技術(shù)編號：5673026
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型提供一種門閥閥板，所述門閥閥板包括與真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的擋板、與所述擋板連接的氣缸聯(lián)動桿，所述擋板上設(shè)有緩沖裝置。當(dāng)閥板受氣缸的上下推動而向與真空腔的腔體開口相向位置移動，閥板的擠壓力量小于緩沖裝置的緩沖力量時，緩沖裝置首先接觸到腔體表面，從而降低了閥板對真空腔的密封圈的擠壓和沖擊力量，延長了密封圈的使用壽命。專利說明門閥閥板[0001][0002]本實用新型涉及一種門閥，特別是涉及一種用于對與半導(dǎo)體處理裝置的真空腔連通的開口進(jìn)行開閉的門閥...
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