專利名稱：擴(kuò)散爐波紋管、爐門密封裝置及擴(kuò)散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，尤其是一種用于擴(kuò)散爐石英爐門固定的波紋 管、爐門密封裝置及擴(kuò)散爐。
背景技術(shù)：
在制造太陽電池的過程中，由于PN結(jié)是太陽電池光電轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵，擴(kuò)散工藝的目 的就是要在硅片上形成良好的P-N結(jié)。其原理是在高溫下，使磷原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片，使硅片 表層一定厚度的硅片變成N型，P型和N型交界的那個(gè)面就是所謂的P-N結(jié)，使用的設(shè)備是 擴(kuò)散爐。擴(kuò)散爐的爐門密封裝置是用以使擴(kuò)散爐內(nèi)部與外部隔絕并保持一定的密封度，來 滿足太陽能電池生產(chǎn)線上的閉管擴(kuò)散工藝。擴(kuò)散爐包括用于密封固定爐門的波紋管，波紋 管的波紋結(jié)構(gòu)可用以補(bǔ)償管道因溫度變化等原因引起的伸張、收縮變化量，同時(shí)也可有限 度的補(bǔ)償管道徑向位移量，以及減弱振動(dòng)在管道系統(tǒng)的傳播。當(dāng)擴(kuò)散爐運(yùn)行時(shí)，由于擴(kuò)散爐溫度太高，現(xiàn)有的整個(gè)波紋管都是波紋狀的，該結(jié)構(gòu) 導(dǎo)致它強(qiáng)度不夠，受高溫后容易變形，導(dǎo)致以下兩個(gè)后果1、石英爐門傾斜，導(dǎo)致爐門與石 英管密封不嚴(yán)，導(dǎo)致硅片返工；2、石英爐門脫落，導(dǎo)致石英爐門損壞，影響了設(shè)備的正常運(yùn) 行。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種有效減少波紋管受高 溫變形的擴(kuò)散爐波紋管。本實(shí)用新型的另一目的是提供一種能夠有效減少波紋管受高溫變形的擴(kuò)散路及 擴(kuò)散爐爐門密封裝置。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，一種閉管擴(kuò)散爐波紋管，包括波紋段和光滑段， 所述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。優(yōu)選地，所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述波紋管由耐腐蝕材料制成。優(yōu)選地，所述波紋管由PVC材料制成。一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，包括碳化硅槳、設(shè)置在所述碳化硅槳上的石英爐門、套設(shè)在所述碳化硅槳上的波紋管，所述波紋管包括波紋段和光滑段，所述波紋段的管體呈 波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。優(yōu)選地，所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。一種擴(kuò)散爐，包括上述所述的擴(kuò)散爐的爐門密封裝置。優(yōu)選地，所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述波紋管由耐腐蝕材料制成。優(yōu)選地，所述波紋管由PVC材料制成。[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是由于本實(shí)用新型的波紋管包括波紋段和 光滑段，而非全部是波紋段，使波紋管的強(qiáng)度大大增強(qiáng)，能有效的減少波紋管受高溫后變形 的現(xiàn)象，從而減少因爐門與石英管密封不嚴(yán)而導(dǎo)致硅片返工情況的發(fā)生，減少爐門損壞數(shù) 量，提高設(shè)備的利用率，降低設(shè)備的維護(hù)成本。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖所示一種擴(kuò)散爐波紋管，包括波紋段1和光滑段2 ，所述波紋段1的管體呈 波紋狀，所述光滑段2的管體具有光滑的管面。所述波紋管的波紋段1和光滑段2為一體 結(jié)構(gòu)制成。所述波紋管由耐腐蝕材料制成，本實(shí)施例由PVC材料制成。一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，包括碳化硅槳、設(shè)置在所述碳化硅槳上的石英爐門、 套設(shè)在所述碳化硅槳上用于爐門密封固定的波紋管。所述波紋管包括波紋段和光滑段，所 述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面，且為一體式結(jié)構(gòu)。一種擴(kuò)散爐，包括上述的擴(kuò)散爐的爐門密封裝置。由于本實(shí)用新型所述的波紋管包括波紋段1和光滑段2，與現(xiàn)有技術(shù)相比，有效的 提高了它的強(qiáng)度，且不影響它的正常使用，受高溫后不容易變形，從而減少因爐門與石英管 密封不嚴(yán)而導(dǎo)致硅片返工情況的發(fā)生，減少爐門損壞數(shù)量，提高設(shè)備的利用率，降低設(shè)備的 維護(hù)成本。以上實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例，不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍 內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種擴(kuò)散爐波紋管，其特征是包括波紋段和光滑段，所述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。
2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐波紋管，其特征是所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐波紋管，其特征是所述波紋管由耐腐蝕材料制成。
4.如權(quán)利要求3所述的擴(kuò)散爐波紋管，其特征是所述波紋管由PVC材料制成。
5.一種擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，包括碳化硅槳、設(shè)置在所述碳化硅槳上的石英爐門、套 設(shè)在所述碳化硅槳上的波紋管，其特征在于所述波紋管包括波紋段和光滑段，所述波紋段 的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。
6.如權(quán)利要求5所述的擴(kuò)散爐的爐門密封裝置，其特征在于所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。
7.一種擴(kuò)散爐，其特征在于包括如權(quán)利要求5所述的擴(kuò)散爐的爐門密封裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的擴(kuò)散爐，其特征在于所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求7所述的擴(kuò)散爐，其特征在于所述波紋管由耐腐蝕材料制成。
10.如權(quán)利要求9所述的擴(kuò)散爐，其特征在于所述波紋管由PVC材料制成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種閉管擴(kuò)散爐波紋管，包括波紋段和光滑段，所述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。所述波紋段和實(shí)體段為一體結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型還公開了一種具有該波紋管結(jié)構(gòu)的爐門密封裝置和擴(kuò)散爐。與現(xiàn)有技術(shù)相比本實(shí)用新型的波紋管的強(qiáng)度大大增強(qiáng)，能有效的減少波紋管受高溫后變形的現(xiàn)象，從而減少因爐門與石英管密封不嚴(yán)而導(dǎo)致硅片返工情況的發(fā)生，減少爐門損壞數(shù)量，提高設(shè)備的利用率，降低設(shè)備的維護(hù)成本。
文檔編號(hào)F16L11/11GK201576694SQ200920255860
公開日2010年9月8日 申請(qǐng)日期2009年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月24日
發(fā)明者張建國(guó), 王輝 申請(qǐng)人:無錫尚德太陽能電力有限公司