專利名稱：減振裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種減振裝置，尤其涉及一種適用于對真空度及潔凈度要求極高的精密制造環(huán)境中平板類器件減振的減振裝置。
背景技術：
隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展和科技的不斷進步，為精密制造行業(yè)迅速崛起提供了一個良好的發(fā)展平臺。相應地，精密制造行業(yè)的高速發(fā)展也為經(jīng)濟發(fā)展提供了強有力的推動力，促使經(jīng)濟、社會及環(huán)境和諧、健康、協(xié)調地發(fā)展，從而提高資源的利用效率以及減少對環(huán)境的污染，滿足中國新型的工業(yè)化道M求。
其中，在精密制造行業(yè)中，為了保證精密制造行業(yè)中產(chǎn)品的高精度、高質量要求。相應地，應用于精密制造行業(yè)中的各種設備、裝置或機器必須能達到精密制造行業(yè)的要求。其中，減振裝置就是應用于精密制造行業(yè)中諸多設備之一種。
目前，減振裝置的種類繁多，大致可以分為彈簧式減振裝置、液壓減振裝置及氣壓減振裝置等等，它們都是廣泛地用于精密制造行業(yè)中。但是，有機發(fā)
光二極管(Organic Light-Emitting Diode )制造行業(yè)是一種高精密的制造行業(yè)，它對工作環(huán)境要求極高，要求工作室處于真空、潔凈的環(huán)境中。由于液壓減振裝置是通過液體作為減振源以實現(xiàn)減振作用，氣壓減振裝置是通過氣體作為減振源以實現(xiàn)減振作用，使得它們應用于OLED制造行業(yè)中會污染真空、潔凈的工作室，從而影響OLED制造行業(yè)的制造精度要求；同時，市面上的彈簧式減振裝置雖然不會給真空、潔凈的工作室?guī)砦廴荆鋮s普遍存在以下的缺點現(xiàn)有的彈#式減振裝置包括支撐板、安裝板、傳動軸、彈簧，安裝板開設有供傳動軸滑動的滑動通道，傳動軸的上端與支撐板固定連接，傳動軸的下端
4穿過安裝板的滑動通道，彈簧套設于傳動軸上，且彈簧的一端與支撐板彈性抵觸，另一端與安裝板彈性抵觸。在支撐板承載或釋放物件時，使支撐板在傳動
軸的導向下能沿傳動軸的軸心線方向做往復移動；由于傳動軸是沿安裝板的滑動通道內做往復移動，當支撐板上受到不均勻的力時會使傳動軸與安裝板的滑動通道之間產(chǎn)生相互側偏，從而使得固定于傳動軸上的支撐板在垂直方向的移動時不能始終維持支撐板的水平狀態(tài)， 一方面影響到產(chǎn)品的質量、精度要求；另一方面，增加了傳動軸與安裝板的滑動通道之間的磨損，縮短減振裝置使用壽命，進而影響產(chǎn)品的高精度、高質量要求。
因此，急需要一種保證產(chǎn)品質量及精度的、極耐用的且適用于對真空度及潔凈度要求極高的精密制造環(huán)境中平板類器件減振的減振裝置。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種保證產(chǎn)品質量及精度的、極耐用的且適用于對真空度及潔凈度要求極高的精密制造環(huán)境中平板類器件減振的減振裝置。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術方案為提供一種減振裝置，適用于精密制造中平板類器，的減振，所述減振裝置包括支撐板、安裝板、階梯軸及彈性元件，所述安裝板開設有供階梯軸滑動的階梯軸滑動通道，所述階梯軸滑動通道呈圓柱形，所述階梯軸的上端與所述支撐板連接，所述階梯軸的下端穿過所述階梯軸滑動通道，所述支撐板位于所述安裝板上方，所述彈性元件套^:于所述階梯軸上，且所述彈性元件的一端與所述支撐板彈性^t氐觸，所述彈性元件的另一端與所述安裝板彈性抵觸，其中，所述減振裝置還包括定位機構，所述定位機構包括襯套及直線軸承，所述襯套呈中空結構，所述中空結構形成直線軸承滑動通道，所述安裝板上開設有襯套固定腔，所述襯套固定腔呈圓柱形且與所述階梯軸滑動通道同圓心，所述襯套固定于所述襯套固定腔內，所述直線軸
承套于所述階梯軸上且容置于所述襯套的直線軸承滑動通道內。
較佳地，所述減振裝置還包括階梯軸固定件，所述階梯軸固定件包括固定螺釘及調節(jié)螺母，所述階梯軸的上端開設有螺孔，所述固定螺釘穿過所述支撐板并與所述階梯軸的螺孔嚙合，所述階梯軸的下端具有螺紋，所述調節(jié)螺母與 所述階梯軸的下端的螺紋嚙合，所述調節(jié)螺母位于所述安裝板下方。通過所述 固定螺釘、階梯軸上端的螺孔、階梯軸下端的螺紋及調節(jié)螺母，使得階梯軸與
支撐板、安裝板的裝拆方便，連接可靠；通過所述調節(jié)螺母位于所述安裝板下 方， 一方面防止階梯軸在沿安裝板內階梯軸滑動通道內滑動時發(fā)生意外脫落， 因而工作更可靠；另 一方面能調節(jié)階梯軸與調節(jié)螺母之間的相對間距以改變彈 性元件的阻尼，從而使得減振裝置能適應于不同的沖擊力，擴大了減振裝置適 用范圍。具體地，所述減振裝置還包括銷釘，所述調節(jié)螺母開設有與所述銷釘 對應的銷孔，所述階梯軸的下端的螺紋處開設有與所述銷4丁對應銷槽。通過所
述銷釘、階梯軸的銷槽及調節(jié)螺母的銷孔，防止調節(jié)螺母在工作時自動脫落， 提高了調節(jié)螺母連接的可靠性。
較佳地，所述支撐板上開設有上安裝槽，所述安裝板上開設有與所述上安 裝槽相對應的下安裝槽，套于所述階梯軸上的彈性元件的一端容置并彈性^ii 于所迷上安裝槽內，所述彈性元件的另一端容置并彈性"J氐觸于所述下安裝槽內。 通過所述上安裝槽及下安裝槽，使得彈性元件定位方便，固定可靠；通過所述 彈性元件分別與所述安裝板、支撐板彈性抵觸，為支撐板在承載或釋放物件時 提供優(yōu)異的減振性能，從而最大限度地保證支撐板移動的可靠性及平穩(wěn)性，使 支撐板的工作更可靠、更精準。具體地，所述支撐板還開設有與所述上安裝槽 同軸心的階梯軸固定槽，所述階梯軸的上端容置于所述階梯軸固定槽內。通過 所述階梯軸固定槽，使得階梯軸定位方便，固定可靠；通過所述階梯軸固定槽 與所述上安裝槽位于周軸心，提升了階梯軸的運動精度，使得支撐板在階梯軸 的導向作用下更平穩(wěn)、更可靠、更精準地工作，使支撐板能沿階梯軸的軸心線 方向移動始終維持水平狀態(tài)，從而保證產(chǎn)品的質量及精度的要求。
較佳地，所述直線軸承包括鋼珠及鋼珠保持架，所述鋼珠樞接于所述鋼珠 保持架內，且所述鋼珠的兩端露出所述鋼珠保持架，露出所述鋼珠保持架的鋼 珠的兩端中的一端與所述階梯軸接觸，另 一端與所述襯套的直線軸承滑動通道 接觸。通過所述鋼珠與鋼珠保持架構成的直線軸承， 一方面提升了直線軸 R分別與階梯軸、襯套的裝配精度，使得階梯軸與直線軸承相對滑動平穩(wěn)且傳動精
度極高；另一方面使得分別與階梯軸、襯套接觸的直線軸承滑動時摩擦極小， 從而極大限度地減少了階梯軸與直線軸承的磨損，從而延長減振裝置壽命。
較佳地，所述彈性元件為彈簧，通過所述彈性元件為彈簧，使得彈性元件 的結構簡單、成本低且具有優(yōu)良的彈性阻尼。
與現(xiàn)有技術相比，由于本發(fā)明的襯套及直線軸承， 一方面提升了階梯軸與 直線軸承之間、直線軸承與襯套之間的裝配精度，使得階梯軸的移動更平穩(wěn)、 更可靠、更精準且磨擦極小，使得固定于階梯軸上的支撐板在工作時始終維持 水平狀態(tài)，從而保證了產(chǎn)品的高質量及高精度的要求；另一方面避免階梯軸與 安裝板的階梯軸滑動通道直接接觸，防止支撐板由受力不均勻而導致階梯軸與 安裝板的階梯軸滑動通道之間接觸不均勻而加速了階梯軸與安裝板的階梯軸滑 動通道之間的磨損以縮短減振裝置的使用壽命及影響產(chǎn)品的質量及精度，從而 更可靠地保證產(chǎn)品的質量及延長了減振裝置的使用壽命。另，由于本發(fā)明的減 振裝置是使用具有優(yōu)異的緩沖性能的彈性元件為減振源，使得本發(fā)明的減振裝 置能適應于對真空度及潔凈度要求極高的環(huán)境下工作。


圖l是本發(fā)明減振裝置的結構示意圖。
圖2是圖1中A部分的放大圖。
圖3是本發(fā)明減振裝置拆除彈性元件的結構示意圖。
具體實施例方式
為了詳細說明本發(fā)明減振裝置的技術內容、構造特征，以下結合實施方式 并配合附圖作進一步說明。
請參閱圖1和圖3，該減振裝置100適應于對環(huán)境的潔凈度及真空度要求極 高的精密制造中平板類器件的減振，所述減振裝置100包括支撐板1、安裝板2、 階梯軸3及彈性元件4。所述安裝板2開設有供階梯軸3滑動的階梯軸滑動通道
720,所述階梯軸滑動20通道呈圓柱形。所述階梯軸3的上端與所述支撐^反1連 接，所述階梯軸3的下端穿過所述階梯軸滑動通道20。所述支撐板1位于所述 安裝板2上方。所述彈性元件4套設于所述階梯軸3上，且所述彈性元件4的 上端與所述支撐板1彈性抵觸，所述彈性元件4的下端與所述安裝板2彈性抵 觸。具體地，所述彈性元件4彈簧，然其非限制性者，通過所述彈性元件4為 彈簧，使得彈性元件4結構筒單、成本低且具有優(yōu)良的彈性阻尼。其中，所述 減振裝置100還包括定位機構5,所述定位機構5包括襯套51及直線軸7 義52。 所述襯套51呈中空結構，所述中空結構形成直線軸承滑動通道510,所述安裝 板2上開設有村套固定腔21,所述村套固定腔21呈圓柱形且與所述階梯軸滑動 通道20同圓心，所述襯套51固定于所述襯套固定腔21內，所述直線軸承52 套于所述階梯軸3上且容置于所述襯套51的直線軸承滑動通道510內。具體地， 所述直線軸岸義52包4舌鋼珠521及鋼珠保持架520，所述鋼珠521樞4妄于所述鋼 珠保持架520內，且所述鋼珠521的兩端露出所述鋼J朱保持架520,露出所述鋼 珠保持架520的鋼珠521的兩端中的右端與所述階梯軸3接觸，左端與所述襯 套51的直線軸承滑動通道510接觸。通過所述鋼珠521與鋼珠保持架520構成 的直線軸承52， 一方面提升了直線軸承52分別與階梯軸3、襯套51的裝配精 度，使得階梯軸3與直線軸承51相對滑動平穩(wěn)且傳動精度極高；另一方面使得 分別與階梯軸3、襯套51接觸的直線軸承52滑動時摩擦極小，從而極大限度地 減少了階梯軸3與直線軸承51的磨損，從而延長減振裝置100壽命。結合圖2, 更具體地，如下
較佳者，所述減振裝置100還包括階梯軸固定件，所述階梯軸固定件包括 固定螺釘6及調節(jié)螺母7。所述階梯軸3的上端開設有螺孔(圖中未示)，所述 支撐板1上開設有供所述固定螺釘6穿過并通過固定螺釘?shù)穆菁y60與所述階梯 軸3的螺孔嚙合的沉孔10，所述階梯軸3的下端具有螺紋31，所述調節(jié)螺母7 與所述階梯軸3的下端的螺紋31嚙合，所述調節(jié)螺母7位于所述安裝板2下方。 通過所述固定螺釘6、階梯軸3上端的螺孔、階梯軸3下端的螺紋31及調節(jié)螺 母7,使得階梯軸3與支撐板1、安裝板2的裝拆方便，連接可靠；通過所述調節(jié)螺母7位于所述安裝板2下方， 一方面防止階梯軸3在沿安裝才反2內階梯軸 滑動通道20內滑動時發(fā)生意外脫落，因而工作更可靠；另一方面能調節(jié)階梯軸 3與調節(jié)螺母7之間的相對間距以改變彈簧4的阻尼，從而使得減振裝置100能 適應于不同的沖擊力，擴大了減振裝置IOO適用范圍。具體地，所述減振裝置 IOO還包括銷釘(圖中未示)，所述調節(jié)螺母7開設有與所述銷4丁對應的銷孔70， 所述階梯軸3的下端的螺紋31處開設有與所述銷釘對應銷槽32。通過所述銷釘、 階梯軸3的銷槽32及調節(jié)螺母7的銷孔70，防止調節(jié)螺母7在工作時自動脫落， 提高了調節(jié)螺母7連接的可靠性。
較佳者，所述支撐板1上開設有上安裝槽12，所述安裝板2上開設有與所 述上安裝槽12相對應的下安裝^ 22,套于所述階梯軸3上的彈簧4的上端容置 并彈性抵觸于所述上安裝槽12內，所述彈簧4的下端容置并彈性^氐觸于所述下 安裝槽22內。通過所述上安裝槽12及下安裝槽22,使得彈簧4定位方便，固 定可靠；通過所述彈簧4分別與所述安裝板2、支撐板l彈性抵觸，為支撐板l 在承栽或釋放物件時提供優(yōu)異的減振性能，從而最大限度地保證支撐板1移動 的可靠性及平穩(wěn)性，使支撐板l的工作更可靠、更精準。具體地，所述支撐板l 還開設有與所述上安裝槽12同軸心的階梯軸固定槽11，所述階梯軸3的上端容 置于所述階梯軸固定槽11內。通過所述階梯軸固定槽11,使得階梯軸3定位方 便，固定可靠；通過所述階梯軸固定槽11與所述上安裝槽12位于同軸心，提 升了階梯軸3的運動精度，使得支撐板1在階梯軸3的導向作用下更平穩(wěn)、更 可靠、更精準地工作，使支撐板1能沿階梯軸3的軸心線方向移動始終維持水 平狀態(tài)，從而保證產(chǎn)品的質量及精度的要求。
本發(fā)明的襯套51及直線軸承52， 一方面提升了階梯軸3與直線軸承52之 間、直線軸承52與襯套51之間的裝配精度，使得階梯軸3的移動更平穩(wěn)、更 可靠、更精準且磨擦極小，從而使得固定于階梯軸3上的支撐板1在工作時始 終維持水平狀態(tài)，從而保證了產(chǎn)品的高質量及高精度的要求；另一方面避免階 梯軸3與安裝板2的滑動通道20直接接觸，防止支撐板l由受力不均勻而導致 階梯軸3與安裝板2的滑動通道20之間接觸不均勾而加速了階梯軸3與安裝板2的滑動通道20之間的磨損以縮短減振裝置100的使用壽命及影響產(chǎn)品的質量 及精度，從而更可靠地保證產(chǎn)品的質量及延長了減振裝置IOO的使用壽命。另， 由于本發(fā)明的減振裝置100是使用具有優(yōu)異的緩沖性能的彈性元件4為減振源， 使得本發(fā)明的減振裝置100能適應于對真空度及潔凈度要求極高的環(huán)境下工作。
本發(fā)明減振裝置所涉及支撐板1、安裝板2的具體形狀均為本領域普通技術 人員根據(jù)實際需要所熟知的，在此不再做詳細的說明。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實例而已，當然不能以此來限定本發(fā)明之 權利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋 的范圍。
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權利要求
1.一種減振裝置，適用于精密制造中平板類器件的減振，所述減振裝置包括支撐板、安裝板、階梯軸及彈性元件，所述安裝板開設有供階梯軸滑動的階梯軸滑動通道，所述階梯軸滑動通道呈圓柱形，所述階梯軸的上端與所述支撐板連接，所述階梯軸的下端穿過所述階梯軸滑動通道，所述支撐板位于所述安裝板上方，所述彈性元件套設于所述階梯軸上，且所述彈性元件的一端與所述支撐板彈性抵觸，所述彈性元件的另一端與所述安裝板彈性抵觸，其特征在于還包括定位機構，所述定位機構包括襯套及直線軸承，所述襯套呈中空結構，所述中空結構形成直線軸承滑動通道，所述安裝板上開設有襯套固定腔，所述襯套固定腔呈圓柱形且與所述階梯軸滑動通道同圓心，所述襯套固定于所述襯套固定腔內，所述直線軸承套于所述階梯軸上且容置于所述襯套的直線軸承滑動通道內。
2. 如權利要求1所述的減振裝置，其特征在于還包括階梯軸固定件，所述階 梯軸固定件包括固定螺釘及調節(jié)螺母，所述階梯軸的上端開設有螺孔，所述固 定螺釘穿過所述支撐板并與所述階梯軸的螺孔嚙合，所述階梯軸的下端具有螺 紋，所述調節(jié)螺母與所述階梯軸的下端的螺紋嚙合，所述調節(jié)螺母位于所述安 裝板下方。
3. 如權利要求2所述的減振裝置，其特征在于還包括銷釘，所述調節(jié)螺母開 設有與所述銷釘對應的銷孔，所述階梯軸的下端的螺紋處開設有與所述銷釘對 應銷槽。
4. 如權利要求l所述的減振裝置，其特征在于所述支撐板上開設有上安裝槽， 所述安裝板上開設有與所述上安裝槽相對應的下安裝槽，套于所述階梯軸上的 彈性元件一端容置并彈性抵觸于所述上安裝槽內，所述彈性元件的另 一端容置并彈性抵觸于所述下安裝槽內。
5. 如權利要求4所述的減振裝置，其特征在于所述支撐板還開設有與所述上 安裝槽同軸心的階梯軸固定槽，所述階梯軸的上端容置于所述階梯軸固定槽內。
6. 如權利要求1所述的減振裝置，其特征在于所述直線軸承包括鋼珠及鋼珠 保持架，所述鋼珠樞接于所述鋼珠保持架內，且所述鋼珠的兩端露出所述鋼珠 保持架，露出所述鋼珠保持架的鋼珠的兩端中的一端與所述階梯軸接觸，另一 端與所述襯套的直線軸承滑動通道接觸。
7. 如權利要求1所述的減振裝置，其特征在于所述彈性元件為彈簧。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種減振裝置，包括支撐板、安裝板、階梯軸及彈性元件，安裝板開設有呈圓柱形的階梯軸滑動通道，階梯軸的上端與支撐板連接，下端穿過階梯軸滑動通道，彈性元件套設于階梯軸上且一端與支撐板彈性抵觸，另一端與安裝板彈性抵觸，其中，還包括定位機構，定位機構包括襯套及直線軸承，襯套開設有直線軸承滑動通道，安裝板上開設有襯套固定腔，襯套固定腔呈圓柱形且與階梯軸滑動通道同圓心，襯套固定于襯套固定腔內，直線軸承套于階梯軸上且容置于襯套的直線軸承滑動通道內。由于本發(fā)明的襯套及直線軸承，一方面使支撐板在承受或釋放物體時始終維持水平，保證產(chǎn)品質量；另一方面能防止支撐板由受力不均勻時產(chǎn)生側偏而加速減振裝置的磨損。
文檔編號F16F15/04GK101655135SQ200910041509
公開日2010年2月24日 申請日期2009年7月29日 優(yōu)先權日2009年7月29日
發(fā)明者張永紅, 楊明生, 勇 王, 王曼媛, 王銀果, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司