1.一種音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)二維超精密定位平臺(tái)，其特征在于：包括平臺(tái)底座(1)、移動(dòng)平臺(tái)(2)、第一、二導(dǎo)軌(3、4)、第一、二電機(jī)(5、6)以及第一、二光柵尺(9、10)，其中，平臺(tái)底座(1)由橫底座(101)和豎底座(102)組成，第一電機(jī)(5)安裝于橫底座(101)上；移動(dòng)平臺(tái)(2)包括上下移動(dòng)平臺(tái)(7)和前后移動(dòng)平臺(tái)(8)，上下移動(dòng)平臺(tái)(7)固連在第一電機(jī)(5)上方由第一電機(jī)(5)驅(qū)動(dòng)沿著鋪設(shè)于豎底座(102)的第一導(dǎo)軌(3)上下移動(dòng)，并由分別安裝在豎底座(102)側(cè)面的第一光柵尺(9)讀數(shù)尺和上下移動(dòng)平臺(tái)(7)側(cè)面的第一光柵尺(9)讀數(shù)頭配合測(cè)量上下位移量；前后移動(dòng)平臺(tái)(8)位于上下移動(dòng)平臺(tái)(7)上方，由安裝在上下移動(dòng)平臺(tái)(7)上的第二電機(jī)(6)驅(qū)動(dòng)沿著鋪設(shè)于上下移動(dòng)平臺(tái)(7)上的第二導(dǎo)軌(4)前后移動(dòng)，并由分別安裝在上下移動(dòng)平臺(tái)(7)側(cè)面的第二光柵尺(10)讀數(shù)頭和前后移動(dòng)平臺(tái)(8)側(cè)面的第二光柵尺(10)讀數(shù)尺配合測(cè)量前后位移量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)二維超精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述第一、二電機(jī)(5、6)均為音圈電機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)二維超精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述第一、二光柵尺(9、10)均為增量式光柵尺。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)二維超精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述第一、二電機(jī)(5、6)由安裝在豎底座(102)另一面的DC驅(qū)動(dòng)器(11)驅(qū)動(dòng)，而該DC驅(qū)動(dòng)器(11)接收到的控制命令由設(shè)于其上方的控制器(12)發(fā)出。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)二維超精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述控制器(12)包括控制模式選擇模塊(1101)、限定增益設(shè)定模塊(1102)、控制參數(shù)設(shè)定模塊(1103)、移動(dòng)距離和移動(dòng)速度設(shè)定模塊(1104)以及顯示模塊(1105)；
其中，控制模式選擇模塊(1101)，包括電流控制模式、速度控制模式、位置控制模式；
限定增益設(shè)定模塊(1102)，設(shè)定DC驅(qū)動(dòng)器的限制和增益，減少定位平臺(tái)的震動(dòng)，提高平臺(tái)的響應(yīng)性能；
控制參數(shù)設(shè)定模塊(1103)，設(shè)定移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)時(shí)的最高速度、加速度和減速度、回零方式；
移動(dòng)距離和移動(dòng)速度設(shè)定模塊(1104)，設(shè)定移動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)距離和移動(dòng)速度；
顯示模塊(1105)，顯示當(dāng)前各種操作數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)二維超精密定位平臺(tái)，其特征在于：所述控制器(12)和DC驅(qū)動(dòng)器(11)之間通過(guò)串口通訊傳輸數(shù)據(jù)。