技術(shù)編號：5799315
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積的設(shè)備，特別是一真空腔室的閥門組。背景技術(shù)在太陽能電池的制造過程中有一段程序是必須要將玻璃基板置入一真空腔室中進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的加工動(dòng)作，目前的做法都是采取一次一片的加工方式，也就是說在一片玻璃基板進(jìn)行完化學(xué)氣相沉積的加工動(dòng)作并由真空腔室取出后才會(huì)再放入另一片玻璃基板來進(jìn)行化學(xué)氣相沉積。這樣的加工效率實(shí)際上并不高，因?yàn)檎婵涨皇乙幸欢ǖ恼婵斩炔拍苓M(jìn)行加工的動(dòng)作，而要保持一定的真空度就必須花時(shí)間在抽氣上，所以真空腔室每打開一次就必須要再...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。