本發(fā)明涉及液壓泵、液壓馬達等的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法。

背景技術：
在以液壓泵和液壓馬達為代表的液壓旋轉機械中，為了改善缸體與組合在該缸體中的活塞之間的滑動特性，已知有在專利文獻1及專利文獻2中記載的技術方案。專利文獻1記載有如下內容：將缸體的液壓缸內面保持為鑄鐵材料或者對其進行氮化處理，將活塞的材質作為能夠氮化的鋼，在對該活塞進行調質處理而提高質地硬度之后進行氮化處理，從活塞的外周面的硬化后的表面層中除去高硬度層，留下比調質處理后的質地硬度更高的硬度層。另外，在專利文獻2中記載了通過燒結使由鋼類材料構成的圓筒成形體接合在缸體的活塞孔內的內容。在先技術文獻專利文獻1：日本特開平6-159230號公報專利文獻2：日本特開平10-196552號公報上述液壓旋轉機械除了缸孔(cylinderbore，缸膛)與活塞之間的滑動部之外，還具有很多滑動部。那些滑動部的滑動面根據(jù)因高滑動面壓力而造成的潤滑油膜斷裂、因控制液壓的變動而造成的滑動接觸狀態(tài)的不穩(wěn)定化等的影響，而具有滑動面彼此之間產生咬死和局部異常磨損等的風險。因此，構成滑動部的滑動部件幾乎都是由鋼鐵材料制造的。其中，鋼鐵材料中多使用廉價且滑動性能高的球墨鑄鐵(FCD材料)，尤其在FCD材料中，結構組織多使用鐵素體或珠光體、或者它們的共存組織。在此，液壓泵和液壓馬達等液壓旋轉機械中的滑動部件隨著液壓旋轉機械的使用條件變成高壓、高流量而尺寸會變大，且質地費用會變高，因此，很多情況下，由FCD材料形成滑動的兩個部件中尺寸較大的部件，而由鋼材形成其相對部件。例如，在斜軸式液壓旋轉機械中，設置在缸體的背部上的閥板與頂端殼體之間的滑動部的滑動面積，比缸體與活塞之間的滑動面積大，因此，閥板使用鋼材，頂端殼體使用FCD材料。但是，F(xiàn)CD材料與鋼材相比具有表面硬度較低的缺點。因此，為了彌補該缺點，在專利文獻1中，通過對構成滑動面的FCD材料及鋼材實施滲氮熱處理并形成氮擴散層，而使滑動面表層區(qū)域硬化，而且通過在此基礎上形成硬質的氮化合物層，而確保相對于滑動載荷的耐磨性能和防咬死性。另外，F(xiàn)CD材料的滑動面將氮化合物層加工除去。另外，在專利文獻2中，鋼材部件的滑動面通過使滑動性銅合金在氮化合物層除去后的表面上熔接或燒結成膜，而避免由高表面壓力滑動而造成的咬死現(xiàn)象。將這種滑動面積大的滑動部中的一方側的部件作為FCD材料，當對該FCD材料進行加工而形成滑動面時，成為如下的狀態(tài)：基于加工使FCD材料的碳脫落后所形成的孔在滑動表面上作為空穴而露出，或者在對周邊部位進行加工時塑性流動的FCD材料覆蓋在該露出的空穴上。另外，在將專利文獻1適用于上述滑動部的情況下，即使實施了滲氮熱處理，但在碳脫落后形成的孔完全露出的位置上，由于沒有形成將該碳脫落后形成的孔完全填滿的氮化合物層，所以在FCD材料的滑動表面上存在表面缺陷。因此，當與相對部件滑動時，根據(jù)在該表面缺陷端部上產生應力集中或與相對滑動面的端部勾掛，而導致氮化合物層端部的剝落破壞，從而會使硬質的氮化合物的剝落片存在于滑動面之間。因此，當進行高表面壓力下的滑動時，具有發(fā)生滑動面的異常磨損和咬死現(xiàn)象的風險。另外，在空穴被塑性流動組織覆蓋的位置上，雖然在塑性流動組織上形成氮化合物層，但由于其正下方成為空穴，所以形成有不穩(wěn)定的氮化合物層，即表面缺陷。因此，當從相對面被施加有滑動載荷時，表面缺陷會發(fā)生剝落破壞，導致滑動面的異常磨損和咬死現(xiàn)象。另外，在將專利文獻2適用于上述滑動部的情況下具有形成滑動表面的銅合金比較昂貴的問題，并且由于一般在銅合金覆蓋膜形成工序中必須非常嚴格地進行銅合金組成和溫度的管理，所以具有制造難度較高的問題。因此，目前的狀況是，對于斜軸式液壓旋轉機械中的滑動面積大的滑動部，沒有有效的對策，急于需要進行改善。

技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于，在具有由球墨鑄鐵和鋼材構成的部件彼此之間的滑動面的面積較大的位置的斜軸式液壓旋轉機械中，提供一種具有實現(xiàn)更穩(wěn)定的滑動狀態(tài)的滑動部的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法。為了達成上述目的，第一發(fā)明提供一種斜軸式液壓旋轉機械，具有滑動部，所述滑動部使作為鋼材的一方部件的一方滑動面與作為球墨鑄鐵材料的其他部件的另一方的滑動面滑動接觸，其特征在于，所述斜軸式液壓旋轉機械具有：在將對滑動面進行滲氮表面處理而形成的氮化合物層加工除去之后，形成有非鐵軟質金屬覆膜的所述一方滑動面，該非鐵軟質金屬覆膜是由鉛、錫、銅中至少一種以上的金屬構成的；和使所述非鐵軟質金屬覆膜侵入填充到存在于對滑動面進行滲氮表面處理而形成的氮化合物層上的、作為表面缺陷的碳脫落后形成的孔內的所述另一方滑動面。根據(jù)該第一發(fā)明，使得在成為由FCD材料構成的另一部件的滑動對象面的、由鋼材構成的一方部件的滑動面的表面上形成的非鐵軟質金屬覆膜的一部分通過滑動載荷而相對于存在于由FCD材料構成的另一部件的表面上的表面缺陷(開口部和龜裂間隙)壓入，并將內部的空穴(碳脫落后形成的孔)填充，從而填平表面缺陷。因此，能夠獲得使滑動面平滑化的效果，和獲得從內部支承不穩(wěn)定的塑性流動組織而強力抑制剝落破壞的效果。由此，即使由鋼材和球墨鑄鐵材料構成的滑動面的面積很大，也具有與以往相比更穩(wěn)定的滑動部，能夠使斜軸式液壓旋轉機械長壽命化。另外，為了達成上述目的，第二發(fā)明提供一種斜軸式液壓旋轉機械的制造方法，所述斜軸式液壓旋轉機械具有滑動部，所述滑動部使作為鋼材的一方部件的一方滑動面與作為球墨鑄鐵材料的其他部件的另一方的滑動面滑動接觸，其特征在于，對所述一方部件進行滲氮表面處理，然后，將在所述一方部件的一方滑動面的表面上形成的氮化合物層除去而使氮擴散層露出，并在該露出的氮擴散層的表面上形成非鐵軟質金屬覆膜，從而形成所述一方滑動面，該非鐵軟質金屬覆膜是由鉛、錫、銅中至少一種以上的金屬構成的，對所述另一方部件進行滲氮表面處理而形成氮化合物層，從而形成所述另一方部件的另一方滑動面。根據(jù)該第二發(fā)明，使得形成在滑動對象面上的非鐵軟質金屬覆膜的一部分通過滑動載荷而相對于存在于球墨鑄鐵材料的表面上的表面缺陷(開口部和龜裂間隙)壓入，并將內部的空穴(碳脫落后形成的孔)填充，從而填平表面缺陷。因此，能夠獲得使滑動面平滑化，并獲得通過從內部支承不穩(wěn)定的塑性流動組織而強力抑制剝落破壞的效果。由此，即使由鋼材和球墨鑄鐵材料構成的滑動面的面積很大，也能夠形成與以往相比更穩(wěn)定的滑動部。另外，第三發(fā)明是在第二發(fā)明中，通過電鍍來形成所述非鐵軟質金屬覆膜。根據(jù)該第三發(fā)明，即使相對于寬闊的覆蓋膜形成對象面，也能高效地形成膜厚均勻的覆蓋膜。另外，第四發(fā)明是在第二發(fā)明中，使由非鐵軟質金屬材料構成的微粒子相對于該非鐵軟質金屬覆膜的形成對象部位以高速噴射或投射撞擊，而使其堆積附著，由此形成所述非鐵軟質金屬覆膜。根據(jù)該第四發(fā)明，即使是深孔形狀或者是電鍍溶液的均鍍能力(throwingpower)差的部位，也能很容易地形成覆蓋膜。另外，能夠對滑動面內的特定區(qū)域選擇性地改變覆蓋膜厚度并形成覆蓋膜，即使在滑動面內當滑動表面壓力和滑動速度不同時，也能夠通過與各表面壓力及速度區(qū)域配合地來改變覆蓋膜厚度，而謀求功能的最優(yōu)化。另外，第五發(fā)明是在第二發(fā)明中，相對于該非鐵軟質金屬覆膜的形成對象部位，形成磷酸鹽保護膜，然后將該磷酸鹽保護膜的最外層表面與非鐵軟質金屬成分進行化學置換，由此形成所述非鐵軟質金屬覆膜。根據(jù)該第五發(fā)明，使覆蓋膜在鋼材部件的滑動面上的粘合性提高，能夠使基于覆蓋膜形成異常而造成的突發(fā)的非鐵軟質金屬覆膜的剝落損失變得非常少，能夠穩(wěn)定地發(fā)揮表面缺陷的填平效果。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械，提供一種能夠謀求使具有表面缺陷的滑動面的滑動性能穩(wěn)定化，且具有實現(xiàn)更穩(wěn)定的滑動狀態(tài)的滑動部的斜軸式液壓旋轉機械，由此能夠使斜軸式液壓旋轉機械長壽命化。根據(jù)本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的制造方法，能夠制造具有實現(xiàn)更穩(wěn)定的滑動狀態(tài)的滑動部、且能夠實現(xiàn)長壽命化的斜軸式液壓旋轉機械。附圖說明圖1是本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的縱剖視圖。圖2是表示構成圖1所示的本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板與頂端殼體的滑動部的剖視圖，圖2(a)是用截面表示閥板與頂端殼體的一部分的縱剖視圖，圖2(b)是放大表示圖2(a)的A部的剖視圖。圖3是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖。圖4是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖。圖5是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖。圖6是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的頂端殼體的制造工序的剖視圖，圖6(a)是用截面表示頂端殼體的一部分的縱剖視圖，圖6(b)是放大表示圖6(a)的A部的剖視圖。圖7是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第二實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖。圖8是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第三實施方式的閥板的制造工序的剖視圖，圖8(a)是用截面表示閥板的一部分的縱剖視圖，圖8(b)是放大表示圖8(a)的A部的剖視圖。圖9是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第三實施方式的閥板的制造工序的剖視圖，圖9(a)是用截面表示閥板的一部分的縱剖視圖，圖9(b)是放大表示圖9(a)的A部的剖視圖。附圖標記說明1可變容量型斜軸式軸向活塞泵2殼體3閥板3A(閥板3上的與缸體5的)滑動面3B(閥板3上的與頂端殼體13的)滑動面3C貫通孔4旋轉軸5缸體5A(缸體5上的與閥板3的)滑動面6活塞7連桿8驅動盤9中心軸10傾轉機構11調節(jié)器12殼體主體12A上部開口13頂端殼體(headcasing)13A(頂端殼體13上的與閥板3的)滑動面13B排出通路14油箱15液壓缸16擺動銷17活塞滑動孔17A、17B液壓室18伺服活塞19套筒20滑閥21反饋連桿22先導泵30鋼材31非鐵軟質金屬覆膜31a由非鐵軟質金屬構成的膜32、42氮化合物層33、43氮擴散層34磷酸錳覆蓋膜35磷酸錫覆蓋膜40FCD材料41a、41b表面缺陷44塑性流動組織45空穴(碳脫落后形成的孔)51電鍍槽61噴嘴62非鐵軟質金屬微粒子71、72藥液槽。具體實施方式以下，參照附圖對本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法的實施方式進行說明。<第一實施方式>參照圖1～圖6對本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法的第一實施方式進行說明。此外，在圖1～圖6中，作為斜軸式液壓旋轉機械，以適用于可變容量型的斜軸式軸向活塞泵(axialpistonpump)的情況為例來進行說明。圖1中，作為斜軸式液壓旋轉機械的可變容量型斜軸式軸向活塞泵1通過殼體2、閥板3、旋轉軸4、缸體5、活塞6、連桿7、驅動盤8、中心軸9、傾轉機構10以及調節(jié)器11等構成。殼體2由球墨鑄鐵類的部件構成，軸方向上的一端側成為軸承部分，而且，由以下部分構成：在周身部上側形成有上部開口12A的圓筒狀的殼體主體12；和將殼體主體12的另一端側封閉的由球墨鑄鐵材料構成的頂端殼體13。在該頂端殼體13上，設置有供后述閥板3能夠滑動地滑動接觸的凹彎曲狀的滑動接觸面13A。另外，在頂端殼體13上，設置有用于將后述油箱14內的工作液壓油吸入的吸入通路以及用于使后述液壓油向外部排出的排出通路13B。旋轉軸4以能夠旋轉的方式設置在殼體主體12內的軸方向上的一側。缸體5以與該旋轉軸4一體地旋轉自如的方式設置在殼體主體12內，由鋼鐵材料形成為圓筒狀，并以能夠相對于閥板3滑動的方式滑動接觸。另外，在該缸體5上，其軸方向上穿設有多個液壓缸15(僅圖示兩個)?；钊?以能夠分別往復移動的方式插嵌在缸體5的各液壓缸15內?；钊?的突出端側通過連桿7而能夠擺動地支承在形成于旋轉軸4的前端的驅動盤8上。閥板3是以與頂端殼體13和缸體5滑動接觸的方式設置的由鋼材構成的部件。閥板3的一側端面成為與缸體5的滑動接觸面5A滑動接觸的滑動接觸面3A，另一側端面成為以能夠滑動的方式與頂端殼體13的滑動接觸面13A滑動接觸的凸彎曲狀的滑動接觸面3B。而且，還設置有當缸體5旋轉時與頂端殼體13的吸入通路及排出通路13B間歇地連通的一對供排口(未圖示)。另外，在該閥板3的中心側穿設有貫通孔3C，從兩側向貫通孔3C內分別插入有后述的中心軸9和擺動銷16。中心軸9在驅動盤8與閥板3之間對缸體5進行支承。中心軸9以從缸體5的中心貫通的方式延伸，其一端側以能夠相對于驅動盤8擺動的方式被支承，另一端側能夠滑動地插入在閥板3的貫通孔3C內，將缸體5相對于閥板3居中。傾轉機構10構成而包括：形成在頂端殼體13內的帶層差的活塞滑動孔17；以能夠沿圖1中的箭頭A、B的方向滑動的方式插嵌在活塞滑動孔17內，并在活塞滑動孔17內劃分成液壓室17A、17B的帶層差的伺服活塞18；和設置在伺服活塞18上并插嵌在閥板3的貫通孔3C內的擺動銷16。傾轉機構10使閥板3沿著頂端殼體13的滑動接觸面13A傾轉。調節(jié)器11設置在殼體主體12的上部開口12A上，具有套筒19、滑閥20及反饋連桿21等，并作為斜軸式液壓旋轉機械1的容量控制閥而構成。而且，該調節(jié)器11通過使滑閥20根據(jù)斜軸式液壓旋轉機械1的排出壓力而在套筒19內滑動位移，從而將來自先導泵22的傾轉控制壓力供給到液壓室17A、17B內以使伺服活塞18滑動位移，并且使閥板3沿著頂端殼體13的滑動接觸面13A傾轉。另外，當閥板3傾轉時，通過反饋連桿21使套筒19向與滑閥20相同的方向滑動位移，且對調節(jié)器11進行反饋控制。接著，在圖2中，對構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板3與頂端殼體13的滑動部的結構進行說明。圖2是表示構成圖1所示的本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板與頂端殼體的滑動部的剖視圖，圖2(a)是用截面表示閥板與頂端殼體的一部分的縱剖視圖，圖2(b)是放大表示圖2(a)的A部的剖視圖。如圖2(a)所示，本實施方式的斜軸式液壓旋轉機械1中的閥板3與頂端殼體13之間的滑動部由滑動面3B和滑動面13A構成，該滑動面3B是閥板3側的滑動面在將對鋼材30實施滲氮表面處理而形成的氮化合物層加工除去之后形成有非鐵軟質金屬的覆蓋膜31的滑動面，該滑動面13A是頂端殼體13側的滑動面對球墨鑄鐵材料40實施滲氮表面處理而形成有氮化合物層42的滑動面。而且，如圖2(b)所示，當在閥板3的滑動面3B上形成的非鐵軟質金屬覆膜31、與在由球墨鑄鐵材料40構成的頂端殼體13的滑動面13A上形成的氮化合物層42進行滑動時，使非鐵軟質金屬覆膜31的一部分從存在于滑動面13A的表面上的表面缺陷41a、41b的開口部或龜裂間隙中侵入。由此，使其附著填充到存在于表面缺陷正下方的碳脫落后形成的孔45內，而使頂端殼體13的滑動面13A平滑化，另外，通過用所附著填充的非鐵軟質金屬支承塑性流動組織44，而防止具有氮化合物層的塑性流動組織44的剝離脫落，通過這種結構，謀求兩滑動面3B、13A的滑動狀態(tài)的穩(wěn)定化以及表面缺陷41a、41b部分的穩(wěn)定化。在此，本發(fā)明中的非鐵軟質金屬覆膜31是指，用與鐵不同的元素且由硬度較軟的金屬構成的層，例如由鉛、錫、銅中至少一種以上的金屬構成。另外，氮化合物層32、42是指，在對鋼鐵材料或球墨鑄鐵材料進行氮化處理時，在其最外層表面上形成的由高硬度的氮化合物構成的層。另外，氮擴散層33、43是指，在對鋼鐵材料或球墨鑄鐵材料進行氮化處理時，在形成于其最外層表面上的氮化合物層的正下方形成的、基于氮擴散而滲入到鋼鐵材料或球墨鑄鐵材料中而形成的層。接著，參照圖3～圖6對上述構成的本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的制造方法進行說明。圖3是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖，圖4是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖，圖5是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖，圖6是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的頂端殼體的制造工序的剖視圖，圖6(a)是用截面表示頂端殼體的一部分的縱剖視圖，圖6(b)是放大表示圖6(a)的A部的剖視圖。首先，由鋼材30制造閥板3的外形。然后，相對于所制造的閥板3的外形作為滲氮表面處理而實施滲氮熱處理。如圖3所示，通過該滲氮熱處理，在閥板3的滑動面3B的表層上形成氮擴散層33及氮化合物層32，從而使表層組織的硬度提高。該滲氮熱處理的條件采用一般的條件即可。然后，通過切削或磨削將所形成的氮化合物層32加工除去，如圖4所示，使氮擴散層33在閥板3的滑動面3B上露出。接著，如圖5所示，在將閥板3與陽極連接的狀態(tài)下，使露出氮擴散層33的滑動面3B浸漬到使作為非鐵軟質金屬覆膜的質地的非鐵軟質金屬成為電解熔融狀態(tài)的電鍍槽51內。由此，在閥板3的露出氮擴散層33的滑動面3B上形成非鐵軟質金屬覆膜31。另外，以與圖3～圖5所示的閥板3的制造不同的順序，制造頂端殼體13。首先，由FCD材料40制造頂端殼體13的外形。然后，相對于所制造的頂端殼體13的外形實施滲氮熱處理。如圖6(a)所示，通過該滲氮熱處理，在頂端殼體13的滑動面13A的表層上形成氮擴散層43及氮化合物層42，從而使表層組織的硬度提高。在此，如圖6(b)所示，在形成于頂端殼體13的滑動面13A的表面上的氮化合物層42上，存在有因來自FCD材料的碳脫落后形成的孔45而造成的表面缺陷41a、41b。對本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式的動作進行說明。首先，當通過未圖示的發(fā)動機等原動機對旋轉軸4進行旋轉驅動時，缸體5以中心軸9為中心與驅動盤8一同旋轉，并且，各活塞6在缸體5的各液壓缸15內反復進行往復運動。當活塞6從液壓缸15內后退(伸長)時，成為從油箱14內吸入工作液壓油的吸入行程，而當活塞6向液壓缸15內進入(縮小)時，成為對吸入到液壓缸15內的工作液壓油加壓，且使液壓油經(jīng)由高壓側的供排口從排出通路13B排出的排出行程。這時的泵排出壓力作為容量控制用的控制壓力而供給至調節(jié)器11側，例如當泵排出壓力上升時控制壓力會上升，由此使調節(jié)器11工作而將來自先導泵22的傾轉控制壓力供給到液壓室17A、17B內。其結果是，伺服活塞18向圖1中的箭頭A方向被驅動，隨之，與伺服活塞18經(jīng)由擺動銷16而連結的閥板3沿著頂端殼體13的滑動接觸面13A向圖1所示的使偏轉角θ變小的方向滑動，且液壓油的排出量減少。而且，這時反饋連桿21追隨閥板3的傾轉動作而轉動，使套筒19向與滑閥20相同的方向滑動位移，由此對調節(jié)器11進行反饋控制。這樣，液壓油的排出量根據(jù)泵排出壓力被可變地控制，并沿著所期望的特性線，對斜軸式液壓旋轉機械的排出流量與排出壓力的關系進行控制。在此，閥板3的滑動面3B與頂端殼體13的滑動面13A分別具有彎曲狀的滑動接觸面，當傾轉動作時在高表面壓力下滑動。另外，通過基于泵內部油壓而進行的反饋控制來維持姿勢，因此，通過斜軸式液壓旋轉機械的內部的油壓的波動，隨時進行以微小行程移動的往復滑動。該動作中，形成在由鋼母材30構成的閥板3的滑動面3B上的非鐵軟質金屬覆膜31、與形成在由FCD材料40構成的頂端殼體13的滑動面13A上的、具有表面缺陷41a、41b的氮化合物層42進行滑動，非鐵軟質金屬覆膜31的一部分從表面缺陷41a、41b的開口部或龜裂間隙侵入，并附著填充到存在于表面缺陷41a、41b的正下方的碳脫落后形成的孔45內。由此，能夠使頂端殼體13的滑動面13A平滑化，并且能夠支承表面缺陷41a上的氮化合物層42的端部、和作為表面缺陷41b的不穩(wěn)定的氮化合物層44，還能防止氮化合物層42和具有氮化合物層的塑性流動組織44的剝離脫落，謀求兩滑動面3B、13A的滑動狀態(tài)的穩(wěn)定化。由此，能夠得到如下的液壓旋轉機械：防止在滑動部上發(fā)生異常磨損和咬死現(xiàn)象的問題，且具有實現(xiàn)了更穩(wěn)定的滑動狀態(tài)的滑動部。此外，滲氮表面處理并不限定于滲氮熱處理，也能使用鹽浴氮化和等離子氮化等公知的滲氮處理。<第二實施方式>參照圖7對本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法的第二實施方式進行說明。此外，在圖7中，作為斜軸式液壓旋轉機械，也以適用于可變容量型的斜軸式軸向活塞泵的情況為例來進行說明。本實施方式中的斜軸式液壓旋轉機械的結構與斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式大致相同，省略結構的詳細說明。另外，其制造方法除了非鐵軟質金屬覆膜的形成方法是使用通過使非鐵軟質金屬材料的微粒子以高速噴射或投射撞擊而堆積附著的方法之外，也與斜軸式液壓旋轉機械的制造方法的第一實施方式大致相同，省略詳細說明。圖7是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第二實施方式的閥板的制造工序的縱剖視圖。當在閥板3的露出了氮擴散層33的滑動面3B上形成非鐵軟質金屬覆膜時，如圖7所示，相對于使氮擴散層33露出的閥板3的滑動面3B，由噴嘴61使作為非鐵軟質金屬覆膜的質地的非鐵軟質金屬材料的微粒子62通過壓縮空氣向滑動面3B以高速噴射撞擊。由此，使撞擊到滑動面3B上的微粒子62通過塑性變形附著及堆積在滑動面3B上，從而在閥板3的滑動面3B的表面上形成由非鐵軟質金屬構成的膜31a，而形成非鐵軟質金屬覆膜31。在第二實施方式的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法中，獲得的效果也與第一實施方式的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法的情況大致相同。而且，在本實施方式的斜軸式液壓旋轉機械的制造方法中，作為非鐵軟質金屬覆膜31的形成方法，使用相對于形成非鐵軟質金屬覆膜31的對象部位來使非鐵軟質金屬材料的微粒子62以高速噴射而堆積附著的方法，由此，即使涉及深孔形狀或者是電鍍溶液的均鍍能力(throwingpower)差的部位，也能很容易地形成覆蓋膜31，從而能夠形成均質的非鐵軟質金屬覆膜31。另外，能夠以相對于滑動面3B內的特定區(qū)域選擇性地改變覆蓋膜厚度的方式形成非鐵軟質金屬覆膜31，在滑動面3B內，即使當滑動表面壓力和滑動速度不同時，也能夠通過與各表面壓力及速度區(qū)域配合地來改變覆蓋膜厚度，而謀求功能的最優(yōu)化，并能夠根據(jù)使用用途而靈活地對應。此外，微粒子62的材質是例如鉛、錫、銅中的至少一種以上即可。另外，在使微粒子62噴射撞擊時，通過相對于滑動面的特定區(qū)域選擇性地增長或者縮短微粒子62的撞擊時間，而能夠與滑動面內的滑動表面壓力、滑動速度配合地使非鐵軟質金屬覆膜31的厚度最優(yōu)化。<第三實施方式>參照圖8及圖9，對本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法的第三實施方式進行說明。此外，在圖8及圖9中，作為斜軸式液壓旋轉機械，也以適用于可變容量型的斜軸式軸向活塞泵的情況為例來進行說明。本實施方式中的斜軸式液壓旋轉機械的結構與斜軸式液壓旋轉機械的第一實施方式大致相同，省略結構的詳細說明。另外，除了非鐵軟質金屬覆膜的形成方法是使用相對于非鐵軟質金屬覆膜的形成對象部位，在形成磷酸鹽保護膜之后，通過將覆蓋膜最外層表面與非鐵軟質金屬成分進行化學置換而形成的方法之外，其制造方法也與斜軸式液壓旋轉機械的制造方法的第一實施方式大致相同，省略詳細說明。在此，通過將磷酸鹽的成分作為磷酸錳、將非鐵軟質金屬成分作為錫的具體例來進行說明。圖8是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第三實施方式的閥板的制造工序的剖視圖，圖8(a)是用截面表示閥板的一部分的縱剖視圖，圖8(b)是放大表示圖8(a)的A部的剖視圖。圖9是表示構成本發(fā)明的斜軸式液壓旋轉機械的第三實施方式的閥板的制造工序的剖視圖，圖9(a)是用截面表示閥板的一部分的縱剖視圖，圖9(b)是放大表示圖9(a)的A部的剖視圖。當在閥板3的露出了氮擴散層33的滑動面3B上形成非鐵軟質金屬覆膜時，如圖8(a)所示，使露出了氮擴散層33的閥板3的滑動面3B浸漬到磷酸錳的反應溶液的藥液槽71中，通過化學反應在滑動面3B上形成圖8(b)所示的磷酸錳覆蓋膜34。而且，如圖9(a)所示，使形成有磷酸錳覆蓋膜34的閥板3浸漬到以氯化亞錫為主體的反應溶液的藥液槽72中。由此，使磷酸錳覆蓋膜34的最外層表面層與氯化亞錫進行化學置換反應，在其表面上形成圖9(b)所示的磷酸錫覆蓋膜35，從而形成非鐵軟質金屬覆膜31。在第三實施方式的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法中，也獲得的效果與第一實施方式的斜軸式液壓旋轉機械及其制造方法的情況大致相同。而且，在本實施方式的斜軸式液壓旋轉機械的制造方法中，作為非鐵軟質金屬覆膜31的形成方法，使用相對于非鐵軟質金屬覆膜31的形成對象部位，在形成磷酸鹽保護膜34之后，通過使該磷酸鹽保護膜34的最外層表面與非鐵軟質金屬成分進行化學置換而形成的方法，由此，使非鐵軟質金屬覆膜31在閥板3的滑動面3B上的粘合性提高，使基于覆蓋膜形成異常而造成的突發(fā)性非鐵軟質金屬覆膜31的剝落損失變得非常少，能夠使表面缺陷的填平效果穩(wěn)定地發(fā)揮。<其他>此外，在各實施方式中，作為斜軸式液壓旋轉機械列舉了可變容量型的斜軸式液壓泵來進行說明，但本發(fā)明并不限于此，例如能夠適用于可變容量型斜軸式的液壓馬達，而且還可以適用于固定容量型的斜軸式液壓泵、液壓馬達等。另外，在各實施方式中，將由鋼材構成的部件作為閥板3，將由球墨鑄鐵材料構成的部件作為頂端殼體13，并以該閥板3與頂端殼體13的滑動部為例進行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，對于通過由鋼材構成的部件和由球墨鑄鐵材料構成的部件所構成的所有滑動部，本發(fā)明均可適用。