本技術(shù)涉及循環(huán)泵領(lǐng)域，具體是一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體洗滌塔是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中進行化學(xué)洗滌的設(shè)備。它構(gòu)成了半導(dǎo)體制造的重要步驟之一，主要用于去除半導(dǎo)體表面的有機和無機污染物，以保證器件的性能和可靠性，半導(dǎo)體洗滌塔的工作原理是通過將清洗劑通過噴淋或浸泡等方式與半導(dǎo)體表面接觸，分解并移除表面的有機和無機污染物，清洗劑經(jīng)過加熱和混合后，噴射到半導(dǎo)體表面，清洗劑化學(xué)與污染物發(fā)生反應(yīng)，生成易揮發(fā)的氧化物和化合物，最終通過排放系統(tǒng)排出，循環(huán)泵是半導(dǎo)體洗滌塔中非常重要的設(shè)備之一，吸收液的循環(huán)水泵用于將吸收液從洗滌塔底部抽出，將其再次噴淋在填料上，起到加強接觸的作用。

2、但是現(xiàn)有的半導(dǎo)體洗滌塔用的循環(huán)泵在使用的過程中還存在以下問題：

3、現(xiàn)有的循環(huán)水泵上進水管和出水管的法蘭分別與連接管上的法蘭通過螺栓和螺母固定，由于循環(huán)水泵在使用中容易發(fā)生振動，僅依靠法蘭之間用螺栓和螺母固定，使得法蘭之間的穩(wěn)固性差，甚至容易導(dǎo)致法蘭之間出現(xiàn)漏液的情況，因此涉及一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵用于現(xiàn)有的循環(huán)泵中是很有必要的。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了彌補現(xiàn)有技術(shù)的不足，現(xiàn)有循環(huán)水泵在使用中容易發(fā)生振動，僅依靠法蘭之間用螺栓和螺母固定，使得法蘭之間的穩(wěn)固性差，甚至容易導(dǎo)致法蘭之間出現(xiàn)漏液的問題，本實用新型提出一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵。

2、本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，包括底座和循環(huán)泵主體，所述循環(huán)泵主體上固定裝配有入水管，循環(huán)泵主體上固定裝配有出水管，入水管和出水管的一端均固定裝配有操作法蘭，入水管和出水管的一側(cè)均裝配有連接管，連接管的一端均固定裝配有安裝法蘭，安裝法蘭對應(yīng)與操作法蘭進行貼合，操作法蘭的弧面均對稱固定裝配有裝配塊，安裝法蘭的弧面均對稱裝配有固定塊，裝配塊上均設(shè)置有t型槽，t型槽的內(nèi)壁均設(shè)置有多個插孔，固定塊的側(cè)面均設(shè)置有牽引口，牽引口靠近安裝法蘭，固定塊上均固定裝配有t型插塊，t型插塊對應(yīng)與裝配塊上的t型槽進行插接。

3、作為優(yōu)選，所述固定塊的表面均固定裝配有操作塊，操作塊的內(nèi)部均設(shè)置有轉(zhuǎn)動腔，轉(zhuǎn)動腔上均對稱設(shè)置有牽引腔，轉(zhuǎn)動腔上均活動裝配有螺紋套桿，螺紋套桿的一端均活動貫穿到牽引口中，螺紋套桿的一端均固定裝配有引導(dǎo)塊，引導(dǎo)塊的側(cè)面均固定裝配有牽引塊，牽引塊與安裝法蘭的弧面進行固定裝配。

4、作為優(yōu)選，所述引導(dǎo)塊上固定裝配有多個插桿，插桿活動貫穿固定塊和t型插塊，并且插桿與t型槽上的插孔對應(yīng)進行插接。

5、作為優(yōu)選，所述螺紋套桿的表面對稱固定裝配有滑動塊，滑動塊對應(yīng)與牽引腔進行活動裝配，轉(zhuǎn)動腔上均活動裝配有傳動絲桿，傳動絲桿與螺紋套桿進行螺紋裝配，傳動絲桿的一端均活動貫穿操作塊，并且傳動絲桿的一端均固定裝配有旋鈕。

6、作為優(yōu)選，所述操作法蘭和安裝法蘭上裝配有多個操作螺栓，操作螺栓上均螺紋裝配有操作螺母，操作螺栓位于入水管和連接管的外側(cè)。

7、作為優(yōu)選，所述循環(huán)泵主體的底部固定裝配有安裝架，安裝架與底座上螺紋裝配有緊固螺栓。

8、本實用新型的有益之處在于：

9、本實用新型循環(huán)泵主體通過在安裝架上安裝緊固螺栓，使得循環(huán)泵主體與底座之間進行固定，固定塊上的t型插塊從裝配塊上的t型槽進行滑動，此時安裝法蘭位于操作法蘭的一側(cè)，對旋鈕進行扭動，使得傳動絲桿在螺紋套桿中轉(zhuǎn)動，讓滑動塊在牽引腔上進行移動，此時引導(dǎo)塊帶動牽引塊上的安裝法蘭朝操作法蘭的方向進行移動，直到安裝法蘭與操作法蘭進行貼合，同時插桿在固定塊和t型插塊上進行移動，并且插桿對應(yīng)與t型槽上的插孔進行插接，限制t型插塊在t型槽上進行移動，同時操作法蘭和安裝法蘭之間通過操作螺栓和操作螺母進行固定，提高安裝法蘭和操作法蘭之間的穩(wěn)固性。

技術(shù)特征：

1.一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，其特征在于：包括底座(10)和循環(huán)泵主體(11)，所述循環(huán)泵主體(11)上固定裝配有入水管(20)，循環(huán)泵主體(11)上固定裝配有出水管(21)，入水管(20)和出水管(21)的一端均固定裝配有操作法蘭(22)，入水管(20)和出水管(21)的一側(cè)均裝配有連接管(23)，連接管(23)的一端均固定裝配有安裝法蘭(30)，安裝法蘭(30)對應(yīng)與操作法蘭(22)進行貼合，操作法蘭(22)的弧面均對稱固定裝配有裝配塊(33)，安裝法蘭(30)的弧面均對稱裝配有固定塊(40)，裝配塊(33)上均設(shè)置有t型槽(42)，t型槽(42)的內(nèi)壁均設(shè)置有多個插孔(43)，固定塊(40)的側(cè)面均設(shè)置有牽引口(50)，牽引口(50)靠近安裝法蘭(30)，固定塊(40)上均固定裝配有t型插塊(41)，t型插塊(41)對應(yīng)與裝配塊(33)上的t型槽(42)進行插接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，其特征在于：所述固定塊(40)的表面均固定裝配有操作塊(52)，操作塊(52)的內(nèi)部均設(shè)置有轉(zhuǎn)動腔(60)，轉(zhuǎn)動腔(60)上均對稱設(shè)置有牽引腔(61)，轉(zhuǎn)動腔(60)上均活動裝配有螺紋套桿(62)，螺紋套桿(62)的一端均活動貫穿到牽引口(50)中，螺紋套桿(62)的一端均固定裝配有引導(dǎo)塊(71)，引導(dǎo)塊(71)的側(cè)面均固定裝配有牽引塊(51)，牽引塊(51)與安裝法蘭(30)的弧面進行固定裝配。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，其特征在于：所述引導(dǎo)塊(71)上固定裝配有多個插桿(72)，插桿(72)活動貫穿固定塊(40)和t型插塊(41)，并且插桿(72)與t型槽(42)上的插孔(43)對應(yīng)進行插接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，其特征在于：所述螺紋套桿(62)的表面對稱固定裝配有滑動塊(63)，滑動塊(63)對應(yīng)與牽引腔(61)進行活動裝配，轉(zhuǎn)動腔(60)上均活動裝配有傳動絲桿(70)，傳動絲桿(70)與螺紋套桿(62)進行螺紋裝配，傳動絲桿(70)的一端均活動貫穿操作塊(52)，并且傳動絲桿(70)的一端均固定裝配有旋鈕(53)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，其特征在于：所述操作法蘭(22)和安裝法蘭(30)上裝配有多個操作螺栓(31)，操作螺栓(31)上均螺紋裝配有操作螺母(32)，操作螺栓(31)位于入水管(20)和連接管(23)的外側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，其特征在于：所述循環(huán)泵主體(11)的底部固定裝配有安裝架(12)，安裝架(12)與底座(10)上螺紋裝配有緊固螺栓(13)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于循環(huán)泵領(lǐng)域，具體地說是一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵，包括底座和循環(huán)泵主體，所述循環(huán)泵主體裝配有入水管，循環(huán)泵主體裝配有出水管，入水管和出水管裝配有操作法蘭，入水管和出水管裝配有連接管，連接管裝配有安裝法蘭，安裝法蘭與操作法蘭貼合，操作法蘭裝配有裝配塊，安裝法蘭裝配有固定塊，裝配塊設(shè)置有T型槽，T型槽設(shè)置有插孔，固定塊設(shè)置有牽引口，固定塊裝配有T型插塊，T型插塊與T型槽插接，上述一種洗滌塔清理作業(yè)用的循環(huán)泵通過插桿和T型插塊的配合解決了現(xiàn)有循環(huán)水泵在使用中容易發(fā)生振動，僅依靠法蘭之間用螺栓和螺母固定，使得法蘭之間的穩(wěn)固性差，甚至容易導(dǎo)致法蘭之間出現(xiàn)漏液的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：李超,路容
受保護的技術(shù)使用者：西安黑石智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2024/12/26