專利名稱：密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉真空鍍膜領域中用于提供真空環(huán)境的密封腔體，更具體地涉及一種對密 封腔體的傳遞窗口進行打開或關閉的閥板驅(qū)動機構(gòu)。
背景技術：
在有機發(fā)光二極管(英文為0rganic Light Emitting Diode，簡稱0LED)行業(yè) 和太陽能電池板行業(yè)中都大量的需要對基板進行鍍膜，而用于提供鍍膜所需的密封腔體 (也稱，真空腔體)是必不可少的。為了便于將待鍍膜的基板從外界輸入到密封腔體內(nèi)或?qū)?已鍍膜好的基板從密封腔體內(nèi)輸出，通常在密封腔體上開設供基板進、出的傳遞窗口，并且 通過與驅(qū)動機構(gòu)連接的閥板來實現(xiàn)對上述傳遞窗口的開啟或關閉?，F(xiàn)有技術中一般采用蝸輪閥板驅(qū)動裝置來實現(xiàn)所述閥板的密封打開與關閉。所述蝸輪閥板驅(qū)動裝置主要由第一傳動系統(tǒng)和第二傳動系統(tǒng)相互連接而成。其中 所述第一傳動系統(tǒng)主要包括由第一蝸桿和第一蝸輪構(gòu)成的第一蝸桿副以及用于驅(qū)動所述 第一蝸桿轉(zhuǎn)動的手輪，所述第二傳動系統(tǒng)主要包括由第二蝸桿和第二蝸輪構(gòu)成的第二蝸桿 副、用于限定所述第二蝸輪的旋轉(zhuǎn)角度范圍的限位螺栓、以及與所述第二蝸輪連接并被所 述第二蝸輪傳動的閥桿。其中，所述第一蝸桿與所述第一蝸輪相嚙合，所述第二蝸桿與所述 第二蝸輪相嚙合，所述第一蝸輪與所述第二蝸桿之間的傳動通過平鍵連接。打開或關閉所 述閥板時，人工轉(zhuǎn)動所述手輪以驅(qū)動所述第一蝸桿轉(zhuǎn)動，從而帶動與所述第一蝸桿嚙合的 第一蝸輪轉(zhuǎn)動，所述第一蝸輪傳動所述第二蝸桿轉(zhuǎn)動，進而帶動與所述第二蝸桿嚙合的第 二蝸輪轉(zhuǎn)動，所述第二蝸輪傳動所述閥桿，由所述閥桿來實現(xiàn)所述閥板的打開或關閉。在這 個過程中，由所述限位螺栓來控制所述第二蝸輪的旋轉(zhuǎn)角度，以實現(xiàn)所述閥板的全開和全 關的要求。但是，所述蝸輪閥板驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)比較復雜，零部件加工、操作及維護等比較復 雜，不易實施，且設備配置成本較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，所述密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)結(jié) 構(gòu)簡單、緊湊，易于操作及維護，且設備配置成本較低。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，用于驅(qū)動閥板對密 封腔體的傳遞窗口的打開或關閉。所述密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)包括移動導向裝置、安裝板、 第一驅(qū)動裝置、連接裝置及第二驅(qū)動裝置，所述移動導向裝置位于所述密封腔體的傳遞窗 口的下方且與所述密封腔體的外側(cè)壁固定連接，所述安裝板與所述移動導向裝置呈縱向地 滑動連接，所述第一驅(qū)動裝置與所述安裝板固定連接，所述第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述安裝板 沿所述移動導向裝置作縱向的直線往復運動，所述連接裝置的一端與所述閥板連接，所述 連接裝置的另一端與所述第二驅(qū)動裝置固定連接，所述第二驅(qū)動裝置與所述安裝板固定連 接，所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述閥板作橫向的直線往復運動，所述第一驅(qū)動裝置通過所述安裝板驅(qū)動所述閥板作縱向的直線往復運動。具體地，所述安裝板包括呈垂直連接的橫向部和縱向部。具體地，所述第一驅(qū)動裝置包括第一氣缸和第一活塞桿，所述第一氣缸安裝在所 述密封腔體的外側(cè)壁上，所述第一活塞桿的一端滑動地收容于所述第一氣缸的座體內(nèi)，所 述第一活塞桿的另一端呈密封地伸出所述第一氣缸的座體并與所述安裝板的橫向部固定 連接。具體地，所述第二驅(qū)動裝置包括第二氣缸和第二活塞桿，所述第二氣缸與所述安 裝板的縱向部固定連接，所述第二活塞桿的一端滑動地收容于所述第二氣缸的座體內(nèi)，所 述第二活塞桿的另一端呈密封地伸出所述第二氣缸的座體并與所述連接裝置連接。較佳地，所述連接裝置包括連接座和連接桿，所述連接座與所述閥板固定連接，所 述連接座開設有一球形孔，所述連接桿的一端呈球狀并插入所述連接座的球形孔內(nèi)，所述 連接桿的另一端設有內(nèi)螺紋孔，所述第二活塞桿伸出所述第二氣缸的座體的一端設有外螺 紋，所述連接桿的內(nèi)螺紋孔與所述第二活塞桿的外螺紋相配合。所述連接桿呈球狀的一端 插入所述連接座的球形孔內(nèi)以形成球鉸鏈，使得所述閥板可以有局部的自由擺動以補償所 述閥板與所述密封腔體的傳遞窗口的密封面之間的不平行度，從而使得所述閥板與所述傳 遞窗口的密封面之間貼合時能平行接觸，提高密封效果。較佳地，所述連接裝置還包括鎖緊螺母和鎖緊環(huán)，所述鎖緊螺母穿過所述連接桿 并與所述連接座固定連接，所述鎖緊環(huán)套入所述鎖緊螺母。具體地，所述移動導向裝置包括導軌、滑塊及連接支柱，所述導軌呈縱向地固定安 裝在所述密封腔體的外側(cè)壁上，所述滑塊與所述連接支柱的一端固定連接，所述連接支柱 的另一端與所述安裝板的橫向部固定連接，所述導軌與所述滑塊滑動地卡合連接。較佳地，所述導軌和滑塊的截面均呈燕尾槽形狀。在本發(fā)明一優(yōu)選實施例中，所述導向裝置還包括上傳感器、下傳感器及擋片，所述 上傳感器及下傳感器對應安裝在所述導軌的上、下端且位于同一縱線上，所述擋片安裝在 所述滑塊上且位于所述上傳感器與所述下傳感器之間。較佳地，所述移動導向裝置還包括緩沖擋塊，所述緩沖擋塊呈突出地安裝于所述 導軌的下端且正對所述連接支柱。與現(xiàn)有技術相比，由于本發(fā)明密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)的第一驅(qū)動裝置通過所述安 裝板驅(qū)動所述閥板作縱向的直線往復運動，所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述閥板作橫向的直線 往復運動，從而實現(xiàn)了所述閥板打開或關閉所述密封腔體的傳遞窗口的過程，結(jié)構(gòu)簡單、緊 湊，動作靈活輕便，零部件加工、操作及維護等比較簡單，易于實施，且設備配置成本較低。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本發(fā)明 的實施例。


圖1為本發(fā)明密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)應用到密封腔體外側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1所示I部分的放大圖。圖3為圖2的分解圖與密封腔體外側(cè)壁的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖2的俯視圖。
圖5為沿圖4的A-A線的剖面圖。
具體實施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。如 上所述，本發(fā)明提供了一種密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，由于本發(fā)明密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)的 第一驅(qū)動裝置通過所述安裝板驅(qū)動所述閥板作縱向的直線往復運動，所述第二驅(qū)動裝置驅(qū) 動所述閥板作橫向的直線往復運動，從而實現(xiàn)了所述閥板打開或關閉所述密封腔體的傳遞 窗口的過程，結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，動作靈活輕便，零部件加工、操作及維護等比較簡單，易于實 施，且設備配置成本較低。請參考圖1-3，本發(fā)明的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動閥板14對密封腔體10的 傳遞窗口 12的打開或關閉。如圖1、圖2及圖3所示，本發(fā)明的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)包括 移動導向裝置20、安裝板22、第一驅(qū)動裝置24、連接裝置26以及第二驅(qū)動裝置28。所述移 動導向裝置20位于所述密封腔體10的傳遞窗口 12的下方且與所述密封腔體10的外側(cè)壁 101固定連接，所述安裝板22與所述移動導向裝置20呈縱向滑地動連接，所述第一驅(qū)動裝 置24與所述安裝板22固定連接，所述第一驅(qū)動裝置24驅(qū)動所述安裝板22沿所述移動導 向裝置20作縱向的直線往復運動，所述連接裝置26的一端與所述閥板14連接，所述連接 裝置26的另一端與所述第二驅(qū)動裝置28固定連接，所述第二驅(qū)動裝置28與所述安裝板22 固定連接，所述第二驅(qū)動裝置28驅(qū)動所述閥板14作橫向的直線往復運動，所述第一驅(qū)動裝 置24通過所述安裝板22驅(qū)動所述閥板14作縱向的直線往復運動。具體地，如圖2所示， 所述安裝板22包括呈垂直連接的橫向部221和縱向部222。具體地，如圖1所示，所述移動導向裝置20包括導軌201、滑塊202、連接支柱203、 上傳感器204、下傳感器205、擋片206以及緩沖擋塊207。所述導軌201呈縱向地固定安裝 在所述密封腔體10的外側(cè)壁101上且位于所述傳遞窗口 12的下方，所述滑塊202與所述 連接支柱203的一端固定連接，所述連接支柱203的另一端與所述安裝板22的橫向部221 固定連接，所述導軌201與所述滑塊202滑動地卡合連接。所述上傳感器204及下傳感器 205 (在本實施例中為光電傳感器)對應安裝在所述導軌201的上、下兩端的極限位置處且 位于同一縱線上，所述擋片206安裝在所述滑塊202上且位于所述上傳感器204和所述下 傳感器205之間，所述緩沖擋塊207呈突出地安裝于所述導軌201的下端且正對所述連接 支柱203。當所述滑塊202滑動到所述導軌201的上、下兩端的極限位置處時，所述擋片206 可以遮擋住所述上傳感器204及下傳感器205的透光源以實現(xiàn)對所述閥板14上下移動的 行程的控制。另外，當所述滑塊202下移到所述導軌201的底端時，所述緩沖擋塊207的設 置可以起到一定的緩沖作用。較佳地，所述導軌201和滑塊202的截面均呈燕尾槽形狀。具體地，如圖1所示，所述第一驅(qū)動裝置24包括第一氣缸241和第一活塞桿242。 所述第一氣缸241固定于基板30上，所述基板30固定于支撐件32上，所述支撐件32固定 所述密封腔體10的外側(cè)壁101上且位于所述傳遞窗口 12的下方。所述第一活塞桿242的 一端滑動地收容于所述第一氣缸241是座體內(nèi)，所述第一活塞桿242的另一端呈密封地伸 出所述第一氣缸241的座體并與所述安裝板22的橫向部221固定連接。具體地，如圖2-5所示，所述第二驅(qū)動裝置28包括第二氣缸281和第二活塞桿282，所述第二氣缸281與所述安裝板22的縱向部222固定連接，所述第二活塞桿282的一 端滑動地收容于所述第二氣缸281的座體內(nèi)，所述第二活塞桿282的另一端呈密封地伸出 所述第二氣缸281的座體并與所述連接裝置26連接。較佳地，所述連接裝置26包括連接座261、連接桿262、鎖緊螺母263以及鎖緊環(huán) 264。所述連接座261與所述閥板14固定連接，所述連接座261開設有一球形孔(圖未示) 和一螺紋孔261a(如圖3所示)，所述連接桿262的一端呈球狀并插入所述球形孔內(nèi)，所述 連接桿262的另一端設有內(nèi)螺紋孔(圖未示)，所述第二活塞桿282伸出所述第二氣缸281 的座體的一端設有外螺紋(如圖3所示)，所述連接桿262的內(nèi)螺紋孔與所述第二活塞桿 282的外螺紋相配合連接成一體，使得所述第二活塞桿282的伸縮運動轉(zhuǎn)化成所述閥板14 的軸向運動，所述鎖緊螺母263穿過所述連接桿262并與所述連接座261固定連接，所述鎖 緊環(huán)264套入所述鎖緊螺母263。其中，所述連接桿262呈球狀的一端與所述連接座261的球形孔相配合形成一個 球鉸鏈，使得所述閥板14可以有局部的自由擺動以補償所述閥板14與所述傳遞窗口 12的 密封面之間的不平行度，從而使得所述閥板14與所述傳遞窗口 12的密封面之間貼合時能 平行接觸，進而提高密封效果。所述鎖緊螺母263的外圓柱面為外螺紋，與所述連接座261的螺紋孔261a的內(nèi)螺 紋相配合，可以調(diào)節(jié)所述鎖緊螺母263的端面與所述連接桿262相鄰的端面之間的間距，從 而將所述閥板14的局部自由擺動限制在規(guī)定允許的范圍內(nèi)。所述鎖緊環(huán)264的內(nèi)圓柱面為內(nèi)螺紋，所述鎖緊環(huán)264套入所述鎖緊螺母263并 與所述鎖緊螺母263的外圓柱面的外螺紋配合以進行軸向鎖緊，使得所述鎖緊螺母263固 定在恰當?shù)奈恢?。需要注意的是，本實施例中，所述密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)包括兩組移動導向裝置 20和兩組第二驅(qū)動裝置28。兩組導向裝置20的連接支柱203分別與所述安裝板22的橫向 部221的兩端固定連接，兩組第二驅(qū)動裝置28的第二氣缸281分別與所述安裝板22的縱 向部222的兩端固定連接，所述兩組移動導向裝置20和兩組第二驅(qū)動裝置28的其他部件 的連接關系及其工作原理類似，在此不再贅述。兩組移動導向裝置20的設置，對所述閥板 14的向下移動起到了一定的導向作用，同時還分擔了所述第一活塞桿242的橫向切力(當 所述閥板14橫向移動時，所述閥板14會對所述第一活塞桿242產(chǎn)生一個橫向的剪切力)， 避免了所述第一活塞桿242變形、損壞，從而影響所述第一活塞桿242軸向的運動精度。結(jié)合圖1、圖3及圖5，所述閥板14的上升及關閉過程具體為第一氣缸241進氣， 推動所述第一活塞桿242向上移動一定的行程。在這個過程中，所述第一活塞桿242將推 動所述安裝板22的橫向部221、縱向部222、連接桿262以及閥板14 一起向上移動至所需 位置，即所述閥板14正對所述密封腔體10的傳遞窗口 12，也即所述傳遞窗口 12位于閥板 14在密封腔體10上的正投影的中心位置。至此，完成了所述閥板14的上升過程。接著，所述第二氣缸281進氣，推動所述第二活塞桿282向靠近所述密封腔體10 的傳遞窗口 12的密封面的方向移動一定的行程。在這個過程中，所述第二活塞桿282將帶 動所述連接桿262、連接座261以及閥板14 一起向靠近所述傳遞窗口 12的密封面的方向 移動至所需位置，即使得安裝于所述閥板14的密封槽內(nèi)的0型密封圈141與所述傳遞窗口 12的密封面相接觸。至此，完成了所述閥板14的關閉過程。
在所述閥板14關閉后便可對所述密封腔體10進行抽真空，通過所述密封腔體10 內(nèi)外的大氣壓差的壓力作用迫使所述閥板14向所述傳遞窗口 12的密封面靠近，所述0型 密封圈被迫壓縮變形，達到與所述傳遞窗口 12的密封面緊密接觸的狀態(tài)，從而實現(xiàn)穩(wěn)定可 靠的密封要求。再結(jié)合圖1、圖3及圖5，所述閥板14的打開及下降過程具體為對所述密封腔體 10充入大氣以降低所述密封腔體10內(nèi)的真空度，直到所述密封腔體10內(nèi)的氣壓與大氣壓 平衡時才停止充氣。接著，所述第二氣缸281進氣，推動所述第二活塞桿282向遠離所述密封腔體10 的傳遞窗口 12的密封面的方向移動一定的行程。在這個過程中，所述第二活塞桿282將帶 動所述連接桿262、連接座261以及閥板14移動至原始行程位置，所述0型密封圈141與所 述傳遞窗口 12的密封面完全脫離至一定距離(如5mm)。至此，完成了所述閥板14的開啟 過程。之后，所述第一氣缸241進氣，推動所述第一活塞桿242向下移動一定的行程。在 這個過程中，所述第一活塞桿242將帶動所述安裝板22的橫向部221、縱向部222、連接桿 262以及閥板14向下移動至初始位置，即所述閥板14的上沿水平面的高度略低于所述傳遞 窗口 12的下沿水平面。至此，完成了所述閥板14的下降過程。以上結(jié)合最佳實施例對本發(fā)明進行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實施 例，而應當涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進行的修改、等效組合。
權(quán)利要求
一種密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，用于驅(qū)動閥板對密封腔體的傳遞窗口的打開或關閉，其特征在于所述密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)包括移動導向裝置、安裝板、第一驅(qū)動裝置、連接裝置及第二驅(qū)動裝置，所述移動導向裝置位于所述密封腔體的傳遞窗口的下方且與所述密封腔體的外側(cè)壁固定連接，所述安裝板與所述移動導向裝置呈縱向地滑動連接，所述第一驅(qū)動裝置與所述安裝板固定連接，所述第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述安裝板沿所述移動導向裝置作縱向的直線往復運動，所述連接裝置的一端與所述閥板連接，所述連接裝置的另一端與所述第二驅(qū)動裝置固定連接，所述第二驅(qū)動裝置與所述安裝板固定連接，所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述閥板作橫向的直線往復運動，所述第一驅(qū)動裝置通過所述安裝板驅(qū)動所述閥板作縱向的直線往復運動。
2.如權(quán)利要求1所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，所述安裝板包括呈垂直連接的橫向部 和縱向部。
3.如權(quán)利要求2所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述第一驅(qū)動裝置包括 第一氣缸和第一活塞桿，所述第一氣缸安裝在所述密封腔體的外側(cè)壁上，所述第一活塞桿 的一端滑動地收容于所述第一氣缸的座體內(nèi)，所述第一活塞桿的另一端呈密封地伸出所述 第一氣缸的座體并與所述安裝板的橫向部固定連接。
4.如權(quán)利要求2所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述第二驅(qū)動裝置包括 第二氣缸和第二活塞桿，所述第二氣缸與所述安裝板的縱向部固定連接，所述第二活塞桿 的一端滑動地收容于所述第二氣缸的座體內(nèi)，所述第二活塞桿的另一端呈密封地伸出所述 第二氣缸的座體并與所述連接裝置連接。
5.如權(quán)利要求4所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述連接裝置包括連接 座和連接桿，所述連接座與所述閥板固定連接，所述連接座開設有一球形孔，所述連接桿的 一端呈球狀并插入所述連接座的球形孔內(nèi)，所述連接桿的另一端設有內(nèi)螺紋孔，所述第二 活塞桿伸出所述第二氣缸的座體的一端設有外螺紋，所述連接桿的內(nèi)螺紋孔與所述第二活 塞桿的外螺紋相配合。
6.如權(quán)利要求5所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述連接裝置還包括鎖 緊螺母和鎖緊環(huán)，所述鎖緊螺母穿過所述連接桿并與所述連接座連接，所述鎖緊環(huán)套入所 述鎖緊螺母。
7.如權(quán)利要求2所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述移動導向裝置包括 導軌、滑塊及連接支柱，所述導軌呈縱向地固定安裝在所述密封腔體的外側(cè)壁上，所述滑塊 與所述連接支柱的一端固定連接，所述連接支柱的另一端與所述安裝板的橫向部固定連 接，所述導軌與所述滑塊滑動地卡合連接。
8.如權(quán)利要求7所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述導軌和滑塊的截面 均呈燕尾槽形狀。
9.如權(quán)利要求7所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述移動導向裝置還包 括上傳感器、下傳感器及擋片，所述上傳感器及下傳感器對應安裝在所述導軌的上、下端且 位于同一縱線上，所述擋片安裝在所述滑塊上且位于所述上傳感器與所述下傳感器之間。
10.如權(quán)利要求9所述的密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于所述移動導向裝置還包 括緩沖擋塊，所述緩沖擋塊呈突出地安裝于所述導軌的下端且正對所述連接支柱。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)，包括移動導向裝置、安裝板、第一驅(qū)動裝置、連接裝置及第二驅(qū)動裝置。移動導向裝置位于密封腔體的傳遞窗口的下方且與密封腔體的外側(cè)壁固定連接，安裝板與移動導向裝置呈縱向地滑動連接，第一驅(qū)動裝置與安裝板固定連接，連接裝置分別與閥板和第二驅(qū)動裝置連接，第二驅(qū)動裝置分別與連接裝置和安裝板連接。由于本發(fā)明密封腔體閥板驅(qū)動機構(gòu)的第一驅(qū)動裝置通過安裝板驅(qū)動閥板作縱向的直線往復運動，第二驅(qū)動裝置驅(qū)動閥板作橫向的直線往復運動，從而實現(xiàn)了閥板打開或關閉傳遞窗口的過程，結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，動作靈活輕便，零部件加工、操作及維護等比較簡單，易于實施，且設備配置成本較低。
文檔編號F16K31/122GK101956861SQ20101017116
公開日2011年1月26日 申請日期2010年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月6日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司