技術(shù)編號(hào):12820286
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種具有水平調(diào)節(jié)功能的減振系統(tǒng)及其調(diào)節(jié)方法。背景技術(shù)光刻機(jī)是大規(guī)模集成電路制造工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,而投影物鏡(下文簡(jiǎn)稱物鏡)是光刻機(jī)的核心,其性能直接決定了光刻的圖形傳遞能力。為保證物鏡擁有良好的圖形傳遞能力,物鏡的安裝精度需達(dá)到很高的要求,即需要同時(shí)保證物鏡頂部物面與掩模版的高度重合、物鏡底部像面與硅片的高度重合,而為了達(dá)到相對(duì)較高的靜態(tài)環(huán)境以避免外界的擾動(dòng),通常將物鏡及支撐物鏡的機(jī)械結(jié)構(gòu)布置在減振環(huán)境中,即布置在減振器減振的結(jié)構(gòu)范疇內(nèi),由減振器支撐。隨著用戶對(duì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。