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隔膜真空泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5473643

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本發(fā)明涉及隔膜真空泵,隔膜真空泵具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí),具有至少一個(gè)入口閥,所述入口閥用于傳輸將要傳輸?shù)墓に嚉怏w,并且與所述隔膜泵級(jí)相連,以及具有至少一個(gè)用于供應(yīng)平衡氣的氣鎮(zhèn)閥,在所述工藝氣體的流動(dòng)方向上,流過(guò)所述氣鎮(zhèn)閥的平衡氣的流動(dòng)路徑通向所述入口閥后面的工藝氣體的流動(dòng)路徑。專利說(shuō)明隔膜真空泵[0001]本發(fā)明涉及具有至少一個(gè)隔膜泵級(jí)(Membranpumpstufe)的隔膜真空泵。[0002]隔膜真空泵適合于將氣體容積抽真空,在應(yīng)用上,能夠直接連接于將要...
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