技術編號：11370967
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及精密測距的技術領域，尤其涉及到一種音圈電機驅(qū)動二維超精密定位平臺。背景技術隨著科學技術的發(fā)展，對超精密位移平臺的性能要求越來越高，超精密位移平臺越來越趨向微型化、商業(yè)化、精準化。超精密位移平臺越來越廣泛應用于：新型機械制造、超精密加工、生物工程、集成電路制造、醫(yī)療科學、掃描探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、光學調(diào)整、光纖對接。普通的超精密位移平臺多采用步進電機作為驅(qū)動電機和滾珠絲杠作為傳動機構(gòu)的配合結(jié)構(gòu)，在滿足相同的位移以及相同的載荷時，該結(jié)構(gòu)的體積相對較大，同時滾珠絲杠的傳動機構(gòu)會存在...
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