本發(fā)明涉及節(jié)流單元、具備該節(jié)流單元的靜壓軸承裝置以及帶槽塊體的制造方法。

背景技術(shù)：

在機(jī)床中，靜壓軸承用作直動(dòng)軸或者旋轉(zhuǎn)軸的工作臺(tái)的引導(dǎo)裝置。在靜壓軸承中，例如在為直動(dòng)軸的情況下，向形成于滑動(dòng)件或者引導(dǎo)件的軸承面的靜壓凹部供給油、空氣等工作流體，利用工作流體的靜壓力而使滑動(dòng)件從作為固定部的引導(dǎo)件浮起，從而能夠使滑動(dòng)件沿著引導(dǎo)件以非接觸的方式移動(dòng)。

通常，為了獲得靜壓軸承的剛性，需要如下構(gòu)造：在從泵向靜壓凹部供給工作流體的配管的中途設(shè)置成為配管阻力的節(jié)流單元(配管阻力裝置)，對(duì)從泵供給的工作流體的流量進(jìn)行節(jié)流。在成為節(jié)流的路徑的微小流路的截面積越小或者越長時(shí)，配管阻力亦即節(jié)流的強(qiáng)度越強(qiáng)。靜壓凹部內(nèi)的工作流體的壓力成為由泵供給的壓力的0.5倍的節(jié)流的強(qiáng)度是最佳的節(jié)流強(qiáng)度，能夠獲得最大的軸承剛性。

作為通常的節(jié)流單元，存在使用注射針那樣的細(xì)管的節(jié)流單元(以下，稱為“針節(jié)流件”)、將外螺紋與內(nèi)螺紋的間隙的微小流路設(shè)為節(jié)流件的節(jié)流單元(以下，稱為“螺紋節(jié)流件”)。螺紋節(jié)流件例如在日本特開平11-210905號(hào)公報(bào)中公開。

作為針節(jié)流件的問題點(diǎn)，能夠列舉如下幾點(diǎn)：用于組裝針的構(gòu)造復(fù)雜且耗費(fèi)組裝工時(shí)；針的內(nèi)徑的誤差容易體現(xiàn)為節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異且節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異較大；針容易脫落而使可靠性較差從而存在節(jié)流強(qiáng)度因該影響而連續(xù)變化的可能性；在針的粗細(xì)存在限度，為了實(shí)現(xiàn)恒定以上的節(jié)流強(qiáng)度而需要形成特殊形狀的較長的細(xì)管而使成本變高；在針堵塞垃圾等異物時(shí)的清掃較困難。

作為螺紋節(jié)流件的問題，能夠列舉如下幾點(diǎn)：構(gòu)成部件較多使構(gòu)造復(fù)雜且耗費(fèi)組裝工時(shí)；必須進(jìn)行精確的調(diào)整且因該調(diào)整狀態(tài)而使節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異大；存在節(jié)流強(qiáng)度因螺紋的松弛而連續(xù)變化的可能性；部件件數(shù)多而使成本高；堵塞有垃圾等異物時(shí)的清掃困難。

作為克服上述的問題點(diǎn)的一部分的節(jié)流單元存在如下節(jié)流單元(以下，稱為“槽節(jié)流件”)：將在平面進(jìn)行槽加工的塊體與平面的塊體重疊而形成的微小流路作為節(jié)流件。日本特開2006-266358號(hào)公報(bào)所記載的槽節(jié)流件利用截面為大致正方形的簡單的槽形狀與簡單的部件結(jié)構(gòu)形成微小流路，因此存在消除了出現(xiàn)于針節(jié)流件、螺紋節(jié)流件的構(gòu)成部件的脫落、位置偏移所引起的組裝后節(jié)流強(qiáng)度連續(xù)變化的可能性的優(yōu)點(diǎn)。

另外，日本特開2006-266358號(hào)公報(bào)所記載的槽節(jié)流件通過層疊在形成微小流路的平面進(jìn)行槽加工的塊體而使流路(節(jié)流的路徑)延長，能夠階段性地變更節(jié)流的強(qiáng)度，能夠在一定程度的范圍內(nèi)抑制節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

如上所述，在成為節(jié)流的路徑的微小流路的截面積越小或者越長時(shí)，節(jié)流的強(qiáng)度越強(qiáng)。通常，流路的阻力與流路長度成比例，與流路直徑的四次方(截面積的平方)成反比例。即，在構(gòu)成截面積的槽寬與槽深中，特別地，對(duì)相當(dāng)于上述的流路直徑的槽深的形成進(jìn)一步要求正確性。

如上所述，槽深是影響節(jié)流強(qiáng)度的重要的因素，但日本特開2006-266358號(hào)公報(bào)的截面呈大致正方形，在作為檢查其槽深的方法而使用顯微鏡從上方觀察槽的通常的方法中，即使能夠測(cè)定槽寬，也無法測(cè)定顯微鏡的視野中的成為進(jìn)深方向的槽深。

在通過加工形成槽形狀的情況下，槽深取決于加工裝置的機(jī)械精度。在機(jī)械加工的例子中，槽深相對(duì)于目標(biāo)值通常包含50μm左右的誤差。因此，即使想做成槽深100μm的截面為大致正方形，加工后的槽深也為75μm～125μm具有±25％的誤差，在該槽單體中，致使節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異為±56％非常大。

為了縮小上述的個(gè)體差異，需要減少包含于槽深的50μm左右的誤差的影響，需要擴(kuò)大槽寬與槽深來擴(kuò)大截面積，并且使槽的長度伸長。例如，若將槽深的目標(biāo)值設(shè)為上述的10倍的1000μm(1mm)的截面呈大致正方形，則加工后的槽深所占的誤差成為10分之1的±2.5％，在該槽單體中，節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異能夠抑制為±5％。然而，為了使槽節(jié)流的強(qiáng)度與以往同等，需要使流路長伸長到100倍。

日本特開2006-266358號(hào)公報(bào)的特征在于，作為使槽的長度伸長的方法，在一個(gè)塊體平面設(shè)置由多個(gè)直線構(gòu)成的槽或者追加設(shè)置了槽的塊體。但是，加工的槽形狀變得復(fù)雜，因此加工工時(shí)增加而成本變高，并且容易堵塞垃圾等異物而存在節(jié)流強(qiáng)度連續(xù)變化的可能性，另外還使清掃變得困難。另外，作為部件件數(shù)增加的影響，導(dǎo)致成本變高、構(gòu)造大型化。

影響加工裝置的機(jī)械精度的因素是機(jī)械的氣氛溫度的影響所引起的熱位移等。若能夠在加工后測(cè)定槽深，則能夠在機(jī)械側(cè)施加修正(熱位移修正等)而進(jìn)行更加正確的加工。因此，能夠在加工后測(cè)定槽深可以稱為是非常重要的。

靜壓軸承所使用的節(jié)流單元優(yōu)選構(gòu)造簡單、節(jié)流的個(gè)體差異較少、節(jié)流強(qiáng)度不連續(xù)變化、低成本且小型、清掃較容易，但全部滿足上述條件的節(jié)流單元并不存在。另外，如日本特開2006-266358號(hào)公報(bào)的微小槽那樣，在槽的截面呈大致正方形的情況下，即使截面形狀的槽深因加工裝置的機(jī)械精度而不同，通過來自上方的觀察能夠觀察的形狀也相同。因此，無法測(cè)定顯微鏡的視野中的成為進(jìn)深方向的槽深，正確地加工槽也較困難。

本發(fā)明是考慮上述的課題而完成的，其目的在于提供一種如下節(jié)流單元、具備該節(jié)流單元的靜壓軸承裝置以及帶槽塊體的制造方法：通過使用顯微鏡從上方觀察槽的通常的方法，能夠與槽寬一同測(cè)定槽深，從而能夠進(jìn)行正確的槽加工，進(jìn)而能夠獲得正確的槽形狀。

為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明為一種節(jié)流單元，使工作流體從至少一個(gè)供給孔流入，使所流入的上述工作流體流向微小的節(jié)流流路，使通過了上述節(jié)流流路的上述工作流體從至少一個(gè)排出孔流出，其特征在于，具備：在平面上具有至少一個(gè)微小槽的帶槽塊體；以及具有與上述微小槽對(duì)置的平面的對(duì)置塊體，上述帶槽塊體與上述對(duì)置塊體相互對(duì)置地以能夠裝卸方式進(jìn)行結(jié)合，由上述微小槽和上述對(duì)置塊體的上述平面形成上述節(jié)流流路，上述微小槽的至少一個(gè)面由相對(duì)于上述帶槽塊體的上述平面傾斜的斜面或者曲面構(gòu)成。

根據(jù)采用了上述的構(gòu)成的本發(fā)明的節(jié)流單元，將微小槽的截面形狀形成例如三角形、梯形、除了大致方形的多邊形、圓弧形或者它們的組合而獲得的形狀，從而能夠通過使用顯微鏡從與平面垂直的方向觀察微小槽的通常的方法，與槽寬一同測(cè)定槽深。由于能夠測(cè)定槽深，從而能夠基于加工結(jié)果在機(jī)械(加工裝置)側(cè)施加修正而進(jìn)行更加正確的加工，進(jìn)而能夠獲得正確的槽形狀。

在上述的節(jié)流單元中，上述微小槽也可以從上述供給孔至上述排出孔以直線狀延伸。

根據(jù)該構(gòu)成，與現(xiàn)有技術(shù)那樣的由多個(gè)直線狀構(gòu)成的彎折的微小槽不同，容易制作(切削加工)微小槽，從而能夠防止在微小槽的角部(彎折位置)積存異物。

在上述的節(jié)流單元中，也可以使多個(gè)上述微小槽經(jīng)由上述供給孔配置在同一直線上。

根據(jù)該構(gòu)成，在微小槽的加工時(shí)，橫跨供給孔進(jìn)行一次槽加工，從而能夠?qū)⒈还┙o孔斷開的槽使用為分別獨(dú)立的微小槽。相對(duì)于一條加工路徑形成多個(gè)微小槽，因此能夠減少加工所需的工時(shí)。

在上述的節(jié)流單元中，也可以相對(duì)于一個(gè)上述供給孔連通多個(gè)上述節(jié)流流路，在多個(gè)上述節(jié)流流路分別連通有相互獨(dú)立的上述排出孔，供給至一個(gè)上述供給孔的上述工作流體向多個(gè)上述節(jié)流流路分支而從多個(gè)上述排出孔排出。

根據(jù)該構(gòu)成，能夠減少設(shè)置于靜壓軸承裝置的節(jié)流單元的個(gè)數(shù)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化、構(gòu)造的簡化、配管的省略。因此，不需要用于變更節(jié)流的強(qiáng)度的追加部件，從而部件件數(shù)、密封位置、配管為最小限度即可。另外，構(gòu)造簡單，加工工時(shí)與組裝工時(shí)較少即可，從而節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異較小，成本也廉價(jià)，能夠容易進(jìn)行清掃。

在上述的節(jié)流單元中，上述帶槽塊體或者上述對(duì)置塊體也可以兼作滑動(dòng)的部件、引導(dǎo)的部件或者其他的節(jié)流單元的部件。

由此，實(shí)際上能夠由一個(gè)部件構(gòu)成節(jié)流單元，因此能夠期待構(gòu)造的簡化、部件件數(shù)減少、省空間化、配管省略等效果。

在上述的節(jié)流單元中，上述微小槽也可以在從上述供給孔至上述排出孔的流路的至少一部分使槽寬以及槽深連續(xù)地變化。

根據(jù)該構(gòu)成，當(dāng)異物會(huì)堵塞時(shí)，在微小槽的截面形狀較小的位置容易聚集異物。由此，在分解清掃作業(yè)時(shí)容易確認(rèn)異物堵塞在何處，從而能夠高效地除去異物。

在上述的節(jié)流單元中，上述微小槽的從上述供給孔至上述排出孔的流路的深度的最小值也可以為1000μm以下。

另外，本發(fā)明為一種靜壓軸承裝置，在具有移動(dòng)部和固定部的直動(dòng)軸構(gòu)造或者旋轉(zhuǎn)軸構(gòu)造中，靜壓軸承構(gòu)成于上述移動(dòng)部與上述固定部之間，其特征在于，具備：向形成于上述移動(dòng)部或者上述固定部的靜壓凹部供給工作流體的流體供給管路；以及設(shè)置于上述流體供給管路的節(jié)流單元，上述節(jié)流單元是上述任一個(gè)所記載的節(jié)流單元。

另外，本發(fā)明為一種帶槽塊體的制造方法，該帶槽塊體在平面上具有至少一個(gè)微小槽，其特征在于，上述帶槽塊體為節(jié)流單元的構(gòu)成部件，上述節(jié)流單元使工作流體從至少一個(gè)供給孔流入，使所流入的上述工作流體流向微小的節(jié)流流路，使通過了上述節(jié)流流路的上述工作流體從至少一個(gè)排出孔流出，上述節(jié)流單元具備上述帶槽塊體以及具有與上述微小槽對(duì)置的平面的對(duì)置塊體，上述帶槽塊體與上述對(duì)置塊體相互對(duì)置地以能夠裝卸的方式進(jìn)行結(jié)合，由上述微小槽和上述對(duì)置塊體的上述平面形成上述節(jié)流流路，上述帶槽塊體的制造方法包括：切削工序，通過切削加工在材料塊體的平面形成至少一個(gè)面由相對(duì)于上述材料塊體的上述平面傾斜的斜面或者曲面構(gòu)成的微小槽；深度計(jì)算工序，利用顯微鏡從與上述材料塊體的上述平面垂直的方向觀察形成于上述切削工序的上述微小槽，并且對(duì)觀察到的上述微小槽的槽深進(jìn)行計(jì)算；以及修正工序，基于計(jì)算出的上述槽深，對(duì)進(jìn)行切削加工的加工裝置進(jìn)行修正。

根據(jù)本發(fā)明的節(jié)流單元，通過使用顯微鏡從上方觀察微小槽的通常的方法中，能夠與槽寬一同測(cè)定槽深，從而能夠進(jìn)行正確的槽加工，進(jìn)而能夠獲得正確的槽形狀。因此，通過搭載本發(fā)明的節(jié)流單元，從而能夠?qū)崿F(xiàn)部件的重量減少、小型化、部件件數(shù)與制造工序減少所帶來的成本減少、可靠性的提高以及分解清掃的容易化所帶來的維護(hù)性的提高。

上述的目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)能夠根據(jù)參照附圖說明的以下的實(shí)施方式的說明變得容易理解。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的靜壓軸承裝置的簡要剖視圖。

圖2是圖1所示的靜壓軸承裝置的節(jié)流單元的分解立體圖。

圖3a是設(shè)置有第一構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體的俯視圖，圖3b是沿著圖3a的iiib-iiib線的剖視圖。

圖4a是設(shè)置有第一構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體(與圖3a相比槽深變深的例子)的俯視圖，圖4b是沿著圖4a的ivb-ivb線的剖視圖。

圖5a是設(shè)置有第二構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體的俯視圖，圖5b是沿著圖5a的vb-vb線的剖視圖。

圖6a是設(shè)置有第二構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體(與圖5a相比槽深變深的例子)的俯視圖，圖6b是沿著圖6a的vib-vib線的剖視圖。

圖7a是設(shè)置于第三構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體的俯視圖，圖7b是沿著圖7a的viib-viib線的剖視圖。

圖8a是設(shè)置有第三構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體(與圖7a相比槽深變深的例子)的俯視圖，圖8b是沿著圖8a的viiib-viiib線的剖視圖。

圖9a是設(shè)置有第四構(gòu)成例的微小槽的帶槽塊體的俯視圖，圖9b是沿著圖9a的ixb-ixb線的剖視圖，圖9c是沿著圖9a的ixc-ixc線的剖視圖。

圖10a是本發(fā)明的其他的實(shí)施方式的靜壓軸承裝置的簡要剖視圖，圖10b是圖10a所示的靜壓軸承裝置的節(jié)流單元的分解立體圖。

圖11是本發(fā)明的又一其他的實(shí)施方式的靜壓軸承裝置的分解立體圖。

圖12是圖11所示的靜壓軸承裝置的帶槽塊體的主視圖。

具體實(shí)施方式

以下，針對(duì)本發(fā)明的節(jié)流單元、具備該節(jié)流單元的靜壓軸承裝置以及帶槽塊體的制造方法，列舉優(yōu)選的實(shí)施方式，參照附圖來進(jìn)行說明。

圖1所示的靜壓軸承裝置10a具備軸承單元12以及安裝于軸承單元12的節(jié)流單元14a。詳細(xì)構(gòu)造雖未圖示，但軸承單元12具備具有作為固定部的引導(dǎo)件以及作為可動(dòng)部的滑動(dòng)件的直動(dòng)軸構(gòu)造，在滑動(dòng)件或者引導(dǎo)件的軸承面設(shè)置有多個(gè)靜壓凹部。若向靜壓凹部供給空氣等工作流體，則能夠利用工作流體的靜壓力使滑動(dòng)件從引導(dǎo)件浮起，從而使滑動(dòng)件沿著引導(dǎo)件以非接觸的方式移動(dòng)。此外，軸承單元12也可以具備旋轉(zhuǎn)軸構(gòu)造。

節(jié)流單元14a安裝于上述的軸承單元12的滑動(dòng)件或者引導(dǎo)件。如圖1以及圖2所示，節(jié)流單元14a具備：使工作流體流入的供給孔16；對(duì)所流入的工作流體的流量進(jìn)行節(jié)流的節(jié)流流路18；以及使通過了節(jié)流流路18的工作流體流出的排出孔20。在供給孔16經(jīng)由流路供給管路而連接有作為工作流體的供給源的泵22。排出孔20與上述的軸承單元12的靜壓凹部連通。

具體而言，節(jié)流單元14a具備：具有平面15與形成于該平面15的微小槽25的帶槽塊體24；以及能夠裝卸于帶槽塊體24且具有與微小槽25對(duì)置的平面27的對(duì)置塊體26。就帶槽塊體24與對(duì)置塊體26而言，在組裝狀態(tài)下，接合為相互對(duì)置。由微小槽25與對(duì)置塊體26的平面27形成節(jié)流流路18。

供給孔16形成于對(duì)置塊體26。供給孔16沿厚度方向貫通對(duì)置塊體26。具體而言，供給孔16具有導(dǎo)入部30以及形成于比導(dǎo)入部30更靠下游側(cè)(帶槽塊體24側(cè))的擴(kuò)散部32。擴(kuò)散部32使工作流體向與對(duì)置塊體26的厚度方向垂直的方向(多個(gè)微小槽25的相互分離方向)擴(kuò)散，向后述的多個(gè)節(jié)流流路18供給工作流體。

節(jié)流流路18是構(gòu)成為通過對(duì)工作流體的流量進(jìn)行節(jié)流而對(duì)工作流體的壓力進(jìn)行減壓的微小流路。節(jié)流流路18(微小槽25)在供給孔16與排出孔20之間呈直線狀延伸。就微小槽25而言，從供給孔16至排出孔20的流路的深度的最小值只要為1000μm以下即可。

在帶槽塊體24形成有多個(gè)(在圖示例中為三個(gè))微小槽25。因此，節(jié)流單元14a具有相互獨(dú)立的多個(gè)(在圖示例中為三個(gè))節(jié)流流路18。相對(duì)于一個(gè)供給孔16連通有多個(gè)節(jié)流流路18。即，節(jié)流單元14a具有與多個(gè)節(jié)流流路18共通的一個(gè)供給孔16。

排出孔20形成于帶槽塊體24。排出孔20在厚度方向上貫通對(duì)置塊體26。節(jié)流單元14a具有與節(jié)流流路18數(shù)目相同的排出孔20。即，在多個(gè)節(jié)流流路18的每一個(gè)連通有相互獨(dú)立的排出孔20。因此，在該節(jié)流單元14a中，供給至一個(gè)供給孔16的工作流體向多個(gè)節(jié)流流路18分支，從多個(gè)排出孔20排出，向設(shè)置于軸承單元12的多個(gè)靜壓凹部供給。

接下來，對(duì)形成于帶槽塊體24的微小槽25的構(gòu)成更加具體地進(jìn)行說明。微小槽25的至少一個(gè)面由相對(duì)于帶槽塊體24的平面15傾斜的斜面或者曲面構(gòu)成。上述的微小槽25的截面形狀例如是三角形、梯形、除了大致方形的多邊形、圓弧形或者它們的組合而獲得的形狀。由此，通過使用顯微鏡從上方觀察槽的通常的方法，能夠與微小槽25的槽寬一同測(cè)定槽深。微小槽25能夠通過對(duì)具有平面的金屬制的材料塊體進(jìn)行切削加工而形成。

以下，針對(duì)微小槽25的截面形狀圖案，例示幾個(gè)構(gòu)成。此外，在圖3～圖8的每一個(gè)中，a是從微小槽25的上方觀察的例子(俯視圖)，b是表示微小槽25的截面形狀的剖視圖。在這些圖中，例如由v包圍的范圍是顯微鏡的視野。

作為微小槽25的一個(gè)例子(第一構(gòu)成例)，圖3a以及圖3b所示的微小槽25a具有梯形的截面形狀。在微小槽25a中，相當(dāng)于梯形的下底的底面的寬度小于相當(dāng)于梯形的上底的開口部的寬度(槽寬)。在圖示例的微小槽25a中，相當(dāng)于梯形的兩個(gè)腳的側(cè)面34雙方均相對(duì)于帶槽塊體24的厚度方向傾斜。此外，微小槽25a的任一方的側(cè)面34也可以與帶槽塊體24的厚度方向平行。圖4a以及圖4b表示雖使用相同的形狀的切削工具對(duì)截面形狀為梯形的微小槽25a進(jìn)行了加工，但因加工裝置的機(jī)械精度不同而使截面形狀的槽深與圖3a以及圖3b的微小槽25a相比加深的例子。

作為微小槽25的其他的例子(第二構(gòu)成例)，圖5a以及圖5b所示的微小槽25b具有圓弧形的截面形狀。圖6a以及圖6b表示雖使用相同的形狀的切削工具對(duì)截面形狀為圓弧形的微小槽25b進(jìn)行了加工，但因加工裝置的機(jī)械精度不同而使截面形狀的槽深與圖5a以及圖5b的微小槽25b相比加深的例子。

作為微小槽25的又一其他的例子(第三構(gòu)成例)，圖7a以及圖7b所示的微小槽25c具有除了大致方形的多邊形的截面形狀。圖8a以及圖8b表示雖使用相同的形狀的切削工具對(duì)截面形狀為除了大致方形的多邊形的微小槽25c進(jìn)行了加工，但因加工裝置的機(jī)械精度不同而使截面形狀的槽深與圖7a以及圖7b的微小槽25c相比加深的例子。

若將從上方觀察的例子亦即圖3a與圖4a、圖5a與圖6a、圖7a與圖8a分別相比，則明確即便在利用相同的形狀的切削工具進(jìn)行了加工的情況下，所觀察的槽寬也與槽深的變化對(duì)應(yīng)地變化。即，若為相同的形狀的切削工具，則槽深越深，槽寬也越大。

對(duì)于具有這些截面形狀的微小槽25a～25c而言，由于切削工具的形狀為已知，所以若知曉槽寬，則能夠計(jì)算槽深。例如，在具有梯形的截面形狀的微小槽25a(圖3b)的情況下，能夠基于槽寬w1計(jì)算槽深d?；蛘撸谖⑿〔?5a的情況下，能夠基于傾斜的寬度w2(從上方觀察時(shí)的傾斜的側(cè)面34的寬度)計(jì)算槽深d。具有其他的截面形狀的微小槽25也能夠基于槽寬或者與構(gòu)成微小槽25的面中的槽深對(duì)應(yīng)地變化的部分的寬度計(jì)算槽深。

如以上說明的那樣，在節(jié)流單元14a中，微小槽25的至少一個(gè)面由相對(duì)于帶槽塊體24的平面15傾斜的斜面或者曲面構(gòu)成。因此，將微小槽25的截面形狀形成例如三角形、梯形、除了大致方形的多邊形、圓弧形或者它們的組合而獲得的形狀，從而能夠通過使用顯微鏡從上方(與平面15垂直的方向)觀察微小槽25的通常的方法，與槽寬一同測(cè)定槽深。通過能夠測(cè)定微小槽25的槽深，從而能夠基于加工結(jié)果對(duì)加工裝置施加修正(熱位移修正等)，由此進(jìn)行更加正確的加工，進(jìn)而能夠獲得正確的槽形狀。

如上所述，帶槽塊體24的制造方法包括切削工序、計(jì)算工序以及修正工序。在切削工序中，在材料塊體的平面通過切削加工形成至少一個(gè)面由相對(duì)于材料塊體的平面傾斜的斜面或者曲面構(gòu)成的微小槽25。在計(jì)算工序中，通過顯微鏡從與材料塊體(帶槽塊體24)的平面垂直的方向觀察在切削工序中形成的微小槽25，并計(jì)算觀察到的微小槽25的槽深。在修正工序中，基于在計(jì)算工序中計(jì)算出的槽深，對(duì)進(jìn)行切削加工的加工裝置施加修正。

在上述的日本特開2006-266358號(hào)公報(bào)中，連接延伸方向相互不同的多個(gè)直線狀的微小槽，從而獲得流路長度，因此容易在微小槽的角部(彎折位置)堵塞異物。與此相對(duì)，在本實(shí)施方式的節(jié)流單元14a中，即使縮小節(jié)流流路18的截面形狀，并縮短流路長，也能夠獲得所希望的節(jié)流強(qiáng)度，因此能夠?qū)⒐?jié)流流路18形成為從供給孔16延伸至排出孔20的簡單的直線狀。由此，微小槽25的制作(切削加工)變得容易，并且能夠抑制在微小槽25堵塞異物。

另外，在該節(jié)流單元14a中，相對(duì)于一個(gè)供給孔16連通有多個(gè)節(jié)流流路18，在多個(gè)節(jié)流流路18的每一個(gè)連通有相互獨(dú)立的排出孔20，供給至一個(gè)供給孔16的工作流體向多個(gè)節(jié)流流路18分支而從多個(gè)排出孔20排出。根據(jù)該構(gòu)成，能夠減少設(shè)置于靜壓軸承裝置10a的節(jié)流單元14a的個(gè)數(shù)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化、構(gòu)造的簡化、配管的省略。因此，不需要用于變更節(jié)流的強(qiáng)度的追加部件，從而部件件數(shù)、密封位置、配管為最小限度即可。另外，能夠?qū)崿F(xiàn)構(gòu)造簡單，加工工時(shí)與組裝工時(shí)較少即可，節(jié)流強(qiáng)度的個(gè)體差異較小，成本也廉價(jià)，容易進(jìn)行清掃。

因此，通過搭載節(jié)流單元14a，從而能夠?qū)崿F(xiàn)部件的重量減少、小型化、部件件數(shù)與制造工序減少所帶來的成本減少、可靠性的提高以及分解清掃的容易化所帶來的維護(hù)性的提高。

然而，如上所述，微小槽25能夠形成簡單的直線形狀，從而垃圾等異物難以堵塞。然而，也存在節(jié)流流路18(微小槽25)的截面形狀較小的情況，按照所供給的工作流體的清洗度，是無法將異物堵塞的可能性完全消除。因此，在分解清掃作業(yè)時(shí)需要確認(rèn)異物堵塞在何處并將該異物除去。

因此，作為微小槽25的又一其他的例子(第四構(gòu)成例)，在圖9a～圖9c所示的微小槽25d中，在其全長(供給孔16至排出孔20之間)的至少一部分，槽寬以及槽深連續(xù)地變化。在微小槽25d中，槽寬以及槽深也可以遍布其全長連續(xù)地變化。在圖9a～圖9c中，例示了具有梯形的截面形狀的微小槽25d。具體而言，如圖9a所示，在微小槽25d中，槽寬沿著微小槽25d的延伸方向連續(xù)地變化。如圖9b以及圖9c所示，在不同位置的截面中，截面形狀的大小(槽寬以及槽深)不同。

此外，槽寬以及槽深連續(xù)地變化的微小槽25d的截面形狀可以呈與圖5a～圖6b所示的微小槽25b相同的圓弧形，或者也可以呈與圖7a～圖8b所示的微小槽25c相同的除了大致方形的多邊形。

通過采用上述的槽寬以及槽深連續(xù)地變化的微小槽25d，在異物會(huì)堵塞的情況下，能夠容易使異物在微小槽25d的截面形狀較小的部位聚集。由此，在分解清掃作業(yè)時(shí)容易確認(rèn)異物堵塞在何處，能夠高效地除去異物。

圖10a以及圖10b所示的節(jié)流單元14b具備：具有平面并且形成有供給孔16、微小槽25及排出孔20的帶槽塊體24a；以及具有與微小槽25對(duì)置的平面27的對(duì)置塊體26a。即，就該節(jié)流單元14b而言，在上述的節(jié)流單元14a中，相當(dāng)于在不是對(duì)置塊體26的帶槽塊體24上設(shè)置了供給孔16的單元。各微小槽25能夠是上述的微小槽25a～25d的任一個(gè)。圖10b所示的靜壓軸承裝置10b具備軸承單元12以及能夠裝卸于軸承單元12的節(jié)流單元14b。即使通過如上述那樣構(gòu)成的節(jié)流單元14b，也能夠獲得與上述的節(jié)流單元14a相同的效果。

圖11所示的靜壓軸承裝置10c具備軸承單元12以及以能夠裝卸的方式固定于軸承單元12的帶槽塊體24b。在圖11中，示出了帶槽塊體24b從軸承單元12被取下的狀態(tài)。軸承單元12具有作為固定部的引導(dǎo)件38以及作為可動(dòng)部的滑動(dòng)件(省略圖示)。在引導(dǎo)件38設(shè)置有多個(gè)靜壓凹部40。

引導(dǎo)件38具有在帶槽塊體24b安裝(固定)于軸承單元12的狀態(tài)下與設(shè)置于帶槽塊體24b的多個(gè)微小槽25對(duì)置的平面27。在帶槽塊體24b安裝(固定)于軸承單元12的狀態(tài)下，由多個(gè)微小槽25與平面27形成多個(gè)節(jié)流流路18。因此，軸承單元12的引導(dǎo)件38的部件兼作具有與多個(gè)微小槽25對(duì)置的平面27的對(duì)置塊體26b。此外，多個(gè)靜壓凹部40也可以設(shè)置于作為可動(dòng)部的滑動(dòng)件。

在帶槽塊體24b設(shè)置有一個(gè)供給孔16、分別與該一個(gè)供給孔16連通的多個(gè)(在圖示例中為六個(gè))微小槽25以及分別與多個(gè)微小槽25連通的多個(gè)排出孔20。微小槽25能夠采用上述的微小槽25a～25d的任一個(gè)的形態(tài)。

如圖12所示，多個(gè)微小槽25的每一個(gè)從供給孔16至排出孔20呈直線狀延伸。經(jīng)由供給孔16將兩個(gè)微小槽25配置于同一直線上。配置于同一直線上的兩個(gè)微小槽25的組設(shè)置有多組(在圖示例中為三組)。相對(duì)于一個(gè)供給孔16連通有多個(gè)微小槽25(節(jié)流流路18)。供給至一個(gè)供給孔16的工作流體向多個(gè)節(jié)流流路18分支而從多個(gè)排出孔20排出。

如圖11所示，節(jié)流單元14c由如上述那樣構(gòu)成的帶槽塊體24b以及兼作引導(dǎo)件38的部件的對(duì)置塊體26b構(gòu)成。因此，能夠僅通過將帶槽塊體24b安裝于作為具有平面27的靜壓軸承部件的引導(dǎo)件38而構(gòu)成節(jié)流單元14c。

此外，帶槽塊體24b也可以兼作引導(dǎo)的部件。或者，帶槽塊體24b或者對(duì)置塊體26b也可以兼作軸承單元12的滑動(dòng)的部件或者其他的節(jié)流單元的部件。

通過該節(jié)流單元14c，也能夠獲得與上述的節(jié)流單元14a相同的效果。另外，根據(jù)該節(jié)流單元14c，能夠在微小槽25的加工時(shí)，橫跨供給孔16進(jìn)行一次槽加工，從而將被供給孔16斷開的槽用作分別獨(dú)立的微小槽25。相對(duì)于一條加工路徑形成多個(gè)微小槽25，因此能夠減少加工所需的工時(shí)。

另外，帶槽塊體24b或者對(duì)置塊體26b兼作滑動(dòng)的部件、引導(dǎo)的部件或者其他的節(jié)流單元的部件，因此實(shí)際上能夠由一個(gè)部件構(gòu)成節(jié)流單元14c。由此，能夠期待構(gòu)造的簡化、部件件數(shù)減少、省空間化、配管省略等的效果。

本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施方式，能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，進(jìn)行各種改變。