用于內(nèi)燃機的滑動元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于內(nèi)燃機的滑動元件，其具有被保護性表層(11)覆蓋的含鐵基體(10)，所述保護性表層包含通過物理氣相沉積工藝(PVD)施加的至少一種氮化物或者包含氮化層，在該滑動元件的外周滑動面上施加有類金剛石碳(DLC)涂層(12)，其中：(i)所述涂層(12)包含：至少一層含有WC1-X的過渡層(122)、和具有晶體結(jié)構(gòu)(BCC-體心立方)的金屬鉻層(121)，其位于含鐵基體(10)和無定形碳外層(124)之間，以及中間層(123)形式的、具有(a-C:H:W)和(a-C:H)多層結(jié)構(gòu)的納米晶相碳化物；以及(ii)所述無定形碳外層(124)與所述包含納米晶體碳化物結(jié)構(gòu)的層(123)的厚度之比大于4，和/或全部層的總厚度與外層(a-C:H)(124)的厚度之比大于1，優(yōu)選在1和1.4之間。
【專利說明】用于內(nèi)燃機的滑動元件
[0001] 本發(fā)明涉及一種用于內(nèi)燃機（例如活塞環(huán)）的、具有涂層的滑動元件，所述涂層從 內(nèi)到外包含：金屬粘合層（例如鉻金屬（BCC-Cr)或者其它需要的或期望的等同物）、由陶 瓷材料（如碳化鎢（WCl-x))構(gòu)成的至少一個過渡層、金屬（特別是鎢）的DLC層、以及不 含金屬的DLC層等，并且所述涂層具有大于等于4ym且小于等于15ym的總厚度。
[0002] 在本發(fā)明涂層中，所述不含金屬的DLC層的厚度與所述金屬層的厚度之比大于4， 和/或全部層的總厚度與外層（a_C:H)的厚度之比大于1，優(yōu)選為在1和1.4之間。粘合層應 優(yōu)選為鉻。金屬的DLC層被稱為a-C:H:Me，在這種情況下，金屬優(yōu)選為鎢時則稱為a-C:H:W， 該層具有多層結(jié)構(gòu)，所述多層結(jié)構(gòu)包括a_C:H層和a-C:H:W層。
[0003] 鎢可以促使DLC層之間具有良好的粘附性；并且作為中間層起到逐漸改變內(nèi)部應 力的作用，使得由基材（低內(nèi)應力）到DLC層（高內(nèi)應力）的內(nèi)部應力突變最小化；此外， 其還具有高的化學惰性和低的磨耗。最外層或頂層呈現(xiàn)含有碳和氫的無定形結(jié)構(gòu)，并且可 以被稱為a_C:H。
[0004] 由于上述構(gòu)成，所以在摩擦和磨耗方面實現(xiàn)了特別有益的性能。較厚的頂層對這 些典型的性能具有影響作用。與具有平均厚度的層相比，其具有較低的摩擦和較高的耐久 性。當最外層（a-C:H)的厚度大于含金屬的DLC層的厚度時，觀察到特別好的摩擦值，因此 二者的厚度比接近5,優(yōu)選大于4;并且全部層的總厚度與外層（a-C:H)的厚度之比大于1， 優(yōu)選為在1和1.4之間。
[0005] 這種構(gòu)造使DLC層的減摩性和耐久性這兩個問題得以解決。作為這種現(xiàn)象的解 釋，已發(fā)現(xiàn)：無金屬的DLC層和一般的涂層在整個體系中會產(chǎn)生高應力，通過金屬層和最外 層厚度的合理組合、以及設置含有鉻和碳化鎢（WCl-x)的中間層能夠減小所述應力，從而 獲得具有改善的耐磨性和低摩擦性的組合這樣的涂層。
[0006] 因此，可以得到具有合適的耐久性和低的摩擦性的活塞環(huán)。已知的是，不含金屬的 DLC具有較高的耐磨性和低摩擦性。然而，由于不含金屬的DLC厚涂層具有高內(nèi)應力，因此 不可能制備這樣的涂層；而采用本文所提出的構(gòu)造，則可以建立起不含金屬的DLC厚涂層， 該涂層不會因高應力而變?nèi)?，其中，不含金屬的DLC層與金屬層的層厚之比為>4,和/或全 部層的總厚度與外層（a_C:H)的厚度之比大于1，優(yōu)選為在1和1. 4之間；這賦予活塞環(huán)更 長的使用壽命和更低的摩擦性，這是與通過下述DLC最外層加以保護的情況相比而言的， 其中該DLC最外層只能保證低的耐磨性和短的使用期，并且金屬DLC層在發(fā)動機啟動時就 暴露在外，因此使得該層具有高于不含金屬的DLC層的摩擦性。本發(fā)明所述構(gòu)造的滑動元 件具有以下優(yōu)點：例如，穩(wěn)定性和耐久性提高，使配置有該滑動元件的內(nèi)燃機具有長的商業(yè) 服務壽命和低摩擦性。
[0007] 相反，如果所形成的涂層中不含金屬的DLC層與金屬DLC層的層厚之比〈4、和/或 總厚度與外層（a_C:H)的厚度比〈1，殘余應力將無法得到補償。由于運行過程中的高負荷 (接觸壓力），這導致了DLC層整體的過早磨損（即使最外層具有較大的厚度）或者DLC層 的剝離?；? 申請人:近期廣泛的研究已經(jīng)證實，對于基本上介于4pm和15pm之間的厚度 來說，不管厚度如何，本發(fā)明的涂層都能導致引人注目的有益的耐磨性和耐久性。
[0008] 相關技術的描述
[0009] 為了使內(nèi)燃機可靠地并且按照設計者設計的參數(shù)運行，必須使它的內(nèi)部組件即使 在最嚴苛的操作條件下也具有高的耐久性。
[0010] 為了確保發(fā)動機的耐久性以及高效的輸出，組件（例如活塞環(huán)和軸承，以及其他） 必須提供對持續(xù)滑動所產(chǎn)生的磨耗作用、高溫、以及氣缸內(nèi)的燃燒產(chǎn)物的化學侵蝕和磨蝕 作用的耐受性，因而要施加涂層以更好地承受發(fā)動機運行期間不停進行的循環(huán)過程。另外， 該涂層應具有低摩擦性，因為內(nèi)燃機中的摩擦損失多達能量的15%，進而導致燃料消耗更 大，以及排放更多的污染氣體。
[0011] 在確定了構(gòu)成這些部件的基本材料、發(fā)動機運行參數(shù)、制造成本等的前提下，不斷 地對施加到這些部件的涂層加以改進。
[0012] 具體就活塞環(huán)來說，開發(fā)了一些目的在于使這些部件具有高的耐久性和低摩擦性 的涂層。
[0013] 文獻DE102009046281中公開了一種涂層，其涉及由鋼或鑄鐵制成的活塞環(huán)，所 述活塞環(huán)上設置有由不含金屬的DLC層構(gòu)成的、或者包含內(nèi)部金屬層和不含金屬的頂層的 涂層，通過PVD工藝（"物理氣相沉積"）沉積的氮化鉻（CrN)層，以及Me(CxNy)的陶瓷中 間層。
[0014] 將所述氮化層施加在所述環(huán)基體上，隨后在該層上施加上述中間層。最后在所述 中間層上施加所述DLC涂層。
[0015] 作為選擇（非必要的），在通過PVD施加的氮化鉻層和所述的活塞環(huán)基體之間提供 粘合層或類似物，從而使二者相連接。
[0016] 這種涂層的缺陷在于Me(CxNy)連接層是脆弱且易碎的，使得涂層會過早脫落，導 致內(nèi)燃機壽命縮短，這從市場角度來說是不希望的。
[0017] 此外，與本發(fā)明所提出的涂層相反，該現(xiàn)有技術的涂層不具有包含碳化鎢WC1-X 的過渡層，因此二者完全不同。
[0018]文獻DE102008042747中公開了一種滑動元件（如活塞環(huán)），其涂層包括施加在基 體上的由金屬鉻構(gòu)成的粘合層、通過PVD法（物理氣相沉積）施加的氮化物層（CrN)、含有 碳的內(nèi)層，相對于設置在外側(cè)的碳層（優(yōu)選為a-C:H類型的）而言，所述內(nèi)層具有更大的硬 度和/或含有百分比含量較低的氫。
[0019] 這第二種涂層的缺點在于，氫有利于形成sp3電子結(jié)構(gòu)（與金剛石的結(jié)構(gòu)相同）， 并且隨著其減少sp2結(jié)構(gòu)則會增加（與石墨的結(jié)構(gòu)相同）。因此，該涂層的耐磨性變差。
[0020] 此外，與本 申請人:所開發(fā)的涂層的關鍵區(qū)別在于，作為其最大的特點，該現(xiàn)有技術 的涂層具有這樣的第二層（從外向內(nèi)數(shù)）：該第二層具有無定形碳的形式，而不是新穎的多 層結(jié)構(gòu)（a-C:H:W)和（a_C:H)的形式。由于這種構(gòu)造，由該涂層獲得的性能指數(shù)較低，特別 是對于裂紋擴展的抵抗性。
[0021] 此外，文獻DE102009028504公開了一種由鋼或鑄鐵制成的活塞環(huán)，其首先被覆粘 合層，在該粘合層上施加含有碳和金屬（特別是鎢）的中間層、以及不含有金屬成分的DLC 層。該涂層的平均厚度為5ym至40ym，所述外層和中間層的厚度比為0. 7至1. 5,外層的 厚度和該涂層的總厚度之比約為〇. 4至0. 6。
[0022] 與本文所研發(fā)的涂層最大的不同在于，該現(xiàn)有技術未顯示出要在多層結(jié)構(gòu) (W-C:H)和（a-C:H)上構(gòu)造任何中間層。實際上，在該涂層中不存在這樣的層，因此，由該涂 層所獲得的性能指數(shù)低，特別是對于裂紋擴展的抵抗性。此外，不含金屬的DLC涂層（提供 較低摩擦性的層）的厚度小于所述涂層的總厚度。
[0023] 最后，文獻US2007/0078067公開了施加到至少一個滑動部件上的涂層，其特征在 于，該涂層包含位于滑動部件表面上的無定形碳膜，并且在拉曼光譜中D帶（與sp2碳的無 序程度相關）與G帶（單晶石墨）的積分強度比介于1. 5和2. 0之間。
[0024] 以上所討論的涂層具有使其不能令人滿意地用于發(fā)動機部件中的性質(zhì)，這是因為 它們不能同時顯示出高耐磨性和合適的韌性以在內(nèi)燃機中工作。
[0025] 申請人:經(jīng)過大量的研發(fā)所得到的本發(fā)明的涂層與其它涂層相比具有新穎性和創(chuàng) 造性，并且具有顯著的優(yōu)點：例如易于沉積、優(yōu)異的機械性能和有競爭力的應用成本、滿足 新發(fā)動機要求的高耐磨性和韌性、以及與內(nèi)燃機排放要求相匹配的低摩擦性。
[0026] 本發(fā)明的涂層可以施加到內(nèi)燃機中使用的任意滑動元件上，如活塞環(huán)、軸瓦、軸 承、襯套等，前提是它們具有含鐵基體。
[0027] 發(fā)明目的
[0028] 本發(fā)明的目的是提供一種用于內(nèi)燃機的滑動元件，其具有厚度不小于4 y m且不 大于15pm的DLC型涂層，對照其它目前已知的涂層而言，本發(fā)明的工藝導致了一種革新 的、新穎的和創(chuàng)造性的涂層的應用，并產(chǎn)生了有利于應用的若干優(yōu)點，例如易于沉積、具有 優(yōu)良的機械和結(jié)構(gòu)性能（主要是它能夠制成厚的a_C:H層，同時保持令人滿意的韌性和高 耐久性水平）。
[0029] 本發(fā)明的簡要說明
[0030] 本發(fā)明的目的通過這樣一種用于內(nèi)燃機的滑動元件得以實現(xiàn)，所述滑動元件具有 被保護性表層覆蓋的含鐵基體，該表層包含通過物理氣相沉積法（PVD)施加的至少一種氮 化物或者包含氮化層，在所述滑動元件的外周滑動面上施加有類金剛石碳（DLC)涂層，其 中：
[0031] (i)涂層包含：含有WC1-X的至少一個過渡層或粘合層、和/或具有晶體結(jié)構(gòu) (BCC- "體心立方結(jié)構(gòu)"）的金屬鉻層，具有（a-C:H:W)和（a-C:H)的多層結(jié)構(gòu)并且作為中 間層的金屬（特別是鎢）DLC層，所述金屬鉻層位于活塞環(huán)和金屬DLC層之間；以及不含金 屬的DLC外層；并且
[0032] (ii)所述不含金屬的DLC層與金屬層的厚度之比大于4,和/或全部層的總厚度 與外層（a_C:H)的厚度之比大于1，優(yōu)選在1和1.4之間。
[0033] 另外，本發(fā)明的目的通過這樣一種用于內(nèi)燃機的滑動元件得以實現(xiàn)，所述滑動元 件具有含鐵基體，在所述滑動元件的外周滑動面上施加有類金剛石碳（DLC)涂層，其中：
[0034] ⑴涂層包括：按照從外部至所述含鐵基體的順序，（a_C:H)型的無定形外層，對 應于（a-C:H:W)和（a_C:H)多層結(jié)構(gòu)形式的納米晶相碳化物的中間層，和含有WCl-x的過 渡層，具有晶體結(jié)構(gòu)（BCC- "體心立方結(jié)構(gòu)"）的金屬鉻層以及包含至少一種氮化物的保護 層（其是通過物理氣相沉積工藝（PVD)施加的）；
[0035] (ii)所述不含金屬的DLC層與金屬層的厚度之比大于4,和/或全部層的總厚度 與外層（a_C:H)的厚度之比大于1，優(yōu)選在1和1.4之間；并且
[0036] (iii)在拉曼光譜中D帶（與sp2碳的無序程度相關）與G帶（單晶石墨）的積 分強度比介于0. 2和1. 0之間。
[0037]附圖的簡要說明
[0038] 基于附圖所示的實施例對本發(fā)明進行更詳細地說明。所述附圖示出：
[0039] 圖1為實現(xiàn)本發(fā)明目的的滑動部件的優(yōu)選實施方案的一個代表的透視圖，其為活 塞環(huán)的形狀。
[0040] 圖2示出圖1所示活塞環(huán)的頂視圖。
[0041] 圖3為圖2所示活塞環(huán)沿A-A截面的示意性剖視圖，其中可以示意性地看出施加 至活塞環(huán)的外周滑動面的涂層。
[0042] 圖4為示出施加至實現(xiàn)本發(fā)明目的的滑動元件的外周滑動面的涂層的優(yōu)選變型 的詳細視圖。
[0043] 圖5為示出施加至實現(xiàn)本發(fā)明目的的滑動元件的外周滑動面的涂層的中間層的 詳細視圖，該中間層包含（a_C:H:W)和（a_C:H)。
[0044] 圖6為施加至實現(xiàn)本發(fā)明目的的滑動元件的外周滑動面的涂層的照片，放大倍率 1，000X。
[0045] 附圖的詳細說明
[0046] 根據(jù)一個優(yōu)選的實施方案（如圖1所示），本發(fā)明涉及一種用于內(nèi)燃機的滑動元件 1，其具有含鐵基體10,在其外周滑動面2上施加有類金剛石碳（DLC)涂層12。
[0047] 如下文所述，由 申請人:研發(fā)的本發(fā)明涂層與其它現(xiàn)有的涂層相比具有新穎性和創(chuàng) 造性，并且具有顯著的優(yōu)點，例如易于沉積、優(yōu)良的機械和結(jié)構(gòu)特性、以及有競爭力的應用 成本。
[0048] 首先，應當指出的是，所述第一滑動元件1優(yōu)選地為活塞環(huán)，但也可以采用其它任 何需要或期望的結(jié)構(gòu)，例如軸承、軸瓦、襯套、或任何其他元件。
[0049] 初步應當指出的是，作為本發(fā)明目的的第一滑動元件具有至少施加至其外周滑動 面2的涂層，但是，如果認為有必要或需要的話，并不排除將所述涂層進一步施加至所述元 件的其它部分和表面。
[0050] 當元件1具有優(yōu)選的活塞環(huán)結(jié)構(gòu)時，將本發(fā)明的涂層12至少施加到外表面2(與 汽缸壁接觸的表面），在活塞進行往復運動時所述環(huán)貼著該氣缸壁滑動。
[0051] 然而，并不排除該環(huán)上與所述活塞中存在的相應環(huán)形空腔摩擦的其他部分（例如 頂部、底部和內(nèi)表面）也具有本發(fā)明的涂層。
[0052] 以概念性的方式來說，滑動元件1設置有被保護性表層11覆蓋的含鐵基體10,該 保護性表層11包含通過物理氣相沉積法（PVD，也稱為離子鍍）施加的氮化鉻、和/或包含 氮化層。如上文提到的那樣，將DLC型碳涂層12施加至外周滑動面2上，其包含位于含鐵 基體10和無定形碳外層124之間的至少一個含有WCl-x的過渡層122、和具有晶體結(jié)構(gòu) (BCC-體心立方結(jié)構(gòu)）的金屬鉻層121。從圖4中可以看到具有清楚示出的各層的所述涂 層的不意圖。
[0053] 含鐵基體10可以具有多種多樣不同的構(gòu)成，但是優(yōu)選地包含碳鋼基底、鑄鐵或不 銹鋼（后者優(yōu)選含有17 %的鉻_Cr)。
[0054] 將上述保護性表層11施加至該含鐵基體，并且該層包含至少一種通過PVC工藝沉 積的氮化物（優(yōu)選地為氮化鉻）。優(yōu)選地，氮化鉻具有以CrN為主的構(gòu)成，但是，如果必要或 需要的話，顯然可以主要地使用Cr2N。此外，可供選擇的是，可以想到使用氮化層。
[0055] 在含鐵基體10上通過PVD工藝施加氮化層11或CrN涂層對本領域技術人員而言 是公知的，因此由 申請人:研發(fā)的涂層12的新穎性在于施加在所述氮化層和/或CrN上的各 層。
[0056] 因此，開始描述本發(fā)明的創(chuàng)新性方面，并且按照從基體到外部的順序?qū)Ω鲗拥慕M 成進行描述，在所述氮化層上施加類金剛石碳（DLC)涂層12,該涂層包含金屬粘合層121、 含有WCl-x的過渡層122、含有碳化物納米晶體結(jié)構(gòu)并且為多層結(jié)構(gòu)（a-C:H:W)和（a-C:H) 形式的中間層123、以及最后的無定形類型的碳（a-C:H)外層124。
[0057] 金屬粘合層121優(yōu)選地為具有上述晶體結(jié)構(gòu)（BCC-體心立方結(jié)構(gòu)）的金屬鉻層。 還優(yōu)選地，但不是必須的，該粘合層的厚度為約500nm到2,000nm。
[0058] 顧名思義，粘合層121的主要功能是增加沉積在其上的層對于施加在含鐵基體10 上的氮化層11的粘合性，以確保涂層12作為一個整體的內(nèi)聚力，避免剝落和應力的積聚， 如果發(fā)生這些現(xiàn)象則會縮短滑動元件1的壽命。
[0059] 將含有WCl-x的過渡層122施加在粘合層121上，并且過渡層122包含碳化鎢（其 包含可變比例的化學元素碳和鎢）。WCl-x這種組成表示：如果x為零，該比值為一個碳原 子（C)對應一個鎢原子（W)。類似地，如果x例如為0. 5,其表示兩個鎢原子對應一個碳原 子。
[0060] 如果必要或需要的話，金屬鎢可以用其它的金屬元素代替。
[0061] 如上所述，中間層123包含碳化物納米晶體結(jié)構(gòu)、并且為具有（a-C:H:W)和 (a-C:H)亞層的多層結(jié)構(gòu)，其被施加在過渡層122上，以便于稍后施加無定形碳層 124 (a-C:H構(gòu)造，涂層12的最外層）。外層124和123含有氫。
[0062] 按照彼此疊加的方式施加亞層（a-C:H:W)和（a_C:H)，在進行施加所用的裝置中， 控制施加時所存在的鎢的量，形成如圖5所示的上述多層結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有涂層中所述中間層 未被構(gòu)造成多層結(jié)構(gòu)的情況相比，本發(fā)明這樣的構(gòu)造是相當有益的，因為這樣的多層結(jié)構(gòu) 大大地減少了裂紋的擴展。即使在一個亞層（a-C:H:W)或（a_C:H)中開始產(chǎn)生裂紋或開裂， 當它抵達緊鄰的亞層時就會停止生長或擴展，這是因為其提供了一種在應力的耗散/累積 方面顯著不同的結(jié)構(gòu)。
[0063] 作為本發(fā)明目的的涂層的中間層123所呈現(xiàn)的防止裂紋擴展的特性，使得作為本 發(fā)明目的的內(nèi)燃機滑動元件具有更大的耐磨性，從而為內(nèi)燃機提供更長的壽命，因此是更 理想的。
[0064] 作為本發(fā)明目的的涂層12的優(yōu)選的厚度可以在下表中找到，并且可以在所建立 的范圍內(nèi)自由地變化，所得的發(fā)明也被包括在權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于內(nèi)燃機的滑動元件，其具有被保護性表層（11)覆蓋的含鐵基體（10)，所述 保護性表層包含通過物理氣相沉積工藝（PVD)施加的至少一種氮化物或者包含氮化層，在 該滑動元件的外周滑動面上施加有類金剛石碳（DLC)涂層（12)，其特征在于： (i) 所述涂層（12)包含：由WCl-x構(gòu)成的至少一個過渡層，和/或具有晶體結(jié)構(gòu) (BCC-體心立方結(jié)構(gòu)）的金屬鉻粘合層，具有（a-C:H:W)和（a-C:H)的多層結(jié)構(gòu)層并且其中 所述金屬尤其為鎢的金屬DLC中間層，以及不含金屬的DLC(a-C:H)外層；以及 (ii) 所述無定形碳外層（124)與包含納米晶體碳化物結(jié)構(gòu)的所述層（123)的厚度之 比大于4,和/或全部層的總厚度與所述外層（a-C:H) (124)的厚度之比大于1，優(yōu)選在1和 1. 4之間。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動元件，其特征在于所述碳外層（124)含有氫。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動元件，其特征在于所述過渡層（122)包含析出的碳化鎢 納米晶體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動元件，其特征在于所述涂層中的一個層是完全無定形 的。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的滑動元件，其特征在于所述過渡層（122)的厚度介于 100nm 和 500nm 之間。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動元件，其特征在于整個涂層（12)的厚度為4μπι至 15 μ m，更優(yōu)選地為8 μ m和12 μ m之間。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動元件，其特征在于涂層（12)的硬度為1，800HV至 3, 000HV。
8. -種用于內(nèi)燃機的滑動元件，其具有含鐵基體（10)，在所述滑動元件的外周滑動面 ⑵上施加有類金剛石碳（DLC)涂層（12)，其特征在于： ⑴所述涂層（12)包括：按照從外部至所述含鐵基體（10)的順序，（a-C:H)型的無 定形外層（124)，對應于（a-C:H:W)和（a-C:H)多層結(jié)構(gòu)形式的納米晶相碳化物的中間層 (123)，含有WCl-x的過渡層（122)，具有晶體結(jié)構(gòu)（BCC-體心立方結(jié)構(gòu)）的金屬鉻層（121)， 以及包含通過物理氣相沉積工藝（PVD)施加的至少一種氮化物的保護層（10); (ii) 所述不含金屬的DLC層（124)與所述金屬層（123)的厚度之比大于4,和/或全 部層的總厚度與所述外層（a_C:H) (124)的厚度之比大于1，優(yōu)選在1和1.4之間；以及 (iii) 在拉曼光譜中D帶（與sp2碳的無序程度相關）與G帶（單晶石墨）的積分強 度比介于0. 2和1. 0之間。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的滑動元件，其特征在于所述碳外層（124)含有氫。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的滑動元件，其特征在于所述過渡層（122)包含析出的碳化鎢 納米晶體。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的滑動元件，其特征在于所述涂層中的一個層是完全無定形 的。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8或10所述的滑動元件，其特征在于所述過渡層（122)的厚度介于 100nm 和 500nm 之間。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1-12中任一項所述的滑動元件，其特征在于所述滑動元件為活塞 環(huán)。
14.根據(jù)權(quán)利要求5或11所述的滑動元件，其特征在于通過濺射工藝進行金屬離子的 沉積。
【文檔編號】F16C33/10GK104271802SQ201380020095
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2013年2月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年2月16日
【發(fā)明者】尤利亞諾·阿韋拉爾·阿勞約, 努諾·科斯塔 申請人:馬勒發(fā)動機零部件巴西有限公司, 馬勒國際公司