門閥閥板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種門閥閥板，所述門閥閥板包括：與真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的擋板、與所述擋板連接的氣缸聯(lián)動(dòng)桿，所述擋板上設(shè)有緩沖裝置。當(dāng)閥板受氣缸的上下推動(dòng)而向與真空腔的腔體開口相向位置移動(dòng)，閥板的擠壓力量小于緩沖裝置的緩沖力量時(shí)，緩沖裝置首先接觸到腔體表面，從而降低了閥板對(duì)真空腔的密封圈的擠壓和沖擊力量，延長了密封圈的使用壽命。
【專利說明】門閥閥板
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實(shí)用新型涉及一種門閥，特別是涉及一種用于對(duì)與半導(dǎo)體處理裝置的真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的門閥閥板。
[0003]【背景技術(shù)】
[0004]在高真空環(huán)境下半導(dǎo)體處理裝置的真空腔上需要使用門閥，用以實(shí)現(xiàn)大氣與真空的隔斷以及真空腔之間的隔斷，以保證產(chǎn)品從大氣狀態(tài)傳送到真空狀態(tài)各個(gè)腔室的密封性。傳統(tǒng)技術(shù)中，門閥包括氣缸、氣缸聯(lián)動(dòng)桿以及閥板，閥板受氣缸的上下推動(dòng)而向與真空腔的腔體開口相向位置移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)腔體開口的打開和關(guān)閉。當(dāng)閥板關(guān)閉腔體開口時(shí)，閥板與腔體開口呈10度至30度的角度，使閥板做向上再向前的曲線運(yùn)動(dòng)，由于氣缸的推力及慣性較大，閥板容易沖擊和擠壓到真空腔上的密封圈。門閥頻繁動(dòng)作后會(huì)降低密封圈的使用壽命。
[0005]實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]針對(duì)傳統(tǒng)技術(shù)的門閥閥板多次擠壓密封圈容易降低密封圈使用壽命的問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種具有緩沖裝置的門閥閥板，所述門閥閥板包括對(duì)與真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的擋板、與所述擋板連接的氣缸聯(lián)動(dòng)桿，所述擋板上設(shè)有緩沖裝置。
[0007]優(yōu)選地，所述緩沖裝置包括彈性緩沖件和彈性支撐件，所述擋板中部開有長方形的方槽，所述彈性緩沖件固定連接于所述方槽的中部，所述彈性支撐件設(shè)于所述方槽的兩端，用以支撐起所述彈性緩沖件的兩端，形成突肩。
[0008]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0009]擋板上設(shè)有緩沖裝置后，當(dāng)閥板受氣缸的上下推動(dòng)而向與真空腔的腔體開口相向位置移動(dòng)，當(dāng)閥板的擠壓力量小于緩沖裝置的緩沖力量時(shí)，緩沖裝置首先接觸到腔體表面；當(dāng)閥板的擠壓力量等于緩沖裝置的緩沖力量時(shí)，緩沖裝置接觸到腔體表面的同時(shí)，真空腔的密封圈接觸到擋板；當(dāng)閥板的擠壓力量大于緩沖裝置的緩沖力量時(shí)，密封圈才成為主要的受力點(diǎn)。因此降低了閥板對(duì)真空腔的密封圈的擠壓和沖擊力量，從而延長了密封圈的使用壽命。
[0010]優(yōu)選地，所述擋板上設(shè)有兩個(gè)緩沖裝置，所述緩沖裝置包括彈性緩沖件和彈性支撐件，所述擋板的兩側(cè)分別開有一個(gè)長方形的方槽，所述彈性緩沖件分別固定連接于兩個(gè)所述方槽的中部，所述彈性支撐件分別設(shè)于兩個(gè)所述方槽的兩端，用以支撐起所述彈性緩沖件的兩端，形成突肩。
[0011]在擋板兩側(cè)設(shè)有兩個(gè)緩沖裝置時(shí)，能夠更好的保持閥板閉合的平衡性。
[0012]優(yōu)選地，所述方槽的底部的兩端分別開有兩個(gè)圓槽，用于固定設(shè)置所述彈性支撐件，所述彈性緩沖件通過螺栓固定連接于所述方槽的中部。
[0013]優(yōu)選地，所述彈性緩沖件固定連接于所述方槽的中部時(shí)，所述彈性緩沖件與所述方槽的底部存在空隙。
[0014]彈性緩沖件與方槽的底部存在空隙時(shí)，彈性支撐件能夠通過較小的彈力支撐起彈性緩沖件從而形成突肩。[0015]優(yōu)選地，所述彈性緩沖件的長度和寬度等于所述方槽的長度和寬度，所述彈性緩沖件的高度大于所述方槽的高度。
[0016]優(yōu)選地，所述彈性緩沖件的高度與所述方槽的高度之差小于真空腔的密封圈的厚度。
[0017]當(dāng)密封圈發(fā)生變形或失去彈力，而維修人員又沒有及時(shí)更換時(shí)，彈性緩沖件的高度大于方槽的高度會(huì)使得門閥閥板再次關(guān)閉時(shí)，彈性緩沖件與腔體發(fā)生接觸，從而避免了擋板直接與腔體發(fā)生機(jī)械碰撞而產(chǎn)生大量的空氣塵埃顆粒。
[0018]優(yōu)選地，所述彈性緩沖件為彈性壓片。
[0019]優(yōu)選地，所述壓片的材料為特氟龍。
[0020]特氟龍材質(zhì)的彈性壓片在擠壓碰撞過程中不會(huì)產(chǎn)生大量的空氣塵埃顆粒。
[0021]優(yōu)選地，所述彈性支撐件為金屬彈簧。
[0022]【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為本實(shí)用新型門閥閥板的三維示意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型門閥閥板處于空閑狀態(tài)的剖面圖；
[0025]圖3為本實(shí)用新型門閥閥板處于關(guān)閉狀態(tài)的剖面圖。
[0026]【具體實(shí)施方式】
[0027]圖1為本實(shí)用新型門閥閥板的三維示意圖，如圖1所示，該門閥閥板是對(duì)與半導(dǎo)體處理裝置的真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的部件，具體包括與擋板連接的氣缸聯(lián)動(dòng)桿1、擋板2以及緩沖裝置3，其中緩沖裝置3設(shè)于擋板2之上，擋板上可以設(shè)置一個(gè)或多于一個(gè)的緩沖裝置3。
[0028]優(yōu)選地，在擋板2上設(shè)有兩個(gè)緩沖裝置3。
[0029]具體地，圖2為本實(shí)用新型門閥閥板處于空閑狀態(tài)的剖面圖，如圖2所示，該門閥閥板包括氣缸聯(lián)動(dòng)桿1、與氣缸聯(lián)動(dòng)桿I連接的擋板2、以及兩個(gè)緩沖裝置3，其中擋板2上開有一個(gè)長方形的方槽2a，緩沖裝置3包括彈性支撐件3a以及彈性緩沖件3b。
[0030]在擋板2的兩側(cè)分別開有一個(gè)長方形的方槽2a，方槽2a的底部的兩端分別開一個(gè)圓形的圓槽，用于放置彈性支撐件3a的一端。方槽2a的底部的中部開一個(gè)螺紋孔，彈性緩沖件3b中間設(shè)有另一個(gè)螺紋孔，通過螺栓3c穿過彈性緩沖件3b中間的螺紋孔以及方槽2a底部的螺紋孔，將彈性緩沖件3b固定連接到方槽2a的底部。當(dāng)螺栓3c向下緊固時(shí)，兩側(cè)的彈性支撐件3a會(huì)將彈性緩沖件3b的兩端彈起形成突肩3d。
[0031]優(yōu)選地，螺栓3c向下緊固時(shí)，彈性緩沖件3b與方槽2a的底部之間留有空隙，從而使得彈性支撐件能夠通過較小的彈力支撐起彈性緩沖件從而形成突肩。
[0032]圖3為本實(shí)用新型門閥閥板處于關(guān)閉狀態(tài)的剖面圖，如圖3所示，當(dāng)氣缸產(chǎn)生氣壓推動(dòng)氣缸聯(lián)動(dòng)桿I時(shí)，擋板2受氣缸聯(lián)動(dòng)桿I的推力，向與真空腔腔體4的開口相向的位置，向前并向上做曲線運(yùn)動(dòng)。當(dāng)擋板2關(guān)閉腔體4的開口時(shí)，當(dāng)閥板的擠壓力量小于緩沖裝置3中彈性支撐件3a的彈力時(shí)，緩沖裝置3的突肩3d首先接觸到腔體表面；當(dāng)閥板的擠壓力量等于彈性支撐件3a的彈力時(shí)，緩沖裝置3的突肩3d接觸到腔體表面的同時(shí)，真空腔的密封圈5接觸到擋板2的表面；當(dāng)閥板的擠壓力量大于彈性支撐件3a的彈力時(shí)，密封圈5才成為主要的受力點(diǎn)。
[0033]在本實(shí)施例的技術(shù)方案中，通過在門閥閥板的擋板上增設(shè)緩沖裝置，使得門閥閥板在對(duì)真空腔的腔體開口進(jìn)行開閉動(dòng)作時(shí)，減輕了對(duì)腔體上密封圈的擠壓和沖擊力量，從而延長了密封圈的使用壽命。
[0034]優(yōu)選地，彈性緩沖件的長度和寬度等于方槽的長度和寬度，彈性緩沖件的高度大于方槽的高度，且彈性緩沖件的高度與方槽的高度之差小于真空腔的密封圈的厚度。
[0035]優(yōu)選地，彈性緩沖件為彈性壓片，彈性支撐件為金屬彈簧，進(jìn)一步地，壓片的材料為特氟龍。
[0036]當(dāng)密封圈發(fā)生變形或失去彈力，而維修人員又沒有及時(shí)更換時(shí)，彈性緩沖件的高度大于方槽的高度會(huì)使得門閥閥板再次關(guān)閉時(shí)，彈性緩沖件與腔體發(fā)生接觸，從而避免了擋板直接與腔體發(fā)生機(jī)械碰撞而產(chǎn)生大量的空氣塵埃顆粒。
[0037]應(yīng)說明的是:以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型而非限制，本實(shí)用新型也并不僅限于上述舉例，一切不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn)，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種門閥閥板，包括對(duì)與真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的擋板、與所述擋板連接的氣缸聯(lián)動(dòng)桿，其特征在于，所述擋板上設(shè)有緩沖裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的門閥閥板，其特征在于，所述緩沖裝置包括彈性緩沖件和彈性支撐件，所述擋板中部開有長方形的方槽，所述彈性緩沖件固定連接于所述方槽的中部，所述彈性支撐件設(shè)于所述方槽的兩端，用以支撐起所述彈性緩沖件的兩端，形成突肩。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的門閥閥板，其特征在于，所述擋板上設(shè)有兩個(gè)緩沖裝置，所述緩沖裝置包括彈性緩沖件和彈性支撐件，所述擋板的兩側(cè)分別開有一個(gè)長方形的方槽，所述彈性緩沖件分別固定連接于兩個(gè)所述方槽的中部，所述彈性支撐件分別設(shè)于兩個(gè)所述方槽的兩端，用以支撐起所述彈性緩沖件的兩端，形成突肩。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的門閥閥板，其特征在于，所述方槽的底部的兩端分別開有兩個(gè)圓槽，用于固定設(shè)置所述彈性支撐件，所述彈性緩沖件通過螺栓固定連接于所述方槽的中部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的門閥閥板，其特征在于，所述彈性緩沖件固定連接于所述方槽的中部時(shí)，所述彈性緩沖件與所述方槽的底部存在空隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的門閥閥板，其特征在于，所述彈性緩沖件的長度和寬度等于所述方槽的長度和寬度，所述彈性緩沖件的高度大于所述方槽的高度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的門閥閥板，其特征在于，所述彈性緩沖件的高度與所述方槽的高度之差小于真空腔的密封圈的厚度。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的門閥閥板，其特征在于，所述彈性緩沖件為彈性壓片。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的門閥閥板，其特征在于，所述壓片的材料為特氟龍。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的門閥閥板，其特征在于，所述彈性支撐件為金屬彈簧。
【文檔編號(hào)】F16K3/30GK203627863SQ201320531706
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月29日
【發(fā)明者】王燕鋒, 高峰, 楊碩 申請(qǐng)人:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司