專利名稱：一種防微震系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于防微震技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及ー種防微震系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在エ業(yè)生產(chǎn)過程中，特別是精密器件生產(chǎn)過程中，以及精密儀器進(jìn)行高精度測(cè)試測(cè)量時(shí)，振動(dòng)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備以及測(cè)量?jī)x器的加工精度、靈敏度的影響是巨大的。尤其是存在外部振動(dòng)源時(shí)，由于外部振動(dòng)源的移動(dòng)位置、速度、加速度、載重、實(shí)時(shí)沖量與振動(dòng)頻率等振動(dòng)源信息具有隨機(jī)性和不確定性，而現(xiàn)有的防微震設(shè)備對(duì)這些振動(dòng)源信息無法實(shí)時(shí)采取針對(duì)性防微震措施，也無法發(fā)揮其防微震的最佳效能，防微震的效果很不理想。在專利號(hào)為US6213443，名稱為“防震裝置以及采用該防震裝置的曝光裝置(Anti__vibration apparatus and exposure apparatus using tne same)，，白勺矛1J 中 請(qǐng)所公開的技術(shù)方案中，提出一種通過自身反饋系統(tǒng)來減少自身振動(dòng)影響的防震裝置。該防震裝置只能對(duì)需要防震的設(shè)備自身產(chǎn)生的振動(dòng)進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，減小該設(shè)備自身振動(dòng)對(duì)其的影響，而對(duì)外部振動(dòng)源引起的振動(dòng)并沒有較好的主動(dòng)應(yīng)對(duì)效果。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述缺陷，提供ー種能夠主動(dòng)應(yīng)對(duì)外部振動(dòng)源引起的振動(dòng)的防微震系統(tǒng)。解決本實(shí)用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是所述防微震系統(tǒng)包括ー個(gè)或多個(gè)防微震単元，每個(gè)防微震単元包括振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊、防震臺(tái)控制模塊、減震器以及防震臺(tái)，所述振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊用于實(shí)時(shí)采集ー個(gè)外部振動(dòng)源的振動(dòng)源信息，并將所述振動(dòng)源信息輸出；所述防震臺(tái)控制模塊用于接收所述振動(dòng)源信息，并據(jù)此發(fā)出相應(yīng)的控制指令至減震器，以實(shí)時(shí)控制與防震臺(tái)相連的減震器做出相應(yīng)動(dòng)作，調(diào)節(jié)防震臺(tái)的防震狀態(tài)。優(yōu)選的是，所述每個(gè)防微震單元還包括振動(dòng)源無線記錄模塊和防震臺(tái)無線讀取模塊，所述振動(dòng)源無線記錄模塊用于實(shí)時(shí)記錄所述振動(dòng)源信息，并通過無線的方式將其實(shí)時(shí)傳輸；所述防震臺(tái)無線讀取模塊用于通過無線的方式實(shí)時(shí)接收并讀取所述振動(dòng)源無線記錄模塊記錄的振動(dòng)源信息，再將其實(shí)時(shí)傳輸至防震臺(tái)控制模塊。優(yōu)選的是，所述振動(dòng)源無線記錄模塊與防震臺(tái)無線讀取模塊之間的無線數(shù)據(jù)傳輸方式采用RFID方式、ZigBee方式、Wi-Fi方式或藍(lán)牙方式。進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述振動(dòng)源無線記錄模塊采用RFID記錄器，所述防震臺(tái)無線讀取模塊采用RFID讀取器。更進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以電感耦合的方式進(jìn)行工作的低頻段RFID，其工作頻率為120KHz 134KHz ;或者，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以負(fù)載調(diào)制的方式進(jìn)行工作的高頻段RFID，其工作頻率為13. 56MHz ;或者，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以電磁波的方式進(jìn)行工作的超高頻率RFID，其工作頻率為 860MHz 960MHz。優(yōu)選的是，所述每個(gè)防微震單元還包括振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊和防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊，所述振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊用于將振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊實(shí)時(shí)采集的振動(dòng)源信息傳輸至振動(dòng)源無線記錄模塊；所述防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊用于將防震臺(tái)無線讀取模塊實(shí)時(shí)讀取的振動(dòng)源信息傳輸至防震臺(tái)控制模塊。進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊及防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊均采用信號(hào)傳輸線。 優(yōu)選的是，所述減震器采用空氣彈簧驅(qū)動(dòng)器或液壓減震器。優(yōu)選的是，所述ー個(gè)外部振動(dòng)源的振動(dòng)源信息包括有多組。進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述多組振動(dòng)源信息包括所述移動(dòng)振動(dòng)源的移動(dòng)位置、速度、カロ速度、載重、實(shí)時(shí)沖量或振動(dòng)頻率信息。有益效果本實(shí)用新型所述防微震系統(tǒng)可包含ー個(gè)或多個(gè)防微震単元，其中每個(gè)防微震単元均可針對(duì)ー個(gè)外部振動(dòng)源的移動(dòng)位置、速度、加速度、載重、實(shí)時(shí)沖量以及振動(dòng)頻率信息等多組振動(dòng)源信息實(shí)時(shí)、主動(dòng)的調(diào)節(jié)與防震臺(tái)相連接的減震器，從而使防震臺(tái)處于最佳防震狀態(tài)。也就是說，所述防微震系統(tǒng)不僅可針對(duì)ー個(gè)移動(dòng)振動(dòng)源進(jìn)行實(shí)時(shí)、主動(dòng)的調(diào)節(jié)，還可用于多個(gè)移動(dòng)振動(dòng)源集群，即同時(shí)針對(duì)多個(gè)外部振動(dòng)源進(jìn)行實(shí)時(shí)、主動(dòng)的調(diào)節(jié)，其改變了以往防震系統(tǒng)的被動(dòng)防震方式，所述防微震系統(tǒng)應(yīng)用于精密器件的生產(chǎn)或測(cè)量過程中，能夠有效提高精密器件的加工精度與靈敏度等，最大限度的發(fā)揮了其防震作用。所述防微震系統(tǒng)可采用RFID (Radio Frequency Identif ication,無線射頻識(shí)別)技木，以實(shí)現(xiàn)對(duì)情況較為復(fù)雜的多點(diǎn)(多移動(dòng)振動(dòng)源集群)、非固定的震源信息的實(shí)時(shí)記錄與實(shí)時(shí)讀取。所述防微震系統(tǒng)還可與現(xiàn)有的自身設(shè)備振動(dòng)反饋防微震系統(tǒng)結(jié)合，以取得更好的綜合防震效果。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例I中防微震單元的結(jié)構(gòu)組成示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型防微震系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。實(shí)施例I :本實(shí)施例中，所述防微震系統(tǒng)包括多個(gè)防微震単元，如圖I所示，其中每個(gè)防微震単元均包括振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊、振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊、振動(dòng)源無線記錄模塊、防震臺(tái)無線讀取模塊、防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊、防震臺(tái)控制模塊、減震器以及防震臺(tái)。所述振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊用于實(shí)時(shí)采集ー個(gè)外部振動(dòng)源的多組振動(dòng)源信息，并將所述多組振動(dòng)源信息通過振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊傳輸至振動(dòng)源無線記錄模塊。其中，所述ー個(gè)外部振動(dòng)源的多組振動(dòng)源信息包括所述移動(dòng)振動(dòng)源的移動(dòng)位置、速度、加速度、載重、實(shí)時(shí)沖量或振動(dòng)頻率信息等。所述振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊可采用現(xiàn)有的模塊，如采用DAM3057或EM200等。優(yōu)選所述振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊米用信號(hào)傳輸線進(jìn)行信息傳輸。所述振動(dòng)源無線記錄模塊用于實(shí)時(shí)記錄所述多組振動(dòng)源信息，并通過無線的方式將所述多組振動(dòng)源信息實(shí)時(shí)傳輸至防震臺(tái)無線讀取模塊。優(yōu)選所述振動(dòng)源無線記錄模塊采用RFID記錄器，所述防震臺(tái)無線讀取模塊采用RFID讀取器，即所述振動(dòng)源無線記錄模塊與防震臺(tái)無線讀取模塊之間的無線數(shù)據(jù)傳輸方式采用RFID技木。所述RFID記錄器與RFID讀取器的工作頻率可根據(jù)其實(shí)際工作環(huán)境進(jìn)行選擇，具體的，所述RFID記錄器與RFID讀取器 的工作頻率為120KHz 134KHz時(shí)，均采用電感耦合的方式進(jìn)行工作的低頻段RFID，此種類 型的RFID較適用于近距離、低速率的數(shù)據(jù)傳輸；所述RFID記錄器與RFID讀取器的工作頻率為13. 56MHz時(shí)，均采用負(fù)載調(diào)制的方式進(jìn)行工作的高頻段RFID，此種類型的RFID較適用于近距離、較高速率的數(shù)據(jù)傳輸；所述RFID記錄器與RFID讀取器的工作頻率為860MHz 960MHz時(shí)，均采用電磁波的方式進(jìn)行工作的超高頻率RFID，此種類型的RFID較適用于遠(yuǎn)距離、高速率的數(shù)據(jù)傳輸。所述防震臺(tái)無線讀取模塊用于通過無線的方式實(shí)時(shí)接收并讀取所述振動(dòng)源無線記錄模塊記錄的多組振動(dòng)源信息，并通過防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊將所述多組振動(dòng)源信息實(shí)時(shí)傳輸至防震臺(tái)控制模塊。所述防震臺(tái)控制模塊可采用現(xiàn)有的模塊，如采用H3C5800模塊或YCJSC0N-12PC模塊等。優(yōu)選所述防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊采用信號(hào)傳輸線進(jìn)行信息傳輸。所述防震臺(tái)控制模塊用于根據(jù)防震臺(tái)無線讀取模塊實(shí)時(shí)讀取的多組振動(dòng)源信息發(fā)出對(duì)應(yīng)指令至減震器，以實(shí)時(shí)控制與防震臺(tái)相連的減震器做出相應(yīng)動(dòng)作，調(diào)節(jié)防震臺(tái)的防震狀態(tài)，使防震臺(tái)處于最佳防震狀態(tài)。所述減震器可根據(jù)實(shí)際需求采用空氣彈簧驅(qū)動(dòng)器或液壓減震器等多種減震器件。實(shí)施例2 本實(shí)施例與實(shí)施例I的區(qū)別在于I)本實(shí)施例中,所述防微震系統(tǒng)只包括ー個(gè)防微震單兀。2)本實(shí)施例中，所述振動(dòng)源無線記錄模塊與防震臺(tái)無線讀取模塊之間的無線數(shù)據(jù)傳輸方式采用ZigBee技術(shù)、Wi-Fi技術(shù)或藍(lán)牙技術(shù)。本實(shí)施例中的其他結(jié)構(gòu)以及作用都與實(shí)施例I相同，這里不再贅述?？梢岳斫獾氖?，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.ー種防微震系統(tǒng)，其特征在于，包括ー個(gè)或多個(gè)防微震単元，每個(gè)防微震単元包括振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊、防震臺(tái)控制模塊、減震器以及防震臺(tái)， 所述振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊用于實(shí)時(shí)采集ー個(gè)外部振動(dòng)源的振動(dòng)源信息，并將所述振動(dòng)源信息輸出； 所述防震臺(tái)控制模塊用于接收所述振動(dòng)源信息，并據(jù)此發(fā)出相應(yīng)的控制指令至減震器，以實(shí)時(shí)控制與防震臺(tái)相連的減震器做出相應(yīng)動(dòng)作，調(diào)節(jié)防震臺(tái)的防震狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述每個(gè)防微震單元還包括振動(dòng)源無線記錄模塊和防震臺(tái)無線讀取模塊， 所述振動(dòng)源無線記錄模塊用于實(shí)時(shí)記錄所述振動(dòng)源信息，并通過無線的方式將其實(shí)時(shí)傳輸； 所述防震臺(tái)無線讀取模塊用于通過無線的方式實(shí)時(shí)接收并讀取所述振動(dòng)源無線記錄模塊記錄的振動(dòng)源信息，再將其實(shí)時(shí)傳輸至防震臺(tái)控制模塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述振動(dòng)源無線記錄模塊與防震臺(tái)無線讀取模塊之間的無線數(shù)據(jù)傳輸方式采用RFID方式、ZigBee方式、Wi-Fi方式或藍(lán)牙方式。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述振動(dòng)源無線記錄模塊采用RFID記錄器，所述防震臺(tái)無線讀取模塊采用RFID讀取器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以電感耦合的方式進(jìn)行工作的低頻段RFID，其工作頻率為120KHz 134KHz ;或者，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以負(fù)載調(diào)制的方式進(jìn)行工作的高頻段RFID，其工作頻率為13. 56MHz ;或者，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以電磁波的方式進(jìn)行工作的超高頻率RFID，其工作頻率為860MHz 960MHz。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述每個(gè)防微震單元還包括振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊和防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊， 所述振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊用于將振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊實(shí)時(shí)采集的振動(dòng)源信息傳輸至振動(dòng)源無線記錄模塊； 所述防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊用于將防震臺(tái)無線讀取模塊實(shí)時(shí)讀取的振動(dòng)源信息傳輸至防震臺(tái)控制模塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述振動(dòng)源信號(hào)傳輸模塊及防震臺(tái)信號(hào)傳輸模塊均采用信號(hào)傳輸線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7之一所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述減震器采用空氣彈簧驅(qū)動(dòng)器或液壓減震器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-7之一所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述ー個(gè)外部振動(dòng)源的振動(dòng)源信息包括有多組。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的防微震系統(tǒng)，其特征在于，所述多組振動(dòng)源信息包括所述移動(dòng)振動(dòng)源的移動(dòng)位置、速度、加速度、載重、實(shí)時(shí)沖量或振動(dòng)頻率信息。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種防微震系統(tǒng)，其包括一個(gè)或多個(gè)防微震單元，每個(gè)防微震單元包括振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊、防震臺(tái)控制模塊、減震器以及防震臺(tái)，所述振動(dòng)源實(shí)時(shí)信息采集模塊用于實(shí)時(shí)采集一個(gè)外部振動(dòng)源的振動(dòng)源信息，并將所述振動(dòng)源信息輸出；所述防震臺(tái)控制模塊用于接收所述振動(dòng)源信息，并據(jù)此發(fā)出相應(yīng)的控制指令至減震器，以實(shí)時(shí)控制與防震臺(tái)相連的減震器做出相應(yīng)動(dòng)作，調(diào)節(jié)防震臺(tái)的防震狀態(tài)，使防震臺(tái)處于最佳防震狀態(tài)。本實(shí)用新型所述防微震系統(tǒng)可針對(duì)一個(gè)或多個(gè)外部振動(dòng)源進(jìn)行實(shí)時(shí)、主動(dòng)調(diào)節(jié)，改變了以往防震系統(tǒng)的被動(dòng)防震方式，最大限度的發(fā)揮了所述防微震系統(tǒng)的防震作用。
文檔編號(hào)F16F15/02GK202545679SQ20122009838
公開日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月15日
發(fā)明者徐濤 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司