技術(shù)編號(hào)：12109552
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及精密驅(qū)動(dòng)與控制領(lǐng)域，尤其涉及一種XYθ平面三自由度精密定位平臺(tái)及實(shí)現(xiàn)方法。背景技術(shù)近年來，隨著精密機(jī)械技術(shù)的發(fā)展，尤其是微納米技術(shù)的出現(xiàn)，科學(xué)技術(shù)正式進(jìn)入了“亞微米-納米”時(shí)代。掃描電鏡、光學(xué)儀器、精密加工等電子、光學(xué)、機(jī)械、和航天領(lǐng)域，迫切需要高精度、高分辨率、高速率的定位平臺(tái)；而且目前對(duì)多自由度精密定位平臺(tái)的需求更加急迫。例如，天文望遠(yuǎn)鏡的超高分辨率和高精度轉(zhuǎn)動(dòng)需要多自由度的定位平臺(tái)；精密光學(xué)儀器的加工和裝配需要多自由度的精密定位平臺(tái)；醫(yī)學(xué)手術(shù)越來越多地依賴于多自由度精密操作末...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。