專利名稱：閥門組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積的設(shè)備，特別是一真空腔室的閥門組。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池的制造過程中有一段程序是必須要將玻璃基板置入一真空腔室中進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的加工動(dòng)作，目前的做法都是采取一次一片的加工方式，也就是說(shuō)在一片玻璃基板進(jìn)行完化學(xué)氣相沉積的加工動(dòng)作并由真空腔室取出后才會(huì)再放入另一片玻璃基板來(lái)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積。這樣的加工效率實(shí)際上并不高，因?yàn)檎婵涨皇乙幸欢ǖ恼婵斩炔拍苓M(jìn)行加工的動(dòng)作，而要保持一定的真空度就必須花時(shí)間在抽氣上，所以真空腔室每打開一次就必須要再花一次時(shí)間來(lái)抽氣，使真空腔室內(nèi)的氣壓降低到可以進(jìn)行加工的真空度，并且在加工完成后又必須先充氣使腔室達(dá)到一定的氣壓值才能開啟腔室，所以又必須花一次的時(shí)間來(lái)進(jìn)行充氣，這樣的做法從量產(chǎn)的角度來(lái)看并不經(jīng)濟(jì)，因此有其改進(jìn)的必要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一閥門組，設(shè)置于二真空腔室之間，使該二真空腔室可以透過該閥門組連通并且被區(qū)隔成一低真空區(qū)以及一高真空區(qū)，以減少真空腔室抽氣的作業(yè)時(shí)間。
為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是
一種閥門組包含有 一殼體，內(nèi)部具有一容置空間，該殼體設(shè)有一貫通部，貫穿該殼體的兩相對(duì)側(cè)面。該殼體的二側(cè)面分別與一真空腔室連接， 并且使各真空腔室與該貫通部相對(duì)。一閥門板，設(shè)于該殼體的容置空間內(nèi)， 可于該容置空間內(nèi)移動(dòng)并且可以橫斷封閉該殼體的貫通部，該閥門板一側(cè) 與該殼體之間設(shè)有一止漏件，使該閥門板在關(guān)閉后可以保持氣密阻隔。一 掣動(dòng)件，設(shè)于該殼體的一側(cè)，該掣動(dòng)件與該閥門板連接可推動(dòng)該閥門板沿 一軸向往覆移動(dòng)。
本發(fā)明的閥門組，可以使得高真空腔室在被開啟取放基板時(shí)不會(huì)有太 多的外部氣體的進(jìn)入，如此不但可以減少高真空腔室抽氣的時(shí)間與成本， 以加快制作流程的時(shí)間，也由于進(jìn)入的氣體減少了所以也能降低腔室內(nèi)被 空氣中的懸浮微粒污染的可能，提升產(chǎn)品的質(zhì)量與穩(wěn)定性。


圖1為本發(fā)明與二真空腔室組合后的立體圖； 圖2為圖1的立體分解圖3為本發(fā)明的立體圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明
真空腔室l 殼體io 容置空間ll 貫通部12止漏件20 閥門板30 止漏件31 掣動(dòng)件40
具體實(shí)施例方式
為了說(shuō)明本發(fā)明的特征及功效，以下茲舉一實(shí)施例配合附圖詳細(xì)說(shuō)明 如后。
如圖所示，本發(fā)明閥門組是設(shè)置于二真空腔室之間，使該二真空腔室 可以透過該閥門組的開啟而連通或關(guān)閉而區(qū)隔開成二獨(dú)立且密閉的空間，該閥門組包含有
一殼體IO，內(nèi)部具有一容置空間ll，該殼體設(shè)有一貫通部12，貫穿 該殼體的兩相對(duì)側(cè)面。該殼體10的二側(cè)面分別與一真空腔室1連接，并 且使各真空腔室與該貫通部相對(duì)。
二止漏件20，分別設(shè)于該殼體10的兩相對(duì)側(cè)面并且環(huán)繞于該貫通部12。
一閥門板30，設(shè)于該殼體10的容置空間內(nèi)，可于該容置空間11內(nèi)移 動(dòng)并且可以橫斷封閉該殼體的貫通部12，使該殼體10的兩側(cè)不連通。該 閥門板30的一側(cè)與該殼體10之間設(shè)有一止漏件31，使該閥門板30在關(guān) 閉后可以保持氣密阻隔。
一掣動(dòng)件40，設(shè)于該殼體10的一側(cè)，該掣動(dòng)件40與該閥門板30連 接可推動(dòng)該閥門板30沿一軸向往覆移動(dòng)。該掣動(dòng)件40可以是一油壓缸、 一氣壓缸或其它可線性動(dòng)作的裝置。
本發(fā)明是以該殼體10的兩側(cè)與二真空腔室1分別接合，并且用該等 止漏件20來(lái)與真空腔室1貼合氣密。以本發(fā)明的結(jié)構(gòu)可以使得原本二真 空腔室1透過該閥門組而可以被連通或被區(qū)隔成二相鄰但獨(dú)立的密閉空 間，借此，該二密閉空間便可被區(qū)隔成一低真空腔室與一高真空腔室，而 使該高真空腔室與外部空間之間如同形成一緩沖區(qū)(低真空腔室)。在進(jìn) 行加工時(shí)，待加工料件可由低真空腔室這一端先進(jìn)入該低真空腔室內(nèi)，在 關(guān)閉低真空腔室的腔門后進(jìn)行初步的抽氣動(dòng)作， 一段時(shí)間之后，再打開該 閥門板30使二真空腔室1連通，再將加工料件送入到高真空腔室內(nèi)，由 于此時(shí)該二真空腔室內(nèi)的存留氣體己被大量的抽出，所以該高真空腔室在 關(guān)閉該閥門板30后所需的抽氣時(shí)間便可以減少。然后，因?yàn)樵诘驼婵涨?室內(nèi)仍有余留氣體，所以在加工完成后高真空腔室在回充氣體的時(shí)間也不 需太長(zhǎng)即能夠到可以開啟該二真空腔室間閥門板30的狀態(tài)，等到待加工 料件回到低真空腔室后，關(guān)閉該閥門板30再于該低真空腔室內(nèi)充氣至一定的壓力即可開啟低真空腔室的腔門，取出加工料件。
通過本發(fā)明閥門組的設(shè)置可以使得高真空腔室在被開啟取放基板時(shí) 不會(huì)有太多的外部氣體的進(jìn)入，如此不但可以減少高真空腔室抽氣的時(shí)間 與成本，以加快制作流程的時(shí)間，也由于進(jìn)入的氣體減少了所以也能降低 腔室內(nèi)被空氣中的懸浮微粒污染的可能，提升產(chǎn)品的質(zhì)量與穩(wěn)定性。
權(quán)利要求
1.一種閥門組，設(shè)置于二真空腔室之間，其特征在于，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容置空間，該殼體設(shè)有一貫通部，貫穿該殼體的兩相對(duì)側(cè)面，該殼體的二側(cè)面分別與一真空腔室連接，并且使各真空腔室與該貫通部相對(duì)；一閥門板，設(shè)于該殼體的容置空間內(nèi)，可于該容置空間內(nèi)移動(dòng)并且以橫斷封閉該殼體的貫通部，使該殼體的兩側(cè)不連通，該閥門板一側(cè)與該殼體之間設(shè)有一止漏件，使該閥門板在關(guān)閉后可以保持氣密阻隔；一掣動(dòng)件，設(shè)于該殼體的一側(cè)，該掣動(dòng)件與該閥門板連接可推動(dòng)該閥門板沿一軸向往覆移動(dòng)。
2. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的閥門組，其特征在于，所述殼體包含有二止 漏件，分別設(shè)于該殼體的兩相對(duì)側(cè)面并且環(huán)繞于該貫通部。
3. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的閥門組，其特征在于，所述掣動(dòng)件為一油壓缸。
4. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的閥門組，其特征在于，所述掣動(dòng)件為一氣壓缸。
全文摘要
本發(fā)明一種閥門組，是關(guān)于設(shè)置于二真空腔室之間的閥門組，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容置空間，殼體設(shè)有一貫通部，貫穿殼體的兩相對(duì)側(cè)面。殼體的二側(cè)面分別與一真空腔室連接，并且使各真空腔室與貫通部相對(duì)。一閥門板，設(shè)于容置空間內(nèi)，可于容置空間內(nèi)移動(dòng)并且可以橫斷封閉貫通部，閥門板一側(cè)與殼體之間設(shè)有一止漏件，使閥門板在關(guān)閉后可以保持氣密阻隔。一掣動(dòng)件，設(shè)于殼體的一側(cè)，掣動(dòng)件與閥門板連接可推動(dòng)閥門板沿一軸向往覆移動(dòng)。
文檔編號(hào)F16K27/04GK101539221SQ200810087339
公開日2009年9月23日 申請(qǐng)日期2008年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月21日
發(fā)明者何建立, 葉公旭, 楊正安, 黃明鴻 申請(qǐng)人:東捷科技股份有限公司