本發(fā)明涉及一種迷宮式密封件、清洗單元及方法、溶液制膜方法。

背景技術(shù)：
作為清洗表面被污染的部件的方法有干冰清洗。干冰清洗為向附著有污染物的被清洗物的表面噴吹固體干冰顆粒(干冰雪)，通過干冰顆粒的碰撞及升華來從被清洗物的表面去除污染物的清洗方法。干冰清洗中，從清洗機(jī)噴出的干冰顆?；蚺鲎驳奖磺逑次锏谋砻娑鴱椈氐母杀w粒及氣體二氧化碳、從被清洗物剝離的污染物容易飛散到被清洗物或清洗機(jī)周圍。另一方面，作為薄膜的制造方法有溶液制膜方法。溶液制膜方法如公知，為如下方法：將包含聚合物與溶劑的濃液(dope)流延到移動(dòng)的流延支承體的表面來形成流延膜，從流延支承體剝?nèi)≡摿餮幽げ⑦M(jìn)行干燥，從而制造薄膜。工業(yè)方面較多情況下將薄膜制造成長形，因此環(huán)狀的流延支承體上反復(fù)進(jìn)行流延與剝?nèi)?。通過該反復(fù)操作，在流延支承體上析出濃液中尤其聚合物成分中所含的物質(zhì)，而污染流延支承體。流延支承體大多為金屬制，為了去除污染物，有時(shí)在各種清洗方法中也優(yōu)選干冰清洗。并且，若每次清洗流延支承體時(shí)停止流延支承體的驅(qū)動(dòng)，則薄膜的生產(chǎn)率下降，因此清洗時(shí)優(yōu)選不停止流延支承體的驅(qū)動(dòng)，而進(jìn)行流延與剝?nèi)〉耐瑫r(shí)進(jìn)行清洗。因此，在日本專利公開2009-078444號公報(bào)提出有進(jìn)行流延與剝?nèi)〉耐瑫r(shí)進(jìn)行流延支承體的干冰清洗，而抑制上述飛散的清洗方法。日本專利公開2009-078444號公報(bào)所記載的清洗方法中，對從剝離流延膜的剝?nèi)∥恢贸蛄餮訚庖旱牧餮游恢玫牧餮又С畜w噴吹包含干冰顆粒的清洗氣體，來清洗流延支承體的表面。該日本專利公開2009-078444號公報(bào)的方法中，噴吹清洗氣體的清洗噴嘴被腔室包圍，在腔室的與流延支承體對置的對置部設(shè)置有迷宮式密封件。日本專利公開2009-078444號公報(bào)所記載的方法通過腔室抑制飛散，且通過迷宮式密封件的密封效果即通過阻止流體的流動(dòng)來進(jìn)一步抑制上述飛散。并且，日本專利公開2011-067768號公報(bào)的涂布裝置中，在進(jìn)行簾式涂布的涂布裝置的上游設(shè)置迷宮式密封件，在迷宮式密封件的上游設(shè)置有吸引氣體的狹縫及吸引機(jī)構(gòu)。將從涂布對象物到狹縫開口與迷宮式密封件前端的距離設(shè)為大致相同。日本專利公開2011-067768號公報(bào)的涂布裝置通過迷宮式密封件得到密封效果，并且通過狹縫及吸引機(jī)構(gòu)吸引空氣的流動(dòng)，從而更有效地防止空氣流對簾式膜的影響。日本專利公開2009-078444號公報(bào)的方法中，對于防止上述飛散有一定的效果。然而，日本專利公開2009-078444號公報(bào)的方法中存在如下問題：在繼續(xù)進(jìn)行流延與剝?nèi)〉倪^程中，迷宮式密封件上附著并凝固干冰顆?；驓怏w二氧化碳，凝固的干冰向迷宮式密封件及腔室的外部漏出。有時(shí)漏出到外部的固體干冰附著到流延支承體等部件或流延膜上。并且，如日本專利公開2011-067768號公報(bào)所記載，在迷宮式密封件的上游設(shè)置狹縫及吸引機(jī)構(gòu)能夠示出比日本專利公開2009-078444號公報(bào)更高的密封效果。但是，吸引力較弱，因此依然產(chǎn)生干冰顆?；驓怏w二氧化碳附著到迷宮式密封件和向外部飛出的問題。并且，在流延制膜的流延環(huán)境中，有時(shí)迷宮式密封件在高溫下暴曬等、迷宮式密封件隨著溫度變化而膨脹。有時(shí)因該膨脹迷宮式密封件的外部尺寸變大，在繼續(xù)進(jìn)行流延與剝?nèi)〉倪^程中迷宮式密封件與流延支承體接觸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種迷宮式密封件，其不會(huì)使干冰顆?；驓饣亩趸几街⒐袒S持較高的密封效果，且抑制因基于升溫導(dǎo)致的膨脹而外部尺寸變大。并且，本發(fā)明的目的在于提供一種具備這種迷宮式密封件且進(jìn)行干冰清洗的清洗單元及使用迷宮式密封件的清洗方法。并且，本發(fā)明的目的在于提供一種溶液制膜方法，其即使對連續(xù)進(jìn)行流延及剝?nèi)〉牧餮又С畜w進(jìn)行干冰清洗，也能夠抑制在迷宮式密封件的外部固化的干冰飛散，且即使升溫迷宮式密封件也不會(huì)與流延支承體碰撞。本發(fā)明的迷宮式密封件具備多個(gè)密封凸片與孔。多個(gè)密封凸片相互分開而平行設(shè)置?？棕灤┬纬梢允箽怏w通過?？椎囊欢讼蚨鄠€(gè)密封凸片之間的槽開口?？椎牧硪欢诉B接有吸引氣體的吸引部。優(yōu)選孔沿槽的長邊方向形成有多個(gè)。本發(fā)明的清洗單元具備清洗機(jī)、殼體、迷宮式密封件及吸引部。清洗機(jī)通過使干冰顆粒噴出而與被清洗物的表面接觸來清洗被清洗物的表面。殼體覆蓋干冰顆粒所接觸的被清洗物的表面。迷宮式密封件設(shè)置于殼體的與被清洗物對置的對置部。迷宮式密封件具有孔與多個(gè)密封凸片。多個(gè)密封凸片相互分開而平行設(shè)置。孔貫穿迷宮式密封件而形成以使氣體通過。孔的一端向多個(gè)密封凸片之間的槽開口。孔的另一端與殼體的內(nèi)部連接。吸引部通過吸引殼體內(nèi)部的氣體來回收從被清洗物的表面脫離的污染物。吸引部通過孔吸引密封凸片周圍的氣體。優(yōu)選孔的另一端經(jīng)由設(shè)置于殼體的管與殼體的內(nèi)部連接。優(yōu)選孔沿槽的長邊方向形成有多個(gè)。優(yōu)選被清洗物為環(huán)狀的流延支承體，流延支承體上反復(fù)進(jìn)行溶液制膜的濃液的流延與通過流延形成的流延膜的剝?nèi)?。?yōu)選清洗單元與從剝離流延膜的剝?nèi)∥恢贸蛄餮訚庖旱牧餮游恢玫牧餮又С畜w的表面對置而設(shè)置，槽的長邊方向與流延支承體的寬度方向一致。優(yōu)選迷宮式密封件配設(shè)于流延支承體的表面的移動(dòng)方向上的清洗機(jī)的上游與下游中的至少任一方。本發(fā)明的清洗方法具備清洗步驟(A步驟)及吸引步驟(B步驟)。A步驟通過使干冰顆粒與被清洗物的表面接觸來清洗被清洗物的表面。B步驟通過在A步驟中吸引殼體內(nèi)部的氣體來回收從被清洗物的表面脫離的污染物。殼體設(shè)置成覆蓋干冰顆粒所接觸的被清洗物的表面。殼體的與被清洗物對置的對置部設(shè)置有迷宮式密封件。迷宮式密封件具有孔與多個(gè)密封凸片。多個(gè)密封凸片相互分開而平行設(shè)置?？棕灤┟詫m式密封件而形成以使氣體通過?？椎囊欢讼蚨鄠€(gè)密封凸片之間的槽開口?？椎牧硪欢伺c殼體的內(nèi)部連接。通過吸引并通過孔吸引多個(gè)密封凸片周圍的氣體。本發(fā)明的溶液制膜方法具備流延步驟(C步驟)、剝?nèi)〔襟E(D步驟)、干燥步驟(E步驟)、清洗步驟(F步驟)及吸引步驟(G步驟)。C步驟在沿長邊方向移動(dòng)的環(huán)狀的流延支承體上流延包含聚合物與溶媒的濃液。D步驟從流延支承體剝?nèi)⊥ㄟ^C步驟形成的流延膜。E步驟對通過D步驟剝?nèi)〉牧餮幽みM(jìn)行干燥而作成薄膜。F步驟通過使干冰顆粒與從剝?nèi)∥恢贸蛄餮游恢玫牧餮又С畜w的流延濃液的表面接觸來清洗表面。剝?nèi)∥恢脼閯內(nèi)×餮幽さ奈恢谩Ａ餮游恢脼榱餮訚庖旱奈恢?。G步驟回收在F步驟中通過吸引殼體內(nèi)部的氣體而從流延支承體的表面脫離的污染物。殼體設(shè)置成覆蓋干冰顆粒所接觸的流延支承體的表面。殼體的與流延支承體對置的對置部設(shè)置有迷宮式密封件。迷宮式密封件具有孔與多個(gè)密封凸片。多個(gè)密封凸片相互分開而平行設(shè)置?？棕灤┟詫m式密封件而形成以使氣體通過。孔的一端向多個(gè)密封凸片之間的槽開口?？椎牧硪欢伺c殼體的內(nèi)部連接。通過吸引并通過孔吸引多個(gè)密封凸片周圍的氣體。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的迷宮式密封件，即使用于干冰清洗，也不會(huì)使干冰顆?；驓饣亩趸嫉雀街⒐袒S持較高的密封效果，且抑制因基于升溫導(dǎo)致的膨脹而外部尺寸變大。根據(jù)本發(fā)明的清洗單元，不會(huì)使干冰顆?；驓饣亩趸嫉雀街⒐袒S持較高的密封效果，并且迷宮式密封件抑制因基于升溫導(dǎo)致的膨脹而外部尺寸變大。根據(jù)本發(fā)明的清洗方法，干冰清洗中固化的二氧化碳不會(huì)附著到迷宮式密封件而維持較高的密封效果，并且即使迷宮式密封件在高溫下暴曬也防止外部尺寸變大。根據(jù)本發(fā)明的溶液制膜方法，即使對連續(xù)進(jìn)行流延及剝?nèi)〉牧餮又С畜w進(jìn)行干冰清洗，也可抑制在迷宮式密封件的外部固化的干冰飛散，即使升溫迷宮式密封件也不會(huì)與流延支承體碰撞。附圖說明圖1是表示溶液制膜設(shè)備的概略圖。圖2是表示清洗單元的概略的局部截面?zhèn)纫晥D。圖3是表示迷宮式密封件的概略的截面圖。圖4是沿圖3的IV-IV線的截面圖。圖5是表示迷宮式密封件的概略的截面圖。具體實(shí)施方式參考圖1，對通過溶液制膜方法制造薄膜的溶液制膜設(shè)備的一例進(jìn)行說明。圖1所示的溶液制膜設(shè)備10從上游側(cè)依次具備流延裝置11、拉幅機(jī)12、狹縫裝置16、干燥裝置17及卷取裝置18。流延裝置11具備滾筒21、流延模22、減壓腔室23、剝?nèi)≥?6、溫度控制器27、溫度控制器28、清洗單元31、流延腔室32。流延腔室32容納滾筒21、流延模22、減壓腔室23、剝?nèi)≥?6及清洗單元31。滾筒21為金屬制流延支承體。滾筒21具有驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)，其通過該驅(qū)動(dòng)裝置向恒定方向旋轉(zhuǎn)。圖1中對表示滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向的箭頭附加符號X。若供給聚合物溶解于溶媒的濃液33，則流延模22流出該濃液33。流延模22配設(shè)成濃液33的流出口即狹縫(未圖示)與滾筒21對置。通過從流延模22朝向旋轉(zhuǎn)中的滾筒21的周面21a流出濃液33，周面21a上形成由濃液33構(gòu)成的流延膜36。以下，將周面21a中流延濃液33的位置(開始形成流延膜36的位置)稱為流延位置PC。減壓腔室23配設(shè)于滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的流延模22的上游。減壓腔室23將待減壓的空間與外部空間隔開。減壓腔室23的與流延模22及滾筒21對置的對置部被開放。若減壓腔室23通過吸引機(jī)(未圖示)其內(nèi)部的氣體被吸引，則內(nèi)部成為減壓狀態(tài)。由此，滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的上游側(cè)區(qū)被減壓，從流延模22流出的濃液33穩(wěn)定且連續(xù)地流延到周面21a。溫度控制器27調(diào)整流延腔室32內(nèi)部的溫度，且溫度控制器28調(diào)整滾筒21的周面21a的溫度。通過這些溫度調(diào)整，朝向剝?nèi)≥?6的流延膜36凝固成可進(jìn)行剝?nèi)∨c傳送的程度。例如，通過將滾筒21的周面21a冷卻為10℃以下，流延膜36被冷卻而凝膠化。并且，通過將滾筒21的周面21a與流延腔室32的溫度加熱成高于室溫的溫度，濃液33的溶劑成分從流延膜36蒸發(fā)而使流延膜36干燥而凝膠化。剝?nèi)≥?6配設(shè)于滾筒21的附近，由周面支承從滾筒21剝離的流延膜36即濕潤薄膜37。由此剝?nèi)≥?6恒定保持從滾筒21剝離流延膜36的剝?nèi)∥恢肞P。滾筒21的周面21a以從流延位置PC通過剝?nèi)∥恢肞P而返回到流延位置PC的方式循環(huán)，因此為沿長邊方向移動(dòng)的環(huán)狀的流延面。清洗單元31為用于清洗滾筒21的周面21a的單元，與從剝?nèi)∥恢肞P朝向流延位置PC的周面21a對置而配設(shè)。關(guān)于清洗單元31的詳細(xì)內(nèi)容利用另一附圖進(jìn)行后述。通過剝?nèi)⌒纬傻臐駶櫛∧?7由輥38傳送而引導(dǎo)至拉幅機(jī)12。拉幅機(jī)12中，用作為保持構(gòu)件的例如針(未圖示)等保持濕潤薄膜37的側(cè)端部，由該保持構(gòu)件傳送的同時(shí)對濕潤薄膜37進(jìn)行干燥。作為保持構(gòu)件使用針時(shí)，通過使針貫穿濕潤薄膜37的側(cè)端部，來保持濕潤薄膜37。各側(cè)端部的保持構(gòu)件對濕潤薄膜37的寬度方向施加適當(dāng)張力的同時(shí)沿傳送方向移動(dòng)。張力根據(jù)應(yīng)制造的薄膜41的光學(xué)性能(例如相位差)等設(shè)定。例如，為了在薄膜41中發(fā)現(xiàn)目標(biāo)光學(xué)性能，而以預(yù)定的加寬率擴(kuò)大濕潤薄膜37的寬度時(shí)，以成為預(yù)定加寬率的方式對濕潤薄膜37賦予寬度方向的張力。拉幅機(jī)12具有包圍傳送路的腔室(未圖示)，拉幅機(jī)12的腔室的內(nèi)部具備導(dǎo)管(未圖示)。導(dǎo)管(未圖示)上與濕潤薄膜37的傳送路對置分別形成有多個(gè)進(jìn)氣噴嘴(未圖示)與吸引噴嘴(未圖示)。通過進(jìn)氣噴嘴送出干燥氣體和吸引噴嘴吸引氣體，拉幅機(jī)12的腔室內(nèi)部保持恒定的濕度及溶劑氣體濃度。通過使?jié)駶櫛∧?7通過拉幅機(jī)12的腔室內(nèi)部來對其進(jìn)行的干燥。根據(jù)制造的薄膜41的光學(xué)性能，可串聯(lián)配設(shè)多個(gè)拉幅機(jī)12，由此可進(jìn)行在寬度方向的張力賦予或加熱或干燥等。當(dāng)串聯(lián)配設(shè)多個(gè)拉幅機(jī)12時(shí)，有如下形態(tài)，即將最上游的拉幅機(jī)12的保持構(gòu)件作為針，將其他拉幅機(jī)的保持構(gòu)件設(shè)為夾子。在狹縫裝置16中，經(jīng)過拉幅機(jī)12的濕潤薄膜37由切斷刀具連續(xù)切斷并去除留有基于保持構(gòu)件的保持痕跡的各側(cè)端部。一方的側(cè)端部與另一方的側(cè)端部之間的中央部送到干燥裝置17。若濕潤薄膜37送至干燥裝置17，則由沿傳送方向并列配設(shè)的多個(gè)輥42的周面支承。這些輥42中有沿周向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥，濕潤薄膜37通過該驅(qū)動(dòng)輥的旋轉(zhuǎn)傳送。干燥裝置17具備流出已干燥的氣體的導(dǎo)管(未圖示)，且具有與外部隔開送入干燥氣體的空間的腔室(未圖示)。多個(gè)輥42容納于該腔室內(nèi)。干燥裝置17的腔室內(nèi)形成有排氣口(未圖示)，通過從導(dǎo)管送出干燥氣體和從排出口排氣，干燥裝置17的腔室內(nèi)部保持恒定的濕度及溶劑氣體濃度。通過該干燥裝置17的腔室內(nèi)部，由此濕潤薄膜37進(jìn)行干燥而成為薄膜41。在干燥裝置17中干燥的薄膜41送至卷取裝置18而卷取成輥狀。另外，可在干燥裝置17與卷取裝置18之間設(shè)置狹縫裝置(未圖示)，通過該狹縫裝置切斷去除各側(cè)端部。并且，也可在干燥裝置17與卷取裝置18之間設(shè)置滾花裝置(圖示)，通過該滾花裝置進(jìn)行對薄膜41的各側(cè)端部賦予微細(xì)的凹凸的滾花處理。圖1中示出作為流延支承體使用滾筒21的情況。但是，流延支承體也可為卷繞于多個(gè)輥(未圖示)的周面的環(huán)狀傳送帶(未圖示)。將傳送帶設(shè)為流延支承體時(shí)，將卷繞有傳送帶的多個(gè)輥中的至少1個(gè)輥設(shè)為沿周向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥。通過該驅(qū)動(dòng)輥的旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)帶沿長邊方向傳送，連續(xù)反復(fù)進(jìn)行環(huán)繞。將傳送帶設(shè)為流延支承體時(shí)，能夠?qū)⒕砝@有傳送帶的輥設(shè)為可調(diào)整周面溫度的輥，通過該輥控制傳動(dòng)帶的溫度即可。如此，本發(fā)明不將流延支承體限定為滾筒21。如圖2所示，清洗單元31與滾筒21對置配設(shè)。清洗單元31與在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的剝?nèi)≥?6的下游、減壓腔室23的上游即從剝?nèi)∥恢肞P朝向流延位置PC的周面21a對置配設(shè)。通過該清洗單元31去除附著于滾筒21的周面21a的污染物來清洗滾筒21。當(dāng)濃液33的聚合物成分為纖維素?；飼r(shí)，該污染物中主要含有從滾筒上的流延膜36析出的脂肪酸酯、脂肪酸、脂肪酸金屬鹽等。清洗單元31具備清洗機(jī)51和殼體52。清洗機(jī)51具有干冰生成部53、氣體供給部54及噴嘴55。噴嘴55上形成有第1供給口55a、第2供給口55b及噴出口55c。干冰生成部53通過管58與第1供給口55a連接。氣體供給部54通過管59與第2供給口55b連接。干冰生成部53生成具有預(yù)定范圍的粒徑的升華固體干冰顆粒62。生成的干冰顆粒62經(jīng)由管58供給到噴嘴55的第1供給口55a。氣體供給部54中填充有壓縮成預(yù)定壓力的氣體63。作為氣體供給部54例如有氣體罐。作為氣體63例如有氮等惰性氣體。氣體供給部54經(jīng)由管59將氣體63供給到噴嘴55的第2供給口55b。氣體供給部54具有控制器(未圖示)，通過該控制器控制供給的氣體63的量或供給時(shí)的氣體63的流量。另外，氣體63不限于惰性氣體，也可為例如空氣(Air)等。噴嘴55以相對周面21a站立的姿勢配設(shè)以使噴出口55c朝向滾筒21的周面21a。另外，本實(shí)施方式中，如圖2所示，從側(cè)面觀察滾筒21時(shí)，噴嘴55以相對周面21a沿垂直的方向站立的姿勢配設(shè)。噴嘴55的噴出口55c為細(xì)長的矩形狹縫，但可以不是嚴(yán)格的矩形。噴嘴55配設(shè)成噴出口55c的長邊方向與周面21a的寬度方向(圖2的紙面的縱深方向)Y(參考圖4)一致。一致可以不是嚴(yán)格的一致，也可大致一致。噴出口55c在周面21a的寬度方向Y的長度與周面21a的寬度相等以便可清洗周面21a的全寬區(qū)域，但也可以比周面21a的寬度短。相等可以不是嚴(yán)格的相等，也可為大致相等。當(dāng)比周面21a的寬度短時(shí)，噴嘴55上設(shè)置位移機(jī)構(gòu)(未圖示)，通過沿寬度方向Y移動(dòng)自如，來清洗周面21a的全寬區(qū)域。噴嘴口55c的形狀代替沿寬度方向Y延伸的狹縫可為圓形、大致圓形或多邊形、大致多邊形，此時(shí)也在噴嘴55設(shè)置位移機(jī)構(gòu)(未圖示)而沿寬度方向Y移動(dòng)自如。另外，本實(shí)施方式中，噴嘴55插通于構(gòu)成殼體52的殼體主體64在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的大致中央而被固定。噴嘴55的噴出口55c為比周面21a的寬度短的狹縫或者圓形、大致圓形、多邊形、大致多邊形時(shí)，殼體主體64上也設(shè)置位移機(jī)構(gòu)(圖示)，使其與固定于殼體主體64的噴嘴55同步移動(dòng)即可。噴嘴55上形成有連通第2供給口55b與噴出口55c之間的第1流路(未圖示)。并且，噴嘴55上形成有連通第1供給口55a與第1流路的第2流路(未圖示)。由此，引導(dǎo)至第1流路的氣體63在第1流路與來自第2流路的干冰顆粒62混合。在以下的說明中，將通過混合干冰顆粒62與氣體63生成的氣體稱為清洗氣體67。清洗氣體67從噴出口55c噴出而與滾筒21的周面21a接觸。以下，將被噴吹該清洗氣體67的周面21a的區(qū)稱為清洗區(qū)。本實(shí)施方式中，由干冰生成部53預(yù)先生成干冰顆粒62，將該干冰顆粒62送入噴嘴55，但不限于此。例如，可將液態(tài)二氧化碳送入噴嘴(未圖示)，在該噴嘴內(nèi)生成固體干冰顆粒62。如此，可使用周知的干冰清洗構(gòu)件來代替清洗機(jī)51。若清洗氣體67噴吹到滾筒的周面21a，則該清洗氣體67中所含的干冰顆粒62與附著于滾筒周面21a的污染物碰撞。通過該碰撞，污染物被粉碎并從周面21a去除。由此，不會(huì)殘留清洗痕跡，去除滾筒21的周面21a上的污染物。被去除的污染物與清洗氣體67一同向滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X或與旋轉(zhuǎn)方向X相反的方向等流動(dòng)。殼體52具有殼體主體64、排氣部71、控制器73、迷宮式密封件76、77。殼體主體64為與周面21a對置開放的箱型形狀，將寬度方向Y的長度設(shè)為比滾筒21的周面21a的寬度稍微長。由此，殼體主體64覆蓋清洗區(qū)，將清洗區(qū)的周圍空間與外部空間隔開。由此，限制來自噴出口55c的清洗氣體67、與周面21a接觸而飄起的清洗氣體67及從周面21a脫離的污染物的飛散范圍。殼體主體64在寬度方向Y的長度可根據(jù)噴出口55c在寬度方向Y的長度設(shè)定，例如，噴出口55c在寬度方向Y的長度較短時(shí)，也可與其對應(yīng)地縮短。與周面21a對置的殼體主體64的開放口64a向滾筒21的周面21a的寬度方向延伸而形成，以便包圍形成有噴出口55c的噴嘴55的前端。開放口64a以不妨礙從噴嘴55噴吹清洗氣體67的方式形成，并且成為從周面21a脫離的污染物引導(dǎo)至殼體主體64的內(nèi)部的引導(dǎo)路。殼體主體64的上部形成有第1排氣口64b，側(cè)部形成有第2排氣口64c。但是第1排氣口64b、第2排氣口64c的位置沒有特別限定。第1排氣口64b通過管78與排氣部71連接。排氣部71吸引殼體主體64內(nèi)部的氣體，將殼體主體64的內(nèi)部設(shè)為壓力低于外部的減壓狀態(tài)，并吸引清洗區(qū)附近的氣體。由此，從周面21a脫離的污染物與清洗氣體67一同被吸引。由此，殼體主體64將待減壓的空間與外部空間隔開。排氣部71凈化吸引的氣體并排出并且回收通過凈化而從氣體分離的固體。由此，清洗氣體67中所含的氣體向外部排出，包含于清洗氣體67的固體即污染物被回收。通過排氣部71吸引的氣體流量可根據(jù)滾筒21的轉(zhuǎn)速或來自噴嘴55的清洗氣體67的噴出流量變化。并且來自噴嘴55的清洗氣體67的噴出流量可根據(jù)周面21a的污染程度等變化。迷宮式密封件76、77安裝于與周面21a對置的殼體主體64的對置面64d，密封殼體主體64與周面21a之間。由此，抑制清洗氣體67與從周面脫離的污染物向殼體主體64的外部流出。如上，通過與清洗氣體67一同吸引從周面21a剝離的污染物，抑制污染物向殼體主體64的外部飛散。并且，假設(shè)污染物不與清洗氣體67一同被吸引，也可通過迷宮式密封件76、77抑制包含污染物的清洗氣體67向殼體主體64的外部流出。因此，即使?jié)庖?3的流延期間，也不會(huì)影響流延膜36或從流延模22流出的濃液(流延液珠)33，而滾筒21的清洗順利地進(jìn)行。迷宮式密封件76、77可遍及殼體主體64的對置面64d的整體，即從圖2的下方觀察殼體主體64的包圍開放口64a的整周來進(jìn)行設(shè)置。但是清洗移動(dòng)的滾筒21的周面21a時(shí)，只要在對置面64d中的旋轉(zhuǎn)方向X上的清洗機(jī)51的上游與下游中的至少任意一方設(shè)置即可。優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)為如圖2所示在清洗機(jī)51的上游與下游的兩個(gè)對置面64d設(shè)置迷宮式密封件76、77的形態(tài)。對設(shè)置于旋轉(zhuǎn)方向X上的清洗機(jī)51的上游的對置面64d的迷宮式密封件添加符號76，對設(shè)置于清洗機(jī)51的下游的對置面64d的迷宮式密封件添加符號77。如圖2所示，迷宮式密封件76、77設(shè)置成向殼體主體64的內(nèi)部側(cè)突出。并且，迷宮式密封件76的上游側(cè)側(cè)面設(shè)為與殼體主體64的上游側(cè)側(cè)面呈同一水平面，迷宮式密封件77的下游側(cè)側(cè)面設(shè)為與殼體主體64的下游側(cè)側(cè)面呈同一水平面，并且，迷宮式密封件76、77上貫穿形成有如后述氣體通過的孔101～104(參考圖3、圖4)，殼體52上設(shè)置有與該孔101～104連接的管82。管82的一端連接于第2排氣口64c，另一端連接于迷宮式密封件76、77。管82配設(shè)于殼體主體64及迷宮式密封件76、77的外部空間側(cè)。由此，迷宮式密封件76、77經(jīng)由殼體主體64的內(nèi)部與排氣部71連接。如上述排氣部71將殼體主體64的內(nèi)部設(shè)為減壓狀態(tài)，由此，從迷宮式密封件76、77的多個(gè)密封凸片(以下僅稱為凸片)85～88(參考圖3)之間吸引其周圍的氣體?？刂破?3控制基于排氣部71的氣體的吸引力。迷宮式密封件76與迷宮式密封件77具有相同結(jié)構(gòu)及功能，因此以下對迷宮式密封件77進(jìn)行說明，而對迷宮式密封件76省略說明。如圖3所示，迷宮式密封件77具有多個(gè)凸片85～88。在圖3中，對于凸片從靠近噴嘴55的側(cè)依次添加符號85、86、87、88。各凸片85～88向與周面21a的寬度方向Y大致一致的方向延伸，多個(gè)凸片85～88在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上相互分開。由此在各凸片85～88之間向與周面21a的寬度方向Y大致一致的方向延伸形成槽91～93。與周面21a的寬度方向Y一致的方向可以不是嚴(yán)格一致的方向，也可大致一致。具體而言，是指與周面21a的寬度方向Y所成的角度大概在3°以內(nèi)。另外，圖3中對于槽從靠近噴嘴55的側(cè)依次添加符號91、92、93。凸片85為朝向周面21a尖端變細(xì)地形成且截面大致V字形，具有相對周面21a大致垂直的垂直面85a與如圖3從側(cè)方觀察時(shí)傾斜的斜面85b。凸片85配設(shè)成垂直面85a朝向噴嘴55。凸片86～88也與凸片85相同地具有大致V字形的截面，且具有垂直面86a～88a與斜面86b～88b。并且，凸片86～88的垂直面86a～88a朝向與凸片85的垂直面85a相同的方向，垂直面85a～88a相互大致平行，斜面85b～88b相互大致平行。從圖3的下方觀察凸片85～88時(shí)，凸片85～88的直線狀的前端也相互大致平行。如上，凸片85～88在厚度方向平行形成。平行不限于嚴(yán)格的平行，也可大致平行。具體而言，所成的角在大致0°以上3°以下的范圍內(nèi)。凸片的形狀或方向不限于上述形態(tài)，但通過如上述的凸片的形狀及方向密封效果更可靠，且更有效地抑制來自噴出口55c的清洗氣體67、碰撞到周面21a而向周面21a飄起的清洗氣體67及從周面21a脫離的污染物向外部流出。凸片85～88具有相互相同的高度，如圖3從側(cè)方觀察時(shí)凸片85～88的前端在直線上排列。如圖3從側(cè)方觀察時(shí)周面21a時(shí)呈圓弧，因此從凸片85～88各自的前端到周面21a的距離互不相同。優(yōu)選在凸片85～88中距周面21a的距離最短的凸片的周面21a到前端的距離大概設(shè)為1mm以上5mm以下。如圖3及圖4所示，迷宮式密封件77形成有截面為大致圓形的多個(gè)孔101～104?？?01貫穿形成以使氣體通過迷宮式密封77的內(nèi)部?？?01由第1通過路109a、從該第1通過路109a分支的3個(gè)第2通過路106a、107a、108a構(gòu)成。第2通過路106a的端部向槽91開口，第2通過路107a的端部向槽92開口，第2通過路108a的端部向槽93開口。第1通過路109a的端部向迷宮式密封件77的與噴嘴55側(cè)相反的壁面77a開口。本實(shí)施方式中，3個(gè)槽91～93上均設(shè)置有孔101的開口，因此孔101的第2通過路的數(shù)量為3個(gè)，但是第2通過路的數(shù)量不限于3個(gè)。例如，僅在這些槽91～93的一部分設(shè)置第2通過路時(shí)、或?qū)⑼蛊臄?shù)量設(shè)為少于例如本實(shí)施方式時(shí)，如第2通過路的數(shù)量為1個(gè)或2個(gè)，少于本實(shí)施方式所示的情況。并且，將凸片的數(shù)量設(shè)為多于本實(shí)施方式時(shí)，第2通過路的數(shù)量也可為4以上。最優(yōu)選的形態(tài)為孔101的第2通過路以向所形成的所有槽91～93開口的方式設(shè)置。優(yōu)選如圖3從側(cè)方觀察時(shí)第2通過路106a～108a在槽91～93中的開口形成為成為槽91～93的各中央。但是，不限于該形態(tài)，例如也可將第2通過路106a～108a各自的開口分別靠近凸片85側(cè)、凸片86側(cè)、凸片87側(cè)形成，或者也可靠近凸片86側(cè)、凸片87側(cè)、凸片88側(cè)形成?？?02～孔104也具有與孔101相同的結(jié)構(gòu)。即，孔102具有第1通過路109b與3個(gè)第2通過路106b～108b，孔103具有第1通過路109c與3個(gè)第2通過路106c～108c，孔104具有第1通過路109d與3個(gè)第2通過路106d～108d。如上，4個(gè)第2通過路106a～106d向槽91開口，4個(gè)第2通過路107a～107d向槽92開口，4個(gè)第2通過路108a～108d向槽93開口。本實(shí)施方式中示出迷宮式密封件77具有4個(gè)孔101～104的情況，但是孔的數(shù)量不限于4個(gè)，也可為1以上3以下，或5以上。因此，向各槽91～93開口的第2通過路的數(shù)量也可為1以上3以下，或5以上。迷宮式密封件77在朝向與噴嘴55相反側(cè)的壁面77a具有集合管111。集合管111與形成于壁面77a的第1通過路109a～109d各自的開口連接，集合口111的內(nèi)部與第1通過路109a～109d連通。集合口111與管82連接。由此，各孔101～104經(jīng)由集合管111及管82與排氣部71(參考圖2)連接。通過以上的結(jié)構(gòu)，迷宮式密封件77具有以下的作用。若排氣部71吸引氣體，則殼體主體64的內(nèi)部被減壓，由此，集合管111的內(nèi)部、孔101～104的第1通過路109a～109d、第2通過路106a～108a、106b～108b、106c～108c、106d～108d被減壓。通過該減壓，包含槽91～93中的氣體在內(nèi)，凸片85～88周圍的氣體通過孔101～104引導(dǎo)至殼體主體64，被吸引到排氣部71。另一方面，若清洗氣體67從噴嘴55的噴出口55c噴出，則清洗氣體67與周面21a接觸，向清洗區(qū)上飄起。有時(shí)清洗氣體67的一部分不會(huì)與周面21a接觸而在周面21a上浮游。如此，在清洗區(qū)上的清洗氣體67的大部分通過殼體主體64的內(nèi)部由排氣部71吸引，但微量的清洗氣體67沒有引導(dǎo)至殼體主體64且因迷宮式密封件77的密封效果移動(dòng)速度減弱，在凸片85～88的周圍，尤其在槽91～93滯留。滯留的清洗氣體67含于凸片85～88周圍的氣體中，并且依次通過管82、殼體主體64的內(nèi)部，由排氣部71吸引。如此，沒有引導(dǎo)至殼體主體64的內(nèi)部而滯留在凸片85～88周圍的微量的清洗氣體67依次引導(dǎo)至一端向槽91～93開口的孔101～104、管82、殼體主體64的內(nèi)部而被吸引到排氣部71。由此，清洗氣體67中所含的固體干冰顆?；蛟摳杀w粒氣化的二氧化碳不會(huì)附著凝固到迷宮式密封件77上，且不會(huì)向殼體主體64的外部飛散。因此，不會(huì)因凝固的干冰或該干冰中所含的污染物而污染薄膜41或包括滾筒21在內(nèi)的流延裝置11。并且，排氣部71通過控制器73控制氣體的吸引力。因此，殼體主體64中有效地吸入較多清洗氣體67及污染物，并且根據(jù)向殼體主體64的吸引力而孔101～104的吸引力也被控制。并且，可根據(jù)周面21a的移動(dòng)速度設(shè)定排氣部71的吸引力。并且，即使迷宮式密封件77通過基于溫度控制器27、28的流延裝置11的內(nèi)部或滾筒21的加熱以及流延模22的加熱等而成為高溫，由于迷宮式密封件77形成有孔101～104，因此抑制迷宮式密封件77的外部尺寸的變化。由此，即使迷宮式密封件77成為高溫，凸片85～88也不會(huì)與周面21a接觸。另外，本實(shí)施方式的迷宮式密封件77形成有截面為圓形(包括大致圓形)的孔101～104，但孔的形態(tài)不限于此。例如可設(shè)為截面為矩形的孔來代替孔101～104。優(yōu)選第2通過路106a～108a、106b～108b、106c～108c、106d～108d的各直徑D1大概為3mm以上10mm以下的范圍，更優(yōu)選大概為5mm以上7mm以下的范圍。優(yōu)選第1通過路109a～109d的各直徑D1大概為5mm以上15mm以下的范圍內(nèi)，更優(yōu)選大概為8mm以上12mm以下的范圍。優(yōu)選第1通過路109a的直徑D1大于第2通過路106a～108a的直徑D2。由此第2通過路106a～108a更可靠地被減壓，使清洗氣體67更可靠地吸引到第2通過路106a～108a。關(guān)于第1通過路109b、109c、109d也相同，優(yōu)選分別使內(nèi)徑大于第2通過路106b～108b、106c～108c、106d～108d。設(shè)為截面不是圓形(包括大致圓形)形狀的孔，例如設(shè)為矩形孔來代替孔101～104時(shí)，優(yōu)選第1通過路的截面面積大于第2通過路的截面面積。優(yōu)選將集合管111的內(nèi)徑D3設(shè)為大于第1通過路109a～109d的直徑D1。由此，第1通過路109a～109d更可靠地被減壓，清洗氣體67更可靠地被吸引到排氣部71。優(yōu)選槽93的第2通過路108a～108d的間距L1大概為10mm以上50mm以下的范圍內(nèi)，更優(yōu)選大概為20mm以上40mm以下的范圍內(nèi)。槽91的第2通過路106a～106d的間距、槽92的第2通過路107a～107d的間距也相同。圖3、圖4示出集合管111上連接有2根管82的情況，但管82的數(shù)量沒有特別限定。管82的數(shù)量、或設(shè)置多個(gè)管82時(shí)的管82的間距根據(jù)周面21a的寬度方向Y上的凸片85～88的長度L2、或集合管111的長度、管82的內(nèi)徑等設(shè)定即可。例如，周面21a的寬度方向Y上的凸片85～88的長度L2及集合管111的長度大概為300mm時(shí)，沿周面21a的寬度方向Y并列配設(shè)2個(gè)內(nèi)徑大概為20mm的管82，且將管82的間距大概設(shè)在150mm的范圍內(nèi)即可。另外，管82的間距是指在周面21a的寬度方向Y上并列配設(shè)的管82與管82之間的距離。并且，也可代替第2通過路106a～106d，或者在其基礎(chǔ)上，設(shè)為如槽91具有向槽91的長邊方向延伸的狹縫狀開口的截面呈狹縫形狀的第2通過路(未圖示)。關(guān)于第2通過路107a～107d、108a～108d也相同。也可將迷宮式密封件77代替成圖5所示的迷宮式密封件120。迷宮式密封件120具備密封凸片部件(以下稱為凸片部件)121～125、位移機(jī)構(gòu)127、控制器128。凸片部件121～125具有凸片131～135，所述凸片131～135具有與凸片85～88相同的截面大致V字形。以這些凸片131～135的垂直面131a～135a朝向相同方向的方式組合凸片131～135，從而迷宮式密封件120中在各凸片131～135之間形成槽。凸片部件121～125相互滑動(dòng)接觸并沿著垂直面131a～135a的方向變位自如。位移機(jī)構(gòu)127使凸片部件121～125各自獨(dú)立變位?？刂破?28為了調(diào)整凸片部件121～125的各變位量而控制位移機(jī)構(gòu)127。各凸片部件121～125調(diào)整配設(shè)為從周面21a到前端131c～135c的距離L3相互相等。由此，從前端131c～135c到周面21a的距離L3相互相等，更有效地提高基于迷宮式密封件120的密封效果，因此使沒有吸引到殼體主體64內(nèi)部的微量的清洗氣體67更可靠地滯留在各凸片131～135之間。滯留的清洗氣體67由排氣部71通過孔140而引導(dǎo)至集合管111，并依次通過管82、殼體主體64的內(nèi)部而被吸引、回收。與迷宮式密封件77相同，迷宮式密封件120形成有貫穿內(nèi)部的孔140，因此即使成為高溫，外部尺寸的變化也得到抑制。由此，即使迷宮式密封件120成為高溫，凸片131～135不會(huì)與周面21a接觸。另外，也可使用與迷宮式密封件120相同的迷宮式密封件(未圖示)來代替迷宮式密封件76。迷宮式密封件77、120從各凸片85～88之間、各凸片131～135之間吸引氣體，因此比由周面21a的距離與凸片的前端相同的狹縫等被吸引時(shí)顯示非常強(qiáng)的吸引力。因此，能夠代替現(xiàn)存的迷宮式密封件來設(shè)置，并且更可靠地防止固化的干冰附著。假設(shè)即使迷宮式密封件77、120上附著固化的干冰也通過排氣部71可靠地吸引、回收。優(yōu)選周面21a的移動(dòng)速度越快越增加清洗氣體67的噴出量或加速吹出速度。但是，伴隨此，在以往的迷宮式密封件上干冰附著量增多。因此，迷宮式密封件77、120及具備這些的清洗單元31、使用迷宮式密封件77、120的清洗方法，當(dāng)周面21a的移動(dòng)速度越快則以上的效果越顯著。迷宮式密封件77、120一同使用通過干冰清洗被清洗物的清洗機(jī)51，但是也可與其他清洗機(jī)一同使用。例如，與將液體噴出并噴吹到被清洗物來去除污染物的清洗機(jī)一同使用時(shí)，污染物與液體的吸引更可靠，因此更可靠地抑制液體及污染物向殼體主體64的外部飛散。并且，即使不與清洗機(jī)一同使用，在溫度變化劇烈的環(huán)境下要求密封效果時(shí)，迷宮式密封件77、120伴隨升溫的外部尺寸的變化被抑制，因此不會(huì)與對置物碰撞而維持密封效果。并且，清洗單元31能夠廣泛用于通過干冰顆粒的噴吹進(jìn)行的清洗，也可用于清洗與溶液制膜的流延支承體不同的部件。以下，本發(fā)明中，作為濃液33的原料的聚合物及溶媒為通過溶液制膜制造薄膜41的周知的物質(zhì)即可。作為基于清洗氣體67的清洗尤其優(yōu)選的聚合物的例子可舉出纖維素?；铩Ｒ韵?，示出實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行具體說明。但是，本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。[實(shí)施例1]通過溶液制膜設(shè)備10制造薄膜41。迷宮式密封件77的第2通過路106a～106d、107a～107d、108a～108d的各直徑D2相互相等，示于表1的“D2”欄(單位：mm)。并且，槽93的第2通過路108a～108d的間距L1、槽92的第2通過路107a～107d的間距L1及槽91的第2通過路106a～106d的間距L1相互相等，示于表1的“L1”欄(單位：mm)。另外，表1中“第2通過路的數(shù)量”欄中記載從1個(gè)第1通過路分支形成的第2通過路的數(shù)量。例如，從第1通過路109a分支形成3個(gè)第2通過路106a、107a、108a，因此為“3”。第1通過路109a、第1通過路109b、第1通過路109c及第1通過路109d為相同結(jié)構(gòu)，因此成為“3”。表1中“管82的數(shù)量”欄中記載連接于1個(gè)集合管111的管82的數(shù)量。設(shè)置于迷宮式密封件76的集合管上也連接有與迷宮式密封件77相同數(shù)量的管82。目視評價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件76、77與周面21a之間向外部漏出。確認(rèn)到漏出時(shí)設(shè)為不合格，未確認(rèn)到漏出時(shí)設(shè)為合格。該評價(jià)結(jié)果記載于表1的“結(jié)果”欄。[表1][實(shí)施例2]使用將第2通過路108a～108d的間距L1、第2通過路107a～107d的間距L1及第2通過路106a～106d的間距L1設(shè)為表1的“L1”欄所示的值的迷宮式密封件76、77。并且將連接于各集合管111的管82設(shè)為1個(gè)。除了這些以外的條件與實(shí)施例1相同。以與實(shí)施例1相同的方法，評價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件76、77與周面21a之間向外部漏出。評價(jià)結(jié)果示于表1。[實(shí)施例3]使用將第2通過路108a～108d的間距L1、第2通過路107a～107d的間距L1及第2通過路106a～106d的間距L1設(shè)為表1的“L1”欄所示的值的迷宮式密封件76、77。并且將連接于各集合管111的管82設(shè)為1個(gè)。除了這些以外的條件與實(shí)施例1相同。以與實(shí)施例1相同的方法，評價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件76、77與周面21a之間向外部漏出。評價(jià)結(jié)果示于表1。[比較例1]使用日本專利公開2009-078444號公報(bào)中所記載的清洗單元清洗周面21a。即，使用沒有形成孔101～104的迷宮式密封件來代替迷宮式密封件76、77。迷宮式密封件中未設(shè)置集合管111、管82。僅從與殼體主體的周面21a對置而設(shè)置的開放口進(jìn)行吸引。因此，表1的D2、L1、第2通過路的數(shù)量、管82的數(shù)量各欄中記載為“-”。以與實(shí)施例1相同的方法，評價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件與周面21a之間向外部漏出。評價(jià)結(jié)果示于表1。[比較例2]使用日本專利公開2011-067768號公報(bào)的圖4中所記載的空氣流去除部來代替迷宮式密封件76、77，將該空氣流去除部配設(shè)于在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向上的噴嘴55的上游側(cè)?？諝饬魅コ康拿詫m式密封件結(jié)構(gòu)的槽的數(shù)量為3個(gè)，關(guān)于迷宮式密封件結(jié)構(gòu)，在噴嘴55的相反側(cè)實(shí)施吸引。在位于滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向上的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的上游側(cè)的3個(gè)狹縫上分別設(shè)置吸引機(jī)構(gòu)。進(jìn)行吸引的狹縫的開口為向滾筒21的周面21a的寬度方向Y延伸的細(xì)長的矩形狹縫。以與實(shí)施例1相同的方法，評價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件與周面21a之間向外部漏出。評價(jià)結(jié)果示于表1。