技術(shù)編號(hào):5473643
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及隔膜真空泵,隔膜真空泵具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí),具有至少一個(gè)入口閥,所述入口閥用于傳輸將要傳輸?shù)墓に嚉怏w,并且與所述隔膜泵級(jí)相連,以及具有至少一個(gè)用于供應(yīng)平衡氣的氣鎮(zhèn)閥,在所述工藝氣體的流動(dòng)方向上,流過(guò)所述氣鎮(zhèn)閥的平衡氣的流動(dòng)路徑通向所述入口閥后面的工藝氣體的流動(dòng)路徑。專利說(shuō)明隔膜真空泵[0001]本發(fā)明涉及具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí)(Membranpumpstufe)的隔膜真空泵。[0002]隔膜真空泵適合于將氣體容積抽真空,在應(yīng)用上,能夠直接連接于將要...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。