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分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器的制作方法

文檔序號:5636760閱讀:178來源:國知局
專利名稱:分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器的制作方法
技術(shù)領域
本發(fā)明屬于氣體靜壓潤滑領域,涉及一種分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流
O
背景技術(shù)
在超精密加工及超精密檢測技術(shù)領域,無論是精密加工機械,還是測量儀器,都對 其機械部分提出了高精度、高速度、高運動分辨率、熱穩(wěn)定性好、低振動、爬行小、少污染以 及降低設備成本等方面的苛刻要求。人們在實踐中發(fā)現(xiàn),氣體靜壓軸承正是解決上述苛刻 要求的重要途徑。由于氣體本身具有可壓縮性,對提高氣體潤滑的剛度帶來很大的困難。提 高氣體靜壓軸承的剛度是氣體靜壓軸承研究領域的難點和熱點之一,屬于前沿問題。微電 子設備、超精密機床和儀器技術(shù)屬于國際商業(yè)競爭的核心技術(shù),也屬于發(fā)達國家嚴密封鎖 的技術(shù),無法通過引進的方式解決,因此,我國若想在超精密設備方面處于領先地位,就必 須解決氣體靜壓技術(shù)中如何使剛度與穩(wěn)定性同時達到較高水平的問題,研究如何同時提高 氣膜的剛度和穩(wěn)定性,尋找兩者之間的平衡點,必須走自主研發(fā)的道路。通過目前的理論和實驗研究我們可以知道,氣體靜壓技術(shù)的主要缺點即承載能力 低、剛度小及穩(wěn)定性差。盡管有很多學者對此做了研究,但此問題尚未得到很好的解決,主 要障礙表現(xiàn)在難以同時滿足系統(tǒng)的超穩(wěn)定和高剛度的要求。事實上,氣體靜壓系統(tǒng)中剛度 與穩(wěn)定性是一對矛盾。通常,當要求精度高時以犧牲剛度為代價,而要求剛度高時以犧牲精 度為代價,目前的技術(shù)還難以兼顧二者。因此,對氣體靜壓系統(tǒng)進行的剛度和穩(wěn)定性研究, 已是當務之急,而且是關系到氣體靜壓技術(shù)的進步與實用化的重大課題。當前的緊迫任務 就是研究如何同時提高氣膜的剛度和穩(wěn)定性,尋找兩者之間的平衡點。在對氣體靜壓技術(shù) 的基礎理論進行研究時,節(jié)流器微流場流型的研究是核心問題。傳統(tǒng)的節(jié)流器采用小孔節(jié) 流原理時,氣源壓力會造成節(jié)流孔出口處的流速過高,形成的射流在潤滑氣膜中產(chǎn)生湍流 和微旋渦,成為主要振源。采用多孔質(zhì)節(jié)流原理時因微孔材料的自然狀態(tài)而使氣流從微孔 中流出的方向存在隨機性,也會產(chǎn)生局部微小的湍流。此外,微孔墊片的制造及安裝也不可 避免地會造成納米尺度的振動。以上均難以同時滿足系統(tǒng)的超穩(wěn)定和高剛度的要求。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服傳統(tǒng)氣體靜壓徑向節(jié)流器造成的氣膜振動大、剛度低等問題,本發(fā)明的 目的在于提供一種分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器。為達到上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是本發(fā)明由節(jié)流器主體和配合塞構(gòu)成。節(jié)流器主體呈長方體狀,其上表面為凹曲面, 該上表面開有多道出氣槽,節(jié)流器主體一對側(cè)面上開有貫穿節(jié)流器主體的進氣孔;另一對 側(cè)面上開有裝配孔;配合塞位于節(jié)流器主體內(nèi),其縱截面呈Y字型,配合塞的上表面為與節(jié)流器主體 上表面曲率相同的凹曲面,該上表面的中心位置開有節(jié)流孔,節(jié)流孔四周的曲面曲率大于凹曲面的曲率;配合塞的四周側(cè)壁上均開有微通道;配合塞的底面與節(jié)流器主體之間設置 有用于定位的凸臺;節(jié)流器主體上表面的出氣槽的中軸線均垂直于該出氣槽所在面的邊沿,出氣槽與 配合塞四周側(cè)壁上對應的微通道連通;配合塞與節(jié)流器主體上的裝配孔相對應處開有用于 緊固的螺紋孔;從節(jié)流器主體進氣孔進入的氣體一部分從節(jié)流孔射出,另一部分沿微通道、出氣 槽射出至周圍大氣,沿節(jié)流器主體長邊兩側(cè)的微通道與水平面所形成的夾角α為銳角。所述的配合塞凹曲面中心的節(jié)流孔,其直徑為0. 05 0. 2mm。所述的微通道的寬度為0. 5 2_,深度為0. 05 0. 2_。本發(fā)明具有的有益效果是本發(fā)明由于采用多個并行微通道進行節(jié)流,可以保證 穩(wěn)定的氣體微流場,進而有效減小氣膜振動、提高靜壓系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。與傳統(tǒng)徑向型 節(jié)流器相比,該由本發(fā)明所形成的靜壓系統(tǒng)氣膜具有較大的剛度和較高的穩(wěn)定性。


圖1是并行微通道氣體靜壓節(jié)流器主視圖;圖2是并行微通道氣體靜壓節(jié)流器左視圖;圖3是并行微通道氣體靜壓節(jié)流器俯視圖;圖4是節(jié)流器主體圖;圖5是節(jié)流器配合塞圖;圖6是圖1中I處放大示意圖;圖7是圖3中II處放大示意圖;圖8是圖5中III處放大示意圖;圖中1、節(jié)流器主體;2、配合塞;3、出氣槽;4、進氣孔;5、裝配孔;6、節(jié)流孔;7、微 通道;8、凸臺;9、螺紋孔;10、第一凹曲面;11、第二凹曲面;12、曲面;13、隔柵;14、球窩; 15、燕尾槽。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例作進一步詳細描述。如圖1和圖2所示,分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器,由節(jié)流器主體1和配 合塞2構(gòu)成。節(jié)流器主體1呈長方體狀,其上表面為第一凹曲面10,該上表面開有多道出氣 槽3,節(jié)流器主體1 一對側(cè)面上開有貫穿節(jié)流器主體1的進氣孔4 ;另一對側(cè)面上開有裝配 孔5;如圖1、圖5和圖6所示,配合塞2位于節(jié)流器主體1內(nèi),其縱截面呈Y字型,配合 塞2的上表面為與節(jié)流器主體1上表面曲率相同的第二凹曲面11,即第一凹曲面10與第二 凹曲面11曲率相同。配合塞2上表面的中心位置開有節(jié)流孔6,防止氣體倒流引起氣膜振動。節(jié)流孔6四周的曲面12曲率大于第一凹曲面10、第二凹曲面11的曲率,以保證氣 體由節(jié)流孔6射出后,在工作面間均勻地散開而形成氣膜,防止氣體射流產(chǎn)生氣膜湍動和 微漩渦,減小氣膜微振動。
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如圖2、圖5和圖8所示,配合塞2的四周側(cè)壁上均開有微通道7,配合塞2的底面 與節(jié)流器主體1之間設置有用于定位的凸臺8,便于工作前將節(jié)流器主體1與配合塞2安裝 成一體,有助于保證裝配孔5與螺紋孔9的同軸度。如圖2、圖3和圖7所示,節(jié)流器主體1上表面的出氣槽3的中軸線均垂直于該出 氣槽所在面的邊沿,出氣槽3與配合塞2四周側(cè)壁上對應的微通道7連通;在節(jié)流器主體1 開設花瓣型隔柵13將各出氣槽3分隔開,有助于使工作面壓強分布均勻。氣體依次通過微 通道7與出氣槽3,最終越過節(jié)流器主體1上表面的邊沿射入大氣。此過程不僅有效地降 低了出氣槽3的出口處以及節(jié)流器主體1上表面邊沿處的氣體流速,預防了射流產(chǎn)生的氣 體湍動和微漩渦,減小了氣膜的微尺度振動,而且實現(xiàn)了氣體出射時的多方向支承,保證了 氣膜潤滑的穩(wěn)定性,提高了氣膜的承載能力與剛度。配合塞2與節(jié)流器主體1上的裝配孔 5相對應處開有用于緊固的螺紋孔9 ;如圖4和圖5所示,從節(jié)流器主體進氣孔4進入的氣體一部分從節(jié)流孔6射出,另 一部分沿微通道7、出氣槽3射出至周圍大氣,沿節(jié)流器主體1長邊兩側(cè)的微通道7與水平 面所形成的夾角α為銳角。一定的出射角度α有利于氣體的平緩射出。沿節(jié)流器主體1 短邊兩側(cè)的微通道7為豎直微通道。配合塞2凹曲面中心的節(jié)流孔6,其直徑一般為0. 05 0. 2mm,本實施例中節(jié)流孔 的直徑為0. 1mm。配合塞2工作面上的每個微通道7的寬度為0. 5 2謹,深度為0. 05 0. 2謹。
工作前,螺釘依次通過裝配孔5與螺紋孔9,將節(jié)流器主體1與配合塞2連成一體。 將球頭螺栓的球頭部分頂入氣體靜壓節(jié)流器主體1下底面的球窩14中,再將錐形支架嵌入 燕尾槽15內(nèi),保證球頭螺栓的中軸線垂直于節(jié)流器主體1的下底面,從而保證了氣體靜壓 節(jié)流器處于工作軸的徑向方向,完成氣體靜壓節(jié)流器的徑向支承功能。工作時,將壓力為0. 1 IMpa的氣體通過進氣孔4送入氣體靜壓節(jié)流器,氣體分 別通過配合塞2表面的微通道7及曲面12上的節(jié)流孔6噴射,在工作面間形成氣膜,使得 氣體節(jié)流器懸浮于其相應的工作面,達到氣膜潤滑作用,實現(xiàn)工作軸的氣浮運動。由于該種節(jié)流器使用多微通道節(jié)流,可以提高氣體流場的穩(wěn)定性及剛度,實現(xiàn)氣 膜流場的低湍動。
權(quán)利要求
分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器,其特征在于由節(jié)流器主體(1)和配合塞(2)構(gòu)成;節(jié)流器主體(1)呈長方體狀,其上表面為凹曲面,該上表面開有多道出氣槽(3),節(jié)流器主體(1)一對側(cè)面上開有貫穿節(jié)流器主體(1)的進氣孔(4);另一對側(cè)面上開有裝配孔(5);配合塞(2)位于節(jié)流器主體(1)內(nèi),其縱截面呈Y字型,配合塞(2)的上表面為與節(jié)流器主體(1)上表面曲率相同的凹曲面,該上表面的中心位置開有節(jié)流孔(6),節(jié)流孔(6)四周的曲面曲率大于凹曲面的曲率;配合塞(2)的四周側(cè)壁上均開有微通道(7);配合塞(2)的底面與節(jié)流器主體(1)之間設置有用于定位的凸臺(8);節(jié)流器主體(1)上表面的出氣槽(3)的中軸線均垂直于該出氣槽所在面的邊沿,出氣槽(3)與配合塞(2)四周側(cè)壁上對應的微通道(7)連通;配合塞(2)與節(jié)流器主體(1)上的裝配孔(5)相對應處開有用于緊固的螺紋孔(9);從節(jié)流器主體進氣孔(3)進入的氣體一部分從節(jié)流孔(6)射出,另一部分沿微通道(7)、出氣槽(3)射出至周圍大氣,沿節(jié)流器主體(1)長邊兩側(cè)的微通道(7)與水平面所形成的夾角α為銳角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器,其特征在于所述 的配合塞(2)凹曲面中心的節(jié)流孔(6),其直徑為0. 05 0. 2mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器,其特征在于所述 的微通道(7)的寬度為0. 5 2mm,深度為0. 05 0. 2mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分體式并行微通道徑向氣體靜壓節(jié)流器。傳統(tǒng)的節(jié)流器難以同時滿足系統(tǒng)的超穩(wěn)定和高剛度的要求。本發(fā)明節(jié)流器主體和配合塞構(gòu)成。節(jié)流器主體呈長方體狀,其上表面為凹曲面,該上表面開有多道出氣槽,節(jié)流器主體一對側(cè)面上開有貫穿節(jié)流器主體的進氣孔;另一對側(cè)面上開有裝配孔;配合塞位于節(jié)流器主體內(nèi),其縱截面呈Y字型,配合塞的上表面為與節(jié)流器主體上表面曲率相同的凹曲面,該上表面的中心位置開有節(jié)流孔,節(jié)流孔四周的曲面曲率大于凹曲面的曲率;配合塞的四周側(cè)壁上均開有微通道;配合塞的底面與節(jié)流器主體之間設置有用于定位的凸臺。利用本發(fā)明所形成的靜壓系統(tǒng)氣膜具有較大的剛度和較高的穩(wěn)定性。
文檔編號F16C32/06GK101968077SQ20101050477
公開日2011年2月9日 申請日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月12日
發(fā)明者張雯, 李東升, 禹靜, 郭天太, 陳愛軍 申請人:中國計量學院
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