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一種矩形密封裝置的制作方法

文檔序號(hào):11908336閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種真空環(huán)境中的矩形密封裝置,包括矩形上法蘭(1)、矩形下法蘭(2)、矩形密封盒體(3)、矩形整體輪廓的密封結(jié)構(gòu)(4)、壓緊螺釘(5)、待密封系統(tǒng)安裝螺釘(6)、矩形截面待密封系統(tǒng)(7),其中,矩形截面待密封系統(tǒng)(7)容納于矩形密封盒體(3),并采用待密封系統(tǒng)安裝螺釘(6)固定,矩形上法蘭(1)和矩形下法蘭(2)經(jīng)由矩形整體輪廓的密封結(jié)構(gòu)(4)相配合、由壓緊螺釘(5)壓緊,實(shí)現(xiàn)密封。

2.如權(quán)利要求1所述的矩形密封裝置,其特征在于,矩形整體輪廓的密封結(jié)構(gòu)(4)的拐角處,采用過(guò)渡圓弧結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的矩形密封裝置,其特征在于,過(guò)渡圓弧半徑大于10mm。

4.如權(quán)利要求1所述的矩形密封裝置,其特征在于,矩形整體輪廓的密封結(jié)構(gòu)(4)采用直角尖端對(duì)頂密封結(jié)構(gòu),通過(guò)兩個(gè)90°的直角尖端(8)對(duì)頂壓緊金屬墊片(9),達(dá)到密封效果,金屬墊片(9)采用退火無(wú)氧銅、鋁、銀中的一種。

5.如權(quán)利要求1所述的矩形密封裝置,其特征在于,矩形整體輪廓的密封結(jié)構(gòu)(4)采用斜邊互壓密封結(jié)構(gòu),通過(guò)兩個(gè)90°直角的直角邊(10)將金屬絲(11)擠壓變形,達(dá)到密封效果,金屬絲(11)采用退火無(wú)氧銅、鋁、銀、錫、銦、金中的一種。

6.如權(quán)利要求1所述的矩形密封裝置,其特征在于,矩形整體輪廓的密封結(jié)構(gòu)(4)采用平面壓緊密封結(jié)構(gòu),通過(guò)平面將密封圈(12)在密封槽(13)內(nèi)擠壓變形,達(dá)到密封效果,對(duì)于高真空密封,密封圈(12)選用退火無(wú)氧銅、鋁、銀、錫、銦、金、液態(tài)金屬中的一種,提供優(yōu)于5×10‐11Pam3/s的密封性能,對(duì)于密封裝置漏率要求較低的密封,密封圈(12)選用橡膠材料或者聚合物材料,便于安裝及拆卸。

7.如權(quán)利要求6所述的矩形密封裝置,其特征在于,密封槽(13)的橫截面形狀是矩形槽、梯形槽、半圓槽、三角槽中的一種,密封圈(12)的截面形狀是矩形、方形、工字型中的一種。

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