一種石墨加熱器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種石墨加工設(shè)備，特別是一種石墨加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]在硅晶體的制備過(guò)程中，其大部分過(guò)程是吸熱過(guò)程，即需要外部供給熱量，因?yàn)槭哂心透邷?、電阻率高、?qiáng)度隨著溫度提高而增加等特點(diǎn)，因此采用石墨加熱器提供制備過(guò)程所需要的熱量。石墨加熱器在使用過(guò)程中，由于漏硅或滲硅等原因，導(dǎo)致加熱器電極支腳和石墨電極粘結(jié)在一起，加熱器電阻發(fā)生變化，進(jìn)而影響溫度梯度，使加熱器不能再繼續(xù)使用。但是，加熱器的主體依然是完好的。加熱器所用的石墨是高純等靜壓石墨，這類石墨主要依靠進(jìn)口，價(jià)格昂貴。因此這就造成了企業(yè)成本的提高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)上述【背景技術(shù)】存在的缺陷，本實(shí)用新型提供一種石墨加熱器。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:其包括加熱器本體、電極支腳和設(shè)置在加熱器本體側(cè)壁的側(cè)壁發(fā)熱體，所述加熱器本體呈圓筒狀，在加熱器本體的圓筒壁的軸向方向上均勻設(shè)有布置側(cè)壁發(fā)熱體的開(kāi)槽，所述的側(cè)壁發(fā)熱體內(nèi)充填有細(xì)條狀石墨，所述的側(cè)壁發(fā)熱體向下和向內(nèi)延伸形成弧形的底部發(fā)熱體，所述的底部發(fā)熱體與側(cè)壁發(fā)熱體形成弧形對(duì)接，所述加熱器本體有兩塊對(duì)稱的石墨板同向延伸設(shè)有電極支腳安裝板，所述電極支腳由相互垂直并構(gòu)成L形的側(cè)板和橫板組成，電極支腳通過(guò)等靜壓石墨螺絲穿過(guò)側(cè)板與電極支腳安裝板固定連接，所述電極支腳安裝板與電極支腳側(cè)板之間還設(shè)有石墨紙。
[0005]進(jìn)一步的，所述的底部發(fā)熱體內(nèi)充填有石墨。
[0006]優(yōu)選的，所述的底部發(fā)熱體與側(cè)壁發(fā)熱體內(nèi)充填的石墨的厚度一致。
[0007]進(jìn)一步的，所述相鄰兩塊石墨板之間的間隙中填充有石墨墊塊。
[0008]進(jìn)一步的，所述電極支腳的橫板上設(shè)置有接線孔。
[0009]本實(shí)用新型具有以下有益效果:本實(shí)用新型具有熱態(tài)分布合理、熱能利用率高、拉制大尺寸單晶成品率高等特點(diǎn)，電極支腳是利用生產(chǎn)石墨加熱器的廢料來(lái)做的，成本低，可有效的降低企業(yè)的運(yùn)行成本。
【附圖說(shuō)明】
[0010]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0013]如圖1所示，本實(shí)用新型包括加熱器本體1、電極支腳2和設(shè)置在加熱器本體I側(cè)壁的側(cè)壁發(fā)熱體8，加熱器本體I呈圓筒狀。在加熱器本體I的圓筒壁的軸向方向上均勻設(shè)有布置側(cè)壁發(fā)熱體8的開(kāi)槽6。所述的側(cè)壁發(fā)熱體8內(nèi)充填有細(xì)條狀石墨。側(cè)壁發(fā)熱體8向下和向內(nèi)延伸形成弧形的底部發(fā)熱體9，所述的底部發(fā)熱體，9內(nèi)充填有石墨。所述的底部發(fā)熱體9與側(cè)壁發(fā)熱體8內(nèi)充填的石墨的厚度一致。
[0014]本實(shí)用新型在石墨加熱器設(shè)計(jì)上引進(jìn)新型發(fā)熱布局理念，通過(guò)將側(cè)壁發(fā)熱體向下和向內(nèi)延伸形成弧形的底部發(fā)熱體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不僅能達(dá)到原有技術(shù)中環(huán)形石墨加熱器加底部加熱器的兩個(gè)加熱器的效果，而且相比之前的設(shè)計(jì)，底部更容易受熱，在維持傳統(tǒng)加熱器性能的基礎(chǔ)下具有熱態(tài)分布合理、熱能利用率尚、拉制大尺寸單晶成品率尚等特點(diǎn)。
[0015]加熱器主體I有兩塊對(duì)稱的石墨板延伸設(shè)有電極支腳安裝板3，電極支腳2由相互垂直并構(gòu)成L形的側(cè)板和橫板組成，電極支腳2通過(guò)等靜壓石墨螺絲4穿過(guò)側(cè)板與電極支腳安裝板3固定連接，所述電極支腳安裝板3與電極支腳2側(cè)板之間還設(shè)有石墨紙5，所述相鄰兩塊石墨板之間的間隙中填充有石墨墊塊6，所述電極支腳的橫板上設(shè)置有接線孔7。
[0016]本實(shí)用新型的石墨加熱器是新加工的電極支腳2重新加工而成的，首先根據(jù)不同加熱器電極支腳2覆蓋硅面積的不同，將被硅覆蓋的部分去除掉，加工出相應(yīng)尺寸的電極支腳2 ;然后測(cè)定每?jī)蓧K石墨板之間的間隙，加工相應(yīng)厚度的石墨墊塊6，然后將其墊在每個(gè)縫隙之間，防止在加工過(guò)程中，加熱器主體的變形。接著裁剪出相應(yīng)尺寸的石墨紙5，石墨紙5的厚度為2-5_，將石墨紙5夾在新加工的電極支腳2和舊的加熱器主體I之間，從而使加熱器導(dǎo)電性能良好。最后用均布的等靜壓石墨螺絲4，將新加工的電極支腳2和加熱器主體I重新連接起來(lái)，并利用相應(yīng)的刀具將石墨紙修剪掉，同時(shí)用砂紙將結(jié)合部分進(jìn)行拋光處理。從而達(dá)到加熱器可以繼續(xù)使用，節(jié)約成本的目的。
[0017]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石墨加熱器，其特征在于:包括加熱器本體、電極支腳和設(shè)置在加熱器本體側(cè)壁的側(cè)壁發(fā)熱體，所述加熱器本體呈圓筒狀，在加熱器本體的圓筒壁的軸向方向上均勻設(shè)有布置側(cè)壁發(fā)熱體的開(kāi)槽，所述的側(cè)壁發(fā)熱體內(nèi)充填有細(xì)條狀石墨，所述的側(cè)壁發(fā)熱體向下和向內(nèi)延伸形成弧形的底部發(fā)熱體，所述的底部發(fā)熱體與側(cè)壁發(fā)熱體形成弧形對(duì)接，所述加熱器本體有兩塊對(duì)稱的石墨板同向延伸設(shè)有電極支腳安裝板，所述電極支腳由相互垂直并構(gòu)成L形的側(cè)板和橫板組成，電極支腳通過(guò)等靜壓石墨螺絲穿過(guò)側(cè)板與電極支腳安裝板固定連接，所述電極支腳安裝板與電極支腳側(cè)板之間還設(shè)有石墨紙。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨加熱器，其特征在于:所述的底部發(fā)熱體內(nèi)充填有石墨。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨加熱器，其特征在于:所述的底部發(fā)熱體與側(cè)壁發(fā)熱體內(nèi)充填的石墨的厚度一致。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨加熱器，其特征在于:所述相鄰兩塊石墨板之間的間隙中填充有石墨墊塊。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨加熱器，其特征在于:所述電極支腳的橫板上設(shè)置有接線孔。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石墨加熱器，其包括加熱器本體、電極支腳和設(shè)置在加熱器本體側(cè)壁的側(cè)壁發(fā)熱體，加熱器本體呈圓筒狀，在加熱器本體的圓筒壁的軸向方向上均勻設(shè)有布置側(cè)壁發(fā)熱體的開(kāi)槽，側(cè)壁發(fā)熱體內(nèi)充填有細(xì)條狀石墨，加熱器本體有兩塊對(duì)稱的石墨板同向延伸設(shè)有電極支腳安裝板，電極支腳由相互垂直并構(gòu)成L形的側(cè)板和橫板組成，電極支腳通過(guò)等靜壓石墨螺絲穿過(guò)側(cè)板與電極支腳安裝板固定連接，電極支腳安裝板與電極支腳側(cè)板之間還設(shè)有石墨紙。本實(shí)用新型具有熱態(tài)分布合理、熱能利用率高、拉制大尺寸單晶成品率高等特點(diǎn)，電極支腳是利用生產(chǎn)石墨加熱器的廢料來(lái)做的，成本低，可有效的降低企業(yè)的運(yùn)行成本。
【IPC分類】C30B15/14, C30B29/06
【公開(kāi)號(hào)】CN204625831
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520276127
【發(fā)明人】林前鋒
【申請(qǐng)人】林前鋒
【公開(kāi)日】2015年9月9日
【申請(qǐng)日】2015年4月30日