提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，該裝置由內(nèi)而外主要分為液氮層、被抽真空氣體走氣層和絕熱層，液氮層設(shè)置在整個(gè)裝置的最內(nèi)層，絕熱層設(shè)置在三層的最外層，液氮層與絕熱層之間形成的空腔為被抽真空氣體走氣層，被抽真空氣體走氣層與抽真空進(jìn)口和抽真空出口連通。本實(shí)用新型在抽真空的過(guò)程中可以很好的去除水汽，又不增加氣體的阻力，大大提高了抽真空效率的同時(shí)，提高了真空泵油的使用壽命。
【專利說(shuō)明】提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，屬于盛裝高純氣體的氣瓶抽真空處理技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002]高純氣體是常見(jiàn)的工業(yè)氣體，為確保高純氣體的質(zhì)量，盛裝高純氣體的氣瓶要進(jìn)行抽真空處理。一般抽真空時(shí),被抽空間內(nèi)有水氣時(shí),水氣會(huì)隨著被抽氣體進(jìn)入真空泵中，使真空泵油乳化，粘度降低，既降低抽真空效率，又減少真空泵油的使用壽命。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型提供一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，其目的是解決以往在抽真空過(guò)程中出現(xiàn)的水氣會(huì)隨著被抽氣體進(jìn)入真空泵中，使真空泵油乳化、粘度降低、抽真空效率降低和真空泵油的使用壽命降低的問(wèn)題。
[0004]技術(shù)方案:本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，其特征在于:該裝置由內(nèi)而外主要分為液氮層、被抽真空氣體走氣層和絕熱層，液氮層設(shè)置在整個(gè)裝置的最內(nèi)層，絕熱層設(shè)置在三層的最外層，液氮層與絕熱層之間形成的空腔為被抽真空氣體走氣層，被抽真空氣體走氣層與抽真空進(jìn)口和抽真空出口連通。
[0006]液氮層內(nèi)設(shè)置有_196°C的液氮，在液氮層的頂部設(shè)置有液氮進(jìn)口和蒸發(fā)液氮出□。
[0007]在液氮層的外壁還設(shè)置有翅片管。
[0008]絕熱層為多層纏繞的絕熱層，其厚度為δ 100?150mm。
[0009]優(yōu)點(diǎn)及效果:本實(shí)用新型提供一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，該裝置由內(nèi)而外主要分為液氮層、被抽真空氣體走氣層和絕熱層，液氮層設(shè)置在整個(gè)裝置的最內(nèi)層，絕熱層設(shè)置在三層的最外層，液氮層與絕熱層之間形成的空腔為被抽真空氣體走氣層，被抽真空氣體走氣層與抽真空進(jìn)口和抽真空出口連通。
[0010]本實(shí)用新型在抽真空的過(guò)程中可以很好的去除水汽，又不增加氣體的阻力，大大提聞了抽真空效率的同時(shí)，提聞了真空栗油的使用壽命。
[0011]【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】:
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]【具體實(shí)施方式】:下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明:
[0014]如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，該裝置由內(nèi)而外主要分為液氮層1、被抽真空氣體走氣層2和絕熱層3，液氮層I設(shè)置在整個(gè)裝置的最內(nèi)層，絕熱層3設(shè)置在三層的最外層，液氮層I與絕熱層3之間形成的空腔為被抽真空氣體走氣層2，被抽真空氣體走氣層2與抽真空進(jìn)口 6和抽真空出口 7連通。
[0015]液氮層I內(nèi)設(shè)置有_196°C的液氮，在液氮層I的頂部設(shè)置有液氮進(jìn)口 4和蒸發(fā)液氮出口 5。
[0016]在液氮層I的外壁還設(shè)置有翅片管8。
[0017]絕熱層3為多層纏繞的絕熱層，其厚度為δ 100?150_，可用多層纏繞絕熱層并抽至真空度小于3Pa。
[0018]本裝置在安裝在真空泵入口上，使氣體從抽真空進(jìn)口 6進(jìn)入走氣層2內(nèi)，并從抽真空出口 7走出，氣體在走氣層2內(nèi)走過(guò)這個(gè)過(guò)程中，利用液氮層I的液氮的極低溫度即_196°C使氣體中水分被凍結(jié)在液氮層I的外壁上，該外壁還可以裝上翅片管8，用來(lái)增大換熱面積，這樣水氣就不會(huì)進(jìn)入真空泵中，進(jìn)而保障真空泵油的使用壽命及真空泵工作效率。而外層絕熱層3也叫保溫層，其可保證不讓液氮層I內(nèi)的液氮快速蒸發(fā)。延長(zhǎng)液氮的存留時(shí)間。
[0019]本實(shí)用新型的外殼可采用不銹鋼，內(nèi)外拋光。
【權(quán)利要求】
1.一種提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，其特征在于:該裝置由內(nèi)而外主要分為液氮層(I)、被抽真空氣體走氣層(2)和絕熱層(3)，液氮層(I)設(shè)置在整個(gè)裝置的最內(nèi)層，絕熱層(3)設(shè)置在三層的最外層，液氮層(I)與絕熱層(3)之間形成的空腔為被抽真空氣體走氣層(2)，被抽真空氣體走氣層(2)與抽真空進(jìn)口(6)和抽真空出口(7)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，其特征在于:液氮層(I)內(nèi)設(shè)置有_196°C的液氮，在液氮層(I)的頂部設(shè)置有液氮進(jìn)口(4)和蒸發(fā)液氮出口(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，其特征在于:在液氮層(I)的外壁還設(shè)置有翅片管(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高高純氣體氣瓶處理真空泵效率的裝置，其特征在于:絕熱層(3)為多層纏繞的絕熱層，其厚度為δ 100?150mm。
【文檔編號(hào)】F04B37/14GK203835682SQ201420235037
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年5月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月9日
【發(fā)明者】劉雪峰, 張輝, 李小光, 王鵬, 趙大偉 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)洪生氣體有限公司