專利名稱：流體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種構(gòu)成半導(dǎo)體制造裝置的材料氣體供給線 等的流體裝置，其是將多 個(gè)流體機(jī)器及配管縱橫連接而成的氣體面板(gas panel)等的流體裝置。而且，本發(fā)明涉 及一種構(gòu)成半導(dǎo)體制造裝置中所使用的流體裝置等的流體機(jī)器固定裝置，更詳細(xì)而言，其 是用以將連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器加以固定的流體機(jī)器固定裝置。
背景技術(shù)：
所謂的法蘭接頭(flanged joint)是指通過將設(shè)置在管的端部的法蘭部之間加以 結(jié)合而管之間互相連接的部件，作為該法蘭接頭的一種，眾所周知的有如專利文獻(xiàn)1所示 的包括結(jié)合環(huán)的法蘭接頭，該結(jié)合環(huán)將外嵌在相向的法蘭部且設(shè)置在各法蘭部的傾斜面朝 徑方向按壓，利用此時(shí)所產(chǎn)生的軸方向的分力而將法蘭部之間壓接結(jié)合，從而將管串聯(lián)連 接。利用了該結(jié)合環(huán)的法蘭接頭的特征為能夠盡可能地縮短軸方向的長度。[背景技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2008-286325號(hào)公報(bào)于是，本發(fā)明者等人為了完成本發(fā)明，而對(duì)于如下構(gòu)成進(jìn)行了研究，S卩，在半導(dǎo)體 制造裝置的材料氣體供給用的具有縱橫的流體線(fluid lines)的流體裝置中利用此種法 蘭接頭。該構(gòu)成如圖1所示。如果將此種構(gòu)成與使用螺釘式管接頭(pipe joint)的圖2 所示的構(gòu)成進(jìn)行比較，則可知通過利用法蘭接頭能夠非常精簡地構(gòu)成。尤其如圖1所示，在縱流體線Ll設(shè)置著流體機(jī)器的構(gòu)成的情況下，縱方向尺寸根 據(jù)流體機(jī)器的大小而精簡化會(huì)受到限制，因此怎樣減小橫方向的尺寸成為一個(gè)重要的問題 點(diǎn)，圖1的流體裝置與圖2的流體裝置相比，橫方向尺寸更小，就該點(diǎn)而言為一大優(yōu)點(diǎn)。另外，在圖1、圖2中，符號(hào)Ll表示氣體供給線，符號(hào)L2表示清洗氣體供給線，符 號(hào)L3表示出口共用化線，符號(hào)11表示質(zhì)量流量控制器(mass flowcontroller)，符號(hào)12、 13表示閥或壓力傳感器，符號(hào)2、2'、2"表示法蘭接頭，符號(hào)2A表示螺釘式管接頭，符號(hào)4、 4'、4〃表示配管。然而，由于所述法蘭接頭能夠短且牢固地將管之間加以結(jié)合，所以存在配管的變 形等極小、尺寸誤差的容許范圍窄的缺點(diǎn)。該缺點(diǎn)在如圖1所示縱橫連接著流體線的情況 下變得顯著。亦即，在該圖1的構(gòu)成中，假設(shè)質(zhì)量流量控制器或從該質(zhì)量流量控制器延伸的配 管存在尺寸誤差，一條氣體供給線中存在長度的一些差異。如果在該狀態(tài)下將清洗氣體供 給線連接于各氣體供給線，則連接著出口共用化線的閥間會(huì)產(chǎn)生縱方向的位置偏移。然而， 由于無法利用配管的變形等來吸收該位置偏移，所以可能會(huì)發(fā)生無法形成該出口共用化線 的事態(tài)。即便先連接該出口共用化線也會(huì)出現(xiàn)相同的情況。對(duì)此，在縱橫配設(shè)著流體線且將這些流體線彼此連接的流體裝置中，盡可能地發(fā)揮利用了結(jié)合環(huán)的所述法蘭接頭的特征，且為了解決該法蘭接頭的短處即尺寸誤差的容許 范圍窄且組裝時(shí)容易產(chǎn)生不協(xié)調(diào)的缺點(diǎn)，從而實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的流 體裝置包括包含串聯(lián)連接的一個(gè)或者多個(gè)流體機(jī)器及配管的縱流體 線、及包含一個(gè)或者串聯(lián)連接的多個(gè)配管的橫流體線，將所述縱流體線彼此平行配置多條， 并且在鄰接的縱流體線間使連接這些縱流體線的多條橫流體線并列；所述流體裝置的特征 在于使所述橫流體線中的一條包括有在鄰接的端部設(shè)置著法蘭部的串聯(lián)的多個(gè)配管、 及結(jié)合環(huán)，所述結(jié)合環(huán)外嵌于所述鄰接的法蘭部且將設(shè)置在這些法蘭部的傾斜面朝徑方向 按壓，利用此時(shí)所產(chǎn)生的軸方向的分力來將法蘭部之間進(jìn)行壓接結(jié)合；并列的所述橫流體線中的另一條配置于鄰接的縱流體線的配管間，且包括配管， 所述配管通過接合管線而連接于這些縱流體線的配管。所述接合管線的配管連接是利用焊接等加以固定接合的，因此存在一旦連接后 便無法卸下的不自由性，但由于使配管長度增大，所以在構(gòu)造方面能夠一定程度發(fā)生撓 曲，或者組裝時(shí)進(jìn)行調(diào)整，由此能夠容許配管或流體機(jī)器的尺寸誤差，也能夠確保精簡性 (compact)。因此，根據(jù)本發(fā)明，巧妙地將該接合管線與法蘭接頭混合在一起，從而在維持法蘭 接頭的組裝或卸下的容易性的同時(shí)，利用接合管線的柔軟性解決了法蘭接頭的剛性的缺 點(diǎn)，且至少在橫方向上能夠精簡地構(gòu)成。為了使接合管線的焊接等的固定接合作業(yè)變得容易，優(yōu)選將所述橫流體線中的另 一條設(shè)定于最端側(cè)。另一方面，還存在著以下所述的課題。以前，半導(dǎo)體制造裝置中所使用的流體裝置 構(gòu)成為將由多個(gè)流體機(jī)器等串聯(lián)連接而形成的流體機(jī)器群并列狀地配置多個(gè)，利用連接 單元等而將鄰接的流體機(jī)器群間加以連接。此時(shí)，有將各流體機(jī)器經(jīng)由下段構(gòu)件而固定于 基板等的方法。作為使用該方法的裝置，如專利文獻(xiàn)2所示的如下構(gòu)成的裝置已為人所知在細(xì) 長的副基板上利用螺釘串聯(lián)狀地安裝著多個(gè)下段構(gòu)件，在這些下段構(gòu)件上利用螺釘串聯(lián)狀 地安裝著多個(gè)流體機(jī)器，流體機(jī)器群形成于副基板上，且分別形成著流體機(jī)器群的多個(gè)副 基板安裝于一個(gè)主基板上。[專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2001-245900號(hào)公報(bào)然而，在所述構(gòu)成中，為了將各流體機(jī)器加以固定，必須利用螺釘逐個(gè)安裝各流體 機(jī)器等，因而零件數(shù)及工數(shù)增多，耗費(fèi)時(shí)間精力。另一方面，當(dāng)卸下各流體機(jī)器時(shí)也同樣地 必須逐個(gè)卸下各流體機(jī)器等的螺固，仍然要耗費(fèi)時(shí)間精力。此外，因各流體機(jī)器等的固定及 卸下煩雜，所以流體機(jī)器群的追加或變更也變得煩雜。而且，不僅要將各流體機(jī)器固定于基板等，而且還必須將流體機(jī)器間的配管加以 連接。然而，經(jīng)由下段構(gòu)件而固定的流體機(jī)器無法移動(dòng)，為了連接流體機(jī)器的配管而調(diào)整流 體機(jī)器的位置會(huì)變得困難。對(duì)此，本發(fā)明為了解決所述問題，主要的預(yù)期課題在于提供一種能夠簡單地裝卸流體機(jī)器，能夠簡單地變更及追加流體機(jī)器群，并且為了連接配管而能夠調(diào)整流體機(jī)器的 位置的流體機(jī)器固定裝置。
亦即，本發(fā)明的流體機(jī)器固定裝置用以將連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器固定于基底 上，其特征在于包括基座構(gòu)件，由頭構(gòu)件及設(shè)置于所述頭構(gòu)件的下方的基座本體而構(gòu)成， 且安裝于所述流體機(jī)器的底面的下方；軌道構(gòu)件，配置在所述基底上，并且形成著上下貫通 的貫通槽；以及施壓機(jī)構(gòu)，對(duì)所述軌道構(gòu)件或者所述基座構(gòu)件朝上下方向施壓，所述流體機(jī) 器固定裝置構(gòu)成為在使所述頭構(gòu)件插通于所述貫通槽并且使所述基座本體插入至所述軌 道構(gòu)件與所述基底之間的狀態(tài)下，如果使所述施壓機(jī)構(gòu)動(dòng)作，則所述軌道構(gòu)件與所述基座 本體受到擠壓而使該基座構(gòu)件固定，另一方面，如果解除所述施壓機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，則該基座構(gòu) 件能夠沿著所述貫通槽而移動(dòng)。另外，此處的上下方向?yàn)榱朔奖闫鹨娛侵概c基底垂直的方 向，將從流體機(jī)器起朝向基底的方向設(shè)為下方，在使用狀態(tài)下也可將上下方向顛倒，或者成 為左右方向，或者成為斜方向而使用。這樣的話，當(dāng)解除所述施壓機(jī)構(gòu)的動(dòng)作時(shí)，基座構(gòu)件能夠沿著貫通槽而移動(dòng)，因而 無論為各個(gè)流體機(jī)器或者連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器整體中的哪一個(gè)，均可沿著貫通槽而 移動(dòng)，且為了連接配管而可調(diào)整流體機(jī)器的位置。而且，如果使施壓機(jī)構(gòu)動(dòng)作，則可固定基座構(gòu)件，因此無需逐個(gè)利用螺釘來安裝各 流體機(jī)器等，可簡單地安裝流體機(jī)器。另一方面，當(dāng)解除施壓機(jī)構(gòu)的動(dòng)作時(shí)，可使基座構(gòu)件 移動(dòng)，因而也無需逐個(gè)卸下各流體機(jī)器等的螺固，可使流體機(jī)器移動(dòng)而簡單地卸下。因此， 可簡單地變更或追加流體機(jī)器。所述軌道構(gòu)件可上下移動(dòng)地設(shè)置著，如果所述施壓機(jī)構(gòu)對(duì)所述軌道構(gòu)件朝基底施 壓，則所述基座本體可被夾壓在所述軌道構(gòu)件與所述基底之間。在所述軌道構(gòu)件的多個(gè)部位可設(shè)置著能夠使所述基座本體上下插通的大小的插 通孔，以使該插通孔與所述貫通槽連續(xù)。如果這樣構(gòu)成，則能夠從插通孔插通基座本體，因 而在安裝著未變更的流體機(jī)器的狀態(tài)下，可僅裝卸可變更的流體機(jī)器。為了使移動(dòng)更容易，較理想的是所述基座本體包括可在基底上轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)體。為了使固定時(shí)不易偏移，較理想的是所述基底的表面可彈性變形地構(gòu)成。[發(fā)明的效果]根據(jù)本發(fā)明，因接合管線的配管連接容許配管等的尺寸誤差，所以在維持法蘭接 頭的組裝或卸下的容易性的同時(shí)，能夠利用接合管線的柔軟性來解決法蘭接頭的剛性的缺 點(diǎn)，且至少橫方向上能夠精簡地構(gòu)成。而且，根據(jù)本發(fā)明，能夠簡單地裝卸流體機(jī)器，能夠簡單地變更及追加流體機(jī)器 群，并且無論為各個(gè)流體機(jī)器或者連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器整體中的哪一個(gè)，均能夠?yàn)?了連接配管而調(diào)整流體機(jī)器的位置。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。


圖1是利用法蘭接頭構(gòu)成的流體裝置的預(yù)想構(gòu)成圖。圖2是利用螺釘式管接頭構(gòu)成的流體裝置的預(yù)想構(gòu)成圖。
圖3是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的流體裝置的構(gòu)成圖。圖4是從平面方向觀察第一實(shí)施方式的法蘭接頭時(shí)的構(gòu)成圖。圖5是表示第一實(shí)施方式的定位環(huán)等的分解立體圖。圖6是從軸方向觀察第一實(shí)施 方式的結(jié)合環(huán)時(shí)的構(gòu)成圖。圖7是表示該第一實(shí)施方式的結(jié)合環(huán)的打開狀態(tài)的部分剖面圖。圖8是第一實(shí)施方式的法蘭接頭的縱剖面圖。圖9是本發(fā)明的另一實(shí)施方式的流體裝置的構(gòu)成圖。圖10(a)、圖10(b)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置的側(cè)視圖。圖11 (a) 圖11 (c)是表示使用第二實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置來固定流體機(jī) 器的順序的圖。圖12(a) 圖12(c)是表示使用第二實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置來更換及追加 流體機(jī)器的順序的圖。圖13 (a)、圖13(b)是表示使用另一實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置來固定流體機(jī) 器的順序的圖。圖14 (a)、圖14(b)是表示使用又一實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置來固定流體機(jī) 器的順序的圖。圖15是表示另外一實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置的圖。圖16是表示另外又一實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置的圖。圖17是從平面方向觀察實(shí)施方式中所使用的配管接頭時(shí)的構(gòu)成圖。圖18是表示該實(shí)施方式的定位環(huán)等的分解立體圖。圖19(a)、圖19(b)是從軸方向觀察該實(shí)施方式的結(jié)合環(huán)時(shí)的構(gòu)成圖。圖20是該實(shí)施方式的配管接頭的縱剖面圖。附圖標(biāo)記2,2'、2〃法蘭接頭4、4'、4〃配管6焊接型管接頭11、12、13、X5流體機(jī)器2UX61法蘭部21a、X24、X61a突條21b、24al、X24al、X61b 傾斜面21c、X61c前端部分22、X62墊片23、X63定位環(huán)24、X31結(jié)合環(huán)24a有底嵌合槽61,62接合管線100流體裝置24UX241環(huán)形件242、X242緊固件
Ll縱流體線(氣體供給線)L2橫流體線(清洗氣體供給線)L3橫流體線(出口共用化線) XlOO流體裝置固定裝置Xl基座構(gòu)件X2、X2'軌道構(gòu)件X2a軌道構(gòu)件的下表面X3、X3'施壓機(jī)構(gòu)X4配管接頭XlO托架構(gòu)件Xll頭構(gòu)件Xl 2基座本體Xl 3本體X13a被按壓面X14腳輪X20貫通槽X21插通孔X22基底X22a基底的表面X23、X32 彈簧X24a嵌合槽X30螺栓
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的流體裝置100構(gòu)成半導(dǎo)體制造裝置的一部分即氣體面板形式的流
體供給裝置。氣體面板形式的流體供給裝置(以下，簡稱為氣體面板)是將多個(gè)流體機(jī)器平面 地配置且利用配管等將所述多個(gè)流體機(jī)器間加以連接的裝置。此處的氣體面板是在其配管 連接的至少一部分使用下述的法蘭接頭。接著，回到前面，如圖3所示，本實(shí)施方式的流體裝置100包括由平行設(shè)置的三條 縱流體線而成的氣體供給線Li，設(shè)置在這些氣體供給線Ll間的兩條橫流體線，以及此處將 對(duì)各氣體供給線Ll供給清洗氣體的清洗氣體供給線L2及各氣體供給線Ll的出口一條化 的出口共用化線L3。然后，對(duì)各線Ll L3進(jìn)行說明。氣體供給線Ll包括多個(gè)流體機(jī)器11 13，從各流體機(jī)器11 13 —體延伸的配 管4，以及通過將所述配管4之間予以連接而將所述各流體機(jī)器11 13串聯(lián)連接的法蘭接 頭2。流體機(jī)器例如此處表示質(zhì)量流量控制器11或開閉閥12、壓力傳感器13，但也可為其他流體控制機(jī)器或流體測定機(jī)器等。尤其如圖4所示，配管4預(yù)先將基端連接于各流體機(jī)器11 13的進(jìn)氣口(inlet port)或出氣口(outlet port)，因此在組裝前的狀態(tài)下配管4的前端部設(shè)置著下述法蘭部 21。而且，此處各配管4均使用同一直徑。法蘭接頭2如圖4 圖8所示，包括通過焊接等而一體形成在所述配管4的前端部外周的法蘭部21，介于為將配管4之間予以連接而相向的所述法蘭部21間的墊片 (gasket) 22，進(jìn)行所述法蘭部21之間的軸對(duì)準(zhǔn)的定位環(huán)(locating ring) 23,以及由將這 些法蘭部21進(jìn)行壓接結(jié)合的結(jié)合構(gòu)件而成的結(jié)合環(huán)24。如圖4、圖8所示，法蘭部21成為圓環(huán)板狀，在其前端面(以下稱作相向面)設(shè)置 著閉合的圓環(huán)狀的突條21a。而且，所述法蘭部21的背面形成著越前端直徑越成擴(kuò)展傾向 的傾斜面21b，在所述法蘭部21的外周面的前端部分21c形成臺(tái)階而該前端部分21c的外 徑比其他部分更小地構(gòu)成。如圖4、圖8所示，墊片22成為其內(nèi)徑與配管4的內(nèi)徑一致、外徑與所述法蘭部前 端部分21c的外徑一致的薄的等厚圓環(huán)板狀。如圖5所示，定位環(huán)23成為圓筒狀，且使用可彈性變形的金屬構(gòu)成。而且，以無困 難地外嵌于所述法蘭部前端部分21c的方式，使該定位環(huán)23的內(nèi)徑與所述前端部分21c的
外徑一致。如圖4、圖6 圖8所示，結(jié)合環(huán)24包括相鄰之間彼此可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)的一連串環(huán) 形件241，以及用以將兩端的環(huán)形件241之間加以結(jié)合而成為環(huán)狀的緊固件242。在各環(huán)形 件241 (此處為三個(gè))的內(nèi)周面設(shè)置著沿周方向延伸的有底嵌合槽24a。而且，在該嵌合槽 24a的側(cè)面形成著與形成于所述法蘭部21的背面的傾斜面21b相對(duì)應(yīng)的傾斜面24al。當(dāng)利用所述法蘭接頭2將所述配管4之間加以連接時(shí)，首先將所述定位環(huán)23的一 端部外嵌于設(shè)置在應(yīng)連接的一個(gè)配管4的法蘭部前端部分21c。然后以將墊片22及設(shè)置在 另一配管4的法蘭部前端部分21c按照該順序從軸方向嵌入于定位環(huán)23的另一端部。結(jié) 果，使各法蘭部21及墊片22、進(jìn)而各配管4的中心軸保持一致。然后，使未將端部環(huán)形件241之間予以連結(jié)的打開(open)狀態(tài)的結(jié)合環(huán)24旋入 至相向接近的一對(duì)法蘭部21，將其嵌合槽24a嵌入至法蘭部21的外周緣部。而且，通過所 述緊固件242而將該結(jié)合環(huán)24的端部環(huán)形件241之間予以結(jié)合并擰緊。由此，結(jié)合環(huán)24 的內(nèi)徑縮小，嵌合槽24a的側(cè)面傾斜面24al將各法蘭部21的背面傾斜面21b朝徑方向按 壓。此時(shí)，產(chǎn)生因所述傾斜面21b而使各法蘭部21朝靠近軸方向的方向移動(dòng)的分力，在該 分力的作用下，法蘭部21間的圓環(huán)突條21a—邊陷入墊片22中一邊受到壓接，從而使配管 4之間得以氣密地連接。如圖3所示，清洗氣體供給線L2是將所述各氣體供給線Ll的流體機(jī)器11 13 中的此處將設(shè)置在質(zhì)量流量控制器11的入口側(cè)的閥12間加以連接的構(gòu)件，且包括從該各 閥12朝橫方向一體延伸的配管4'、以及通過將所述配管4'之間加以連接而連接所述閥 12之間的法蘭接頭2'。配管4'及法蘭接頭2'的結(jié)構(gòu)與所述氣體供給線Ll相同，此處 省略說明。如圖3所示，出口共用化線L3是將設(shè)置在所述各氣體供給線Ll的最出口的配管4 之間加以連接的構(gòu)件，且包括設(shè)置在各配管4間的配管4"、以及用以將配管4及配管4"連接的焊接型管接頭6。焊接型管接頭6是將配管4、4"嵌入至肘型(elbow type)或T字 型等的接合管線61、62中，且將它們焊接而氣密地將管之間予以連結(jié)的構(gòu)件。此處，在一端 的氣體供給線Ll使用肘型的接合管線61，在另一氣體供給線Ll使用T字型的接合管線62。然而，如果設(shè)為此種構(gòu)成，則因接合管線61、62吸收尺寸誤差，所以即便在存在尺 寸誤差的情況下，也可利用法蘭接頭2、2'，將分別縱橫地具有多條流體線Ll L3的流體 裝置100以更精簡且更容易地裝卸的方式構(gòu)成，尤其可進(jìn)一步縮小橫方向尺寸。而且，法蘭 接頭2、2'即便在狹小的作業(yè)空間內(nèi)也可從徑方向容易裝卸，從而能夠盡可能地縮短軸方 向的長度。另外，本發(fā)明并不限于所述實(shí)施方式。例如，如圖9所示，縱線Ll也可為兩條，也可 構(gòu)成為將該圖9所示的流體裝置100設(shè)為一個(gè)單元，而縱橫地并列連接多個(gè)流體裝置100。而且，在連接兩條縱流體線的多條并列的橫流體線中，也可將利用接合管線的構(gòu) 成與利用法蘭接頭的構(gòu)成混合在一起。亦即，例如在圖3所示的有三條以上的縱流體線時(shí)， 該圖中串聯(lián)的兩條橫流體線L2(或者L3)為相同種類，但也可為串聯(lián)的兩條橫流體線的其 中一條利用接合管線而另一條利用法蘭接頭。此外，法蘭接頭并不限于利用所述實(shí)施方式的傾斜面的楔作用，也可為利用螺固 等的其他形式。流體不僅為氣體也可為液體，縱流體線或橫流體線的條數(shù)并不受限制。而且，橫流 體線除了可適用于配管或接頭之外也可適用于包含流體機(jī)器的裝置。此外，本發(fā)明在不脫 離其主旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變形。以下，參照附圖來對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置XlOO是用于例如為了對(duì)半導(dǎo)體制造裝置供給材 料氣體等而將多個(gè)流體機(jī)器X5以平面形式連接而形成的所謂的氣體面板裝置，如圖10(a) 等所示，包括安裝于各流體機(jī)器X5的底面的基座構(gòu)件XI，用以將該基座構(gòu)件Xl夾入至與 平板狀的基底X22之間的軌道構(gòu)件X2，以及賦予將該軌道構(gòu)件X2朝下方施壓而將所述基 座構(gòu)件Xl朝基底X22擠壓的力的施壓機(jī)構(gòu)X3。另外，此處的流體機(jī)器X5例如為壓力傳感器、質(zhì)量流量控制器、閥等。如果對(duì)各部進(jìn)行說明，則如圖10(a)等所示，基座構(gòu)件Xl包括用以安裝于流體機(jī) 器X5的底面的托架(bracket)構(gòu)件X10，從該托架構(gòu)件XlO的下表面垂下的頭構(gòu)件XII，與 該頭構(gòu)件Xll的下方連續(xù)而設(shè)置的本體X13，以及由水平旋轉(zhuǎn)自如地安裝于該本體X13的下 表面的轉(zhuǎn)動(dòng)體而成的腳輪(casteiOXH。另外，本體X13及腳輪X14構(gòu)成本發(fā)明技術(shù)方案中 的基座本體X12。頭構(gòu)件Xll成為柱狀，本體X13成為比該頭構(gòu)件Xll更大直徑的圓柱狀。亦即，構(gòu) 成為如下自上方觀察，本體X13的外輪廓較頭構(gòu)件Xll更朝外方突出，該突出的上表面部 分作為下述被按壓面X13a而被軌道構(gòu)件X2的下表面X2a所按壓。如圖10 (a)、圖10(b)及圖11(a)等所示，軌道構(gòu)件X2成為可上下移動(dòng)地配置于基 底X22上的等厚平板狀，于本實(shí)施方式中，沿著長度方向延伸的等寬直線狀的貫通槽X20平 行地形成著多個(gè)(此處為三個(gè))。該軌道構(gòu)件X2上，進(jìn)而在多個(gè)部位(此處在各貫通槽X20 上以5個(gè)部位為單位，合計(jì)15個(gè)部位)與貫通槽X20連續(xù)而設(shè)置著圓形狀的插通孔X21。 貫通槽X20的寬度設(shè)定為較本體X13的直徑小，比頭構(gòu)件Xll的厚度大，另一方面，插通孔X21的直徑的大小為能夠使本體X13及腳輪X14上下插通。如圖10(a)、圖10(b)等所示，施壓機(jī)構(gòu)X3例如使貫通軌道構(gòu)件X2的端部的螺栓 X30螺合于設(shè)置在基底X22的螺孔(未圖示)，通過擰緊螺栓X30，而如所述般將軌道構(gòu)件 X2朝下方施壓。此外，彈簧X23以套在螺栓X30的方式而外嵌。另外，施壓機(jī)構(gòu)X3并不限 于如螺栓X30及螺孔這樣的緊固構(gòu)件，也可使用彈簧等的彈性體等來將軌道構(gòu)件X2朝下方 施壓。另外，在本實(shí)施方式中，由彈性板形成基底X22的表面X22a。接著，對(duì)使用本實(shí)施方式的流體機(jī)器固定裝置XlOO來固定流體機(jī)器X5的順序加 以說明。首先，處于施壓機(jī)構(gòu)X3的動(dòng)作被解除的狀態(tài)，亦即松開螺栓X30，在彈簧X23的力 的作用下將軌道構(gòu)件X2提升至上方的狀態(tài)。(圖11(a))然后，將安裝于流體機(jī)器X5的底部的基座構(gòu)件Xl從上而插入至與該流體機(jī)器X5 相對(duì)應(yīng)的插通孔X21內(nèi)。在腳輪X14與基底X22接觸的狀態(tài)下，基座本體X12位于軌道構(gòu) 件X2與基底X22之間，成為頭構(gòu)件Xll插通于插通孔X21的狀態(tài)。然后，如圖11(b)所示， 使用配管接頭X4并利用配管將這些流體機(jī)器X5加以連接。對(duì)配管及配管接頭X4的一例進(jìn)行說明。尤其如圖17所示，配管預(yù)先將基端連接 于各流體機(jī)器X5的進(jìn)氣口或出氣口，在組裝前的狀態(tài)下所述配管的前端部設(shè)置著下述法 蘭部X61。而且，此處各配管均使用同一直徑。

如圖17 圖20所示，配管接頭X4包括通過焊接等而一體形成在所述配管X4的 前端部外周的法蘭部X61，介于為了將配管之間予以連接而相向的所述法蘭部X61間的墊 片X62，進(jìn)行所述法蘭部X61之間的軸對(duì)準(zhǔn)的定位環(huán)X63，以及由將這些法蘭部X61進(jìn)行壓 接結(jié)合的結(jié)合構(gòu)件而成的結(jié)合環(huán)X24。如圖18等所示，法蘭部X61成為圓環(huán)板狀，在其前端面(以下稱作相向面)設(shè)置著 閉合的圓環(huán)狀的突條X61a。而且，所述法蘭部X61的背面形成著越前端直徑越成擴(kuò)展傾向 的傾斜面X61b，在所述法蘭部X61的外周面的前端部分X61c形成臺(tái)階而該前端部分X61c 的外徑比其他部分更小地構(gòu)成。如圖18等所示，墊片X62成為其內(nèi)徑與配管的內(nèi)徑一致、外徑與所述法蘭部前端 部分X61c的外徑一致的薄的等厚圓環(huán)板狀。如圖18等所示，定位環(huán)X63成為圓筒狀，且使用可彈性變形的金屬構(gòu)成。而且，以 無困難地外嵌于所述法蘭部前端部分X61c的方式，使該定位環(huán)X63的內(nèi)徑與所述前端部分 X61c的外徑一致。如圖19 (a)、圖19(b)等所示，結(jié)合環(huán)X24包括相鄰之間彼此可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)的一 連串環(huán)形件X241，以及用以將兩端的環(huán)形件X241之間加以結(jié)合而成為環(huán)狀的緊固件X242。 在各環(huán)形件X241(此處為三個(gè))的內(nèi)周面設(shè)置著沿周方向延伸的有底嵌合槽X24a。而且， 在該嵌合槽X24a的側(cè)面形成著與形成于所述法蘭部X61的背面的傾斜面X61b相對(duì)應(yīng)的傾 斜面X24al。當(dāng)利用所述配管接頭X4將所述配管之間加以連接時(shí)，首先將所述定位環(huán)X63的一 端部外嵌于設(shè)置在應(yīng)連接的一個(gè)配管的法蘭部前端部分X61c。然后，以將墊片X62及設(shè)置 在另一配管的法蘭部前端部分X61c按照該順序從軸方向嵌入于定位環(huán)X63的另一端部。結(jié) 果，使各法蘭部X61及墊片X62、進(jìn)而各配管的中心軸保持一致。
然后，將端部環(huán)形件X241之間未連結(jié)而成為打開狀態(tài)的結(jié)合環(huán)X24旋入至相向 接近的一對(duì)法蘭部X61，將該結(jié)合環(huán)X24的嵌合槽X24a嵌入至法蘭部X61的外周緣部。而 且，通過所述緊固件X242而將該結(jié)合環(huán)X24的端部環(huán)形件X241之間予以結(jié)合并擰緊。由 此，結(jié)合環(huán)X24的內(nèi)徑縮小，嵌合槽X24a的側(cè)面傾斜面X24al將各法蘭部X61的背面傾斜 面X61b朝徑方向按壓。此時(shí)，產(chǎn)生因所述傾斜面X61b而將各法蘭部X61朝靠近軸方向的 方向移動(dòng)的分力，在該分力的作用下，法蘭部X61 間的圓環(huán)突條X61a—邊陷入墊片X62中 一邊受到壓接，從而配管之間得以氣密地連接。另外，于本實(shí)施方式中，因?qū)?yīng)于流體機(jī)器X5的間隔來設(shè)定插通孔X21的間隔，所 以先利用配管將流體機(jī)器X5連接而形成線，從而可將彼此連接的這些流體機(jī)器X5的基座 構(gòu)件Xl —次插入至插通孔X21。然而，在所述狀態(tài)下，因基座本體X12位于插通孔X21的正下方，所以在該狀態(tài)下 會(huì)朝上方脫離。對(duì)此，如圖11(c)及圖10(a)所示，以基座本體X12位于貫通槽X20的下方 的方式，一邊使腳輪X14轉(zhuǎn)動(dòng)，一邊使流體機(jī)器X5沿著貫通槽X20移動(dòng)。此時(shí)，無須使所有 基座本體X12位于貫通槽X20的下方，只要至少一個(gè)基座構(gòu)件Xl位于貫通槽X20的下方即可。在該狀態(tài)下擰緊螺栓X30，使施壓機(jī)構(gòu)X3動(dòng)作。這樣，對(duì)抗彈簧X23的力而使軌 道構(gòu)件X2朝下方移動(dòng)，貫通槽X20附近的下表面X2a將作為基座本體X12的上表面的被按 壓面X13a朝下方擠壓。由此，基座本體X12被夾持并固定于軌道構(gòu)件X2與基底X22之間。 (圖 10(b))此時(shí)，因基底X22的表面X22a由彈性板而形成，所以基座本體X12的下部難以使 彈性板陷入，從而基座構(gòu)件Xl得以固定而不會(huì)發(fā)生偏移。當(dāng)卸下流體機(jī)器X5時(shí)，則按照相反的順序來進(jìn)行。根據(jù)所述構(gòu)成的流體機(jī)器固定裝置X100，能夠簡單地裝卸流體機(jī)器X5，能夠簡單 地變更及追加流體機(jī)器X5群，并且無論為各個(gè)流體機(jī)器X5或者連接著配管的多個(gè)流體機(jī) 器X5整體中的哪一個(gè)，均能夠?yàn)榱诉B接配管而調(diào)整流體機(jī)器X5的位置。此外，因?qū)?yīng)于機(jī)器X5的間隔來設(shè)定插通孔X21的間隔，所以能夠?qū)⑦B接著配管 的多個(gè)流體機(jī)器X5的基座構(gòu)件Xl —次插入至插通孔X21，來安裝流體機(jī)器X5。而且，在更換一個(gè)流體機(jī)器X5時(shí)也能夠變得容易。將螺栓X30松開以提起軌道構(gòu) 件X2，成為流體機(jī)器X5可沿貫通槽X20的延伸方向移動(dòng)的狀態(tài)，從而將欲更換的流體機(jī)器 X5的配管接頭X4卸下。然后，如圖12 (a)所示，使兩相鄰的流體機(jī)器X5稍微朝外側(cè)移動(dòng)， 從插通孔X21拔出欲更換的流體機(jī)器X5。接著，從該插通孔X21插入另一個(gè)流體機(jī)器X5，使兩相鄰的流體機(jī)器X5靠近而進(jìn) 行配管連接。然后，如圖12 (b)所示，以基座本體X12位于貫通槽X20的下方的方式，使流 體機(jī)器X5沿著貫通槽X20移動(dòng)，擰緊螺栓X30而將基座本體X12固定。此外，如圖12(c)所示，能夠同樣容易地追加流體機(jī)器X5。另外，本發(fā)明并不限于所述實(shí)施方式。例如，如圖13(a)所示，插通孔X21不必僅 為流體機(jī)器X5的數(shù)量，而且，也可不必對(duì)應(yīng)于流體機(jī)器X5的連接間隔。插通孔X21較流體 機(jī)器X5少的情況下的安裝、卸下方法為如下所述。亦即，首先，松開螺栓X30，在軌道構(gòu)件 X2被朝上方提升的狀態(tài)下，如圖13(b)所示，將安裝在流體機(jī)器X5的底部的基座構(gòu)件Xl從上插入至插通孔X21，并沿著貫 通槽X20移動(dòng)。接著，如圖14(a)所示，將另一流體機(jī)器X5 依次插入至插通孔X21，使相鄰的流體機(jī)器X5靠近而分別進(jìn)行配管連接。然后，如圖14(b) 所示，當(dāng)以基座本體X12位于貫通槽X20的下方的方式使流體機(jī)器X5移動(dòng)，并擰緊螺栓X30 時(shí)，基座構(gòu)件Xl得到固定。而且，也可不設(shè)置插通孔X21。此時(shí)，如圖15的一例所示，必須使貫通槽X20延伸 至軌道構(gòu)件X2的端面為止。而且，貫通槽X20不必為彼此平行的多個(gè)長方體形狀，也能夠以多個(gè)貫通槽X20連 續(xù)的方式正交或者交叉而設(shè)置，或者將貫通槽X20設(shè)為二字型形狀、L字型形狀、十字型形 狀。軌道構(gòu)件設(shè)為沿上下方向移動(dòng)，但也可沿斜下方向、斜上方向等而移動(dòng)?？傊?要至少沿上下方向移動(dòng)即可。進(jìn)而，腳輪也并非為必需，基座本體也可為長方體形狀的構(gòu)件等。無需在所有流體機(jī)器的底面安裝基座構(gòu)件，可在多個(gè)流體機(jī)器的至少一個(gè)上安裝 基座構(gòu)件。而且，也可在流體機(jī)器上設(shè)置一個(gè)或者多個(gè)基座構(gòu)件。另外換句話說，在流體機(jī)器的連接間隔分別不同的情況下，將一個(gè)連接間隔設(shè)為 基準(zhǔn)連接間隔，針對(duì)各流體機(jī)器以基準(zhǔn)連接間隔為單位來設(shè)置一個(gè)或者多個(gè)基座構(gòu)件即 可。此外，也可將插通孔以基準(zhǔn)連接間隔為單位而等間隔地設(shè)置。這樣的話，并非從與各流 體機(jī)器相對(duì)應(yīng)的插通孔插入或拔出，而是能夠?qū)⒈舜诉B接的多個(gè)流體機(jī)器的基座構(gòu)件一次 插入至插通孔中或一次從插通孔中拔出。在本實(shí)施方式中，基座構(gòu)件是安裝于流體機(jī)器的各面中的與基底相向的面即底面 上，但也可經(jīng)由安裝于流體機(jī)器的側(cè)面或頂面等的各面的托架構(gòu)件等而安裝。可將軌道構(gòu)件設(shè)為并不上下移動(dòng)，基座本體進(jìn)行伸縮而夾持并固定于基底與軌道 構(gòu)件之間。而且，如圖16所示，可將軌道構(gòu)件X2'設(shè)為并不沿上下方向移動(dòng)，包括施壓構(gòu)件 X31及彈簧X32的施壓機(jī)構(gòu)X3'將基座構(gòu)件Xl的托架構(gòu)件XlO朝上方施壓，由此使基座本 體X12與軌道構(gòu)件X2'被擠壓而使基座構(gòu)件Xl得到固定。此外，本發(fā)明也可組合各構(gòu)成，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人 員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的結(jié)構(gòu)及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更 動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明 的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方 案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種流體裝置，其特征在于包括包含串聯(lián)連接的一個(gè)或者多個(gè)流體機(jī)器及配管的 縱流體線、及包含一個(gè)或者串聯(lián)連接的多個(gè)配管的橫流體線，將所述縱流體線彼此平行配 置多條，并且在鄰接的縱流體線間使連接這些縱流體線的多條橫流體線并列；所述橫流體線中的一條包括有在鄰接的端部設(shè)置著法蘭部的串聯(lián)的多個(gè)配管、以及將 所述鄰接的法蘭部加以結(jié)合的結(jié)合構(gòu)件；并列的所述橫流體線中的另一條配置于鄰接的縱流體線的配管間，且包括配管，所述 配管通過接合管線而連接于這些縱流體線的配管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體裝置，其特征在于 所述橫流體線中的另一條位于最端側(cè)。
3.一種流體機(jī)器固定裝置，用以將連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器固定于基底上，其特征 在于包括基座構(gòu)件，由頭構(gòu)件及設(shè)置于所述頭構(gòu)件的下方的基座本體而構(gòu)成，且安裝于所述流 體機(jī)器的底面的下方；軌道構(gòu)件，配置在所述基底上，并且形成著上下貫通的貫通槽；以及 施壓機(jī)構(gòu)，對(duì)所述軌道構(gòu)件或者所述基座構(gòu)件朝上下方向施壓， 所述流體機(jī)器固定裝置構(gòu)成為在使所述頭構(gòu)件插通于所述貫通槽并且使所述基座本 體插入至所述軌道構(gòu)件與所述基底之間的狀態(tài)下，如果使所述施壓機(jī)構(gòu)動(dòng)作，則所述軌道 構(gòu)件與所述基座本體受到擠壓而使該基座構(gòu)件固定，另一方面，如果解除所述施壓機(jī)構(gòu)的 動(dòng)作，則該基座構(gòu)件能夠沿著所述貫通槽而移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體機(jī)器固定裝置，其特征在于 所述軌道構(gòu)件可上下移動(dòng)地設(shè)置著；如果所述施壓機(jī)構(gòu)對(duì)所述軌道構(gòu)件朝基底施壓，則所述基座本體被夾壓在所述軌道構(gòu) 件與所述基底之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體機(jī)器固定裝置，其特征在于在所述軌道構(gòu)件的多個(gè)部位設(shè)置著能夠使所述基座本體上下插通的大小的插通孔，以 使該插通孔與所述貫通槽連續(xù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體機(jī)器固定裝置，其特征在于 所述基座本體包括可在基底上轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)體。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體機(jī)器固定裝置，其特征在于 所述基底的表面可彈性變形地構(gòu)成。
8.—種軌道構(gòu)件，其特征在于為了將連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器固定于基底上，而 與基座構(gòu)件一并使用，所述基座構(gòu)件由頭構(gòu)件及設(shè)置于所述頭構(gòu)件的下方的基座本體構(gòu)成 且安裝于所述流體機(jī)器的底面的下方；所述軌道構(gòu)件構(gòu)成為形成著在所述基底上可上下移動(dòng)地配置并且上下貫通的貫通 槽，在使所述頭構(gòu)件插通于所述貫通槽并且將所述基座本體插入至所述軌道構(gòu)件與所述基 底之間的狀態(tài)下，通過賦予所述上下方向的施壓力而使所述基座本體受到擠壓并得到固 定，另一方面，通過解除所述施壓力而使所述基座構(gòu)件能夠沿著貫通槽而在基底上移動(dòng)。
9.一種基座構(gòu)件，其特征在于為了將連接著配管的多個(gè)流體機(jī)器固定于基底上，而 一并使用有在所述基底上形成著可上下移動(dòng)地配置并且上下貫通的貫通槽的軌道構(gòu)件、及賦予上下方向的施壓力的施壓機(jī)構(gòu)；所述基座構(gòu)件包括頭構(gòu)件及設(shè)置于所述頭構(gòu)件的下方的基座本體，并且安裝于所述流 體機(jī)器的底面的下方；且所述基座構(gòu)成為在使所述頭構(gòu)件插通于所述貫通槽并且將所述基座本體插入至所述 軌道構(gòu)件與所述基底之間的狀態(tài)下，如果使所述施壓機(jī)構(gòu)動(dòng)作，則所述基座本體與所述軌 道構(gòu)件受到擠壓而得到固定，另一方面，如果解除所述施壓機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，則所述基座本體能 夠沿著貫通槽而在基底上移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種流體裝置、流體機(jī)器固定裝置、軌道構(gòu)件及基座構(gòu)件。在由縱橫的流體線構(gòu)成的流體裝置(100)中，能提高精簡性并且確保組裝容易性。在將多條縱流體線(L1)彼此平行配置多條、并且在鄰接的縱流體線間使連接這些縱流體線的多條橫流體線(L2、L3)并列的流體裝置(100)中，所述橫流體線(L2、L3)中的一條使用結(jié)合環(huán)(24)的緊固式的法蘭接頭(2′)來將配管(4′)之間加以連接，并且另一條利用接合管線(61、62)來將配管(4″)之間加以連接。
文檔編號(hào)F16L23/04GK102080747SQ20101054997
公開日2011年6月1日 申請(qǐng)日期2010年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月30日
發(fā)明者大屋和博, 山口裕二, 林達(dá)也 申請(qǐng)人:株式會(huì)社堀場Stec