用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，包括多組抽真空機(jī)構(gòu)，多組抽真空機(jī)構(gòu)和多個(gè)多晶爐一一對(duì)應(yīng)，抽真空機(jī)構(gòu)包括真空泵系統(tǒng)、防倒流電磁閥和排外閥，真空泵系統(tǒng)的抽真空口連接防倒流電磁閥后連接至相對(duì)應(yīng)的多晶爐，真空泵系統(tǒng)的出氣口連接排外閥后連接至抽空排外管，還包括PLC控制器、真空壓力傳感器和多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥，每個(gè)抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)一個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥，聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥的一端并接在相應(yīng)的多晶爐和防倒流電磁閥之間，另一端通過總抽空管并接在一起，真空壓力傳感器安裝在總抽空管上，所述的聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥和防倒流電磁閥的信號(hào)輸入端均連接在PLC控制器上，所述的真空壓力傳感器的信號(hào)輸出端連接在PLC控制器上。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)一臺(tái)真空泵拖動(dòng)多臺(tái)多晶爐的聯(lián)動(dòng)運(yùn)行，降低多晶爐運(yùn)行時(shí)的能耗。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置。 用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 目前，在多晶爐鑄錠生產(chǎn)過程中，多晶爐的真空環(huán)境保持，需要真空泵的連續(xù)抽空 運(yùn)行，目前的運(yùn)行方式是單臺(tái)多晶爐配備相應(yīng)的真空泵，需要消耗較高的電能及潤滑油脂 等。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種用于多晶爐的 聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，它能夠?qū)崿F(xiàn)多臺(tái)多晶爐的聯(lián)動(dòng)運(yùn)行，降低其能耗。
[0004] 為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真 空裝置，包括多組抽真空機(jī)構(gòu)，多組抽真空機(jī)構(gòu)和多個(gè)多晶爐一一對(duì)應(yīng)，抽真空機(jī)構(gòu)包括真 空泵系統(tǒng)、防倒流電磁閥和排外閥，真空泵系統(tǒng)的抽真空口連接防倒流電磁閥后連接至相 對(duì)應(yīng)的多晶爐，真空泵系統(tǒng)的出氣口連接排外閥后連接至抽空排外管，還包括PLC控制器、 真空壓力傳感器和多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥，每個(gè)抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)一個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥，聯(lián)動(dòng) 不銹鋼球閥的一端并接在相應(yīng)的多晶爐和防倒流電磁閥之間，另一端通過總抽空管并接在 一起，真空壓力傳感器安裝在總抽空管上，所述的聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥和防倒流電磁閥的信號(hào) 輸入端均連接在PLC控制器上，所述的真空壓力傳感器的信號(hào)輸出端連接在PLC控制器上。
[0005] 進(jìn)一步為了更好地實(shí)施真空泵系統(tǒng)的對(duì)多個(gè)多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空的效果，該用于 多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置還包括聯(lián)動(dòng)抽真空機(jī)構(gòu)，該聯(lián)動(dòng)抽真空機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)真空泵系 統(tǒng)、聯(lián)動(dòng)防倒流電磁閥和聯(lián)動(dòng)排外閥，多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥的另一端并接在一起后依次連 接聯(lián)動(dòng)防倒流電磁閥、聯(lián)動(dòng)真空泵系統(tǒng)和聯(lián)動(dòng)排外閥后連接至抽空排外管，聯(lián)動(dòng)防倒流電 磁閥也連接在PLC控制器上。
[0006] 進(jìn)一步為了能夠在真空度無法達(dá)到時(shí)起到提示作用，PLC控制器上連接有報(bào)警燈 電路或蜂鳴器響聲提示電路，并且報(bào)警燈電路或蜂鳴器響聲提示電路與總抽空管上的真空 壓力傳感器相對(duì)應(yīng)配合。
[0007] 更進(jìn)一步，所述的多晶爐設(shè)置有9個(gè)或11個(gè)或13個(gè)，所述的抽真空結(jié)構(gòu)也具有相 應(yīng)的9個(gè)或11個(gè)或13個(gè)。
[0008] 采用了上述技術(shù)方案后，防倒流電磁閥用于控制相應(yīng)的真空泵系統(tǒng)停止運(yùn)行后的 大氣倒流，通過多晶爐相對(duì)應(yīng)的聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥的關(guān)閉自動(dòng)脫離連動(dòng)系統(tǒng)并啟動(dòng)該多晶爐 的抽真空機(jī)構(gòu)，以保證機(jī)器的正常運(yùn)行；在生產(chǎn)過程中，如果出現(xiàn)一臺(tái)真空泵系統(tǒng)抽空不能 滿足多晶爐的生產(chǎn)需求時(shí)，可以同時(shí)開啟兩臺(tái)真空泵系統(tǒng)運(yùn)行，以保證生產(chǎn)機(jī)器正常運(yùn)行， 從而降低能耗。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 圖1為本實(shí)用新型的用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置的結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖；
[0010] 圖2為本實(shí)用新型的用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置的安裝示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0011] 為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施案例并結(jié)合附 圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0012] 如圖1、2所示，一種用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，包括多組抽真空機(jī)構(gòu)，多組抽 真空機(jī)構(gòu)和多個(gè)多晶爐1--對(duì)應(yīng)，抽真空機(jī)構(gòu)包括真空泵系統(tǒng)2、防倒流電磁閥3和排外 閥4,真空泵系統(tǒng)2的抽真空口連接防倒流電磁閥3后連接至相對(duì)應(yīng)的多晶爐1，真空泵系 統(tǒng)2的出氣口連接排外閥4后連接至抽空排外管5,還包括PLC控制器、真空壓力傳感器10 和多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥6,每個(gè)抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)一個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥6,聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥6 的一端并接在相應(yīng)的多晶爐1和防倒流電磁閥3之間，另一端通過總抽空管11并接在一 起，真空壓力傳感器10安裝在總抽空管11上，聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥6和防倒流電磁閥3的信號(hào) 輸入端均連接在PLC控制器上，真空壓力傳感器10的信號(hào)輸出端連接在PLC控制器上。
[0013] 如圖1、2所示，該用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置還包括聯(lián)動(dòng)抽真空機(jī)構(gòu)，該聯(lián)動(dòng) 抽真空機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)真空泵系統(tǒng)7、聯(lián)動(dòng)防倒流電磁閥8和聯(lián)動(dòng)排外閥9,多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼 球閥6的另一端并接在一起后依次連接聯(lián)動(dòng)防倒流電磁閥8、聯(lián)動(dòng)真空泵系統(tǒng)7和聯(lián)動(dòng)排外 閥9后連接至抽空排外管5,聯(lián)動(dòng)防倒流電磁閥8也連接在PLC控制器上。如圖1所示，聯(lián) 動(dòng)抽真空機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩路，一用一備，便于維修/維護(hù)/保養(yǎng)。
[0014] 如圖1、2所示，PLC控制器上連接有報(bào)警燈電路或蜂鳴器響聲提示電路，并且報(bào)警 燈電路或蜂鳴器響聲提示電路與總抽空管11上的真空壓力傳感器10相對(duì)應(yīng)配合。
[0015] 多晶爐1設(shè)置有9個(gè)或11個(gè)或13個(gè)，抽真空結(jié)構(gòu)也具有相應(yīng)的9個(gè)或11個(gè)或13 個(gè)，但不限于此。
[0016] 本實(shí)用新型的工作原理如下：
[0017] 當(dāng)真空壓力傳感器10傳送真空壓力指令（O.OOSmbar)至PLC控制器后，以第一 臺(tái)先達(dá)到為優(yōu)先，如1#多晶爐1已經(jīng)達(dá)到正常運(yùn)行條件，PLC控制器優(yōu)先處理，后續(xù)2#、 3#……9# (11#或13#)依次達(dá)到時(shí)，以真空壓力傳感器10將相應(yīng)的信號(hào)反饋至PLC控制 器，PLC控制器以優(yōu)先度處理為準(zhǔn)；如果當(dāng)1#多晶爐1已經(jīng)完成生產(chǎn)周期，其它聯(lián)動(dòng)多晶爐 尚未完成，并正常運(yùn)行時(shí)，根據(jù)PLC的優(yōu)先處理原則，需要自動(dòng)切換至2#或3#或9# (11#或 13#)，以保證多晶爐1抽真空的正常運(yùn)行，并不得出現(xiàn)真空泵系統(tǒng)2運(yùn)行控制混亂的情況發(fā) 生；如果在運(yùn)行過程中，出現(xiàn)有故障，造成其中的一臺(tái)的多晶爐1內(nèi)真空度無法達(dá)到，即超 過0. OOSmbar時(shí)，報(bào)警燈電路或蜂鳴器響聲提示電路會(huì)有相應(yīng)的報(bào)警燈提示或蜂鳴器響聲 提示，直至人為處理并消除該報(bào)警，并通過該多晶爐1相對(duì)應(yīng)的聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥6的關(guān)閉自 動(dòng)脫離連動(dòng)系統(tǒng)并啟動(dòng)該多晶爐的抽真空機(jī)構(gòu)，以保證機(jī)器的正常運(yùn)行；在生產(chǎn)過程中，如 果出現(xiàn)一臺(tái)真空泵系統(tǒng)2抽空不能滿足多晶爐的生產(chǎn)需求時(shí)，可以同時(shí)開啟2臺(tái)或多臺(tái)真 空泵系統(tǒng)運(yùn)行，以保證生產(chǎn)機(jī)器正常運(yùn)行。
[0018] 以上所述的具體實(shí)施案例，對(duì)本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和有益效果 進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施案例而已，并 不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、 改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，包括多組抽真空機(jī)構(gòu)，多組抽真空機(jī)構(gòu)和多個(gè) 多晶爐（1)--對(duì)應(yīng)，抽真空機(jī)構(gòu)包括真空泵系統(tǒng)（2)、防倒流電磁閥（3)和排外閥（4)，真 空泵系統(tǒng)（2)的抽真空口連接防倒流電磁閥（3)后連接至相對(duì)應(yīng)的多晶爐（1)，真空泵系統(tǒng) (2)的出氣口連接排外閥（4)后連接至抽空排外管（5)，其特征在于：還包括PLC控制器、真 空壓力傳感器（10)和多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥（6)，每個(gè)抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)一個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥 (6)，聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥（6)的一端并接在相應(yīng)的多晶爐（1)和防倒流電磁閥（3)之間，另一 端通過總抽空管（11)并接在一起，真空壓力傳感器（10)安裝在總抽空管（11)上，所述的 聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥（6)和防倒流電磁閥（3)的信號(hào)輸入端均連接在PLC控制器上，所述的真 空壓力傳感器（10)的信號(hào)輸出端連接在PLC控制器上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，其特征在于：還包括聯(lián)動(dòng)抽 真空機(jī)構(gòu)，該聯(lián)動(dòng)抽真空機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)真空泵系統(tǒng)（7)、聯(lián)動(dòng)防倒流電磁閥（8)和聯(lián)動(dòng)排外 閥（9)，所述的多個(gè)聯(lián)動(dòng)不銹鋼球閥￠)的另一端并接在一起后依次連接聯(lián)動(dòng)防倒流電磁 閥（8)、聯(lián)動(dòng)真空泵系統(tǒng)（7)和聯(lián)動(dòng)排外閥（9)后連接至抽空排外管（5)，所述的聯(lián)動(dòng)防倒 流電磁閥⑶也連接在PLC控制器上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，其特征在于：所述的PLC 控制器上連接有報(bào)警燈電路或蜂鳴器響聲提示電路，并且報(bào)警燈電路或蜂鳴器響聲提示電 路與總抽空管（11)上的真空壓力傳感器（10)相對(duì)應(yīng)配合。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于多晶爐的聯(lián)動(dòng)抽真空裝置，其特征在于：所述的多 晶爐（1)設(shè)置有9個(gè)或11個(gè)或13個(gè)，所述的抽真空結(jié)構(gòu)也具有相應(yīng)的9個(gè)或11個(gè)或13 個(gè)。
【文檔編號(hào)】F04B49/06GK203906236SQ201420301393
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月6日
【發(fā)明者】夏發(fā)義 申請(qǐng)人:天合光能（常州）科技有限公司