專利名稱：管件及應(yīng)用其的管路的組裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種管件及應(yīng)用其的管路的組裝方法，且特別是有關(guān)一種以微調(diào)機構(gòu)調(diào)整管件的長短及應(yīng)用其的管路的組裝方法。
背景技術(shù)：
在半導體制造廠中，為維持產(chǎn)品設(shè)備的運作效能及使用壽命，定期的維修及保養(yǎng)設(shè)備為一必要的工作。然而維修及保養(yǎng)設(shè)備必須拆除設(shè)備的部分組件，以清除不必要的物質(zhì)或更換功能不佳的組件，待維修或保養(yǎng)工作后，再將組件組裝回產(chǎn)品設(shè)備。組裝組件時，必須考量組裝公差、組件特性以及組件的定位，使組裝完成后的設(shè)備具有最佳的效能。
以半導體設(shè)備中輸送等離子體的管路為例，其管路的設(shè)計多為數(shù)節(jié)管件組裝而成。且為考量工作環(huán)境的組裝條件，管件通常為伸縮囊(Bellow)。于定期維護管路時，僅需拆卸所要維護的部份管件，待維護后再將管件組裝回管路中。由于輸送等離子體的特性為高溫高壓，管件的材料必須具有耐高溫高壓且強度夠的性質(zhì)，如不銹鋼材。因此，管件具有一定的厚度及重量，作業(yè)人員不容易從管件兩端施力壓縮管件以精確地定位管件于管路中，更可能在組裝管件過程中磨耗管路中的防漏組件，例如O型環(huán)，使管路產(chǎn)生滲漏的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種管件及應(yīng)用其的管路的組裝方法。利用微調(diào)機構(gòu)調(diào)整管件長度的作用，簡化管件的組裝過程，并使管件的定位容易，亦不易對管路中的其它組件造成損害。
根據(jù)本發(fā)明提出一種管件及應(yīng)用其的管路的組裝方法。一種管件，為一第一管件，包括一管本體、一第一管凸緣、一第二管凸緣及一微調(diào)機構(gòu)。管本體具有一第一端及一第二端，第一管凸緣及第二管凸緣分別設(shè)置于管本體的第一端及第二端，而微調(diào)機構(gòu)設(shè)置于第一管凸緣及第二管凸緣之間，用以調(diào)整第一管件的長度。
根據(jù)本發(fā)明的一種管路的組裝方法。首先，提供一第一管件、一第二管件及一第三管件。第一管件包括一管本體、一第一管凸緣、一第二管凸緣及一微調(diào)機構(gòu)。管本體具有一第一端及一第二端，第一管凸緣及第二管凸緣分別設(shè)置于管本體的第一端及第二端，而微調(diào)機構(gòu)設(shè)置于第一管凸緣及第二管凸緣之間。第二管件具有一第三管凸緣。第三管件具有一第四管凸緣，第四管凸緣與第三管凸緣相隔一管件組裝距離。然后，調(diào)整第一管件的微調(diào)機構(gòu)，使第一管件的長度小于管件組裝距離。接著，置放第一管件于第二管件及第三管件之間，使第一管凸緣及第二管凸緣分別對應(yīng)第三管凸緣及第四管凸緣。然后，調(diào)整微調(diào)機構(gòu)，使第一管凸緣及第二管凸緣分別與第三管凸緣及第四管凸緣接合。
為讓本發(fā)明的上述目的、特點和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合附圖進行詳細說明如下


圖1是依照本發(fā)明一較佳實施例的管路的分解示意2是依照本發(fā)明一較佳實施例的管路的組合示意圖。
圖3是依照本發(fā)明一較佳實施例的管路的組裝方法的流程圖。
具體實施例方式
請同時參照圖1～2，圖1是依照本發(fā)明一較佳實施例的管路的分解示意圖，圖2是依照本發(fā)明一較佳實施例的管路的組合示意圖。如圖1～2所示，管路400包括一第一管件100、一第二管件200及一第三管件300。第二管件200以及第三管件300分別具有一第三管凸緣240及一第四管凸緣360。第三管凸緣240及第四管凸緣360相距一管件組裝距離D。第一管件100包括一管本體120、一第一管凸緣(flange)140、一第二管凸緣(flange)160以及一微調(diào)機構(gòu)180。管本體120具有一第一端A及一第二端B。第一管凸緣140與第二管凸緣160分別設(shè)置于第一端A與第二端B，用以分別接合第二管件200的第三管凸緣240及第三管件300的第四管凸緣360。微調(diào)機構(gòu)180設(shè)置于第一管凸緣140及第二管凸緣160之間，并平行管本體120，用以調(diào)整第一管件100的長度L。因此，通過微調(diào)機構(gòu)180的操作，可以調(diào)整第一管件100的長短，進而有利于第一管件100、第二管件200及第三管件300的組裝。微調(diào)機構(gòu)180包括至少一桿件組。為使第一管件100的受力平均，微調(diào)機構(gòu)180可包括二個桿件組，使二桿件組相隔180度，或包括三桿件組，使三桿件組彼此相隔120度。本實施例以二桿件組做說明如下。
在本實施例中，微調(diào)機構(gòu)180是以包括二個相同的桿件組10為例做說明，但本實施例的技術(shù)并不局限在此。其中，此二個桿件組10相隔180度。桿件組10包括一第一桿件11、一第二桿件12，以及一調(diào)節(jié)部13。第一管凸緣140以及第二管凸緣160分別借助一內(nèi)側(cè)表面與管本體120的第一端A及第二端B連接。第一桿件11以及第二桿件12的一端分別與第一管凸緣140以及第二管凸緣160的內(nèi)側(cè)表面連接，調(diào)節(jié)部13則套接于第一桿件11以及第二桿件12的另一端。第一桿件11與第二桿件12為旋向相反的二螺桿。例如第一桿件11具有右螺紋，則第二桿件12具有左螺紋。或者是，第一桿件11具有左螺紋，則第二桿件12具有右螺紋。而調(diào)節(jié)部13為一螺帽，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)部13時，可同時拉近或推遠第一桿件11以及第二桿件12。當作業(yè)人員以一第一方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)部13，將會拉近第一桿件11以及第二桿件12。即，二個桿件組10同時施力于第一管凸緣140及第二管凸緣160，致使第一管凸緣140及第二管凸緣160壓縮管本體120，可使第一管件100的長度L減少。當作業(yè)人員以一第二方向(與第一方向相反)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)部13時，將會推遠第一桿件11以及第二桿件12。即，二個桿件組10同時施力于第一管凸緣140及第二管凸緣160，致使第一管凸緣140及第二管凸緣160拉伸管本體120，可使第一管件100的長度L增加。
由于螺桿與螺帽的組合具有螺旋運動對性質(zhì)，亦即螺桿與螺帽的相對旋轉(zhuǎn)角度及相對移動距離成一固定比例。因此借助旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)部13一固定圈數(shù)，可拉近或推遠第一桿件11以及第二桿件12以得到相對應(yīng)的一壓縮量或一拉伸量，亦相對應(yīng)為第一管件100的一壓縮量或一拉伸量。
微調(diào)機構(gòu)180的桿件組10除了可由二根不同旋向的螺桿以及一螺帽所組成，亦可由齒條、齒輪及桿件所組成。齒條與齒輪相嚙合，齒輪則與桿件結(jié)合。當轉(zhuǎn)動齒輪，可帶動齒輪在齒條上的移動，以調(diào)整第一管件100的長度。桿件組10還可由一螺桿、一螺帽、一旋轉(zhuǎn)接頭以及一桿件所組成。螺帽與旋轉(zhuǎn)接頭結(jié)合。當旋轉(zhuǎn)螺帽，可使螺帽相對于螺桿移動一距離，以調(diào)整第一管件100的長度。
至于本實施例如何組裝管路400的流程，將

如下。請參照圖3，其是依照本發(fā)明一較佳實施例的管路的組裝方法的流程圖。請同時參照圖1～2。
首先，如步驟31所示，提供一第一管件100、一第二管件200以及一第三管件300。第一管件100包括一管本體120、一第一管凸緣140、一第二管凸緣160及一微調(diào)機構(gòu)180，管本體120具有一第一端A及一第二端B。第一管凸緣140及第二管凸緣160分別設(shè)置于第一端A及第二端B，微調(diào)機構(gòu)180設(shè)置于第一管凸緣140及第二管凸緣160之間。第二管件200以及第三管件300分別具有一第三管凸緣240及一第四管凸緣360，第三管凸緣240及第四管凸緣360相距一管件組裝距離D。其中，第一管件100的長度為L。
接著，進入步驟32，調(diào)整微調(diào)機構(gòu)180，使第一管件100的長度L小于管件組裝距離D。即，必須使第一管件100的長度L小于管件組裝距離D，才可將第一管件100放入第二管件200及第三管件之間。因此，作業(yè)人員借助調(diào)整微調(diào)機構(gòu)180，亦即以第一方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)部13，以同時拉近第一桿件11以及第二桿件12，使第一管凸緣140與第二管凸緣160壓縮管本體120，致使第一管件100的長度L減少。
然后，進入步驟33，置放第一管件100于第二管件200及第三管件300之間，第一管凸緣120及第二管凸緣140分別對應(yīng)第三管凸緣240及第四管凸緣360。當?shù)谝还芗?00的長度L小于管件組裝距離D之后，作業(yè)人員即可置放第一管件100于第二管件200及第三管件300之間，使第一管凸緣140及第二管凸緣160分別對應(yīng)第三管凸緣240及第四管凸緣360。
接著，如步驟34所示，調(diào)整微調(diào)機構(gòu)180，使第一管凸緣140及第二管凸緣160分別與第三管凸緣240及第四管凸緣360接合。當?shù)谝还芗?00置放于第二管件200及第三管件300之間后，則可再次調(diào)整微調(diào)機構(gòu)180的調(diào)節(jié)部13，亦即以與第一方向相反的第二方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)部13，以推遠第一桿件11以及第二桿件12，使第一管凸緣140及第二管凸緣160分別接合第三管凸緣240及第四管凸緣360。因此，又如圖2所示，管件400在此被組裝完成為使第一管件100與第二管件200及第三管件300固定，本方法組裝流程也可包括數(shù)個子步驟。例如，鎖合第一管凸緣140及第三管凸緣240，以及鎖合第二管凸緣160及第四管凸緣360。如圖2所示，可利用一第一鎖緊組件210，將第一管凸緣140及第三管凸緣240固定。并利用一第二鎖緊組件220，將第二管凸緣160及第四管凸緣360固定。其中，第一鎖緊組件210及第二鎖接組件220可以是數(shù)個鏍栓以及數(shù)個螺帽的組合。
當管路400用以輸送材料時，必須避免第一管件100、第二管件200以及第三管件300之間接合的部分產(chǎn)生泄漏的現(xiàn)象。因此，本方法組裝流程更可包括數(shù)個子步驟。例如，設(shè)置一第一防漏組件于該第一管凸緣140及該第三管凸緣240之間。甚至，更可設(shè)置一第二防漏組件于該第二管凸緣160及該第四管凸緣360之間。
第一防漏組件及第二防漏組件例如是橡膠材質(zhì)的O型環(huán)。第一管件100的管本體120視管路輸送的材料的性質(zhì)而定，為滿足可壓縮的條件，管本體120較佳為一伸縮囊(Bellow)。若是一高溫高壓的工作環(huán)境，且必須滿足可壓縮的條件，則管本體120可為一不銹鋼材質(zhì)的伸縮囊。
本發(fā)明上述實施例所揭示的一種管件及應(yīng)用其的管路的組裝方法。利用管件的微調(diào)機構(gòu)調(diào)整管件的長度，以取代人力直接壓縮管件的方式，可先控制管件的壓縮量使的小于管件的組裝距離，再精確地定位管件。除了可簡化組裝管件的工作，亦可減少對管路中其它組件的損害。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以一較佳實施例揭示如上，然而其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當可作各種的等效的更動與潤飾。因此，本發(fā)明的保護范圍當視后附的本申請權(quán)利要求范圍所界定的為準。
權(quán)利要求
1.一種管件，包括一管本體，具有一第一端及一第二端；一第一管凸緣，設(shè)置于該第一端；一第二管凸緣，設(shè)置于該第二端；以及一微調(diào)機構(gòu)，設(shè)置于該第一管凸緣及該第二管凸緣之間，該微調(diào)機構(gòu)用以調(diào)整該管件的長度。
2.如權(quán)利要求1所述的管件，其特征在于該管本體是一伸縮囊。
3.如權(quán)利要求2所述的管件，其特征在于該管本體的材質(zhì)是一耐高溫及高壓的材質(zhì)。
4.如權(quán)利要求3所述的管件，其特征在于該管本體的材質(zhì)是不銹鋼。
5.如權(quán)利要求1所述的管件，其特征在于該微調(diào)機構(gòu)包括至少一桿件組，該桿件組包括一第一桿件，其一端連接于該第一管凸緣；一第二桿件，其一端連接于該第二管凸緣；以及一調(diào)節(jié)部，其活動式地連接該第一桿件的另一端及該第二桿件的另一端，用以被旋轉(zhuǎn)而拉近或推遠該第一桿件及該第二桿件。
6.如權(quán)利要求5所述的管件，其特征在于該微調(diào)機構(gòu)包括二個該桿件組，該二桿件組彼此相隔180度。
7.如權(quán)利要求5所述的管件，其特征在于該微調(diào)機構(gòu)包括三個該桿件組，該三桿件組彼此相隔120度。
8.如權(quán)利要求5所述的管件，其特征在于該第一桿件是一第一螺桿，該第二桿件是一第二螺桿，與該第一螺桿的旋向相反，該調(diào)節(jié)部是一螺帽，用以套接于該第一螺桿及該第二螺桿。
9.一種管路的組裝方法，包括提供一第一管件、一第二管件及一第三管件，該第一管件包括一管本體、一第一管凸緣、一第二管凸緣及一微調(diào)機構(gòu)，該管本體具有一第一端及一第二端，該第一管凸緣及該第二管凸緣分別設(shè)置于該第一端及該第二端，該微調(diào)機構(gòu)設(shè)置于該第一管凸緣及該第二管凸緣之間，該第二管件及該第三管件分別具有一第三管凸緣及一第四管凸緣，該第三管凸緣及該第四管凸緣相隔一管件組裝距離；調(diào)整該微調(diào)機構(gòu)，使第一管件的長度小于該管件組裝距離；置放該第一管件于該第二管件及該第三管件之間，該第一管凸緣及該第二管凸緣分別對應(yīng)該第三管凸緣及該第四管凸緣；以及調(diào)整該微調(diào)機構(gòu)，使該第一管凸緣及該第二管凸緣分別與該第三管凸緣及該第四管凸緣接合。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于該管本體是一伸縮囊。
11.如權(quán)利要求10所述的管件，其特征在于該管本體的材質(zhì)是一耐高溫及高壓的材質(zhì)。
12.如權(quán)利要求11所述的管件，其特征在于該管本體的材質(zhì)是不銹鋼。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于該微調(diào)機構(gòu)包括至少一桿件組，該桿件組包括一第一桿件，其一端連接于該第一管凸緣；一第二桿件，其一端連接于該第二管凸緣；以及一調(diào)節(jié)部，其活動式地連接該第一桿件的另一端及該第二桿件的另一端，用以被旋轉(zhuǎn)而拉近或推遠該第一桿件及該第二桿件。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于該微調(diào)機構(gòu)包括二個該桿件組，該二桿件組彼此相隔180度。
15.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于該微調(diào)機構(gòu)包括三個該桿件組，該三桿件組彼此相隔120度。
16.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于該第一桿件是一第一螺桿，該第二桿件是一第二螺桿且與該第一螺桿的旋向相反，該調(diào)節(jié)部是一螺帽，用以套接于該第一及該第二螺桿。
17.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于還包括鎖合該第一管凸緣及該第三管凸緣；以及鎖合該第二管凸緣及該第四管凸緣。
18.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于還包括設(shè)置一第一防漏組件于該第一管凸緣及該第三管凸緣之間。
19.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于還包括設(shè)置一第二防漏組件于該第二管凸緣及該第四管凸緣之間。
全文摘要
一種管件，包括一管本體、一第一管凸緣、一第二管凸緣及一微調(diào)機構(gòu)。管本體具有一第一端及一第二端，第一管凸緣及第二管凸緣分別設(shè)置于管本體的第一端及第二端。微調(diào)機構(gòu)設(shè)置于第一管凸緣及第二管凸緣之間，用以調(diào)整管件的長度。
文檔編號F16L11/15GK101025243SQ20061005493
公開日2007年8月29日 申請日期2006年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月20日
發(fā)明者周志能, 曾國邦 申請人:旺宏電子股份有限公司