技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種減振系統(tǒng)及其調(diào)節(jié)方法，該減振系統(tǒng)包括減振器組件、水平度檢測組件、水平度調(diào)整組件和控制系統(tǒng)，所述減振器組件包括固定件和安裝于所述固定件上的浮動件，所述水平度檢測組件設(shè)在所述浮動件中，所述水平度調(diào)整組件設(shè)于所述浮動件和固定件之間，所述控制系統(tǒng)分別連接所述水平度檢測組件和水平度調(diào)整組件。本發(fā)明通過水平度檢測組件和控制系統(tǒng)得到減振器組件的水平度變化量，并通過水平度調(diào)整組件進行實時調(diào)整，不僅降低了因制造、裝配影響造成的減振器組件初裝難度，而且保證了減振器組件在工作過程中的水平度的穩(wěn)定性，進而實現(xiàn)物鏡空間像的位置穩(wěn)定性，減少運動臺的測量調(diào)整時間，大大提高了產(chǎn)率和工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：劉劍
受保護的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.30
技術(shù)公布日：2017.07.07