一種新型真空密封裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種新型真空密封裝置，通過(guò)在密封圈中空內(nèi)部密封安裝開(kāi)有真空口的密封蓋，便解決了當(dāng)真空機(jī)組抽氣進(jìn)行真空處理時(shí)，由于抽氣機(jī)組的強(qiáng)大吸力造成真空管的損毀或?qū)е抡婵招孤兜募夹g(shù)問(wèn)題。本實(shí)用新型實(shí)施例包括：包括密封圈，為中空結(jié)構(gòu)，還包括密封蓋，安裝在密封圈中空部分，并與密封圈密封連接，密封蓋開(kāi)有真空口。
【專利說(shuō)明】 一種新型真空密封裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型真空密封裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技地高速發(fā)展,半導(dǎo)體材料(semiconductor material)由于其獨(dú)特的半導(dǎo)體性能，即導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間，已經(jīng)成為制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料的中堅(jiān)力量，尤其很多半導(dǎo)體材料，例如砷化鎵GaAs、鍺Ge材料等，需要進(jìn)行單晶生長(zhǎng)法對(duì)半導(dǎo)體材料提純，再應(yīng)用于工業(yè)制造中。
[0003]在對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行單晶生長(zhǎng)之前，通常需要進(jìn)行生長(zhǎng)前真空管制備，現(xiàn)有的真空管抽真空的技術(shù)，通常是使用密封圈套在真空管上方，再通過(guò)真空機(jī)組抽氣實(shí)現(xiàn)真空。
[0004]然而，上述的密封圈設(shè)計(jì)，當(dāng)真空機(jī)組抽氣實(shí)現(xiàn)真空時(shí)，常常因?yàn)槌闅鈾C(jī)組的強(qiáng)大吸力造成真空管的損毀或?qū)е抡婵招孤?，從而，影響半?dǎo)體材料的單晶生長(zhǎng)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種新型真空密封裝置，通過(guò)在密封圈中空內(nèi)部密封安裝開(kāi)有真空口的密封蓋，便解決了當(dāng)真空機(jī)組抽氣進(jìn)行真空處理時(shí)，由于抽氣機(jī)組的強(qiáng)大吸力造成真空管的損毀或?qū)е抡婵招孤兜募夹g(shù)問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種新型真空密封圈，包括:
[0007]密封圈，為中空結(jié)構(gòu)，還包括:
[0008]密封蓋，安裝在所述密封圈中空部分，并與所述密封圈密封連接；
[0009]所述密封蓋開(kāi)有真空口。
[0010]優(yōu)選地，
[0011]所述真空口直徑為5毫米的圓口。
[0012]優(yōu)選地，
[0013]所述密封圈外圈包裹有一圈密封膠。
[0014]優(yōu)選地，
[0015]所述密封圈為中空直徑50毫米的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
[0016]優(yōu)選地，
[0017]所述密封蓋為圓盤結(jié)構(gòu)。
[0018]從以上技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0019]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種新型真空密封裝置，包括:包括密封圈，為中空結(jié)構(gòu)，還包括密封蓋，安裝在密封圈中空部分，并與密封圈密封連接，密封蓋開(kāi)有真空口。本實(shí)施例中，通過(guò)在密封圈中空內(nèi)部密封安裝開(kāi)有真空口的密封蓋，便實(shí)現(xiàn)了當(dāng)真空機(jī)組抽氣實(shí)現(xiàn)真空時(shí)，避免了抽氣機(jī)組的強(qiáng)大吸力造成真空管的損毀或?qū)е抡婵招孤兜募夹g(shù)問(wèn)題，進(jìn)一步提高半導(dǎo)體材料的單晶生長(zhǎng)的成功率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0021]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中提供的一種新型真空密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

【具體實(shí)施方式】
[0022]本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種新型真空密封裝置，通過(guò)在密封圈中空內(nèi)部密封安裝開(kāi)有真空口的密封蓋，便解決了當(dāng)真空機(jī)組抽氣進(jìn)行真空處理時(shí)，由于抽氣機(jī)組的強(qiáng)大吸力造成真空管的損毀或?qū)е抡婵招孤兜募夹g(shù)問(wèn)題。
[0023]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例中提供的一種新型真空密封裝置的一個(gè)實(shí)施例包括:
[0024]包括密封圈1，為中空結(jié)構(gòu)；
[0025]密封蓋2，安裝在密封圈I中空部分，并與密封圈I密封連接；
[0026]密封蓋2開(kāi)有真空口 21，需要說(shuō)明的是，該真空口 21的形狀可以是根據(jù)真空機(jī)組的真空頭相對(duì)應(yīng)，例如真空機(jī)組的真空頭為圓口，則真空口 21為圓形真空口，或者是真空機(jī)組的真空頭為方口，則真空口 21為圓形真空口，本實(shí)用新型實(shí)施例中，真空口 21直徑為5毫米的圓口。
[0027]可以理解的是，如圖1所示，密封圈I外圈包裹有一圈密封膠11，該密封膠11可以是具備密封功能的膠體，例如橡膠等，具體此處不做限定。
[0028]本實(shí)用新型實(shí)施例中的新型真空密封裝置，還可以進(jìn)一步包括:
[0029]前述的密封圈I為中空直徑50毫米的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
[0030]前述的密封蓋2為圓盤結(jié)構(gòu)，該圓盤結(jié)構(gòu)的面積不大于密封圈I的內(nèi)環(huán)，可以說(shuō)明的是，該密封蓋2嵌入在密封圈I的內(nèi)環(huán)中空中，實(shí)現(xiàn)完全密封狀態(tài)。
[0031]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種新型真空密封裝置，包括:包括密封圈1，為中空結(jié)構(gòu)，還包括密封蓋2，安裝在密封圈I中空部分，并與密封圈I密封連接，密封蓋2開(kāi)有真空口 21。本實(shí)施例中，通過(guò)在密封圈I中空內(nèi)部密封安裝開(kāi)有真空口 21的密封蓋2，便實(shí)現(xiàn)了當(dāng)真空機(jī)組抽氣實(shí)現(xiàn)真空時(shí)，避免了抽氣機(jī)組的強(qiáng)大吸力造成真空管的損毀或?qū)е抡婵招孤兜募夹g(shù)問(wèn)題，進(jìn)一步提高半導(dǎo)體材料的單晶生長(zhǎng)的成功率。
[0032]以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的一種新型真空密封裝置進(jìn)行了詳細(xì)介紹，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的思想，在【具體實(shí)施方式】及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
【權(quán)利要求】
1.一種新型真空密封裝置，包括密封圈，為中空結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括:密封蓋，安裝在所述密封圈中空部分，并與所述密封圈密封連接；所述密封蓋開(kāi)有真空口；所述真空口直徑為5毫米的圓口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型真空密封裝置，其特征在于，所述密封圈外圈包裹有一圈密封膠。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型真空密封裝置，其特征在于，所述密封圈為中空直徑50毫米的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型真空密封裝置，其特征在于，所述密封蓋為圓盤結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】F16J15/00GK204004367SQ201420187827
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月17日
【發(fā)明者】朱劉, 劉留 申請(qǐng)人:廣東先導(dǎo)半導(dǎo)體材料有限公司