們依次層疊的構(gòu)造。
[0103] 如圖1、圖3、圖4所示，第一閥殼體191具有:與袖套109連通的第二通氣孔112、與流 體控制裝置100外部連通的第S通氣孔113、從第S通氣孔113的周圍朝隔膜120側(cè)突出的閥 座139、W及六個(gè)開口部182。第一閥殼體191例如由樹脂構(gòu)成。閥座139形成為在中央部具有 第=通氣孔113的圓筒形狀。
[0104] 從X軸方向俯視觀察時(shí)，第一閥殼體191的六個(gè)開口部182設(shè)置于比后述的第一下 閥室131W及第二下閥室132更靠周邊側(cè)的位置。關(guān)于六個(gè)開口部182,其中=個(gè)開口部182 沿著X軸方向配設(shè)。其他=個(gè)開口部182在隔著第一下閥室131W及第二下閥室132而在與上 述的開口部182相反的一側(cè)，W與上述=個(gè)開口部182并列的方式沿著X軸方向配設(shè)。
[0105] 如圖1所示，在第二閥殼體192的底面粘合有壓電累10的上表面。如圖1、圖3、圖4、 圖5所示，第二閥殼體192具有:與壓電累10的排出孔56連通的第一通氣孔110、與壓電累10 的排出孔55連通的第一通氣孔111、朝隔膜120側(cè)突出的圓柱狀的閥座138、W及與六個(gè)開口 部182對(duì)置的六個(gè)第一突出部180。第二閥殼體192例如由樹脂構(gòu)成。第二閥殼體192的六個(gè) 第一突出部180從X軸方向俯視觀察時(shí)設(shè)置于比后述的第一上閥室133W及第二上閥室134 更靠周邊側(cè)的位置。
[0106] 另外，從X軸方向俯視觀察時(shí)，第二閥殼體192在比六個(gè)第一突出部180更靠周邊側(cè) 的位置具有六個(gè)第二突出部181。
[0107] 在六個(gè)第一突出部180與六個(gè)開口部182嵌合的狀態(tài)下，當(dāng)從X軸方向俯視觀察時(shí)， 六個(gè)第二突出部181設(shè)置于比第一密封件151、隔膜120W及第二密封件152更靠周邊側(cè)的位 置。
[0108] 如圖1、圖3、圖4所示，在隔膜120,且在與閥座138對(duì)置的區(qū)域的中屯、部設(shè)置有圓形 的孔部121。孔部121的直徑設(shè)置為小于與隔膜120抵接的閥座138的面的直徑。隔膜120的外 周分別比第一閥殼體191和第二閥殼體192的外周小。隔膜120例如由EPDM(乙丙橡膠）、娃橡 膠等橡膠構(gòu)成。
[0109] 通過六個(gè)第一突出部180與六個(gè)開口部182嵌合，隔膜120經(jīng)由第一密封件151W及 第二密封件152被第一閥殼體191W及第二閥殼體192夾持。
[0110] 由此，如圖6所示，隔膜120覆蓋了從X軸方向俯視觀察時(shí)比第一閥殼體191的六個(gè) 開口部182更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域，并覆蓋了從X軸方向俯視觀察時(shí)比第二閥殼體192的六個(gè)第一 突出部180更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域，隔膜120與閥座138接觸，并且孔部121的周圍與閥座138接觸。 閥座138W對(duì)隔膜120的孔部121的周圍給予壓力的方式而設(shè)置于第二閥殼體192。
[0111] 隔膜120對(duì)第一閥殼體191W及第二閥殼體192內(nèi)進(jìn)行分割。隔膜120與第一閥殼體 191W及第二閥殼體192共同構(gòu)成止回閥160,其中，止回閥160具有與第一通氣孔111連通的 環(huán)狀的第一下閥室131 W及經(jīng)由連通路135與第二通氣孔112連通的圓柱狀的第一上閥室 133。
[0112] 另外，隔膜120與第一閥殼體191W及第二閥殼體192共同構(gòu)成排氣閥170，其中，排 氣閥170具有與第一通氣孔110連通的圓柱狀的第二下閥室132W及經(jīng)由連通路135與第一 上閥室133連通的環(huán)狀的第二上閥室134。
[0113] 各個(gè)閥室的形狀是從垂直于隔膜120的方向俯視情況下的形狀。止回閥160、連通 路135 W及排氣閥170沿著X軸方向設(shè)置。
[0114] 第一下閥室131、第二下閥室132、第一上閥室133W及第二上閥室134各自的直徑 例如為7. Omm。與隔膜12 0抵接的閥座13 8的面的直徑例如為1.5mm。
[0115] 在第一密封件151，且在面對(duì)第一上閥室133、連通路135W及第二上閥室134的區(qū) 域設(shè)置有第二貫通孔156A~156C。第二貫通孔156A是例如形成為中屯、軸大致與第一上閥室 133相同的圓形狀。第二貫通孔156B例如形成為中屯、軸大致與第二上閥室134相同的圓形 狀。
[0116] 第二貫通孔156A、156B的各自的直徑例如是6.6mm。即，第一密封件151的外周分別 比第一閥殼體191和第二閥殼體192的外周小。第一密封件151例如包括雙面膠帶或粘合劑。
[0117] 接下來，在第二密封件152,且在面對(duì)第一下閥室131W及第二下閥室132的區(qū)域， 設(shè)置有第一貫通孔155A、155B。第一貫通孔155A例如形成為中屯、軸大致與第一下閥室131相 同的圓形狀。第一貫通孔155B例如形成為中屯、軸大致與第二下閥室132相同的圓形狀。
[011引第一貫通孔155AU55B的各自的直徑例如為6.6mm。即，第二密封件152的外周分 別比第一閥殼體191和第二閥殼體192的外周小。第二密封件152例如包括雙面膠帶或粘合 劑。
[0119] 第一貫通孔155A的直徑比閥座138的直徑大，且比第一下閥室131的直徑小。即，第 一貫通孔155A的外周比閥座138的外周大，且比第一下閥室131的外周小。同樣，第一貫通孔 155B的直徑比第二下閥室132的直徑小。即，第一貫通孔155B的外周比第二下閥室132的外 周小。
[0120] W上，在閥101中，第一密封件151的一部分位于第一上閥室133W及第二上閥室 134內(nèi)。同樣，第二密封件152的一部分位于第一下閥室131W及第二下閥室132內(nèi)。如圖1所 示，閥101具有止回閥160和排氣閥170。
[0121] 首先，止回閥160由如下部分構(gòu)成，即：具備第一通氣孔111的第二閥殼體192的一 部分、具備第二通氣孔112的第一閥殼體191的一部分、隔膜120的孔部121的周圍、W及與該 周圍抵接而覆蓋孔部121的閥座138。止回閥160允許流體從第一下閥室131側(cè)朝第一上閥室 133側(cè)流動(dòng)，并遮斷流體從第一上閥室133側(cè)朝第一下閥室131側(cè)的流動(dòng)。
[0122] 止回閥160利用第一下閥室131與第一上閥室133之間的壓力差而使隔膜120相對(duì) 于閥座138抵接或者分離。
[0123] 接下來，排氣閥170由如下部分構(gòu)成，即：具備第一通氣孔110的第二閥殼體192