技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種XYθ平面三自由度精密定位平臺(tái)，包括壓電陶瓷、復(fù)合菱形位移放大機(jī)構(gòu)、橋型位移放大機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和固定框架，壓電陶瓷安裝在復(fù)合菱形位移放大機(jī)構(gòu)內(nèi)，四個(gè)復(fù)合菱形位移放大機(jī)構(gòu)均平行設(shè)置且分別位于固定框架的四角，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位于固定框架的中心處，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的兩側(cè)面通過兩個(gè)橋型位移放大機(jī)構(gòu)分別與位于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)兩側(cè)的復(fù)合菱形位移放大機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型通過四個(gè)復(fù)合菱形位移放大機(jī)構(gòu)和兩個(gè)橋型位移放大機(jī)構(gòu)的組合，使該平臺(tái)具備兩個(gè)平動(dòng)和一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)自由度，并通過兩級(jí)位移放大以及不同的驅(qū)動(dòng)組合來實(shí)現(xiàn)三個(gè)平面自由度運(yùn)動(dòng)，使其結(jié)構(gòu)簡單和緊湊，且輸出位移大。

技術(shù)研發(fā)人員：凌明祥;劉謙;李思忠;黎啟勝;鄭星;曹軍義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國工程物理研究院總體工程研究所
文檔號(hào)碼：201621070533
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.22
技術(shù)公布日：2017.03.22