專利名稱：用于排出線的加熱管及半導體工程的排出線結(jié)構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于排出線的加熱管及半導體工程的排出線的結(jié)構，更具體地說是 有關使管子的溫度維持在一定溫度(150 190°C)下，預防在排氣管的曲折部位形成粉末 沉積的技術。
背景技術：
一般，半導體制造工程是在工程室中，使用工程氣體和反應氣體來進行，工程 結(jié)束后，少量的殘留氣體及反應物，比如說粉末等，會通過排氣管排出去。圖1所示的是一般的半導體制造工程中排氣管的構造。

一般，在化學氣相沉積設備中，化學氣相沉積工程結(jié)束后，從工程室(100)排 除的氣體通過排氣管(400)排到氣體清潔器(200)時，排氣管的內(nèi)部會有微細的塵裝粉 末，這種粉末的形成原因取決于排氣管的溫度，壓力，排氣的成分。微細的塵裝粉末集聚在排氣管的內(nèi)壁，導致排氣壓的下降，因此引起的設備損 壞及因排氣管的堵塞形成的排氣逆流現(xiàn)象，因而導致工程不良和因排氣管的堵塞引起的 真空泵的性能降低現(xiàn)象。為了解決這樣的問題，國內(nèi)公共專利10-2005-0117331號及10-2007-0054984號
提示了在排氣管上安裝加熱夾克的技術。但是，上述的加熱夾克的附著性很差，所以在排氣管和其中間產(chǎn)生空氣層，導 致熱傳遞的效能降低，不但如此，以往的排氣管為平滑管，所以在安裝時，需要曲折， 因此流體會以管壁形成沖突，使其壓力上升，在管的連接部位的彎管生成粉末。在韓國專利10-0860593號中，為了解決加熱夾克的問題，提示了另一種管子結(jié) 構。如圖2所示，把置于半導體設備的氣體排氣管上的排氣管制造成雙重波紋管的形 狀，雙重波紋管的內(nèi)部裝上熱線，通過波紋管的靈活的特性，可以使流體的沖突度變?yōu)?最小。但是，上述的專利需要報波紋管制造成雙重波紋管的形態(tài)，這樣的制造過程不 僅很難，而且，雙重的波紋管互相結(jié)合時，會導致工作效率的降低。不但如此，在2個波紋管之間介入熱線會妨礙波紋管的靈活性，使某些部位形 成曲折，在這曲折的部分會生成粉末。而且，為了把波紋管連接到排氣管上，需要其他的裝置，因熱的流出量比較 高，所以很難維持適當?shù)臏囟?150 190°C )。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決以上的問題而言就出來的，其目的是要提供在維持適當?shù)母?溫下，能夠防止排氣管中粉末沉積的現(xiàn)象的加熱管。為達到上述的目的，本發(fā)明提供有關于用于排出線的加熱管，其特征包括兩 端上有形成凸緣部的金屬材料的波紋管，上述波紋管的外周面有以螺旋形狀卷上的熱線部，上述熱線部的外側(cè)有耐熱絕緣材料，上述耐熱絕緣層的外側(cè)有保溫材料，還包括壓 入在上述波紋管的兩端的保溫材料外側(cè)的環(huán)狀壓入帽。在這里，上述 熱線部的最適當?shù)慕Y(jié)構為；內(nèi)部形成收容空間，收容空間的中間 部位有隔壁形成的帶狀箱子，由上述隔壁隔開的一側(cè)空間部有(+)極熱線，另一側(cè)為(_) 極熱線。還有，上述熱線部的特征應該為從氣體進入的一端到氣體排出的一端，卷在管 上的熱線部之間的間距越來越小。而且，上述的耐熱絕緣材料應該是由磁帶形態(tài)的石棉卷在上面形成的。還有，上述保溫材料應該包括第一保溫層和第二保溫層；第一保溫層是由石棉 材料包裹耐熱絕緣材料的表面形成的，第二保溫層是利用其一面的附著劑附著在第一保 溫層的外面。為了達到此目的，根據(jù)本發(fā)明，排出線包含連接半導體工程的工程室和清潔器 的多個加熱管，還有介入在上述加熱管的曲折連接部位的彎管零件。對于此排出線，其 構造特征為；上述的加熱管兩端上有由形成凸緣部的金屬材料管，上述波紋管的外周面 有以螺旋形狀卷上的熱線部，上述熱線部的外側(cè)有耐熱絕緣材料，上述耐熱絕緣層的外 側(cè)有保溫材料，還包括壓入在上述波紋管的兩端的保溫材料外側(cè)的環(huán)狀壓入帽，上述彎 管零件的外周面是由加熱夾克包裹形成的。根據(jù)此發(fā)明，在維持適當?shù)母邷叵?，能夠防止排氣管中粉末沉積的現(xiàn)象。


圖1是顯示一般的半導體工程的排氣管構造的概圖。圖2是顯示使用波紋管的半導體工程的排氣管構造的概圖。圖3是根據(jù)例1顯示本發(fā)明中加熱管構造的切開斜視圖。圖4是根據(jù)例1顯示本發(fā)明中加熱管的構造。圖5是根據(jù)例1顯示本發(fā)明中熱線部的卷取構造。圖6是根據(jù)例2顯示本發(fā)明中半導體工程的排氣管構造。標號說明10:加熱管11 波紋管12 熱線部 12a 箱子12b (+)極熱線 12c 隔壁12d (“)極熱線 13 耐熱絕緣材料14 第1保溫層 15 第2保溫層16 凸緣部17 壓入帽18 連接器100 工程室200 氣體清潔器 300 彎管零件400 加熱夾克
具體實施例方式本發(fā)明的進行例子可參照

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圖3是根據(jù)本發(fā)明中的例一，顯示加熱管構造的部分的切開斜視圖，圖4是根據(jù) 本發(fā)明中的例一，顯示加熱管構造的斷面圖。 如圖所示，根據(jù)本發(fā)明，加熱管(10)的組成包含波紋管(11)，熱線部(12)，耐 熱絕緣材料(13)，保溫材料(14，15)。波紋管(11)是金屬材料制造成的圓筒形管子，有很多波紋，兩端部由工程室 (100)及連接氣體清潔器(200)的凸緣部(16)連為一體。波紋管(11)的材料是厚度為 0.3mm的不銹鋼，此外還可以是鍍鋅或耐熱性的合成樹脂。熱線部(12)以螺旋形卷在波紋管(11)的外周面，進行加熱，使波紋管(11)的 內(nèi)部溫度維持在適當?shù)臏囟?50 190°C)。如圖4所示，熱線部的內(nèi)部有收容空間， 空間的中央有隔壁(12c)形成的帶狀箱子(12a)，隔壁(12c)隔開的一側(cè)空間部有(+)極 熱線(12b)，另一側(cè)為(_)極熱線(12d)。隔壁(12c)是為防止兩個熱線間的短路而設置 的，一個熱線部(12)內(nèi)同時設有兩條熱線，具有通過一個連接器(18)連接與電源部(未 圖示)的優(yōu)點。耐熱絕緣材料(13)位于熱線部的外側(cè)，最好是由磁帶形象的石棉卷在上面形成 的。石棉是含鎂較多的汗水硅酸鹽礦物質(zhì)的纖維相，具有不易燃，斷熱性，耐久 性，耐火性，絕緣性等優(yōu)點，可以提供電絕緣，也可以承受波紋管(11)的高溫。保溫材料(14，15)位于耐熱絕緣層的外側(cè)，防止熱線部(12)的熱量流到外部， 是由石棉材料組成，包括包在耐熱絕緣材料(13)的表面的第一保溫層(14)以及一面圖有 附著劑，這一面附著在第一保溫層(14)的外面的第二保溫層(15)。而且，在波紋管(11)的兩端側(cè)的第二保溫層(15)的外側(cè)有環(huán)狀壓入帽(17)壓 入，從而使凸緣部變得堅固。圖6顯示本發(fā)明中熱線部的卷取構造。如圖所示，在本發(fā)明中，熱線部(12)不是按一定的間隔卷在波紋管(11)的外周 面，而是從左側(cè)的氣體流入一側(cè)到右側(cè)的氣體流出的一側(cè)，其間距越來越窄。為防止排氣中粉末的生成，排出線的加熱管(10)的內(nèi)部溫度維持在一定的高度 是非常重要的，為此，需要熱線之間緊密的卷取，但是，如果這樣，會影響波紋管靈活 的特性，也會導致成本變高，而且，難以達到高溫。熱線載入高壓時，生成的電力消耗 高，就是載入高壓，由于熱線的熱容量，也只能達到一定的溫度。通常，從工程室(100)排除的氣體是高溫氣體，通過排出線排出的過程中，溫 度下降，所以以低溫的狀態(tài)沖突在內(nèi)壁上，生成粉末?？紤]到這樣的特性，本發(fā)明使從 工程室(100)流入到管內(nèi)的氣體通過管道時，能夠保持一定的溫度。這是通過調(diào)整熱線 部(12)的間隔完成的，內(nèi)部氣體的溫度較高的前方部位，使熱線部(12)的間隔較大，越 往后，熱線部的間隔就越小。特別是在溫度下降最顯著的排出口一側(cè)要把熱線部(12)卷取的更嚴密，從而防 止粉末的生成。圖6是本根據(jù)發(fā)明中的例2，顯示半導體工程的排出線的構造。如圖6所示，本發(fā)明的例2是加熱管(10)制造成直線管的形態(tài)，加熱管(10)之 間用彎管零件(300)連接，不是具有靈活性的波紋管形態(tài)。如例1，加熱管(10)利用耐熱絕緣材料(13)和保溫材料(14，15)，防止在熱線部(12)產(chǎn)生的熱量流出，從而維持加 熱管(10)的內(nèi)部溫度。彎管零件(300)是通常使用的彎管零件(300)，外周面用加熱夾 克(400)包著，加熱夾克(400)內(nèi)設有熱線。以往，加熱夾克只設置在直線管上，不在彎管上，所以難以維持彎管內(nèi)的溫 度，不但如此，在較長的直線管中，也很難維持充分的溫度，導致管的曲折部位生成粉 末。但依據(jù)本發(fā)明的例2，不 但可以使加熱管(10)維持高溫，還可以通過彎管零件(300) 外周面的加熱夾克(400)使管內(nèi)部的溫度維持在高溫當中，這樣明顯降低的粉末的生 成。雖然，通過一定的例子對于本發(fā)明進行了說明，但是可以在沒有躍出發(fā)明的要 點和范圍的情況下，進行修改或變形。所以，本發(fā)明的保護范圍包括這樣的修改或變 形。
權利要求
1.一種用于排出線的加熱管，其特征在于， 兩端的由凸緣部形成的金屬材料管； 上述管的外周面上以螺旋狀卷上的熱線部； 位于上述熱線部外側(cè)的耐熱絕緣材料； 位于上述耐熱絕緣材料外側(cè)的保溫材料；壓入在上述管的兩端的保溫材料外側(cè)的環(huán)狀壓入帽；上述熱線部的內(nèi)部形成收容空間，收容空間的中間部位有隔壁形成的帶狀箱子，由 上述隔壁隔開的一側(cè)空間部有(+)極熱線，另一側(cè)為(-)極熱線。
2.如權利要求1所述的用于排出線的加熱管，其中，上述管是以波紋管或直線管中的一個。
3.如權利要求1所述的用于排出線的加熱管，其中，上述熱線部的特征為從氣體進入 的一端到氣體排出的一端，卷在管上的熱線部間的間距越來越小。
4.如權利要求1所述的用于排出線的加熱管，其中，上述耐熱絕緣材料的特征是以向 磁帶形狀的石棉卷在上面形成的。
5.如權利要求1所述的用于排出線的加熱管，其中，上述保溫材料包括第一保溫層和 第二保溫層；第一保溫層是由石棉材料包裹耐熱絕緣材料的表面形成的，第二保溫層是 利用其一面的附著劑附著在第一保溫層的外面。
全文摘要
本發(fā)明中提供一種用于排出線的加熱管及半導體工程的排出線結(jié)構，其特征為兩端上有形成凸緣部的金屬材料的波紋管，上述波紋管的外周面有以螺旋形狀卷上的熱線部，上述熱線部的外側(cè)有耐熱絕緣材料，上述耐熱絕緣層的外側(cè)有保溫材料，還包括壓入在上述波紋管的兩端的保溫材料外側(cè)的環(huán)狀壓入帽。根據(jù)本發(fā)明，在維持排氣管要求的高溫下，可以預防在排氣管中形成粉末而沉積的現(xiàn)象。
文檔編號F16L53/00GK102022601SQ20101026245
公開日2011年4月20日 申請日期2010年8月25日 優(yōu)先權日2009年9月15日
發(fā)明者樸英洙 申請人:樸英洙