具有改進的空氣清除能力的微閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及具有改進的空氣清除能力的微閥。一種微閥，包括基板，基板具有限定出致動器空腔的表面。排氣溝槽從致動器空腔的具有終端區(qū)域的第一空腔部分向致動器空腔的具有可以從微閥中排出氣體的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分延伸。蓋板包括設置有致動器空腔的表面，致動器空腔包括具有終端區(qū)域的第一空腔部分和具有可以從微閥中排出氣體的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分。中間板包括布置在致動器空腔中的可移位構(gòu)件、可移位構(gòu)件在閉合位置和打開位置之間移動，在閉合位置，可移位構(gòu)件防止經(jīng)由微閥的流體連通，在打開位置，可移位構(gòu)件不再防止經(jīng)由微閥的流體連通。
【專利說明】具有改進的空氣清除能力的微閥

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明總體上涉及用于控制流體流過流體回路的微閥。具體地，本發(fā)明涉及這種微閥的改進結(jié)構(gòu)，包括促進對空氣的清除的通氣結(jié)構(gòu)，空氣可能留存在微閥的一部分中，并因此可能對微閥的操作產(chǎn)生不期望的干擾。

【背景技術(shù)】
[0002]總體來說，微機電系統(tǒng)是一種不僅包括電子和機械部件，而且體積較小的系統(tǒng)，通常包括尺寸在約10微米或更小的范圍內(nèi)的特征。術(shù)語“微機械加工”通常理解為涉及這種微機電系統(tǒng)裝置的三維結(jié)構(gòu)和移動部件的生產(chǎn)。過去，微機電系統(tǒng)使用改進的集成電路(例如，計算機芯片)制造技術(shù)(例如化學腐蝕)和材料(例如硅半導體材料)，所述材料被微機械加工以提供這些非常小的電子、機械部件。然而最近，可以使用其他的微機械加工技術(shù)和材料。
[0003]如本文所使用的，術(shù)語“微機械加工裝置”是指一種包括尺寸通常在約10微米或更小范圍內(nèi)的特征的裝置，由此，該裝置至少部分地由微機械加工制成。另外，如本文所使用的，術(shù)語“微閥”是指尺寸通常位于約10微米或更小范圍內(nèi)的閥，由此其也至少部分地通過微機械加工形成。最后，如本文所使用的，術(shù)語“微閥裝置”是指一種包括微閥，還包括其他部件的微機械加工裝置。應當注意，如果微閥裝置中包括除微閥之外的部件，那么這些其他部件可以是微機械加工部件或標準尺寸(即，較大的)部件。同樣，微機械加工裝置可既包括微機械加工部件又包括標準尺寸部件。
[0004]本領(lǐng)域中已知許多微閥結(jié)構(gòu)用于控制流體流過流體回路。一種公知的微閥結(jié)構(gòu)包括可移位構(gòu)件，其支撐在設置于閥體的封閉內(nèi)部空腔內(nèi)，在閉合位置和打開位置之間樞轉(zhuǎn)或其他運動。當布置在閉合位置時，可移位構(gòu)件基本上阻塞第一流體端口(否則第一流體端口會與第二流體端口流體連通)，從而防止流體在第一和第二流體端口之間流動。當布置在打開狀態(tài)下，可移位構(gòu)件不再阻擋第一流體端口與第二流體端口的流體連通，從而允許流體在第一和第二流體端口之間流動。
[0005]在這種常規(guī)的微閥結(jié)構(gòu)中，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在一些情況下，少量空氣會留存在微閥中。如果這些空氣沒有從微閥中清除，可能對微閥的有效操作產(chǎn)生不期望的干擾。為了解決這種情況，已知當微閥初始打開時使微閥在打開和閉合位置之間快速地運轉(zhuǎn)，以從微閥中清除留存在其內(nèi)的所有空氣。然而，微閥的這種初始運轉(zhuǎn)也是效率低的。因此，期望提供一種微閥的改進結(jié)構(gòu)，其促進清除微閥中留存的氣體。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明涉及一種微閥的改進結(jié)構(gòu)，包括促進對空氣的清除的結(jié)構(gòu)，空氣可能留存在微閥中內(nèi)，并因此可能對微閥的操作產(chǎn)生不期望的干擾。微閥包括基板，基板具有限定出致動器空腔的表面。排氣溝槽從致動器空腔的具有終端區(qū)域的第一空腔部分向致動器空腔的具有可以從微閥中排出空氣的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分延伸。蓋板包括設置有致動器空腔的表面，致動器空腔包括具有終端區(qū)域的第一空腔部分和具有可從微閥中排出空氣的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分。中間板包括布置在致動器空腔內(nèi)的可移位構(gòu)件，可移位構(gòu)件在閉合位置和打開位置之間移動，在閉合位置，可移位構(gòu)件防止經(jīng)由微閥的流體連通，在打開位置，可移位構(gòu)件不再防止經(jīng)由微閥的流體連通。
[0007]當根據(jù)附圖閱讀本發(fā)明時，本領(lǐng)域技術(shù)人員從下面對優(yōu)選實施例的詳細說明中會更加清楚本發(fā)明的各方面。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為微閥的基本結(jié)構(gòu)的分解透視圖，微閥包括蓋板、中間板和基板。
[0009]圖2為圖1所示微閥的基本結(jié)構(gòu)在組裝后的透視圖。
[0010]圖3為現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)蓋板內(nèi)表面的平面圖。
[0011]圖4為現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)中間板的平面圖。
[0012]圖5為現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)基板內(nèi)表面的平面圖。
[0013]圖6為圖3所示現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)蓋板內(nèi)表面的一部分的透視圖。
[0014]圖7為圖5所示現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)基板內(nèi)表面的一部分的透視圖。
[0015]圖8為根據(jù)本發(fā)明的改進的微閥的蓋板內(nèi)表面的平面圖。
[0016]圖9為本發(fā)明的微閥的基板內(nèi)表面的平面圖。
[0017]圖10為圖8所示蓋板內(nèi)表面的一部分的透視圖。
[0018]圖11為圖9所示基板內(nèi)表面的一部分的透視圖。
[0019]圖12為圖8-11所示中間板和基板在組裝后的一部分的平面圖，可移位構(gòu)件布置在第一操作位置。
[0020]圖13為圖12所示中間板和基板在組裝后的一部分的平面圖，可移位構(gòu)件布置在第二操作位置。

【具體實施方式】
[0021]現(xiàn)參照附圖，圖1和2示出微閥I的基本結(jié)構(gòu)，于所示的程度，其既表示微閥的常規(guī)結(jié)構(gòu)又表示根據(jù)本發(fā)明的微閥的改進結(jié)構(gòu)。所示微閥I包括蓋板2、中間板3和基板4。蓋板2具有外表面5和內(nèi)表面6。蓋板2還形成有一個或多個開口(在所不實施例中，不出兩個這樣的開口 2a、2b)，以本領(lǐng)域公知的方式，所述開口允許一條或多條導電線(未示出)穿過。中間板3具有第一表面7和第二表面8?；?具有內(nèi)表面9和外表面10?；?還形成有一個或多個開口(在所示實施例中，示出三個這樣的開口 4a、4b和4c)，以本領(lǐng)域公知的方式，所述開口允許流體流進和流出微閥I。
[0022]當微閥I如圖2所示組裝，蓋板2的內(nèi)表面6接合中間板3的第一表面7，基板4的內(nèi)表面9接合中間板3的第二表面8。蓋板2、中間板3和基板4可以任何期望方式保持為這種取向。例如，蓋板2和/或基板4的一部分可以例如通過熔融結(jié)合、化學結(jié)合或者物理結(jié)合(比如，機械緊固件和/或粘合劑)結(jié)合到中間板3。蓋板2、中間板3和基板4可由任何期望材料或材料組合構(gòu)成。例如，蓋板2、中間板3和基板4可由硅和/或類似材料構(gòu)成。
[0023]圖3和6詳細示出現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)蓋板2的內(nèi)表面6的結(jié)構(gòu)。如圖所示，常規(guī)蓋板2包括設置在其內(nèi)表面6上的致動器空腔，總體上由標號11表示。所示致動器空腔11包括上部致動器臂空腔部分11a、中央致動器臂空腔部分lib、下部致動器臂空腔部分11c、致動器肋空腔部分lid、致動器脊空腔部分lie和致動器鉸鏈空腔部分Ilf。上部致動器臂空腔部分IIa設置有一對凹槽區(qū)域12a，12b。所示致動器空腔11還設置有一個或多個壓力平衡凹陷13。
[0024]圖4詳細示出現(xiàn)有技術(shù)微閥的常規(guī)中間板3的結(jié)構(gòu)。如圖所示，常規(guī)中間板3包括總體上由標號30表示的可移位構(gòu)件，其包括形成有一對開口 31a，31b的密封部分31。密封部分31經(jīng)由縱長臂部分32連接至鉸鏈部分33，鉸鏈部分33與常規(guī)中間板3 —體形成。中間板3還包括致動器，致動器包括多個致動器肋34，致動器肋34經(jīng)由中央脊35連接到位于密封部分31和鉸鏈部分33中間位置的縱長臂部分32。
[0025]如圖4所示，多個致動器肋34的第一部分的第一末端(當觀看圖4時，上部肋34)在其第一末端柔性地連接至中間板3的第一非移動部分。多個致動器肋34的第一部分的第二末端連接至中央脊35。中間板3的第一非移動部分電連接至設置在中間板3上的第一焊盤(未示出)。類似地，多個致動器肋34的第二部分的第一末端(當觀看圖4時，下部肋34)在其第一末端柔性地連接至中間板3的第二非移動部分。多個致動器肋34的第二部分的第二末端也連接至中央脊35。中間板3的第二非移動部分電連接至設置在中間板3上的第二焊盤(未示出)。除了經(jīng)由多個致動器肋34，第二焊盤與第一焊盤電絕緣。
[0026]以本領(lǐng)域公知的方式，電流可從第一焊盤經(jīng)由多個致動器肋34傳輸?shù)降诙副P。這種電流引起致動器肋34的熱膨脹，這使中央脊35軸向移動。如上所述，中央脊35連接至縱長臂部分32。因此，中央脊35的軸向移動使可移位構(gòu)件30的縱長臂部分32 (因此，密封部分31)繞鉸鏈部分33樞轉(zhuǎn)，或相對于中間板3的剩余部分移動(這種移動發(fā)生在由中間板3的剩余部分限定的平面內(nèi))。因此，所示可移位構(gòu)件30起到常規(guī)微機電系統(tǒng)熱致動器的作用。
[0027]圖5和7詳細示出常規(guī)基板4的內(nèi)表面9的結(jié)構(gòu)。如圖所示，常規(guī)基板4包括設置在其內(nèi)表面9上的致動器空腔，其總體上由標號40表示。所示致動器空腔40包括上部致動器臂空腔部分40a、中央致動器臂空腔部分40b、下部致動器臂空腔部分40c、致動器肋空腔部分40d、致動器脊空腔部分40e和鉸鏈空腔部分40f。所示致動器空腔40還設置有一個或多個壓力平衡凹陷41。
[0028]圖8-13示出了根據(jù)本發(fā)明的改進微閥的一部分。如上所述，本發(fā)明的微閥的基本結(jié)構(gòu)與圖1和2所示類似，因此，包括蓋板102、中間板103和基板104。蓋板102具有外表面105和內(nèi)表面106。蓋板102還形成有一個或多個開口(在所示實施例中，示出兩個這種開口 102a、102b)，以本領(lǐng)域公知的方式，所述開口允許一條或多條導電線(未示出)穿過。中間板103具有第一表面107和第二表面108?；?04具有內(nèi)表面109和外表面110?；?04還形成有一個或多個開口(在所示實施例中，示出三個這樣的開口 104a、104b和104c)，以本領(lǐng)域已知的方式，所述開口允許流體流進和流出微閥。
[0029]當微閥組裝時，蓋板102的內(nèi)表面106接合中間板103的第一表面107，基板104的內(nèi)表面109接合中間板103的第二表面108。蓋板102、中間板103和基板104可以任何期望方式保持為這種取向。例如，蓋板102和/或基板104的一部分可以例如通過熔融結(jié)合、化學結(jié)合或者物理結(jié)合(比如，機械緊固件和/或粘合劑)結(jié)合到中間板103。蓋板102、中間板103和基板104可由任何期望材料或材料組合構(gòu)成。例如，蓋板102、中間板103和基板104可由硅和/或類似材料構(gòu)成。
[0030]圖8和10詳細示出本發(fā)明的蓋板102的內(nèi)表面106的結(jié)構(gòu)。如圖所示，本發(fā)明的蓋板102包括設置在其內(nèi)表面106上的致動器空腔，其總體上由標號111表示。所示致動器空腔111包括上部致動器臂空腔部分111a、中央致動器臂空腔部分111b、下部致動器臂空腔部分111c、致動器肋空腔部分llld、致動器脊空腔部分Ille和鉸鏈空腔部分Illf。上部致動器臂空腔部分11 Ia設置有一對凹槽區(qū)域112a、112b。所示致動器空腔111還設置有一個或多個壓力平衡凹陷113。
[0031]然而，不同于現(xiàn)有技術(shù)蓋板2，本發(fā)明的蓋板102設置有空氣清除溝槽114或其他排氣結(jié)構(gòu)，其從致動器空腔111的致動器肋空腔部分Illd向致動器空腔111的中央致動器臂空腔部分Illb延伸。在所示實施例中，該空氣清除溝槽114從通常被稱為致動器肋空腔部分Illd的終端區(qū)域(即，致動器肋空腔部分Illd的未直接通氣或者與流體端口流體連通的末端，流體端口例如為開口 104a、104b、104c中的一個)向致動器空腔111的中央致動器臂空腔部分Illb延伸。所示空氣清除溝槽114的末端終止于致動器空腔111的致動器肋空腔部分Illd和致動器臂空腔部分Illb的相應邊緣。然而，如果需要，所示空氣清除溝槽114的一個或兩個末端可延伸通過這些相應邊緣，進入致動器空腔111的致動器肋空腔部分Illd和致動器臂空腔部分111b。如果需要，還可以設置復數(shù)個空氣清除溝槽114。如將在下文更詳細的敘述，空氣清除溝槽114設置成促進對空氣的清除，所述空氣可能留存在微閥的致動器肋空腔部分Illd的終端區(qū)域中，并因此可能對微閥的操作產(chǎn)生不期望的干擾。
[0032]本發(fā)明的中間板103的結(jié)構(gòu)可以與上面所述中間板3相同。因此，如圖10、12和13所示，本發(fā)明的中間板103包括總體上由標號130表示的可移位構(gòu)件，其包括形成有一對開口 131a、131b的密封部分131。密封部分131經(jīng)由縱長臂部分132連接到鉸鏈部分(未示出)，鉸鏈部分與本發(fā)明的中間板103—體形成?？梢莆粯?gòu)件130還包括多個致動器肋134，致動器肋134經(jīng)由中央脊(未示出)連接到位于密封部分131和鉸鏈部分中間位置的縱長臂部分132。
[0033]如圖12、13所示，多個致動器肋134的第一部分的第一末端(當觀看圖12、13時，上部肋134)在其第一末端柔性地連接至本發(fā)明的中間板103的第一非移動部分。多個致動器肋134的第一部分的第二末端(未示出)連接至中央脊。本發(fā)明的中間板103的第一非移動部分電連接至中間板103上的第一焊盤(未示出)。類似地，多個致動器肋134的第二部分的第一末端(未示出)在其第一末端柔性地連接至本發(fā)明的中間板103的第二非移動部分。多個致動器肋134的第二部分的第二末端(未示出)也連接至中央脊。本發(fā)明的中間板103的第二非移動部分電連接至中間板103上的第二焊盤(未示出)。除了經(jīng)由多個致動器肋134，第二焊盤與第一焊盤電絕緣。
[0034]以本領(lǐng)域公知的方式，電流可從第一焊盤經(jīng)由多個致動器肋134傳輸?shù)降诙副P。這種電流引起致動器肋134熱膨脹，這使中央脊軸向移動。如上所述，中央脊連接至縱長臂部分132。因此，中央脊的軸向移動使可移位構(gòu)件130的縱長臂部分132 (由此，密封部分131)繞鉸鏈部分樞轉(zhuǎn)，或相對于中間板103的剩余部分移動(這種移動發(fā)生在由中間板103的剩余部分限定的平面內(nèi))。因此，所示可移位構(gòu)件130起到常規(guī)微機電系統(tǒng)熱致動器的作用。
[0035]圖9和11詳細示出本發(fā)明的基板104的內(nèi)表面109的結(jié)構(gòu)。如圖所示，本發(fā)明的基板104包括設置在其內(nèi)表面109上的致動器空腔，其總體上由標號140表示。所示致動器空腔140包括上部致動器臂空腔部分140a、中央致動器臂空腔部分140b、下部致動器臂空腔部分140c、致動器肋空腔部分140d、致動器脊空腔部分140e和鉸鏈空腔部分140f。所示致動器空腔140還設置有一個或多個壓力平衡凹陷141。
[0036]然而，不同于現(xiàn)有技術(shù)的基板4，本發(fā)明的基板104設置有空氣清除溝槽或其他排氣結(jié)構(gòu)142，其從致動器空腔140的致動器肋空腔部分140d向致動器空腔140的中央致動器臂空腔部分140b延伸。與如上所述的空氣清除溝槽114 一樣，該空氣清除溝槽142從通常被稱為致動器肋空腔部分142d的終端區(qū)域向致動器空腔140的中央致動器臂空腔部分140b延伸。所示空氣清除溝槽142的末端終止于致動器空腔140的致動器肋空腔部分140d和致動器臂空腔部分140b的相應邊緣。然而，如果需要，所示空氣清除溝槽142的一個或兩個末端可延伸通過這些相應邊緣，進入致動器空腔140的致動器肋空腔部分140d和致動器臂空腔部分140b。如果需要，還可以設置復數(shù)個空氣清除溝槽142。如將在下文更詳細的敘述，空氣清除溝槽142設置成促進對空氣的清除，所述空氣可能留存在微閥的致動器肋空腔部分140d的終端區(qū)域中，并因此可能對微閥的操作產(chǎn)生不期望的干擾。
[0037]設置在蓋板102中的致動器空腔114和設置在基板104中的致動器空腔140與中間板103的固定部分協(xié)作，以限定出封閉的內(nèi)部空腔，可移位構(gòu)件130支撐在封閉的內(nèi)部空腔內(nèi)，以在閉合位置(圖12所示)和打開位置(圖13所示)之間移動。如公知的那樣，封閉的內(nèi)部空腔還含有從經(jīng)過微閥的流體的正常流動路徑中泄漏的流體。這種泄漏在這種一般類型的微閥中很正常，但是可導致空氣在封閉的內(nèi)部空腔的一部分中積累，這些部分并非關(guān)于可將空氣從微閥中排出的結(jié)構(gòu)鄰近地安置。如上所述，在某些情況下，微閥中空氣的存在可能對微閥的操作產(chǎn)生不期望的干擾。
[0038]為了解決這個問題，蓋板102中的空氣清除溝槽114提供了將致動器肋空腔部分Illd終端區(qū)域中留存的任何空氣排出到致動器空腔111的中央致動器空腔部分Illb的直接排出路徑。從那里，這些空氣很容易經(jīng)由開口 104c排出到微閥外。類似地，基板104中的空氣清除溝槽142提供了將致動器肋空腔部分142d終端區(qū)域中留存的任何空氣排出到致動器空腔140的中央致動器空腔部分140b的直接排出路徑。從那里，這些空氣也很容易經(jīng)由開口 104c排出到微閥外。盡管所示微閥具有分別位于蓋板102和基板104中的空氣清除溝槽114、142，但是，可以預想的是，可僅提供空氣清除溝槽114，142中的單個。
[0039]圖8-13所示本發(fā)明的微閥的實施例以常規(guī)U型流動構(gòu)造封裝，其中第一和第二開口 104a、104c(其限定出流體流過微閥100的入口和出口)位于微閥的同側(cè)(基板104側(cè))。然而，本發(fā)明可用于微閥的替代實施例中，其中，微閥以常規(guī)通過流動構(gòu)造封裝(未示出)。在該替代實施例中，開口(其限定出流體流過微閥的入口和出口)位于微閥的相對兩側(cè)(蓋板側(cè)和基板側(cè))。微閥的該替代實施例的結(jié)構(gòu)和操作方式與微閥的第一實施例類似。
[0040]本發(fā)明的原理和操作模式已經(jīng)在其優(yōu)選實施例中得到解釋和說明。然而，必須理解的是，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍情況下，可以除所特定說明和解釋之外的方式實施本發(fā)明。
【權(quán)利要求】
1.一種微閥，包括: 第一板，包括其內(nèi)設置有致動器空腔的表面，所述致動器空腔包括具有終端區(qū)域的第一空腔部分、具有能夠從微閥中排出空氣的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分以及從所述第一空腔部分向所述第二空腔部分延伸的排氣結(jié)構(gòu)；以及 第二板，具有抵靠第一板的所述表面的表面，并包括可移位構(gòu)件，所述可移位構(gòu)件布置在所述致動器空腔內(nèi)，在閉合位置和打開位置之間移動，在閉合位置，所述可移位構(gòu)件防止經(jīng)由微閥的流體連通，在打開位置，所述可移位構(gòu)件不再防止經(jīng)由微閥的流體連通。
2.如權(quán)利要求1所述的微閥，其中: 所述致動器空腔包括上部致動器臂空腔部分、中央致動器臂空腔部分、下部致動器臂空腔部分、致動器肋空腔部分、致動器脊空腔部分和鉸鏈空腔部分；并且其中 所述可移位構(gòu)件包括布置在上部致動器臂空腔部分中的密封部分、布置在中央致動器臂空腔部分中的縱長臂部分、布置在鉸鏈空腔部分中的鉸鏈部分、布置在致動器脊空腔部分中的多個致動器肋以及將多個致動器肋連接到縱長臂部分的中央脊。
3.如權(quán)利要求1所述的微閥，其中所述排氣結(jié)構(gòu)為設置在所述第一板的所述表面上的溝槽。
4.如權(quán)利要求1所述的微閥，還包括: 第三板，包括其內(nèi)設置有致動器空腔的表面，所述致動器空腔包括具有終端區(qū)域的第一空腔部分以及具有能夠從微閥中排出空氣的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分；并且其中 所述可移位構(gòu)件也布置在所述第三板的致動器空腔內(nèi)，在閉合位置和打開位置之間移動。
5.如權(quán)利要求4所述的微閥，其中所述第三板包括從所述第三板的第一空腔部分向所述第三板的第二空腔部分延伸的排氣結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求5所述的微閥，其中所述第三板的排氣結(jié)構(gòu)為設置在所述第三板的所述表面上的溝槽。
7.一種微閥,包括: 基板，包括其內(nèi)設置有致動器空腔的表面，所述致動器空腔包括具有終端區(qū)域的第一空腔部分、具有能夠從微閥中排出空氣的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分以及從所述第一空腔部分向所述第二空腔部分延伸的排氣結(jié)構(gòu)； 蓋板，包括其內(nèi)設置有致動器空腔的表面，所述致動器空腔包括具有終端區(qū)域的第一空腔部分和具有能夠從微閥中排出空氣的結(jié)構(gòu)的第二空腔部分；以及 中間板，具有抵靠所述基板的所述表面的第一表面和抵靠所述蓋板的所述表面的第二表面，所述中間板包括布置在所述基板和所述蓋板的致動器空腔內(nèi)的可移位構(gòu)件，所述可移位構(gòu)件在閉合位置和打開位置之間移動，在閉合位置，所述可移位構(gòu)件防止經(jīng)由微閥的流體連通，在打開位置，所述可移位構(gòu)件不再防止經(jīng)由微閥的流體連通。
8.如權(quán)利要求1所述的微閥，其中 所述蓋板和所述基板的各致動器空腔包括上部致動器臂空腔部分、中央致動器臂空腔部分、下部致動器臂空腔部分、致動器肋空腔部分、致動器脊空腔部分和鉸鏈空腔部分；并且其中 所述可移位構(gòu)件包括布置在各上部致動器臂空腔部分中的密封部分、布置在各中央致動器臂空腔部分中的縱長臂部分、布置在各鉸鏈空腔部分中的鉸鏈部分、布置在各致動器脊空腔部分中的多個致動器肋以及將所述多個致動器肋連接到所述縱長臂部分的中央脊。
9.如權(quán)利要求7所述的微閥，其中所述基板的排氣結(jié)構(gòu)為設置在所述基板的所述表面上的溝槽。
10.如權(quán)利要求7所述的微閥，其中所述蓋板的排氣結(jié)構(gòu)為設置在所述蓋板的所述表面上的溝槽。
11.如權(quán)利要求7所述的微閥，其中所述基板的排氣結(jié)構(gòu)為設置在所述基板的所述表面上的溝槽，所述蓋板的排氣結(jié)構(gòu)為設置在所述蓋板的所述表面上的溝槽。
【文檔編號】F16K99/00GK104235497SQ201410436462
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月24日
【發(fā)明者】E·N·福勒, P·阿魯納薩拉姆, C·楊, M·魯克維克, J·奧杰達 申請人:浙江盾安禾田金屬有限公司