專利名稱：一種石墨管加熱器保護(hù)套的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅制造技術(shù)，特別涉及多晶硅生產(chǎn)的氫化爐，具體是一種石 墨管加熱器保護(hù)套。
背景技術(shù)：
目前，多晶硅制造技術(shù)中，氫化爐是西門子法生產(chǎn)多晶硅的關(guān)鍵設(shè)備，氫化爐內(nèi)采 用了大量的石墨管加熱器。石墨管加熱器的外徑約50mm，長度約1800mm，兩根加熱管為一 對，該加熱器豎直安裝，頂部用石墨橫梁連接成一體，底部有銅電極與其連接。氫化爐在使 用過程中，是通過石墨管加熱器發(fā)熱至1400°C的溫度，然后通入6kgf/cm2的反應(yīng)氣體，進(jìn)行 反應(yīng)。由于爐內(nèi)的氣流是從上往下沖刷，因此加熱器在氫化爐內(nèi)是晃動(dòng)的，高溫、高壓的氣 流容易對加熱器的根部形成沖刷，導(dǎo)致加熱器溫度不均勻，容易自其根部斷裂，使加熱器的 使用壽命縮短。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，本實(shí)用新型提供了一種石墨管加熱器保護(hù) 套，其能大大延長石墨管加熱器的使用壽命。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種氫化爐石墨管加熱器保護(hù)套，包括可套裝 在石墨管加熱器外部的護(hù)套，護(hù)套的外側(cè)面設(shè)有至少兩個(gè)沿其軸向間隔設(shè)置的環(huán)形板，相 鄰兩塊環(huán)形板之間形成環(huán)形凹槽。本實(shí)用新型使用時(shí)是套裝在石墨管加熱器根部外側(cè)，利用護(hù)套上設(shè)置的環(huán)形凹槽 形成迷宮式結(jié)構(gòu)來緩沖氣流對加熱管根部的沖刷。當(dāng)氫化爐內(nèi)通入反應(yīng)氣體時(shí)，氣流從上 往下沖刷，該保護(hù)套一方面阻擋了氣流對石墨加熱管根部的直接沖刷，同時(shí)，護(hù)套上設(shè)置的 環(huán)形凹槽形成了迷宮式結(jié)構(gòu)，對氣流產(chǎn)生了一種緩沖作用，減輕了氣流對加熱管根部的沖 刷，能有效保護(hù)石墨管加熱器，延長加熱器的使用壽命。本實(shí)用新型中的護(hù)套和環(huán)形板可采用分體結(jié)構(gòu)，但考慮到結(jié)構(gòu)的簡單及可靠性， 所述的護(hù)套和環(huán)形板可一體制出。為了保護(hù)石墨加熱管，所述護(hù)套的其中一端的端頭為錐形結(jié)構(gòu)。使用時(shí)，該錐形 端朝上設(shè)置，該種設(shè)計(jì)有利于導(dǎo)引氣流，避免氣流對加熱管的沖刷，從而保護(hù)加熱管不被損 壞。所述的凹槽其截面形狀可采用任何形狀，但為了盡可能減少氣流到達(dá)加熱器根部 的幾率，所述凹槽的截面可為矩形或U形或V形。本實(shí)用新型的有益效果是，其通過簡單的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，很好地解決了氫化爐石墨管 加熱器根部因受高溫高壓氣流沖刷，造成溫度不均，容易發(fā)生斷裂的技術(shù)問題，大大延長了 石墨管加熱器的使用壽命。
圖1是實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是實(shí)施例1中石墨管加熱器保護(hù)套的剖視示意圖；圖3是是凹槽截面為U形的石墨管加熱器保護(hù)套的剖視示意圖；圖4是凹槽截面為V形的石墨管加熱器保護(hù)套的剖視示意圖。圖中，1、護(hù)套，2、環(huán)形板，3、凹槽，4、石墨管加熱器。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及非限定性的實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明實(shí)施例1如附圖1所示，是多晶硅生產(chǎn)用的氫化爐內(nèi)的石墨管加熱器的局部結(jié)構(gòu)剖視示意 圖。在氫化爐內(nèi)，石墨管加熱器4是豎直安裝的，其底部有銅電極與其連接(圖中未畫出電 極)。在石墨管加熱器4的根部套裝有一保護(hù)套，如圖2所示，該保護(hù)套包括可套裝在石墨 管加熱器4外部的護(hù)套1，護(hù)套1的外側(cè)面設(shè)有多個(gè)沿其軸向間隔設(shè)置的環(huán)形板2，相鄰兩 塊環(huán)形板2之間形成環(huán)形凹槽3，整個(gè)保護(hù)套為迷宮式結(jié)構(gòu)。其中，護(hù)套1和環(huán)形板2 —體 制出，均為石墨材質(zhì)。護(hù)套1位于上部的端頭設(shè)計(jì)為錐形結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例中，套裝在石墨管加熱器外部的保護(hù)套一方面阻擋了氣流對石墨加熱管 根部的直接沖刷，另一方面，保護(hù)套迷宮式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)對氣流產(chǎn)生了一定的緩沖作用，減輕了 氣流對加熱器根部的沖刷，使石墨加熱器不容易損壞，大大延長了石墨管加熱器的使用壽 命。而護(hù)套1端頭的錐形設(shè)計(jì)，有利于導(dǎo)引氣流，避免了氣流對加熱管與保護(hù)套連接部位的 沖刷，從而保護(hù)石墨管加熱器不被損壞。本發(fā)明中的凹槽3的截面形狀可以是任何形狀，如可以是矩形(如圖2所示)， 也可以是U形(如圖3所示)或V形(如圖4所述)或其它的形狀?？紤]到結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及盡 可能減少氣流到達(dá)加熱器根部的幾率，所述凹槽的截面最好為矩形或U形或V形。本實(shí)用新型的其他部分采用已有技術(shù)，在此不再贅述。上述實(shí)施例僅用作對本實(shí)用新型的說明，并非對其的限制，在此基礎(chǔ)上還可做出 變動(dòng)，如本實(shí)用新型中的護(hù)套1和環(huán)形板2還可采用分體式結(jié)構(gòu)等。
權(quán)利要求一種氫化爐石墨管加熱器保護(hù)套，其特征是包括可套裝在石墨管加熱器外部的護(hù)套(1)，護(hù)套(1)的外側(cè)面設(shè)有至少兩個(gè)沿其軸向間隔設(shè)置的環(huán)形板(2)，相鄰兩塊環(huán)形板(2)之間形成環(huán)形凹槽(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氫化爐石墨管加熱器保護(hù)套，其特征是所述護(hù)套(1)與環(huán) 形板(2) —體制出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氫化爐石墨管加熱器保護(hù)套，其特征是所述護(hù)套(1)的 其中一端的端頭為錐形結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氫化爐石墨管加熱器保護(hù)套，其特征是所述凹槽(3)的 截面為矩形或U形或V形。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種石墨管加熱器保護(hù)套，特別涉及多晶硅生產(chǎn)的氫化爐。其包括可套裝在石墨管加熱器外部的護(hù)套(1)，護(hù)套(1)的外側(cè)面設(shè)有至少兩個(gè)沿其軸向間隔設(shè)置的環(huán)形板(2)，相鄰兩塊環(huán)形板(2)之間形成環(huán)形凹槽(3)。本實(shí)用新型使用時(shí)套裝在石墨管加熱器根部外側(cè)，利用護(hù)套上設(shè)置的環(huán)形凹槽形成迷宮式結(jié)構(gòu)來緩沖氣流對加熱管根部的沖刷，能有效保護(hù)石墨管加熱器，延長加熱器的使用壽命。
文檔編號H05B3/42GK201742573SQ20102025227
公開日2011年2月9日 申請日期2010年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月8日
發(fā)明者劉添華, 張洪義, 李文江, 楊冬梅, 苗學(xué)明, 鄒志勇, 靳忠杰 申請人:山東偉基炭科技有限公司;濟(jì)南偉得熱工材料有限公司