專利名稱：氣體閥門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣體閥門，特別是涉及一種活塞式氣體閥門。
背景技術(shù)：
在日常生活或制造產(chǎn)業(yè)中，閥門的應(yīng)用非常廣泛。閥門可用以開啟一通道，使得通道兩端的氣體或液體可相互流通；閥門也可用以封閉此通道，使得通道兩端的氣體或液體被隔絕。尤其是在半導(dǎo)體設(shè)備中，氣體閥門的應(yīng)用極為廣泛，氣體閥門可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)室與抽氣泵之間，用以開啟或封閉反應(yīng)室與抽氣泵之間的通道，使得反應(yīng)室之間形成真空狀態(tài)或非真空狀態(tài)。
參照圖1，其表示傳統(tǒng)的氣體閥門的示意圖。氣體閥門301裝設(shè)在一機臺101中，并連接一抽氣泵11和一反應(yīng)室12。氣體閥門301包括一殼體20和一密封組件40，殼體20具有一第一開口21a、一第二開口22a及一第三開口23a，第一開口21a設(shè)置于殼體20的一側(cè)壁21，并與抽氣泵11相通；第二開口22a設(shè)置于殼體20的一底板22，并與反應(yīng)室12相通；第三開口23a設(shè)置于殼體20的一頂板23，并與第二開口22a的位置對應(yīng)。密封組件40包括一密封元件41和一滑動桿42。密封元件41設(shè)置在殼體20的一內(nèi)部空間24，并與第二開口22a相對應(yīng)，滑動桿42的一端連接密封元件41，另一端穿越第三開口23a并凸出在空間24之外，滑動桿42帶動密封元件41在空間24內(nèi)滑動，使得密封元件41可密封或開啟第二開口22a。
同時參照圖2和圖3，圖2表示圖1中當密封元件滑動至第二開口處的示意圖。圖3表示圖2中滑動桿的正?；瑒臃较蚝蛢A斜后的示意圖。傳統(tǒng)氣體閥門301在使用多次后常會造成滑動桿42傾斜，如圖3所示，虛線為滑動桿42在未傾斜時的正常位置，此時滑動桿42與頂板23呈垂直狀態(tài)；實線為使用多次后產(chǎn)生傾斜的滑動桿42，此時滑動桿42的中心線方向L42與頂板23的法線方向N形成一夾角θ。因此當傾斜的滑動桿42帶動密封元件41下降至第二開口22a處時，密封元件41相對底板22傾斜，使得密封元件41不能順利密合第二開口22a，如圖2所示。這一故障將使得機臺101不能正常運作，生產(chǎn)線必須因此停止，在重新定位滑動桿42使密封元件41可順利密合第二開口22a后，生產(chǎn)線才能啟動。這樣不僅造成維修人力的浪費和維修時間成本的增加，也嚴重影響生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的就在于提供一種氣體閥門，利用滑動桿及密封組件搭配夾持件的設(shè)計，使得氣體閥門在多次使用后，滑動桿的中心線方向與頂板的法線方向仍可維持平行，由此可使滑動桿順利密封第二開口以維持機臺的正常運作。這不僅減少了維修的人力和維修材料成本，還可維持良好的生產(chǎn)效率。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種氣體閥門，裝設(shè)在一機臺中，用以達成機臺的一真空狀態(tài)或一非真空狀態(tài)。氣體閥門包括一殼體及一密封組件。殼體具有一第一開口、第二開口及一第三開口。第一開口與一抽氣泵連通，第二開口與一反應(yīng)室連通，第三開口與第二開口的位置對應(yīng)并貫穿殼體。密封組件組裝在殼體處，密封組件包括一密封元件、一滑動桿及一夾持件。密封元件設(shè)置在殼體的一內(nèi)部空間中并與第二開口相對應(yīng)。一滑動桿的一端連接于密封元件，另一端穿越第三開口并凸出于空間之外，滑動桿帶動密封元件在空間內(nèi)滑動，使得密封元件可密封或開啟第二開口。夾持件設(shè)置在頂板上，用以夾持滑動桿，使得滑動桿與頂板之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
為使本發(fā)明的上述目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易于理解，下面特舉優(yōu)選實施例，并配合附圖進行詳細說明。


圖1表示傳統(tǒng)的氣體閥門示意圖；圖2表示圖1中當密封元件滑動至第二開口處的示意圖；圖3表示圖2中滑動桿的正?；瑒臃较蚺c傾斜后的示意圖；圖4表示依照本發(fā)明的優(yōu)選實施例的氣體閥門示意圖；圖5表示圖4中當密封元件滑動至第二開口處的示意圖；圖6表示圖5中夾持件與滑動桿的示意圖。
具體實施例方式
參照圖4，其表示依照本發(fā)明的優(yōu)選實施例的氣體閥門示意圖。氣體閥門30包括一殼體20和一密封組件40。殼體20包括一側(cè)壁21、一底板22、一頂板23。密封組件40包括一密封元件41、一滑動桿42及一夾持件44。側(cè)壁21具有一第一開口21a，底板22連接于側(cè)壁21，底板22具有一第二開口22a，頂板23具有一第三開口23a，頂板23連接于側(cè)壁21。頂板23、側(cè)壁21及底板22形成一空間24。密封元件41與第二開口22a相對應(yīng)設(shè)置?；瑒訔U42的一端連接于密封元件41，另一端穿越第三開口23a并凸出于空間24之外，滑動桿42帶動密封元件41在空間24內(nèi)滑動，使得密封元件41可密封或開啟第二開口22a。夾持件44設(shè)置在頂板23上，用以夾持滑動桿42，使得滑動桿42與頂板23之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
參照圖5，其表示圖4中當密封元件滑動至第二開口處的示意圖。在本實施例中，滑動桿42為一等直徑的圓柱體，當滑動桿42向上滑動時，可帶動密封元件41向上滑動，此時密封元件41離開第二開口22a；當滑動桿42向下滑動時，可帶動密封元件41向下滑動至第二開口22a處。密封元件41滑動至第二開口22a處時，滑動桿42由夾持件44與頂板23之間維持一預(yù)設(shè)的角度，使得密封元件可確實的密封第二開口22a。
參照圖6，其表示圖5中夾持件與滑動桿的示意圖。夾持件44套接于滑動桿42，并設(shè)置在頂板23上。夾持件44設(shè)置的方式有很多種，在本實施例中是借助二螺絲60將夾持件44鎖定在頂板23上。在實際應(yīng)用時，夾持件44的內(nèi)徑D44約等于滑動桿42的直徑D42，且夾持件44具有一定的厚度。通過夾持件44夾持滑動桿42，滑動桿42即使在多次使用后仍然不易傾斜，使得滑動桿42的中心線方向L42與頂板23的法線方向N維持平行。由此當滑動桿42帶動密封元件41滑動至第二開口22a處時，密封元件41可平行底板22，并確實密封第二開口22a。另外，夾持件44是選用耐高溫、不易碎裂且不易變形的材料，例如是金屬銅或其合金。
氣體閥門30可應(yīng)用在二機構(gòu)之間的氣體通道，用以開啟通道或關(guān)閉通道。在本實施例中，氣體閥門30是以應(yīng)用于一抽氣泵11及一半導(dǎo)體機臺的反應(yīng)室12之間的氣體閥門為例進行說明。第一開口21a與抽氣泵11相通，第二開口22a與反應(yīng)室12相通。在本實施例中抽氣泵11不斷進行抽氣，當?shù)诙_口22a開啟時，反應(yīng)室12將被抽至真空狀態(tài)。反之當?shù)诙_口22a封閉時，抽氣泵11不能對反應(yīng)室12抽氣，此時可在反應(yīng)室12注入外界氣體，使反應(yīng)室12回復(fù)到非真空狀態(tài)。
另外，密封組件40還可包括一彈性體43，在本實施例中彈性體43以一彈簧為例進行說明。彈性體43設(shè)置在滑動桿42處，并位于頂板23與密封元件41之間。彈性體43用以提供一朝向第二開口22a的彈力，使得密封元件41可緊密地密封第二開口22a。
氣體閥門30還包括一電磁閥70和一進氣口70a。進氣口70a設(shè)置在頂板23處，電磁閥70則用以控制滑動桿42下降或上升，使密封元件41可密封或開啟第二開口22a。利用電磁閥70控制滑動桿42動作的方式有兩種一種控制方式是當電磁閥70開啟進氣口70a，并注入氮氣N2時，將使滑動桿42上升，反之當電磁閥70停止注入氮氣N2時將使滑動桿42下降。另一種控制方式則是停止注入氮氣時滑動桿42上升，注入氮氣時滑動桿42則下降。當然，具有普通技術(shù)知識的人員可理解，電磁閥70的實際動作方式并不在本發(fā)明的限制范圍內(nèi)。
另外，根據(jù)以上實施例，雖然夾持件44是以一環(huán)狀體為例進行說明，但在實際應(yīng)用時夾持件44可以是任意形狀的物體，只要是能夾持滑動桿42，使滑動桿42在長時間使用下其中心線方向L42仍可以與頂板23的法線方向N維持平行即可，這些都不脫離本發(fā)明的技術(shù)范圍。
雖然上述實施例的夾持件44以鎖定于頂板23為例進行說明，但本發(fā)明的夾持件44也可以與頂板23一體成型。只要是利用一結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得滑動桿42在長時間使用下其中心線方向L42仍可以與頂板23的法線方向N維持平行即可，這些都不脫離本發(fā)明的技術(shù)范圍。
本發(fā)明上述實施例所揭示的氣體閥門，其以滑動桿及密封元件搭配夾持件的設(shè)計，使得氣體閥門在長時間使用后，滑動桿的中心線方向與頂板的法線方向仍可維持平行。由此可順利密封第二開口維持機臺的正常運作，這不但減少了維修的人力和維修材料的成本，還維持了良好的生產(chǎn)效率。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例揭示，但其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和范圍，可作出各種更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍以后附的權(quán)利要求所界定。
權(quán)利要求
1.一種氣體閥門，裝設(shè)在一機臺中，用以達成所述機臺的一真空狀態(tài)或一非真空狀態(tài)，所述氣體閥門包括一殼體，具有；一第一開口，與一抽氣泵連通；一第二開口，與一反應(yīng)室連通；和一第三開口，與所述第二開口的位置對應(yīng)并貫穿所述殼體；以及一密封組件，組裝在所述殼體處，所述密封組件包括一密封元件，設(shè)置在所述殼體的一內(nèi)部空間中并與所述第二開口相對應(yīng)；一滑動桿，一端連接于所述密封元件，另一端穿越所述第三開口并凸出于所述空間之外，所述滑動桿帶動所述密封元件在所述空間內(nèi)滑動，使得所述密封元件可密封或開啟所述第二開口；以及一夾持件，設(shè)置在所述頂板上，用以夾持所述滑動桿，使得所述滑動桿與所述頂板之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中當所述密封元件開啟第二開口時，反應(yīng)室內(nèi)的氣體自第二開口經(jīng)由第一開口以抽氣泵抽出至外界，使得反應(yīng)室內(nèi)形成真空狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述氣體閥門還具有一非真空閥，用以控制一通氣口，當密封元件關(guān)閉第二開口時且非真空閥開啟通氣口時，外界的氣體自通氣口進入反應(yīng)室內(nèi)，使得反應(yīng)室內(nèi)形成非真空狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述密封組件還包括一彈性體設(shè)置在滑動桿處，該彈性體位于頂板與密封元件之間。
5.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述滑動桿為具有相同圓周直徑的圓柱體。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述夾持件具有一內(nèi)徑，該內(nèi)徑實質(zhì)上接近并略大于滑動桿的直徑。
7.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述夾持件的材料為一耐高溫、不易碎裂且不易變形的材料。
8.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述夾持件的材料為一金屬銅或其合金。
9.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述夾持件以一螺絲鎖定在頂板上。
10.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門，其中所述夾持件與頂板一體成型。
全文摘要
一種氣體閥門，用以裝設(shè)在一機臺中。氣體閥門包括一側(cè)壁、一底板、一頂板、一密封元件、一滑動桿及一夾持件。側(cè)壁具有一第一開口，底板連接于側(cè)壁，底板具有一第二開口，頂板具有一第三開口，頂板連接于側(cè)壁，頂板、側(cè)壁及底板形成一空間。密封元件與第二開口相對應(yīng)設(shè)置。滑動桿的一端連接于密封元件，另一端穿越第三開口并凸出于空間之外。滑動桿帶動密封元件在空間內(nèi)滑動，使得密封元件可密封或開啟第二開口。夾持件設(shè)置在頂板上，用以夾持滑動桿，使得滑動桿與頂板之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
文檔編號F16K1/32GK1948792SQ20051010862
公開日2007年4月18日 申請日期2005年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月10日
發(fā)明者郝鴻虎, 曾國邦, 周志能 申請人:旺宏電子股份有限公司