專利名稱：真空用閘閥及其使用的密封部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝置等所使用的真空用閘閥以及該真空用閘 閥所使用的密封部件。
背景技術(shù)：
在硅片等的半導(dǎo)體制造、薄膜制造、液晶制造等中，要在干凈環(huán)境下在高 度真空中進(jìn)行離子電鍍法、等離子蝕刻等工件的加工、處理等。
作為像這樣要求高氣密性、并對(duì)能容易地供作為被處理物的硅片等出入的
部分的開口進(jìn)行開閉的閥構(gòu)造，已知的是粘合型(日文求yf、;/K型)真空
用閘閥。
與只是在板本體上形成的燕尾槽內(nèi)安裝了密封部件的以往的密封裝置相 比，這種粘合型真空用閘閥具有密封性能高、且反復(fù)開閉動(dòng)作性優(yōu)良的優(yōu)點(diǎn)。 在此，板本體是由鋁等金屬形成的，在該板本體上粘接有氟橡膠等的密封部件。
圖6表示了專利文獻(xiàn)1所公開的以往的真空用閘閥。該真空用閘閥例如配 置在處理室2與傳遞室4之間的晶片出入用閘門開口部16。
真空用閘閥6包括形成為大致矩形形狀的金屬制的板本體8、以及與該
板本體8的外周部粘接的由彈性材料構(gòu)成的密封部件10。板本體8固定在截面 呈大致L字狀的基座12上，并在基座12的長度方向的中央部安裝有沿上下方 向移動(dòng)的例如一根軸14。
在該真空用閘閥6中，若只是通過軸14的上下方向移動(dòng)來開閉閘門開口 部16，則板本體8等容易因滑動(dòng)而受損，產(chǎn)生金屬顆粒，因此，使板本體8 在朝圖的左側(cè)縮回后沿上下方向移動(dòng)。即，在對(duì)板本體8位于下方位置、處在 打開狀態(tài)的閘門開口部16進(jìn)行關(guān)閉時(shí)，使位于下方位置的軸14首先朝箭頭X
3方向移動(dòng)，之后，使板本體8朝箭頭Y方向移動(dòng)，由此使密封部件10與在閘 門開口部16的外周部上形成的閥座面18壓緊，使處理室2內(nèi)密封。
然而，在這種真空用閘閥6中，如圖7所示，安裝在板本體8上的密封部 件10的截面形狀呈大致山形，同時(shí)，在板本體8上形成的密封部件安裝槽23 的截面形狀形成為外側(cè)端面開放的L字狀。
另外，將密封部件安裝槽23的底面寬度設(shè)為S時(shí)，密封部件10的最突出 的頂點(diǎn)T的位置位于比S/2這一中間點(diǎn)的位置C更靠外側(cè)(圖7中的右側(cè))的 位置。即，A>B。
另外，在真空用閘閥6的密封部件10上，以頂點(diǎn)T為界，在外側(cè)形成有 外側(cè)傾斜面26，在內(nèi)側(cè)形成有內(nèi)側(cè)傾斜面28。這些外側(cè)傾斜面26與內(nèi)側(cè)傾斜 面28之間成為圓弧狀的曲線30。
在此，內(nèi)側(cè)傾斜面28相對(duì)于密封部件安裝槽23的底面的傾斜角度9 2比 外側(cè)傾斜面26的傾斜角度9 1大。即，9 2>6 1。
這樣設(shè)定了頂點(diǎn)t和傾斜角度e i、 e 2的密封部件io利用粘結(jié)劑粘接在
板本體8的密封部件安裝槽23內(nèi)。另外，具有這種密封部件10的板本體8被 配置在圖6所示的處理室2與傳遞室4之間。在板本體8內(nèi)的密封部件10與 構(gòu)成閘門開口部16的壁21抵接、朝Y方向逐漸壓縮時(shí)，密封部件10首先如 圖8中箭頭Z所示地朝密封部件安裝槽23的外側(cè)隆起地變形。這樣一來，如 圖8所示，密封部件10的端部10a便會(huì)變形成一部分從密封部件安裝槽23突 出。若像這樣在一部分突出的狀態(tài)下反復(fù)進(jìn)行變形動(dòng)作，則粘結(jié)劑會(huì)發(fā)生剝離。 若在粘結(jié)劑剝離后進(jìn)行壓縮變形，則密封部件10會(huì)在與板本體8的角部抵接 的部位上形成應(yīng)力集中，此處容易產(chǎn)生龜裂24。若在產(chǎn)生了龜裂24后繼續(xù)施 加壓縮負(fù)載，則該龜裂24會(huì)逐漸加劇，結(jié)果導(dǎo)致密封部件10破損的問題。另 外，即使未破損，也會(huì)存在產(chǎn)生顆粒的問題。
另外，還存在因密封部件10的頂點(diǎn)T在變形時(shí)與相對(duì)面摩擦而產(chǎn)生顆粒 的問題。
專利文獻(xiàn)l:日本專利特開2005-252184號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可防止例如因應(yīng)力集中或 粘結(jié)劑的剝離等而在密封部件上形成龜裂或產(chǎn)生顆粒、可發(fā)揮長期穩(wěn)定的 密封性能的在半導(dǎo)體制造裝置等中使用的真空用閘閥。
解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的真空用閘閥具有密封部件安裝槽的外側(cè)端 形成為開放的板本體；以及安裝在所述板本體的所述密封部件安裝槽內(nèi)、并利 用彈性部件形成為環(huán)狀的密封部件，其特征在于，所述密封部件的截面形狀呈 具有頂點(diǎn)T的大致山形，相對(duì)于該頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝槽的寬度方向外
側(cè)具有外側(cè)傾斜面，相對(duì)于所述頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝槽的寬度方向內(nèi)側(cè)
具有內(nèi)側(cè)傾斜面，而且，在將所述外側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為91、將所述內(nèi)側(cè)
傾斜面的傾斜角設(shè)為0 2、并將所述密封部件安裝槽的底面寬度設(shè)為S時(shí)，所 述頂點(diǎn)T的位置位于比S/2更靠所述密封部件安裝槽的內(nèi)側(cè)的位置，且9 1〉 9 2。
采用這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的真空用閘閥，即使密封部件被壓縮，也可抑制該 密封部件朝外側(cè)變形，因此，不容易在外徑側(cè)產(chǎn)生應(yīng)力集中，并可防止在外側(cè) 發(fā)生粘結(jié)劑剝離。由此，可抑制因朝外側(cè)坍倒而產(chǎn)生顆粒。
在此，最好在所述外側(cè)傾斜面的下部形成有轉(zhuǎn)折點(diǎn)P，并形成有從該轉(zhuǎn)折 點(diǎn)P繼續(xù)朝所述密封部件安裝槽的寬度方向外側(cè)傾斜角逐漸減小的裙邊部。
若采用這種結(jié)構(gòu)，則可更有效地防止密封部件朝外側(cè)的坍倒、以及龜裂和 顆粒的產(chǎn)生。
本發(fā)明的密封部件，其特征在于，截面形狀呈具有頂點(diǎn)T的大致山形，相 對(duì)于所述頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝槽的寬度方向外側(cè)具有外側(cè)傾斜面，相對(duì) 于所述頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝槽的寬度方向內(nèi)側(cè)具有內(nèi)側(cè)傾斜面，而且，
在將所述外側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為e i、將所述內(nèi)側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為e 2、
并將所述密封部件安裝槽的底面寬度設(shè)為S時(shí)，所述頂點(diǎn)T的位置位于比S/2
更靠所述密封部件安裝槽的寬度方向內(nèi)側(cè)的位置，且e 1> e 2。
若是這種構(gòu)造的密封部件，則在板本體與相對(duì)部件之間被壓縮時(shí)朝外側(cè)的變形減小，因此，可減小在外徑側(cè)的應(yīng)力集中。 發(fā)明效果
釆用本發(fā)明的真空用閘閥，密封部件在板本體與相對(duì)部件之間壓縮變 形時(shí)朝外側(cè)的變形減小，因此，可防止密封部件從密封部件安裝槽突出地 變形。由此，不容易產(chǎn)生粘結(jié)劑的剝離等。另外，也不容易產(chǎn)生應(yīng)力集中， 因此，可防止密封部件產(chǎn)生龜裂、破損、或者產(chǎn)生顆粒。此外，還可抑制 因頂部T的變形而與相對(duì)面摩擦、從而產(chǎn)生顆粒的情況。
另外，若在密封部件的外側(cè)傾斜面的下部以轉(zhuǎn)折點(diǎn)為界形成具有平緩 的傾斜角度的裙邊部，則可進(jìn)一步防止密封部件朝外側(cè)坍倒，由此，可更 有效地防止龜裂和顆粒的產(chǎn)生。


圖1是構(gòu)成本發(fā)明一實(shí)施例的真空用閘閥的板本體的大致一半的立體圖。 圖2是安裝在圖1的板本體上的密封部件的大致一半的主視圖。
圖3是圖2的密封部件被安裝在圖1的板本體上時(shí)的剖視圖。 圖4是圖3所示的密封部件的概略剖視圖。 圖5是圖3所示的密封部件被壓縮時(shí)的概略剖視圖。 圖6是日本專利特開2005-252184號(hào)公報(bào)所公開的以往的真空用閘閥的剖 視圖。
圖7是日本專利特開2005-252184號(hào)公報(bào)所公開的密封部件壓縮變形的初
始狀態(tài)的概略剖視圖。
圖8是圖7所示的密封部件充分變形后的概略剖視圖。
(符號(hào)說明) 22壁體
23密封部件安裝槽 24密封部件 24d外側(cè)傾斜面 24e內(nèi)側(cè)傾斜面32裙邊部
40板本體
p轉(zhuǎn)折點(diǎn)
T頂點(diǎn)
9 1、 6 2傾斜角
具體實(shí)施例方式
下面說明圖示的本發(fā)明的實(shí)施例。
圖1表示了本發(fā)明一實(shí)施例的真空用閘閥所采用的板本體，圖2是表示安 裝在圖1所示的板本體上的密封部件的主視圖。
圖1和圖2與圖6對(duì)應(yīng)。即，圖l所示的板本體40與圖6所示的板本體 8對(duì)應(yīng)，由鋁等金屬形成，并與板本體8對(duì)應(yīng)地形成為左右方向較長。密封 部件24在自然狀態(tài)下呈帶狀，通過安裝在板本體40的密封部件安裝槽23 內(nèi)而被調(diào)整成周環(huán)狀。
像圖3中放大表示的那樣，在圖1所示的板本體40的外周緣形成有密 封部件安裝槽23，其外側(cè)端部開放而形成為截面呈L字狀。在該密封部件 安裝槽23內(nèi)利用粘結(jié)劑牢固地固接有圖2所示的由彈性材料構(gòu)成的密封部 件24。
密封部件24具體由氟類橡膠形成，并可根據(jù)使用環(huán)境來選擇使用耐等 離子性、耐熱性、耐真空性等功能優(yōu)良的材料。
該密封部件24的截面形狀如下形成。E卩，如圖3和圖4所示，密封部 件24的截面形狀呈大致山形。如圖3和圖4所示，該密封部件24具有與 外側(cè)端部開放且截面呈大致L字狀的密封部件安裝槽23的兩邊對(duì)應(yīng)的、彼 此成直角的底邊24a和內(nèi)側(cè)邊24b。
該密封部件24還具有從板本體40突出的圓弧狀突出部24c，并在該 圓弧狀突出部24c的頂部具有頂點(diǎn)T。密封部件24在該頂點(diǎn)T的外側(cè)具有 外側(cè)傾斜面24d，在頂點(diǎn)T的內(nèi)側(cè)具有內(nèi)側(cè)傾斜面24e。
在外側(cè)傾斜面24d上，在其下方部形成有轉(zhuǎn)折點(diǎn)P，并形成有從該轉(zhuǎn)
7折點(diǎn)P朝密封部件安裝槽23的下方傾斜角逐漸減小的裙邊部32。在裙邊部
32的末端部形成有倒角34。
另一方面，當(dāng)將密封部件安裝槽23的底面寬度設(shè)為S時(shí)，密封部件 24的頂點(diǎn)T被設(shè)定成配置在S/2的內(nèi)側(cè)。即，在圖3中，頂點(diǎn)T的位置被 預(yù)先設(shè)定在A〈B的位置上。
在密封部件24的內(nèi)側(cè)傾斜面24e的徑向內(nèi)側(cè)具有平坦的基部側(cè)端部
24f 。
這種結(jié)構(gòu)的密封部件24通過粘結(jié)劑粘接在圖1所示的板本體40的密 封部件安裝槽23內(nèi)。具有這種密封部件24的真空用閘閥例如與圖6所示 的情況一樣，作為處理室2與傳遞室4之間的真空用閘閥6使用。
下面說明本實(shí)施例的真空用閘閥以及該真空用閘閥所使用的密封部件 的作用。
如圖5所示，在本實(shí)施例的密封部件24被壁體22壓縮時(shí)，密封部件 24如圖5中箭頭L所示地受到力的作用。這樣一來，由于存在來自與內(nèi)側(cè) 邊24b抵接的壁面的反力，因此密封部件24朝外側(cè)變形，但可將該變形抑 制得較小。此外，還可減小外側(cè)的應(yīng)力集中。像這樣，朝外側(cè)的壓縮變形 被限制，從而可防止密封部件24的裙邊部32附近的粘結(jié)劑剝離，還可防 止龜裂的產(chǎn)生。另外，密封部件24的在外側(cè)傾斜面24d的下部側(cè)形成的裙 邊部32不容易朝外側(cè)突出。由此，可防止在外側(cè)端發(fā)生龜裂，防止因龜裂 的加劇而產(chǎn)生顆粒。由此，可期待長期穩(wěn)定的密封性能。此外，還可抑制 因頂部T變形而與相對(duì)面摩擦、從而產(chǎn)生顆粒的情況。
如上所述，采用本發(fā)明一實(shí)施例的真空用閘閥以及該真空用閘閥所使 用的密封部件，在密封部件被壓縮時(shí)，其朝外側(cè)的變形被抑制，因此，在 外側(cè)端部不容易產(chǎn)生應(yīng)力集中，可防止因此而產(chǎn)生龜裂或顆粒。因此，可 發(fā)揮長期穩(wěn)定的密封性能。
上面說明了本發(fā)明的一實(shí)施例，但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施例。
例如，閘門開口部的截面形狀不限于長方形。
另外，雖然一般是在上述實(shí)施例的板本體40上安裝一根軸14，但當(dāng)然也可以用兩根軸來支撐板本體40<
權(quán)利要求
1. 一種真空用閘閥，具有板本體，該板本體的密封部件安裝槽的外側(cè)端形成為開放；以及密封部件，該密封部件利用彈性部件形成為環(huán)狀并安裝在所述板本體的所述密封部件安裝槽內(nèi)，其特征在于，所述密封部件的截面形狀呈具有頂點(diǎn)T的大致山形，相對(duì)于該頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝槽的寬度方向外側(cè)具有外側(cè)傾斜面，相對(duì)于所述頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝槽的寬度方向內(nèi)側(cè)具有內(nèi)側(cè)傾斜面，在將所述外側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為θ1、將所述內(nèi)側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為θ2、并將所述密封部件安裝槽的底面寬度設(shè)為S時(shí)，所述頂點(diǎn)T的位置位于比S/2更靠所述密封部件安裝槽的內(nèi)側(cè)的位置，且θ1>θ2。
2. 如權(quán)利要求l所述的真空用閘閥，其特征在于，在所述外側(cè)傾斜面的下部形成有轉(zhuǎn)折點(diǎn)p，并形成有從該轉(zhuǎn)折點(diǎn)p繼續(xù)朝所述密封部件安裝槽的 寬度方向外側(cè)傾斜角逐漸減小的裙邊部。
3. —種密封部件，其特征在于，截面形狀呈具有頂點(diǎn)T的大致山形，相對(duì)于所述頂點(diǎn)T在所述密封部件安 裝槽的寬度方向外側(cè)具有外側(cè)傾斜面，相對(duì)于所述頂點(diǎn)T在所述密封部件安裝 槽的寬度方向內(nèi)側(cè)具有內(nèi)側(cè)傾斜面，在將所述外側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為e l、將所述內(nèi)側(cè)傾斜面的傾斜角設(shè)為 e 2、并將所述密封部件安裝槽的底面寬度設(shè)為S時(shí)，所述頂點(diǎn)T的位置位于 比s/2更靠所述密封部件安裝槽的寬度方向內(nèi)側(cè)的位置，且e i〉 e 2。
全文摘要
一種真空用閘閥及其使用的密封部件，即使在密封部件安裝槽的開放側(cè)部分的粘結(jié)劑剝離的狀態(tài)下反復(fù)壓縮密封部件，也能防止因應(yīng)力集中而在密封部件產(chǎn)生龜裂或產(chǎn)生顆粒，并能抑制因密封頂部與密封面彼此摩擦而產(chǎn)生顆粒。真空用閘閥的特征在于，密封部件的截面形狀呈具有頂點(diǎn)T的大致山形，相對(duì)于該頂點(diǎn)T在密封部件安裝槽(23)的寬度方向外側(cè)具有外側(cè)傾斜面(24d)，相對(duì)于頂點(diǎn)T在密封部件安裝槽(23)的寬度方向內(nèi)側(cè)具有內(nèi)側(cè)傾斜面(24e)，在將外側(cè)傾斜面(24d)的傾斜角設(shè)為θ1、將內(nèi)側(cè)傾斜面(24e)的傾斜角設(shè)為θ2、將密封部件安裝槽(23)的底面寬度設(shè)為S時(shí)，頂點(diǎn)T的位置位于比S/2更靠密封部件安裝槽(23)的內(nèi)側(cè)的位置，且θ1＞θ2。
文檔編號(hào)F16K3/02GK101479512SQ20078002452
公開日2009年7月8日 申請(qǐng)日期2007年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月29日
發(fā)明者辻和明 申請(qǐng)人:日本華爾卡工業(yè)株式會(huì)社