專利名稱：隔振支撐裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種支撐裝置，尤其涉及一種具有隔振功能的支撐裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè)的自動化和半自動化生產(chǎn)、平板印刷設(shè)備、光學(xué)領(lǐng)域以及電子設(shè)備行業(yè)等工業(yè)成產(chǎn)以及實驗過程中，都需要高穩(wěn)定度的防振技術(shù)，振動帶來的危害無疑是致命的。然而， 一方面，我們腳下站立的這塊地板卻在無時無刻的經(jīng)受外界的各種干擾，如地振、附近來往的車輛、沉重的正在運轉(zhuǎn)的機械、行走中的工作人員以及其他能產(chǎn)生振動的動作都會給地板帶來或大或小的振動，對防振動要求不高的物質(zhì)來說是沒有任何的影響，但是對防振動要求較高的物質(zhì)來說確是有破壞性的，比如半導(dǎo)體工業(yè)中的光刻工藝、光柵制作以
及高分辨率電子顯微鏡來說，這種干擾就已經(jīng)足夠具有致命的破壞性；另一方面，由于設(shè)備自身的內(nèi)部運轉(zhuǎn)部件在加速和減速時會產(chǎn)生高動態(tài)力，從而造成機構(gòu)性的振動現(xiàn)象，這個振動現(xiàn)象的強弱與加速和減速時候的迅速程度有關(guān)，因此，由于振動現(xiàn)象的存在，促使了設(shè)備在進行敏感運行前的的延遲現(xiàn)象。
為了盡量減小甚至避免這種振動對工業(yè)生產(chǎn)帶來的破壞和對設(shè)備本身帶來的危害，多年來一直在試驗各種各樣的防振措施，在對防振要求較高的領(lǐng)域中，一種較為常見的方法是一種由海綿橡皮、橡膠橡皮、纖維板以及紙張為主要材料制作而成的防振裝置，用于校正器、壓光機、壓榨、刮刀、網(wǎng)部等多個部位進行行程調(diào)節(jié)和張力控制，橡膠空氣彈簧成為舉升設(shè)備中常見的舉升元件，然而，這種裝置的缺點是，不能調(diào)整#:支撐物的水平固有頻率和水平阻尼，且還會被支撐物出現(xiàn)延遲現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能調(diào)整被支撐物的水平固有頻率和水平阻尼且使被支撐物沒有延遲的隔振支撐裝置。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種隔振支撐裝置，所述隔振支撐裝置包括底架、隔振平臺、機座、主動電控氣動系統(tǒng)及隔振器，所述底架具有水平安裝面，所述隔振平臺具有水平支撐面，所述機座的一端與所述底架的水平安裝
面連接，所述隔振器的一端可伸縮地與所述^u座的另一端連接，所述隔振器的
另一端呈水平狀且與所述隔振平臺的水平支撐面相"J氐觸，所述主動電控氣動系統(tǒng)與所述隔振器連接，所述主動電控氣動系統(tǒng)控制所述隔振器相對于所述機座的伸縮，所述隔振平臺由多個大理石板連接而成。
較佳地，所述隔振支撐裝置還包括支撐法蘭，所述支撐法蘭的一端與所述底架的水平安裝面連接，所述支撐法蘭的另一端呈水平狀。設(shè)置所述支撐法蘭的目的在于移動或者運輸所述隔振支撐裝置的時，利用支撐法蘭呈水平狀的一
端來承載隔振平臺的水平支撐面，從而達到支撐所述隔振平臺的目的；另，由于所述支撐法蘭的另一端成水平狀，因此能與所述隔振平臺的水平支撐面4艮好地抵觸，此外，本發(fā)明隔振支撐裝置不工作的時候，由所述支撐法蘭來支撐所述隔振平臺，減短了隔振器的工作時間，因此延長了隔振器的使用壽命。
較佳地，所述隔振器包括薄膜空氣彈簧及水平空氣彈簧。薄膜空氣彈簧阻尼效果高，能夠始終保持所述隔振平臺以及放置在本發(fā)明隔振支撐裝置上的被支撐物的水平，且具有自動進行水平調(diào)整的功能；水平空氣彈簧可調(diào)整水平固有平率以及水平阻尼，沒有粘滑和滯后現(xiàn)象。
較佳地，所述主動電控系統(tǒng)提供六個自由度的控制，每個自由度由可編程邏輯控制器、現(xiàn)場控制總線、 一控制器以及一高速氣動伺服閥進行控制。六個自由度的控制足以確定與所述主動電控系統(tǒng)相連的所述隔振器的空間位置，因此控制精度高，而設(shè)置所述控制總線、所述控制器以及所述高速氣動伺服閥則能夠及時地對隔振器因外界振動而引起的位置變化作出應(yīng)對措施，靈敏度高。
較佳地，所述底架包括方鋼和鋼板，所述方鋼焊接于所述鋼板下表面上，所述鋼板上表面為水平安裝面。所述方鋼的質(zhì)量大穩(wěn)定性好，且機械承受能力 強，所述鋼板設(shè)置成水平安裝面能夠平穩(wěn)地安裝所述機座以及所述支撐法蘭， 為本發(fā)明隔振支撐裝置提供了 一個很好的安裝平臺。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明隔振支撐裝置的底架具有水平安裝面，因此所述 鋼板設(shè)置成水平安裝面能夠平穩(wěn)地安裝所述機座以及所述支撐法蘭，為本發(fā)明 隔振支撐裝置提供了一個很好的安裝平臺。所述隔振器的一端可伸縮地與所述 機座的另 一端連接，所述隔振器的另 一端呈水平狀且與所述隔振平臺的水平支 撐面相抵觸，所述主動電控氣動系統(tǒng)與所述隔振器連接，所述主動電控氣動系 統(tǒng)控制所述隔振器相對于所述機座的伸縮。因此足以控制與所述主動電控系統(tǒng) 相連的所述隔振器的空間位置，在所述底架受到外界振動時，由于所述隔振器 相對所述機座的伸縮，以保持與所述隔振器相抵觸的水平支撐平臺保持空間位 置的不變。本發(fā)明隔振支撐裝置的隔振器能夠?qū)λ焦逃蓄l率和水平阻尼進行 調(diào)整，沒有延遲現(xiàn)象，而且隔振平臺是多個由大理石組成，大理石的自身慣性 大，熱膨脹系數(shù)小，有利于防振。
通過以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋 本發(fā)明的實施例。


圖1為本發(fā)明防振裝置的結(jié)構(gòu)示意。
圖2為圖1的分解示意圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元 件。如上所述，如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供的隔振支撐裝置100包括底架3、 隔振平臺1、機座2、主動電控氣動系統(tǒng)及隔振器5，所述底架3具有水平安裝 面31b，所述隔振平臺1具有水平支撐面10,所述才幾座2的一端2a與所述底架 3的水平安裝面31b連接，所述隔振器5的一端5a可伸縮地與所述機座2的另一端2b連接，所述隔振器5的另一端5b呈水平狀且與所述隔振平臺1的水平 支撐面10相抵觸，所述主動電控氣動系統(tǒng)與所述隔振器5連接，所述主動電控 氣動系統(tǒng)控制所述隔振器5相對于所述機座2的伸縮，具體地，所述主動電控 系統(tǒng)提供六個自由度的控制，每個自由度由可編程邏輯控制器、現(xiàn)場控制總線、 一控制器以及一高速氣動伺服閥進行控制。由于六個自由度的控制足以確定與 所述主動電控系統(tǒng)相連的所述隔振器5的空間位置，因此控制精度高，而設(shè)置 所述控制總線、所述控制器以及所述高速氣動伺服閥則能夠及時地對隔振器因 外界振動而引起的位置變化作出應(yīng)對措施，使得本發(fā)明隔振支撐裝置100靈敏 度高。具體地，本發(fā)明隔振支撐裝置100還包括支撐法蘭4，所述支撐法蘭4的 一端4a與所述底架3的水平安裝面31b連接，所述支撐法蘭4的另一端4b呈 水平狀，具體地，所述支撐法蘭4與所述底架3的水平安裝面31b分別具有相 對應(yīng)的安裝孔4c、 31c，通過安裝孔4c、 31c將所述支撐法蘭固定于所迷水平安 裝面31b上；設(shè)置所述支撐法蘭4的目的在于移動或者運輸所述隔振支撐裝置 100的時候，利用支撐法蘭4呈水平狀的一端4b來承載隔振平臺1的水平支撐 面10，從而達到支撐所述隔振平臺1的目的；另，由于所述支撐法蘭4的另一 端4b成水平狀，因此能與所述隔振平臺1的水平支撐面IO很好地抵觸，此外， 本發(fā)明隔振支撐裝置100不工作的時，由所述支撐法蘭4來支撐所述隔振平臺1， 減短了隔振器5的工作時間，因此延長了隔振器5的使用壽命；所述隔振平臺1 由多個大理石板11連接而成，大理石11的自身慣性大，熱膨脹系數(shù)小，有利 于防防振。
較佳者，所述隔振器5包括薄膜空氣彈簧及水平空氣彈簧。薄膜空氣彈簧 阻尼效果高，能夠始終保持所述隔振平臺1以及放置在本發(fā)明隔振支撐裝置100 上的被支撐物的水平，且具有自動進行水平調(diào)整的功能；水平空氣彈簧可調(diào)整 被支撐物的水平固有頻率和水平阻尼，且使被支撐物沒有粘滑和滯后現(xiàn)象發(fā)生。
較佳者，如圖l和圖2所示，所述底架3包括方鋼30和鋼板31，所述方鋼 3焊接于所述鋼板31下表面31a上，所述鋼板31上表面為水平安裝面31b。所 述方鋼30的質(zhì)量大穩(wěn)定性好，且機械承受能力強，所述鋼板31 i殳 置成水平安 裝面31b能夠平穩(wěn)地安裝所述^L座2以及所述支撐法蘭4,為本發(fā)明隔振支撐裝置IOO提供了一個很好的安裝平臺。
結(jié)合圖l及圖2，對本發(fā)明隔振支撐裝置100的工作原理作一詳細的說明， 本發(fā)明隔振支撐裝置100的底架3包括方鋼30和鋼板31,所述方鋼3焊接于所 述鋼板31下表面31a上，所述鋼板31上表面為水平安裝面31b，因此所述鋼板 31設(shè)置成水平安裝面31b能夠平穩(wěn)地安裝所述機座2以及所述支撐法蘭4，為 本發(fā)明隔振支撐裝置100提供了一個很好的安裝平臺。所述隔振器5的一端5a 可伸縮地與所述機座2的另一端2b連接，所述隔振器5的另一端5b呈水平狀 且與所述隔振平臺1的水平支撐面10相"fe觸，所述主動電控氣動系統(tǒng)與所述隔 振器5連接，所述主動電控氣動系統(tǒng)控制所述隔振器5相對于所述機座2的伸 縮。因此足以控制與所述主動電控系統(tǒng)相連的所述隔振器5的空間位置，在所 述底架3受到外界振動時，由于所述隔振器5相對所述機座2的伸縮，以保持 與所述隔振器5相抵觸的所述水平支撐平臺IO保持空間位置的不變。本發(fā)明隔 振支撐裝置100的隔振器5能夠?qū)λ焦逃蓄l率和水平阻尼進行調(diào)整，沒有延 遲現(xiàn)象，而且隔振平臺是多個由所述大理石ll組成，所述大理石ll的自身慣 性大，熱膨脹系數(shù)小，有利于防防振，而且所述隔振器5的主要材料都具有防 腐蝕的性能，不容易受到外界空氣或者其他物質(zhì)的腐蝕而變質(zhì)，不會使得本發(fā) 明隔振支撐裝置100失效。
本發(fā)明隔振支撐裝置100所涉及的薄膜空氣彈簧、水平空氣彈簧以及主動 電控系統(tǒng)的工作原理都是本技術(shù)領(lǐng)域工程技術(shù)人人員所熟悉，在此不再贅述。
以上結(jié)合最佳實施例對本發(fā)明進行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示 的實施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實用新型發(fā)明的本質(zhì)進行的修改、等效組合。
權(quán)利要求
1、一種隔振支撐裝置，其特征在于包括底架、隔振平臺、機座、主動電控氣動系統(tǒng)及隔振器，所述底架具有水平安裝面，所述隔振平臺具有水平支撐面，所述機座的一端與所述底架的水平安裝面連接，所述隔振器的一端可伸縮地與所述機座的另一端連接，所述隔振器的另一端呈水平狀且與所述隔振平臺的水平支撐面相抵觸，所述主動電控氣動系統(tǒng)與所述隔振器連接，所述主動電控氣動系統(tǒng)控制所述隔振器相對于所述機座的伸縮，所述隔振平臺由多個大理石板連接而成。
2、 如權(quán)利要求l所述的隔振支撐裝置，其特征在于還包括支撐法蘭，所 述支撐法蘭的一端與所述底架的水平安裝面連接，所述支撐法蘭的另一端呈水 平狀。
3、 如權(quán)利要求l所述的隔振支撐裝置，其特征在于所述隔振器包括薄膜 空氣彈簧及水平空氣彈簧。
4、 如權(quán)利要求1所述的隔振支撐裝置，其特征在于所述主動電控系統(tǒng)提 供六個自由度的控制，每個自由度由可編程邏輯控制器、現(xiàn)場控制總線、 一控 制器及一高速氣動伺服閥進行控制。
5、 如權(quán)利要求1所述的隔振支撐裝置，其特征在于所述底架包括方鋼和 鋼板，所述方鋼焊接于所述鋼板下表面上，所述鋼板上表面為水平安裝面。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種隔振支撐裝置，其中，包括底架、隔振平臺、機座、主動電控氣動系統(tǒng)及隔振器，底架具有水平安裝面，隔振平臺具有水平支撐面，機座的一端與底架的水平安裝面連接，隔振器的一端可伸縮地與機座的另一端連接，隔振器的另一端呈水平狀且與隔振平臺的水平支撐面相抵觸，主動電控氣動系統(tǒng)與隔振器連接，主動電控氣動系統(tǒng)控制隔振器相對于機座的伸縮，隔振平臺由多個大理石板連接而成。本發(fā)明隔振支撐裝置的隔振器可對水平固有頻率和水平阻尼進行調(diào)整，沒有延遲現(xiàn)象，且隔振平臺是由大理石組成，自身慣性大，熱膨脹系數(shù)小，有利于防振。
文檔編號F16F15/023GK101644307SQ200910040590
公開日2010年2月10日 申請日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者張永紅, 楊明生, 勇 王, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司