共享干泵的處理方法及系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域，特別是涉及共享干泵的處理方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體領(lǐng)域，工藝系統(tǒng)是由TM (Transmiss1n Module,傳輸模塊),PM (ProcessModule,工藝模塊)組成。傳輸模塊負(fù)責(zé)把晶片傳輸?shù)焦に嚽贿M(jìn)行工藝操作，并把工藝操作后的晶片傳回；工藝模塊負(fù)責(zé)對(duì)晶片進(jìn)行加工。晶片加工需要真空的環(huán)境，因此工藝腔室需要抽真空操作，傳輸腔需要傳輸晶片到真空環(huán)境中，因此也需要真空環(huán)境，同樣需要抽真空操作。
[0003]TM抽氣系統(tǒng)和PM抽氣系統(tǒng)是兩個(gè)獨(dú)立的子系統(tǒng)。傳統(tǒng)技術(shù)中，為了減小成本，TM抽氣系統(tǒng)和PM抽氣系統(tǒng)經(jīng)常共用一個(gè)干泵。在共用一個(gè)干泵時(shí)，需要人工進(jìn)行干預(yù)，才能避免引起氣體倒灌；且在PM抽氣系統(tǒng)中可以操作TM的相關(guān)閥，在TM抽氣系統(tǒng)中可以操作PM的相關(guān)閥，增加了這兩個(gè)抽氣系統(tǒng)的耦合性，不好維護(hù)，且很不安全。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)傳統(tǒng)技術(shù)中氣體倒灌和不安全問題，本發(fā)明提供了一種不會(huì)出現(xiàn)氣體倒灌現(xiàn)象，TM抽氣系統(tǒng)和PM抽氣系統(tǒng)可以同時(shí)執(zhí)行的共享干泵的處理方法及系統(tǒng)。
[0005]為達(dá)到技術(shù)目的，本發(fā)明實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明提供一種共享干泵的處理方法，包括以下步驟:
[0007]發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)；
[0008]若干泵處于使用狀態(tài)，則發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)的請(qǐng)求者在請(qǐng)求隊(duì)列中排隊(duì)等待;
[0009]若干泵處于空閑狀態(tài)，則發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)的請(qǐng)求者使用所述干泵；
[0010]發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)；
[0011]若發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)的請(qǐng)求者為當(dāng)前使用所述干泵者，則釋放干泵，干泵處于空閑狀態(tài)；
[0012]若發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)的請(qǐng)求者不是當(dāng)前使用所述干泵者，則將請(qǐng)求者從請(qǐng)求隊(duì)列中刪除。
[0013]作為一種可實(shí)施方式，所述發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)之后，包括如下步驟:
[0014]判斷所述干泵是否處于空閑狀態(tài)；
[0015]若處于空閑狀態(tài)，則將每個(gè)共享閥的狀態(tài)進(jìn)行保存后，將不需要的共享閥關(guān)閉，所述請(qǐng)求者使用干泵進(jìn)行抽真空操作；
[0016]若處于使用狀態(tài)，判斷發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)的請(qǐng)求者是否在請(qǐng)求隊(duì)列中；
[0017]若是，則在請(qǐng)求隊(duì)列中排隊(duì)等待；
[0018]否則，根據(jù)請(qǐng)求者的優(yōu)先級(jí)在請(qǐng)求隊(duì)列中進(jìn)行排隊(duì)。
[0019]作為一種可實(shí)施方式，所述發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)之后，包括如下步驟:
[0020]判斷發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)的請(qǐng)求者是否為當(dāng)前使用干泵者；
[0021]若是，則將此時(shí)共享閥的狀態(tài)恢復(fù)為保存的共享閥的狀態(tài)，并釋放干泵；
[0022]否則，將請(qǐng)求者從請(qǐng)求隊(duì)列中刪除。
[0023]作為一種可實(shí)施方式，所述將此時(shí)共享閥的狀態(tài)恢復(fù)為保存的共享閥的狀態(tài)，并釋放干泵之后，還包括如下步驟:
[0024]判斷請(qǐng)求隊(duì)列中是否有請(qǐng)求者；
[0025]若有，則請(qǐng)求隊(duì)列中排在隊(duì)列頭的請(qǐng)求者使用所述干泵；
[0026]否則，所述干泵處于空閑狀態(tài)。
[0027]作為一種可實(shí)施方式，所述請(qǐng)求者包括第一請(qǐng)求者和第二請(qǐng)求者；
[0028]所述第一請(qǐng)求者為TM抽氣系統(tǒng)；
[0029]所述第二請(qǐng)求者為PM抽氣系統(tǒng)。
[0030]本發(fā)明還提供一種共享干泵的處理系統(tǒng)，包括使用干泵模塊和釋放干泵模塊，其中:
[0031]所述使用干泵模塊，用于發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)；
[0032]若干泵處于使用狀態(tài)，則發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)的請(qǐng)求者在請(qǐng)求隊(duì)列中排隊(duì)等待;
[0033]若干泵處于空閑狀態(tài)，則發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)的請(qǐng)求者使用所述干泵；
[0034]所述釋放干泵模塊，用于發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)；
[0035]若發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)的請(qǐng)求者為當(dāng)前使用所述干泵者，則釋放干泵，干泵處于空閑狀態(tài)；
[0036]若發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)的請(qǐng)求者不是當(dāng)前使用所述干泵者，則將請(qǐng)求者從請(qǐng)求隊(duì)列中刪除。
[0037]作為一種可實(shí)施方式，所述使用干泵模塊包括第一判斷單元；
[0038]所述第一判斷單元，用于判斷所述干泵是否處于空閑狀態(tài)；
[0039]若處于空閑狀態(tài)，則將每個(gè)共享閥的狀態(tài)進(jìn)行保存后，將不需要的共享閥關(guān)閉，所述請(qǐng)求者使用干泵進(jìn)行抽真空操作；
[0040]若處于使用狀態(tài)，判斷發(fā)出請(qǐng)求使用干泵信號(hào)的請(qǐng)求者是否在請(qǐng)求隊(duì)列中；
[0041]若是，則在請(qǐng)求隊(duì)列中排隊(duì)等待；
[0042]否則，根據(jù)請(qǐng)求者的優(yōu)先級(jí)在請(qǐng)求隊(duì)列中進(jìn)行排隊(duì)。
[0043]作為一種可實(shí)施方式，所述釋放干泵模塊包括第二判斷單元；
[0044]所述第二判斷單元，用于判斷發(fā)出請(qǐng)求釋放干泵信號(hào)的請(qǐng)求者是否為當(dāng)前使用干泵者；
[0045]若是，則將此時(shí)共享閥的狀態(tài)恢復(fù)為保存的共享閥的狀態(tài)，并釋放干泵；
[0046]否則，將請(qǐng)求者從請(qǐng)求隊(duì)列中刪除。
[0047]作為一種可實(shí)施方式，所述釋放干泵模塊還包括第三判斷單元；
[0048]所述第三判斷單元，用于判斷請(qǐng)求隊(duì)列中是否有請(qǐng)求者；
[0049]若有，則請(qǐng)求隊(duì)列中排在隊(duì)列頭的請(qǐng)求者使用所述干泵；
[0050]否則，所述干泵處于空閑狀態(tài)。
[0051]作為一種可實(shí)施方式，所述請(qǐng)求者包括第一請(qǐng)求者和第二請(qǐng)求者；
[0052]所述第一請(qǐng)求者為TM抽氣系統(tǒng)；
[0053]所述第二請(qǐng)求者為PM抽氣系統(tǒng)。
[0054]本發(fā)明的有益效果:
[0055]本發(fā)明的共享干泵的處理方法及系統(tǒng)，多個(gè)請(qǐng)求者共享一個(gè)干泵，請(qǐng)求者首先請(qǐng)求使用干泵，若干泵處于空閑狀態(tài)，則當(dāng)前請(qǐng)求者使用該干泵，若干泵處于使用狀態(tài)，則當(dāng)前請(qǐng)求者在請(qǐng)求隊(duì)列中排隊(duì)等待；當(dāng)請(qǐng)求者完成相應(yīng)的抽真空操作后，釋放該干泵，該處于空閑狀態(tài)的干泵依據(jù)請(qǐng)求者的優(yōu)先級(jí)順序，依次對(duì)請(qǐng)求者進(jìn)行相應(yīng)的抽真空操作；每個(gè)請(qǐng)求者進(jìn)行抽真空操作之前，都會(huì)對(duì)所有請(qǐng)求者的共享閥的狀態(tài)進(jìn)行保存，釋放干泵后，將共享閥的狀態(tài)恢復(fù)至操作之前的狀態(tài)。采用該方法多個(gè)請(qǐng)求者的相關(guān)的操作可以同時(shí)執(zhí)行，且不會(huì)引起氣體倒灌；在進(jìn)行抽真空操作前，將每個(gè)請(qǐng)求者的共享閥的狀態(tài)保存下來，進(jìn)行抽真空操作時(shí)，當(dāng)前使用干泵的請(qǐng)求者的共享閥打開，其他請(qǐng)求者的共享閥關(guān)閉，保證每個(gè)請(qǐng)求者都是一個(gè)相對(duì)獨(dú)立的系統(tǒng)，和其他請(qǐng)求者之間沒有耦合性，方便維護(hù)，且相對(duì)比較安全；操作人員可以直接在軟件界面上操作即可，不需要手動(dòng)操作，降低了操作人員的操作負(fù)責(zé)度。
【附圖說明】
[0056]圖1為傳統(tǒng)技術(shù)的TM抽氣系統(tǒng)的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0057]圖2為傳統(tǒng)技術(shù)的PM抽氣系統(tǒng)的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0058]圖3為本發(fā)明的共享干泵的處理方法的使用干泵的一實(shí)施例的流程示意圖；
[0059]圖4為本發(fā)明的共享干泵的處理方法的釋放干泵的一實(shí)施例的流程示意圖；
[0060]圖5為本發(fā)明的共享干泵的處理系統(tǒng)的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0061]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明共享干泵的處理方法及系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0062]參見圖1、圖2所不，圖1為TM抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖，包括傳輸模塊10、第一,決抽閥11、第一慢抽閥12和第一干泵13,所述第一,決抽閥11和第一慢抽閥12統(tǒng)稱為TM共享閥；圖2為PM抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，包括工藝模塊20、第二快抽閥21、第二慢抽閥22、擺閥23、分子泵24、隔離閥25、吹掃閥26和第二干泵27，所述第二快抽閥21、第二慢抽閥
22、擺閥23、分子泵24、隔離閥25、吹掃閥26統(tǒng)稱為PM共享閥；TM共享閥與PM共享閥統(tǒng)稱為共享閥。