隔膜真空泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及隔膜真空泵，隔膜真空泵具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí)，具有至少一個(gè)入口閥，所述入口閥用于傳輸將要傳輸?shù)墓に嚉怏w，并且與所述隔膜泵級(jí)相連，以及具有至少一個(gè)用于供應(yīng)平衡氣的氣鎮(zhèn)閥，在所述工藝氣體的流動(dòng)方向上，流過所述氣鎮(zhèn)閥的平衡氣的流動(dòng)路徑通向所述入口閥后面的工藝氣體的流動(dòng)路徑。
【專利說明】隔膜真空泵
[0001]本發(fā)明涉及具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí)(Membranpumpstufe)的隔膜真空泵。
[0002]隔膜真空泵適合于將氣體容積抽真空，在應(yīng)用上，能夠直接連接于將要抽真空的容積，或者能夠作為另一真空泵的低真空泵，該另一真空泵在流動(dòng)方向上連接于隔膜真空泵的上游，例如，對(duì)于渦輪分子泵。為了提供所需的性能特性，隔膜真空泵可以包括一個(gè)或者多個(gè)隔膜泵級(jí)，該隔膜泵級(jí)能夠前后彼此相連或者在流動(dòng)的方向上彼此平行，因此隔膜泵級(jí)能夠串行地或者并行地抽取。
[0003]在已知的隔膜真空泵中，真空泵的泵空間(吸入空間)內(nèi)的水蒸氣的凝結(jié)是有問題的，因?yàn)楸每臻g內(nèi)出現(xiàn)的凝結(jié)對(duì)真空泵的功能安全是有害的，并且會(huì)減少泵的使用壽命。
[0004]為了減少液體的凝結(jié)對(duì)隔膜真空泵的功能安全和使用壽命的影響，可以使用氣鎮(zhèn)裝置將平衡氣(Ballastgas)導(dǎo)入到真空泵的泵空間中。就這點(diǎn)來說，平衡氣用于阻止凝聚的形成，并且能夠去除泵空間內(nèi)已有的凝聚。通過已知的氣鎮(zhèn)裝置，凝聚的形成能夠被阻止，但是不能每時(shí)每處被可靠地阻止，且能夠被供應(yīng)的平衡氣的量也是有限的。進(jìn)一步地，使用已知的氣鎮(zhèn)裝置，通過使用真空泵最終能夠達(dá)到的真空壓強(qiáng)會(huì)增加。
[0005]此外，已知的氣鎮(zhèn)裝置大體上會(huì)增加真空泵所需的建造空間，并且不能夠?qū)崿F(xiàn)平衡氣供應(yīng)的自動(dòng)的實(shí)時(shí)控制。
[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠克服上述缺點(diǎn)的隔膜真空泵。其中，特別的，在不需要降低真空泵的泵性能的情況下，凝聚的形成能夠完全地、可靠地、實(shí)時(shí)地被阻止。
[0007]通過具有權(quán)利要求1的特征的隔膜真空泵來實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)。
[0008]該隔膜真空泵包括至少一個(gè)隔膜泵級(jí)、至少一個(gè)入口閥以及至少一個(gè)氣鎮(zhèn)閥。該入口閥用于使將要輸送的工藝氣體連通隔膜泵級(jí)，該氣鎮(zhèn)閥用于供應(yīng)平衡氣。通過氣鎮(zhèn)閥的平衡氣的流動(dòng)路徑，在工藝氣體的流動(dòng)方向上，通向入口閥之后的工藝氣體的流動(dòng)路徑。
[0009]因?yàn)樵诠に嚉怏w的流動(dòng)方向上，平衡氣的路徑通向入口閥之后的工藝氣體的流動(dòng)路徑，入口閥阻止平衡氣在與工藝氣體流進(jìn)隔膜真空泵的泵入口的相反的方向上流動(dòng)，由此增加了泵最終所能夠達(dá)到的真空壓強(qiáng)。同時(shí)，平衡氣能夠到達(dá)隔膜真空泵的總的泵空間，因此能夠完全地吹掃泵空間，從而有效地防止每處凝聚的形成。在供應(yīng)大量的平衡氣時(shí)，能夠避免降低泵的性能，特別是避免降低最終可達(dá)到的壓強(qiáng)，這能夠可靠、完全地阻止凝聚的形成。
[0010]本發(fā)明有利的實(shí)施例在從屬權(quán)利要求、說明書和附圖中詳細(xì)記載。
[0011]根據(jù)有利的實(shí)施例，平衡氣的流動(dòng)路徑通向直接位于入口閥之后的工藝氣體的流動(dòng)路徑。由此保證真空泵的總的泵空間被供應(yīng)的平衡氣吹掃，從而能夠在泵空間的每處避免凝聚的形成。
[0012]平衡氣的流動(dòng)路徑能夠通向工藝氣體的流動(dòng)路徑，例如，在入口閥和隔膜泵級(jí)的吸入空間之間的連接區(qū)域或連接通道位置，因此，該區(qū)域也能通過平衡氣來吹掃。隔膜泵級(jí)的吸入空間可通過已知的靜止的頭罩和移動(dòng)的隔膜來界定。位于入口閥和吸入空間之間的連接區(qū)域和連接通道，在這種情況下，能夠完全地或者部分地被頭罩界定。
[0013]平衡氣的流動(dòng)路徑也能在工藝氣體連接通道的旁邊直接通向吸入空間，或者平衡氣的流動(dòng)路徑和工藝氣體的流動(dòng)路徑能夠在吸入空間的公共開口處匯合。
[0014]工藝氣體的流動(dòng)路徑能夠通過平衡氣通道，該平衡氣通道優(yōu)選地為至少部分地，特別是全部地被隔膜泵級(jí)的頭罩界定。
[0015]該閥優(yōu)選地為電子致動(dòng)的閥。根據(jù)有利的實(shí)施例，氣鎮(zhèn)閥為電磁閥。該閥能夠在小的建造空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)，并且能夠通過電子控制，從而能夠自動(dòng)致動(dòng)該閥。
[0016]優(yōu)選地提供控制裝置，特別是數(shù)字控制裝置，該控制裝置可操作地連接于氣鎮(zhèn)閥，通過該控制裝置能夠控制氣鎮(zhèn)閥，特別地為電子致動(dòng)，例如，實(shí)現(xiàn)對(duì)閥致動(dòng)的時(shí)間控制。氣鎮(zhèn)閥優(yōu)選為自動(dòng)控制的，因此，氣鎮(zhèn)閥的致動(dòng)發(fā)生在預(yù)先設(shè)定的真空泵的泵操作中，例如為了避免所有時(shí)間內(nèi)的凝聚的形成。例如，在預(yù)設(shè)的吹掃周期內(nèi)，通過平衡氣吹掃泵空間，該過程是自動(dòng)完成的，并且始于真空泵的泵周期的開始。吹掃周期之后是運(yùn)行周期，在運(yùn)行周期中，不再提供平衡氣。
[0017]可以根據(jù)測(cè)量的信號(hào)調(diào)整控制裝置，以致動(dòng)氣鎮(zhèn)閥，該信號(hào)是真空泵的傳感器和/或外置的傳感器提供的，該信號(hào)依賴于測(cè)量參數(shù)，測(cè)量參數(shù)涉及真空泵的操作或者涉及將要產(chǎn)生的真空中的執(zhí)行的進(jìn)程。
[0018]控制單元是可編程的，因此，用戶可以單獨(dú)地預(yù)設(shè)氣鎮(zhèn)閥所需的自動(dòng)致動(dòng)，例如，以可設(shè)置的吹掃周期的形式。
[0019]除了第一隔膜泵級(jí)，真空泵可包含至少一個(gè)另一隔膜泵級(jí)。根據(jù)有利的實(shí)施例，該另一隔膜泵級(jí)連接于工藝氣體流動(dòng)方向的下游，因此，平衡氣首先通過第一泵級(jí)，然后通過連接于下游的另一泵級(jí)。在本實(shí)施例中，由于真空泵的抽取，供應(yīng)到第一隔膜泵級(jí)的吸入空間的平衡氣自動(dòng)地到達(dá)連接于下游的另一泵級(jí)，因此，兩個(gè)泵級(jí)都被吹掃，從而能夠防止凝聚的形成。
[0020]隔膜泵級(jí)還可包括多于兩個(gè)隔膜級(jí)，尤其為3個(gè)，4個(gè)或者總和多于4個(gè)隔膜級(jí)。優(yōu)選地，在這種情況中，氣鎮(zhèn)閥與泵級(jí)相關(guān)聯(lián)，從工藝氣體的流動(dòng)方向看，泵級(jí)設(shè)置在隔膜真空泵的開始處，工藝氣體從隔膜真空泵的泵入口進(jìn)入而不干擾另一泵級(jí)。另一隔膜泵級(jí)能夠連接在工藝氣體流動(dòng)方向上的與氣鎮(zhèn)閥相關(guān)聯(lián)的泵級(jí)的下游，因此，供應(yīng)到第一泵級(jí)的平衡氣還到達(dá)另一泵級(jí)，并在真空泵的操作過程中吹掃泵級(jí)。
[0021]通過氣鎮(zhèn)閥供應(yīng)到泵的平衡氣的氣體量取決于氣鎮(zhèn)閥的導(dǎo)流能力。因此，具有對(duì)應(yīng)的導(dǎo)流能力的氣鎮(zhèn)閥能夠容易地實(shí)現(xiàn)期望的氣流量。為了達(dá)到期望的流量，可以省略額外的真空泵的擋板。
[0022]根據(jù)有利的實(shí)施例，氣鎮(zhèn)閥具有可以調(diào)節(jié)的導(dǎo)流能力。在這種情況中，通過將導(dǎo)流能力設(shè)為預(yù)期的值，可以設(shè)定供應(yīng)到泵的平衡氣的流量。
[0023]由于在工藝氣體的流動(dòng)方向上，在入口閥之后引入平衡氣，可以進(jìn)行具有高平衡氣量的操作，該操作確保了可靠地吹掃總的泵空間，而不需要降低泵的性能。例如，在沒有任何其它氣體負(fù)載，隔膜真空泵的泵吸氣口處的可達(dá)到的最終壓強(qiáng)時(shí)，可以設(shè)置通過氣鎮(zhèn)閥供應(yīng)的平衡氣的流量，使其占據(jù)了多于10%，優(yōu)選地多于20%，特別優(yōu)選地多于30%的真空泵的吸入能力。
[0024]優(yōu)選地，原則上，如果氣鎮(zhèn)閥具有至少兩個(gè)開關(guān)位置，在氣鎮(zhèn)閥的一個(gè)開關(guān)位置，將平衡氣供應(yīng)到真空泵的泵空間，在另一開關(guān)位置，該氣鎮(zhèn)閥形成泵空間的氣密封閉。
[0025]氣鎮(zhèn)閥優(yōu)選地為二位三通閥。本實(shí)施例優(yōu)選地氣鎮(zhèn)閥具有兩個(gè)入口以及一個(gè)出口，該出口可選擇地連接于兩個(gè)入口中的一個(gè)，該連接為通過切換氣鎮(zhèn)閥以導(dǎo)氣的方式進(jìn)行。氣鎮(zhèn)閥的出口優(yōu)選地以導(dǎo)氣的方式連接于泵的泵空間，與此同時(shí)，將平衡氣供應(yīng)到其中的一個(gè)入口，而另一入口優(yōu)選地通過氣密的方式密封。在其中一個(gè)開關(guān)位置，氣鎮(zhèn)因此被供應(yīng)到泵空間，然而，在另一開關(guān)位置，氣鎮(zhèn)閥形成泵空間的氣密封閉。
[0026]可以設(shè)置隔膜泵級(jí)的入口閥和/或隔膜泵級(jí)的出口閥，使得在工藝氣體預(yù)期的流動(dòng)方向上，只通過氣體，并且能夠阻止氣體回流。隔膜泵級(jí)的入口閥和/或出口閥能夠，例如，設(shè)置為氣流控制閥，例如設(shè)置為氣流控制翼型閥。通過在流動(dòng)方向上供應(yīng)入口閥之后的平衡氣，能夠避免與工藝氣體流動(dòng)相反的平衡氣的回流。
[0027]根據(jù)本發(fā)明有利的實(shí)施例，過濾器特別是精濾過濾器被用來過濾工藝氣體。在平衡氣的流動(dòng)方向上，過濾器優(yōu)選地設(shè)置在進(jìn)入工藝氣體的流動(dòng)路徑的平衡氣的流動(dòng)路徑的開口之前。在平衡氣的流動(dòng)方向上，過濾器可以設(shè)置在氣鎮(zhèn)閥之前。因此，氣鎮(zhèn)閥和真空泵的泵空間能夠不受外來污染物的影響。
[0028]本發(fā)明的另一實(shí)施例提供真空泵的驅(qū)動(dòng)單元和氣鎮(zhèn)閥，它們可以通過相同的電壓來致動(dòng)，例如，24V電壓。據(jù)此，可以使用普通的電源單元來提供電力給驅(qū)動(dòng)單元和氣鎮(zhèn)閥。從而能夠減少制造真空泵的工作量。
[0029]本發(fā)明的另一目的是提供一泵裝置，該泵裝置包括至少一個(gè)本發(fā)明所描述的隔膜真空泵，以及另一真空泵，該另一真空泵以導(dǎo)氣的方式串聯(lián)連接隔膜真空泵，并且位于隔膜真空泵的上游。例如，該另一真空泵可以為渦輪分子泵、單級(jí)或多級(jí)羅茨泵、旋片泵、渦旋栗、爪栗、螺旋栗、旋轉(zhuǎn)活塞栗、或尚子吸氣栗。
[0030]隔膜泵優(yōu)選地為連接于上游的另一真空泵的前級(jí)泵。通過氣鎮(zhèn)閥阻止隔膜真空泵內(nèi)的凝聚，因此，不需要增加壓強(qiáng)即可增加操作的安全、可靠性和隔膜真空泵的使用壽命。增加壓強(qiáng)是通過隔膜真空泵提供給另一真空泵的。
[0031]下面通過參考優(yōu)選的實(shí)施例和附圖來描述本發(fā)明。其中:
[0032]圖1本發(fā)明一實(shí)施例的隔膜真空泵的剖視圖。
[0033]圖1所示的隔膜真空泵包括第一隔膜泵級(jí)12和第二隔膜泵級(jí)14，在氣流方向上，第一隔膜泵級(jí)12和第二隔膜泵級(jí)14前后彼此相連，并且它們串聯(lián)地泵動(dòng)。第一泵級(jí)12包括入口 18，入口 18同時(shí)也形成泵的泵入口。用于傳輸將要傳輸?shù)墓に嚉怏w的供給管線60連接于入口 18。例如，供給管線60能夠連接隔膜真空泵到渦輪分子泵的出口側(cè)，渦輪分子泵連接于上游。因此，隔膜真空泵能夠作為渦輪分子泵的前級(jí)泵。
[0034]形成于泵的外殼16內(nèi)的入口通道24從入口 18導(dǎo)向到泵級(jí)12的入口閥20。入口閥20設(shè)置為氣流控制閥，其具有閥板64，并且只允許圖1中箭頭56標(biāo)出的工藝氣體流動(dòng)方向上的氣流。入口閥20優(yōu)選地設(shè)置于界定入口通道24的外殼16的外殼罩和界定泵級(jí)12的吸入空間30的外殼16的頭罩之間，為了簡(jiǎn)化，入口閥20在圖1中不作為分離的部分出現(xiàn)。
[0035]連接通道26以導(dǎo)氣的方式將入口閥20的出口側(cè)連接于泵級(jí)12的吸入空間30。連接通道26設(shè)置在入口閥20的出口側(cè)，并且延伸通過頭罩。吸入空間30通過頭罩和隔膜32來界定，隔膜32通過位于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的曲軸35處的連接桿34來支撐。
[0036]圖1所示的泵還包括氣鎮(zhèn)閥22，氣鎮(zhèn)閥22通過供給管線62供應(yīng)平衡氣。氣鎮(zhèn)閥22為二位三通閥，并包括兩個(gè)入口和一個(gè)出口。氣鎮(zhèn)閥22的出口以導(dǎo)氣的方式連接于平衡氣通道28。平衡氣通道28通過泵級(jí)12的頭罩來界定，并且通向連接通道26。
[0037]氣鎮(zhèn)閥22的一個(gè)入口連接于平衡氣供給管線62，因此，供給管線62在氣鎮(zhèn)閥22的相應(yīng)的開關(guān)位置處互聯(lián)，平衡氣沿箭頭58導(dǎo)向平衡氣通道28，并在該處通過連接通道26導(dǎo)向吸入空間30。氣鎮(zhèn)閥22的另一入口以氣密的方式密封，因此，氣鎮(zhèn)閥22在圖1所示的相應(yīng)的開關(guān)處形成泵空間的氣密封閉。
[0038]氣鎮(zhèn)閥22為電磁閥，并且優(yōu)選地連接到電子控制單元，電子控制單元在圖1中未示，并且自動(dòng)控制氣鎮(zhèn)閥22。圖1中所示的氣鎮(zhèn)閥22在單獨(dú)的平衡氣供給管線62之內(nèi)。實(shí)際上，氣鎮(zhèn)閥22可以固定地連接到隔膜真空泵的外殼16，特別地，連接到外殼蓋，或者連接到第一泵級(jí)12的頭罩，特別地，氣鎮(zhèn)閥22集成到外殼16中。例如，氣鎮(zhèn)閥22能夠在平衡氣通道28的入口處直接連接到外殼16，和/或氣鎮(zhèn)閥22能被全部地或者部分地設(shè)置在氣鎮(zhèn)通道28內(nèi)。
[0039]泵級(jí)12進(jìn)一步包括氣流控制的出口閥36，出口閥36通過設(shè)置在頭罩上的連接通道以導(dǎo)氣的方式連接于吸入空間30。出口閥36僅用于在流56離開吸入空間30的方向上輸送氣體。出口閥36在出口側(cè)連接于泵級(jí)12的出口 38。
[0040]連接管線40連接第一泵級(jí)12的出口 38到第二泵級(jí)14的入口 42，因此，泵級(jí)12、14在流56的方向上前后相連，并且彼此串聯(lián)抽取。原則上，兩個(gè)泵級(jí)也可并聯(lián)連接，因此，它們能夠相互并聯(lián)抽取。為此，也可能連接兩個(gè)泵的各自的入口到真空泵的泵入口，以及連接兩個(gè)泵級(jí)的各自的出口到真空泵的泵出口。
[0041]第二泵級(jí)14與第一泵級(jí)12的設(shè)置大致的相同。氣流控制入口閥44具有閥板68，閥板68連接入口 42到第二泵級(jí)14的吸入空間46。氣流控制入口閥44緊隨第二泵級(jí)14的入口 42設(shè)置。如上關(guān)于第一泵級(jí)12的描述，通過外殼16的頭罩以及隔膜48界定吸入空間44。外殼16的頭罩在圖1中未作為分離部分示出。通過連接桿50將隔膜48連接到轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)曲軸35。第二泵級(jí)14包括出口閥52，出口閥52具有閥板70，通過閥板70能夠?qū)⑽肟臻g46排出的氣體供應(yīng)到第二泵級(jí)的14的出口 54，該出口同時(shí)形成隔膜真空泵的泵出口。
[0042]圖1所示的真空泵的操作的描述如下:
[0043]在真空泵的操作中，曲軸35是被旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)的，因此，連接桿34、50連同固定于兩個(gè)泵級(jí)12、14上的連接桿上的隔膜32、48周期性地上下移動(dòng)，一個(gè)周期包括每個(gè)泵級(jí)12、14的吸入期，其中，將要傳輸?shù)臍怏w通過各自的入口閥20、44吸入空間30、46，隨后是排出期，其中，將要傳輸?shù)臍怏w通過各自的出口閥36、52排出吸入空間30、46，并且經(jīng)由其抽取。在串聯(lián)的抽取操作中，將要傳輸?shù)臍怏w被施加到入口 18，并且通過第一泵，在箭頭56的方向上被首先抽取，隨后通過第二泵級(jí)，將該氣體抽取到出口 54，該過程是通過連接管線40實(shí)現(xiàn)的。
[0044]在泵循環(huán)的最后時(shí)期，氣鎮(zhèn)閥22分別位于圖1所示的開關(guān)位置。在氣鎮(zhèn)閥22的該位置，氣鎮(zhèn)閥22形成泵空間的氣密封閉，因此，沒有平衡氣進(jìn)入泵空間。
[0045]為了避免在真空泵的泵空間中形成凝聚，以及去除任何出現(xiàn)的凝聚，周期性地進(jìn)行吹掃周期，特別是在泵的每個(gè)泵周期的開始，在吹掃周期中，氣鎮(zhèn)閥位于第二開關(guān)位置。
[0046]在氣鎮(zhèn)閥22的第二開關(guān)位置，平衡氣的供給管線62是貫穿的，因此，泵級(jí)12、14通過平衡氣通道28傳輸平衡氣到隔膜真空泵的泵空間，除此之外，施加將要傳輸?shù)臍怏w到入口 18。平衡氣的流動(dòng)路徑通向連接通道26的區(qū)域，并隨后在工藝氣體的流動(dòng)方向上，通向入口閥20后面的工藝氣體的流動(dòng)路徑。設(shè)置在入口閥12、14之后的泵級(jí)12、14的總的泵空間隨后被平衡氣吹掃，因此能夠有效地避免每處的凝聚的形成。
[0047]附圖標(biāo)記列表
[0048]12，14 泵級(jí)
[0049]16 外殼
[0050]18 入口
[0051]20 入口閥
[0052]22 氣鎮(zhèn)閥
[0053]24 入口通道
[0054]26連接通道
[0055]28 平衡氣通道
[0056]30 吸入空間
[0057]32 隔膜
[0058]34連接桿
[0059]35 曲軸
[0060]36 出口閥
[0061]38 出口
[0062]40連接管線
[0063]42 入口
[0064]44 入口閥
[0065]46 吸入空間
[0066]48 隔膜
[0067]50 連接桿
[0068]52 出口閥
[0069]54 出口
[0070]56，58 箭頭
[0071]60工藝氣體供給管線
[0072]62平衡氣供給管線
[0073]64，66，68，70 閥板
【權(quán)利要求】
1.一種隔膜真空泵，具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí)(12)，具有與所述隔膜泵級(jí)(12)相連的至少一個(gè)入口閥(20)，所述入口閥(20)用于傳輸將要傳輸?shù)墓に嚉怏w，以及具有至少一個(gè)用于供應(yīng)平衡氣的氣鎮(zhèn)閥(22)，其特征在于，在所述工藝氣體的流動(dòng)方向上，流過所述氣鎮(zhèn)閥(22)的平衡氣的流動(dòng)路徑通向所述入口閥(20)后面的工藝氣體的流動(dòng)路徑。
2.如權(quán)利要求1所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述平衡氣的流動(dòng)路徑通向直接位于所述入口閥(20)后面的所述工藝氣體的流動(dòng)路徑。
3.如權(quán)利要求1或2所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述氣鎮(zhèn)閥(22)為電磁閥。
4.如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，其特征在于，還包括控制裝置，所述控制裝置可操作地連接于所述氣鎮(zhèn)閥(22)，通過所述控制裝置能夠控制所述氣鎮(zhèn)閥(22)的致動(dòng)。
5.如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，其特征在于，除了具有一個(gè)隔膜泵級(jí)(12)外，還具有至少一個(gè)另一隔膜泵級(jí)(14)，在所述工藝氣體的流動(dòng)方向上，所述另一隔膜泵級(jí)(14)優(yōu)選地連接于所述隔膜泵級(jí)(12)的下游。
6.如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述氣鎮(zhèn)閥(22)具有可調(diào)節(jié)的連接性。
7.如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，其特征在于，所述氣鎮(zhèn)閥(22)為二位三通閥。
8.如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，其特征在于，還包括用于過濾所述平衡氣的過濾器，在所述平衡氣的流動(dòng)方向上，所述過濾器優(yōu)選地位于通向所述工藝氣體流動(dòng)路徑的所述平衡氣流動(dòng)路徑的開口處之前。
9.如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，其特征在于，真空泵的驅(qū)動(dòng)單元和所述氣鎮(zhèn)閥(22)能夠使用相同的電壓來致動(dòng)；和/或 還具有普通的電源單元，用于向所述驅(qū)動(dòng)單元和所述氣鎮(zhèn)閥(22)供電。
10.一種泵裝置，具有至少一個(gè)如上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的隔膜真空泵，且具有另一真空泵，所述另一真空泵以導(dǎo)氣的方式串聯(lián)地連接于所述隔膜真空泵的上游，其特征在于，所述另一隔膜真空泵優(yōu)選地為渦輪分子泵、單級(jí)或多級(jí)羅茨泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵、渦旋泵、爪泵、螺旋泵、旋轉(zhuǎn)活塞泵或離子吸氣泵。
【文檔編號(hào)】F04B45/04GK104279147SQ201410321520
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年7月7日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月5日
【發(fā)明者】索斯藤·布格格拉夫, 于爾根·維斯納 申請(qǐng)人:普發(fā)真空有限公司