真空泵用零件以及真空泵的制作方法
【專利摘要】提供一種能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面的覆膜的形成處理的真空泵用零件以及真空泵。在由纖維強(qiáng)化復(fù)合材料構(gòu)成的圓筒形的第2圓筒部件（62）的表面上形成有作為涂層層的覆膜、即鍍層（626）的真空泵用零件中，鍍層（626）是經(jīng)過(guò)從圓筒形的第2圓筒部件（62）的表面除去含有脫模劑層（622）的表面部分的除去加工工序，和使除去了含有脫模劑層（622）的表面部分后的第2圓筒部件（62）的表面（63）粗面化的粗面化工序形成的。
【專利說(shuō)明】真空泵用零件以及真空泵

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽(yáng)能電池板制造裝置中作為工藝室或其它密閉室的氣體排氣機(jī)構(gòu)加以利用的真空泵中使用的真空泵用零件以及真空泵，特別是涉及能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面的覆膜的形成處理的真空泵用零件以及真空泵。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為在渦輪分子泵的鋁合金制的旋轉(zhuǎn)翼的下部固定作為纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的FRP (纖維增強(qiáng)塑料)制的圓筒而構(gòu)成螺紋槽泵部的真空泵，公知有專利文獻(xiàn)I及專利文獻(xiàn)2。
[0003]在此，由于這種真空泵需要對(duì)腐蝕性氣體進(jìn)行排氣，所以為了防止各種零件的腐蝕，一般是在其表面實(shí)施由鎳合金等構(gòu)成的耐腐蝕性涂層。
[0004]但是，雖然關(guān)于上述鋁合金制的旋轉(zhuǎn)翼的涂層，公知有若干個(gè)發(fā)明，但關(guān)于相對(duì)于FRP制的圓筒的涂層的發(fā)明則不為人知。
[0005]FRP制的圓筒在其成型時(shí)使用的脫模劑大多附著在其表面上或熔入其中，因此，為了對(duì)其表面進(jìn)行涂層，使作為其涂層材料的鍍層等的覆膜密接在FRP制的圓筒的表面上，事先必須要除去脫模劑。
[0006]尤其是在作為本發(fā)明的對(duì)象的真空泵中，由于需要使FRP制的圓筒高速旋轉(zhuǎn)，所以為了防止作為涂層材料的覆膜脫離FRP制的圓筒的表面，上述事先除去脫模劑的處理是必須的。
[0007]附著在FRP制的圓筒的表面上或融入其中的脫模劑的除去雖然能夠通過(guò)磨石、砂紙或噴丸處理等對(duì)表面進(jìn)行磨削而除去，但在磨削過(guò)度的情況下，存在對(duì)FRP內(nèi)部的纖維帶來(lái)?yè)p壞，引起原材料的強(qiáng)度降低的弊端。
[0008]在這種情況下，由于受到損壞的僅是表面附近的纖維，而不是原材料整體的強(qiáng)度降低，所以是在一般使用下幾乎沒(méi)有影響的水平。但是，在本發(fā)明為對(duì)象的真空泵中，由于如上所述必須使FRP制的圓筒高速旋轉(zhuǎn)，所以若FRP制的圓筒的表面附近的纖維粉碎，則纖維以該粉碎部位為起點(diǎn)飛散，在這種真空泵中產(chǎn)生重大的不良情況。
[0009]但是，在這種真空泵中使用的FRP制的圓筒的表面的脫模劑除去之際，必須滿足以下的條件。
[0010]條件1:嚴(yán)格地管理研磨量，防止FRP制的圓筒的表面附近的纖維損壞。
[0011]條件2:這種FRP制的圓筒大多因成型時(shí)的纖維的卷繞不均勻等表面是起伏的，所以必須進(jìn)行追隨著該表面的起伏的研磨。
[0012]條件3:為了提高脫模劑除去后形成的鍍層的密接度，必須在脫模劑除去后的FRP制的圓筒的表面制作出適當(dāng)大小的凹凸(錨固效果)。
[0013]在此，在用細(xì)的磨粒進(jìn)行研磨的情況下，由于容易管理研磨量而容易滿足條件1，但由于表面的凹凸減小而不容易滿足條件3。
[0014]此外，在用粗的磨粒進(jìn)行研磨的情況下，由于在表面制作出適當(dāng)尺寸的凹凸而容易滿足條件3，但研磨量的管理困難，不容易滿足條件I。
[0015]另一方面，在用中等程度的磨粒進(jìn)行研磨的情況下，條件1、條件3均不容易滿足，難以同時(shí)滿足兩者。
[0016]專利文獻(xiàn)1:日本國(guó)特開(kāi)平7 - 4383號(hào)公報(bào)，
專利文獻(xiàn)2:日本國(guó)特開(kāi)2004 - 278512號(hào)公報(bào)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]本發(fā)明是為了解決這種問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面的覆膜形成處理的真空泵用零件以及真空泵。
[0018]為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的真空泵用零件是具備覆膜的纖維強(qiáng)化復(fù)合材料，其特征在于，前述覆膜是至少經(jīng)過(guò)除去前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面部分的除去加工工序，和使前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面粗面化的粗面化工序形成的。
[0019]在此，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)藥品將前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料溶解，從而除去前述表面部分的處理。
[0020]此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
[0021]此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
[0022]此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理。
[0023]此外，其特征在于，前述粗面化工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
[0024]此外，其特征在于，前述粗面化工序包含通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
[0025]此外，其特征在于，前述粗面化工序包含通過(guò)對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理。
[0026]此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理，或者通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，或者通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，前述粗面化工序使用的前述磨粒的粒徑為在前述除去加工工序中使用的前述磨粒的粒徑的3倍以上。
[0027]此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過(guò)對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理，在前述粗面化工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑為在前述除去加工工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑的3倍以上。
[0028]根據(jù)本發(fā)明，由于在表面形成有覆膜的纖維強(qiáng)化復(fù)合材料中，覆膜是至少經(jīng)過(guò)除去纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面部分的除去加工工序，和使表面粗面化的粗面化工序形成的，所以能夠提供一種不會(huì)對(duì)纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面附近的纖維帶來(lái)?yè)p壞，能夠除去脫模劑，并且能夠形成密接性高的覆膜的真空泵用零件以及真空泵。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1是適用本發(fā)明的真空泵的剖視圖；
圖2是將構(gòu)成圖1所示的真空泵的螺紋槽泵部的第2圓筒部件拔出后表示的立體圖；圖3表示圖2所示的FRP制的圓筒中A表示的部分截面的放大圖，是說(shuō)明本發(fā)明所涉及的除去加工工序、粗面化工序的附圖；
圖4是適用本發(fā)明的其它的真空泵的剖視圖。
[0030]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
1:封裝殼體，IA:泵殼，IB:泵座，IC:凸緣，2:氣體吸氣口，3:氣體排氣口，4:定子柱，5:轉(zhuǎn)子軸，6:轉(zhuǎn)子，60:圓形部件，61:第I圓筒部件，62:第2圓筒部件、圓筒部件，63:端部件，7:軸轂孔，9:轉(zhuǎn)子軸肩部，10:徑向磁力軸承:10A:徑向電磁鐵標(biāo)靶，1B:徑向電磁鐵，1C:徑向方向位移傳感器，11:軸向磁力軸承，IlA:電樞盤(pán)，IlB:軸向電磁鐵，IlC:軸向方向位移傳感器，12:驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，12A:固定體，12B:轉(zhuǎn)動(dòng)體，13:旋轉(zhuǎn)翼，14:固定翼，18:固定部件，19:螺紋槽，Pl:復(fù)合泵(真空泵)，P2:螺紋槽泵(真空泵)，Pt:翼排氣部，Ps:螺紋槽泵部，S:螺紋槽泵流路。

【具體實(shí)施方式】
[0031]以下，參照說(shuō)明書(shū)所附的附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施例詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0032]圖1是適用本發(fā)明的真空泵的剖視圖。該圖的真空泵Pl在半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽(yáng)能電池板制造裝置中作為工藝室或其它的密閉室的氣體排氣機(jī)構(gòu)等加以利用。
[0033]該真空泵Pl在封裝殼體I內(nèi)具有通過(guò)旋轉(zhuǎn)翼13和固定翼14對(duì)氣體進(jìn)行排氣的翼排氣部Pt，和利用螺紋槽19對(duì)氣體進(jìn)行排氣的螺紋槽泵部Ps。
[0034]封裝殼體I成為用螺栓將筒狀的泵殼IA和有底筒狀的泵座IB沿其筒軸方向連結(jié)成一體的有底圓筒形。泵殼IA的上端部作為氣體吸氣口 2開(kāi)口，在泵座IB的下端部側(cè)面設(shè)有氣體排氣口 3。
[0035]氣體吸氣口 2通過(guò)設(shè)在泵殼IA上緣的凸緣IC上的未圖示的螺栓與例如半導(dǎo)體制造裝置的工藝室等高真空的未圖示的密閉室相連。氣體排氣口 3連接成與未圖示的輔助泵連通。在泵殼IA內(nèi)的中央部設(shè)有內(nèi)置各種電裝品的圓筒狀的定子柱4，定子柱4以其下端一側(cè)螺釘固定在泵座IB上的形態(tài)立設(shè)。
[0036]在定子柱4的內(nèi)側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)子軸5，轉(zhuǎn)子軸5配置成其上端部朝向氣體吸氣口 2的方向，其下端部朝向泵座IB的方向。此外，轉(zhuǎn)子軸5的上端部設(shè)成從定子柱4的圓筒上端面向上方突出。
[0037]轉(zhuǎn)子軸5由徑向磁力軸承10和軸向磁力軸承11支撐而能夠徑向和軸向旋轉(zhuǎn)，在該狀態(tài)下被驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。
[0038]驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12為由固定體12A和轉(zhuǎn)動(dòng)體12B構(gòu)成的構(gòu)造，設(shè)在轉(zhuǎn)子軸5的大致中央附近。這種驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的固定體12A配置在定子柱4的內(nèi)側(cè)，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的轉(zhuǎn)動(dòng)體12B一體地裝設(shè)在轉(zhuǎn)子軸5的外周面一側(cè)。
[0039]徑向磁力軸承10在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的上下各配置一組，共計(jì)配置兩組，軸向磁力軸承11在轉(zhuǎn)子軸5的下端部一側(cè)配置一組。
[0040]兩組徑向磁力軸承10、10分別具備安裝在轉(zhuǎn)子軸5的外周面上的徑向電磁鐵標(biāo)靶10A、配置在與其對(duì)置的定子柱4內(nèi)側(cè)面上的多個(gè)徑向電磁鐵10B、以及徑向方向位移傳感器10C。徑向電磁鐵標(biāo)靶1A由將高透磁率材料的鋼板層疊而成的層疊鋼板構(gòu)成，徑向電磁鐵1B穿過(guò)徑向電磁鐵標(biāo)靶1A而用磁力沿徑向吸引轉(zhuǎn)子軸5。
[0041]徑向方向位移傳感器1C檢測(cè)轉(zhuǎn)子軸5的徑向位移。而且，通過(guò)基于徑向方向位移傳感器1C的檢測(cè)值(轉(zhuǎn)子軸5的徑向位移)控制徑向電磁鐵1B的勵(lì)磁電流，轉(zhuǎn)子軸5在徑向規(guī)定位置被磁力支撐而上浮。
[0042]軸向磁力軸承11具備安裝在轉(zhuǎn)子軸5的下端部外周的圓盤(pán)形狀的電樞盤(pán)11A、隔著電樞盤(pán)11A上下對(duì)置的軸向電磁鐵11B、和設(shè)置在稍稍離開(kāi)轉(zhuǎn)子軸5的下端面的位置的軸向方向位移傳感器11C。
[0043]電樞盤(pán)IlA由透磁率高的材料構(gòu)成，上下的軸向電磁鐵IlB用磁力從上下方向吸引電樞盤(pán)11A。軸向方向位移傳感器IlC檢測(cè)轉(zhuǎn)子軸5的軸向位移。而且，通過(guò)基于軸向方向位移傳感器IlC的檢測(cè)值(轉(zhuǎn)子軸5的軸向位移)控制上下的軸向電磁鐵IlB的勵(lì)磁電流，轉(zhuǎn)子軸5在軸向規(guī)定位置被磁力支撐而上浮。
[0044]在前述定子柱4的外側(cè)，作為真空泵P的旋轉(zhuǎn)體設(shè)有轉(zhuǎn)子6。轉(zhuǎn)子6為包圍在定子柱4的外周的圓筒形狀，成為了經(jīng)由位于大致中間的圓環(huán)板狀的圓形部件60，將直徑不同的兩個(gè)筒體(第I筒體61和第2筒體62)沿其軸向連結(jié)的構(gòu)造。
[0045]前述第I圓筒部件61由與圓形部件60相同的材料(例如鋁或者其合金)形成。另一方面，前述第2圓筒部件62由纖維增強(qiáng)塑料(FRP:Fiber Reinforced Plastics)形成。
[0046]此外，前述第I圓筒部件61通過(guò)切削加工等從鋁塊或者其合金塊上切出。在圖1的復(fù)合泵Pl中，前述圓形部件60為在第I圓筒部件61的端部外周設(shè)有凸緣那樣的形態(tài)，與第I圓筒部件61 —同從前述鋁塊或者其合金塊上切出。
[0047]另一方面，前述第2圓筒部件62是在與圓形部件60及第I圓筒部件61分體地形成后，通過(guò)壓入圓形部件60的外周而嵌合地接合的。另外，也可以通過(guò)粘接將第2圓筒部件62接合在圓形部件60的外周。
[0048]在第I圓筒部件61的上端設(shè)有端部件63，轉(zhuǎn)子6和轉(zhuǎn)子軸5經(jīng)由該端部件63而一體化。作為這種一體化的構(gòu)造的一例，在圖1的復(fù)合泵Pl中，在端部件63的中心設(shè)有軸轂孔7，并且在轉(zhuǎn)子軸5的上端部外周形成臺(tái)階狀的肩部(以下稱為“轉(zhuǎn)子軸肩部9”)。而且，轉(zhuǎn)子6與轉(zhuǎn)子軸5的一體化是將比其轉(zhuǎn)子軸肩部9靠上的轉(zhuǎn)子軸5頂端部嵌入端部件63的軸轂孔7中，并且用螺栓將端部件63和轉(zhuǎn)子軸肩部9緊固地固定。
[0049]由前述第I和第2圓筒部件61、62以及圓形部件60構(gòu)成的轉(zhuǎn)子6經(jīng)由轉(zhuǎn)子軸5由徑向磁力軸承10、10及軸向磁力軸承11支撐，能夠繞其軸心(轉(zhuǎn)子軸5)旋轉(zhuǎn)。被支撐的轉(zhuǎn)子6被驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的轉(zhuǎn)子軸5的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而繞其轉(zhuǎn)子軸5旋轉(zhuǎn)。
[0050]因此，在圖1的復(fù)合泵PI中，由轉(zhuǎn)子軸5，徑向磁力軸承1、1和軸向磁力軸承11，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12構(gòu)成的泵支撐系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)作為驅(qū)動(dòng)前述圓形部件60及第I和第2圓筒部件61、62繞其中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)揮功能。
[0051]《翼排氣部Pt的詳細(xì)結(jié)構(gòu)》，在圖1的復(fù)合泵Pl中，轉(zhuǎn)子6的大致中間位置(具體地說(shuō)是圓形部件60的位置，以下也同樣)的上游(從轉(zhuǎn)子6的大致中間位置到轉(zhuǎn)子6的氣體吸氣口 2 —側(cè)端部的范圍，以下也同樣)作為翼排氣部Pt發(fā)揮功能。翼排氣部Pt的詳細(xì)結(jié)構(gòu)如以下所述。
[0052]比轉(zhuǎn)子6的大致中間位置靠上游一側(cè)的轉(zhuǎn)子6構(gòu)成部分、即第I圓筒部件61是作為翼排氣部Pt的旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)的部分，在第I圓筒部件61的外周面上一體地設(shè)有多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13。這多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13以作為轉(zhuǎn)子6的旋轉(zhuǎn)軸心的轉(zhuǎn)子軸5或者封裝殼體I的軸心(以下稱為“泵軸心”)為中心放射狀地排列。
[0053]另一方面，在泵殼IA的內(nèi)周面一側(cè)設(shè)有多個(gè)固定翼14，這多個(gè)固定翼14也以泵軸心為中心放射狀地排列配置。而且，通過(guò)前述那樣的旋轉(zhuǎn)翼13和固定翼14沿著泵軸心交錯(cuò)地配置多級(jí)，形成了翼排氣部Pt。
[0054]任一個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13均是通過(guò)切削加工與第I圓筒部件61的外徑加工部一體地切出形成的葉片狀的切削加工品，以最適于氣體分子的排氣的角度傾斜。此外，任一個(gè)固定翼14也以最適于氣體分子的排氣的角度傾斜。
[0055]《翼排氣部Pt的動(dòng)作說(shuō)明》，在由以上的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的翼排氣部Pt中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12的起動(dòng)，轉(zhuǎn)子軸5、轉(zhuǎn)子6以及多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼13 —體地高速旋轉(zhuǎn)，最上級(jí)的旋轉(zhuǎn)翼13相對(duì)于從氣體吸氣口 2入射的氣體分子賦予從氣體吸氣口 2朝向氣體排氣口 3 —側(cè)的方向的運(yùn)動(dòng)量。具有該排氣方向的運(yùn)動(dòng)量的氣體分子被固定翼14向下一級(jí)的旋轉(zhuǎn)翼13 —側(cè)送入。通過(guò)以上這種運(yùn)動(dòng)量向氣體分子的賦予和送入動(dòng)作重復(fù)地進(jìn)行多級(jí)，氣體吸氣口 2 —側(cè)的氣體分子依次朝向轉(zhuǎn)子6的下游轉(zhuǎn)移，到達(dá)螺紋槽泵部Ps的上游一側(cè)。
[0056]《螺紋槽泵部Ps的詳細(xì)結(jié)構(gòu)》，在圖1的復(fù)合泵Pl中，轉(zhuǎn)子6的大致中間位置的下游(從轉(zhuǎn)子6的大致中間位置到轉(zhuǎn)子6的氣體排氣口 3側(cè)端部的范圍，以下也同樣)作為螺紋槽泵部Ps發(fā)揮功能。螺紋槽泵部Ps的詳細(xì)結(jié)構(gòu)如以下所述。
[0057]比轉(zhuǎn)子6的大致中間靠下游一側(cè)的轉(zhuǎn)子6結(jié)構(gòu)部分、即第2圓筒部件62是作為螺紋槽泵部Ps的旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)的部分，在該第2的圓筒部件62的外周，作為螺紋槽泵部定子設(shè)有筒狀的固定部件18，該筒狀的固定部件(螺紋槽泵部定子)18為包圍在第2圓筒部件62的外周的構(gòu)造。另外，前述固定部件18的下端部由泵座IB支撐。
[0058]在固定部件18與第2圓筒部件62之間設(shè)有螺旋狀的螺紋槽泵流路S。在圖1的例子中，采用了通過(guò)使第2圓筒部件62的外周面為沒(méi)有凹凸的曲面，并且在固定部件18的內(nèi)表面一側(cè)形成螺旋狀的螺紋槽19，在第2圓筒部件62與固定部件18之間形成螺紋槽泵流路S的結(jié)構(gòu)。也可以取代這種結(jié)構(gòu)，而構(gòu)成為通過(guò)將這種螺紋槽19形成在第2圓筒部件62的外周面上，并且使固定部件18的內(nèi)表面為沒(méi)有凹凸的曲面，在第2圓筒部件62與固定部件18之間形成螺紋槽泵流路S。
[0059]前述螺紋槽19形成為向其深度朝向下方而小直徑化的圓錐形狀變化。此外，前述螺紋槽19從固定部件18的上端螺旋狀地刻設(shè)到下端。
[0060]在該螺紋槽泵部Ps中，為了通過(guò)螺紋槽19與第2圓筒部件62外周面的牽引效果而一邊將氣體壓縮一邊移送，所以螺紋槽19的深度設(shè)定成在螺紋槽泵流路S的上游入口一偵U(靠近氣體吸氣口 2的流路開(kāi)口端)最深，在其下游出口一側(cè)(靠近氣體排氣口 3的流路開(kāi)口端)最淺。
[0061]如《螺紋槽泵部Ps的動(dòng)作說(shuō)明》之前的《翼排氣部Pt的動(dòng)作說(shuō)明》一欄中所說(shuō)明的那樣，到達(dá)了螺紋槽泵部Ps的上游一側(cè)的氣體分子進(jìn)一步向螺紋槽泵流路S轉(zhuǎn)移。轉(zhuǎn)移的氣體分子通過(guò)第2圓筒部件62的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的效果、即第2圓筒部件62外周面與螺紋槽19的牽引效果，從過(guò)渡流壓縮成粘性流，并朝向氣體排氣口 3轉(zhuǎn)移，最終通過(guò)未圖示的輔助泵向外部排氣。
[0062]在上述結(jié)構(gòu)的真空泵Pl中，本發(fā)明所涉及的該實(shí)施例的真空泵用零件適用于作為螺紋槽泵部Ps的結(jié)構(gòu)部分的第2圓筒部件62。
[0063]圖2是將構(gòu)成圖1所示的真空泵的螺紋槽泵部Ps的第2圓筒部件62拔出后表示的立體圖，圖3表示圖2所示的FRP制的圓筒中A表示的部分截面的放大圖，是說(shuō)明本發(fā)明所涉及的除去加工工序、粗面化工序的附圖。
[0064]在圖1所示的真空泵中，構(gòu)成螺紋槽泵部Ps的第2圓筒部件62在該實(shí)施例中是由強(qiáng)化材料例如使用碳纖維、母材主要使用環(huán)氧樹(shù)脂的纖維強(qiáng)化復(fù)合材料形成。
[0065]在這種情況下，作為強(qiáng)化材料的強(qiáng)化纖維621如圖3 (A)所示，沿著該第2圓筒部件62的圓周方向卷繞多層。而且，由于該強(qiáng)化纖維621的卷繞不均勻，該第2圓筒部件62的表面不是平坦的，產(chǎn)生了些許的起伏。
[0066]此外，由于該實(shí)施例的第2圓筒部件62是通過(guò)加熱、加圧成型而形成的，所以在脫模時(shí)，如圖3 (A)所示，在其表面上例如形成有附著或熔入了硅系的脫模劑的脫模劑層622。
[0067]該脫模劑層622的存在降低了之后進(jìn)行的作為涂層處理的無(wú)電鍍處理形成的例如由鎳合金構(gòu)成的鍍層的密接度。
[0068]因此，在該實(shí)施例的第2圓筒部件62上，首先執(zhí)行圖3(A)所示的除去含有脫模劑層622的表面部分的除去加工工序。另外，圖3 (B)表示含有脫模劑層622的表面部分除去后的狀態(tài)，實(shí)線所示的面623表示了含有脫模劑層622的表面部分除去后的該第2圓筒部件62的外形面(表面)，點(diǎn)劃線所示的面624表示了含有脫模劑層622的表面部分除去前的該第2圓筒部件62的外形面。
[0069]在該除去加工工序中，含有脫模劑層622的表面部分的除去量必須嚴(yán)格地管理成到達(dá)強(qiáng)化纖維621而不會(huì)切斷大量的強(qiáng)化纖維621。例如，在該除去加工工序中，若含有脫模劑層622的表面部分的除去量到達(dá)強(qiáng)化纖維621，并對(duì)強(qiáng)化纖維621帶來(lái)?yè)p壞，則強(qiáng)化纖維621以該部分為起點(diǎn)剝落并飛散，在這種真空泵中產(chǎn)生重大的不良情況。
[0070]為此，該除去加工工序通過(guò)以下所示的某一種方法進(jìn)行。
[0071]A -1)通過(guò)藥品將含有脫模劑層622的表面部分溶解并除去。
[0072]作為在此使用的藥品，能夠使用三彩化工制的「脫硅」、日動(dòng)化學(xué)工業(yè)制的「斷硅」、金子化學(xué)制的「樹(shù)脂溶解劑纖維素溶劑21系列」等有機(jī)溶劑、鉻酸、高錳酸等。
[0073]A- 2)通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料對(duì)表面進(jìn)行研磨，從而除去含有脫模劑層622的表面部分。
[0074]在此，作為在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料，能夠使用I)在海綿表面粘接有磨粒的研磨材料，2)在尼龍無(wú)紡布上粘接與磨粒的研磨材料，3)將粘接有磨粒的尼龍線捆扎而成的刷子，4)由加有狹縫的磨粒粘接研磨布構(gòu)成的紗布輪等。此外，作為在此使用的磨粒，優(yōu)選從# 240以上的磨粒選擇，例如使用# 600的磨粒。
[0075]A — 3)通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)表面進(jìn)行研磨，從而除去含有脫模劑層622的表面部分。
[0076]該方法為所謂拋光的方法，作為在此使用的磨粒，優(yōu)選從# 240以上的磨粒選擇，例如使用# 600的磨粒。
[0077]A- 4)通過(guò)表面的噴丸加工除去含有脫模劑層622的表面部分。
[0078]在此的噴丸加工是用壓縮空氣將噴丸材料(各種研磨材料等的顆粒)吹噴在制品的表面上，或者用旋轉(zhuǎn)翼連續(xù)投射的氣體噴丸的方法。另外，作為上述噴丸材料，能夠使用鋼砂、鋼丸、鋼絲球、帆土、玻璃珠、娃砂等。此外，也能夠取代上述氣體噴丸，而通過(guò)壓縮空氣將均勻地分散有細(xì)磨粒的加工液高速地吹向工作物表面吹噴的液體珩磨。
[0079]通過(guò)使用上述A — I)至A — 4)的任一種方法，即使在第2圓筒部件62的表面有些許起伏，也能夠追隨著該表面的起伏，不對(duì)強(qiáng)化纖維921帶來(lái)?yè)p壞地進(jìn)行脫模劑層622的除去。
[0080]如圖3(B)所不，若從第2圓筒部件62的表面除去含有脫模劑層622的表面部分，則接著執(zhí)行將圖3 (B)中實(shí)線所示的面623粗面化成圖3 (C)中實(shí)線所示的面625的粗面化工序。
[0081 ] 該粗面化工序通過(guò)以下所示的某一種方法進(jìn)行。
[0082]B -1)通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料對(duì)除去了含有脫模劑層622的表面部分后的表面623進(jìn)行研磨，從而使表面粗面化。
[0083]在此，作為在具有柔軟性的基材上固著有磨粒的研磨材料，與A — 2)同樣，能夠使用I)在海綿表面上粘接有磨粒的研磨材料，2)在尼龍無(wú)紡布上粘接有磨粒的研磨材料，
3)將粘接有研磨的尼龍線捆扎而成的刷子，4)由加有狹縫的磨粒粘接研磨布構(gòu)成的紗布輪等。但是，作為在此使用的磨粒，優(yōu)選從# 180以下的磨粒選擇，例如使用# 100的磨粒。
[0084]B - 2)通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)除去了含有脫模劑層622的表面部分后的表面623進(jìn)行研磨，從而使表面粗面化。
[0085]該方法與A — 3)同樣，是所謂拋光的方法，但作為在此使用的磨粒，優(yōu)選從# 180以下的磨粒選擇，例如使用# 100的磨粒。
[0086]另外，在B — I)或者B — 2)使用的磨粒的粒徑優(yōu)選使用為在A — 2)或者A — 3)使用的磨粒的粒徑的3倍以上的粒徑。
[0087]B - 3)通過(guò)除去了含有脫模劑層622的表面部分后的表面623的噴丸加工，從而使表面粗面化。
[0088]該方法與A — 4)同樣，但在此優(yōu)選使用粒徑為在A — 4)的噴丸加工使用的噴丸材料的粒徑的3倍以上的噴丸材料。
[0089]通過(guò)使用上述B — I)至B — 3)的任一種方法，有效地在第2圓筒部件62的表面上形成圖3 (C)的面625所示的凹凸而被粗面化。
[0090]在該粗面化后的圖3 (C)中實(shí)線所示的第2圓筒部件62的面625上，如圖3 (D)所示，通過(guò)無(wú)電鍍形成作為涂層層的鍍層626。
[0091]該鍍層626通過(guò)形成在面625上的凹凸產(chǎn)生的錨固效果而被強(qiáng)力地密接在第2圓筒部件62的表面上。
[0092]另外，在上述說(shuō)明中，作為除去加工工序表示了 A — I)至A — 4)這四種方法，作為粗面化工序表示了 B — I)至B — 3)這三種方法，但也能夠是上述四種除去加工工序的方法A — I)至A — 4)的某一種與上述三種粗面化工序的方法B — I)至B — 3)的某一種的任意組合。
[0093]此外，在上述實(shí)施例中，作為涂層層的覆膜，表示了形成無(wú)電鍍的鍍層626的情況，但也可以通過(guò)塗裝等形成作為涂層層的覆膜。
[0094]另外，在上述實(shí)施例中，表示了本發(fā)明在具有翼排氣部Pt和螺紋槽泵部Ps的復(fù)合型真空泵中的適用情況，但本發(fā)明也同樣能夠適用于僅由螺紋槽泵構(gòu)成的真空泵中。
[0095]圖4是適用本發(fā)明的其它真空泵P2的剖視圖。
[0096]該圖的真空泵P2為省略了圖1的真空泵Pl中的翼排氣部Pt的形式，作為基本的結(jié)構(gòu)，具備:圓形部件60，驅(qū)動(dòng)圓形部件60繞其中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(具體地說(shuō)是由轉(zhuǎn)子軸5，徑向磁力軸承10、10及軸向磁力軸承11，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)12構(gòu)成的泵支撐系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng))，接合在圓形部件60的外周的圓筒部件62，包圍在圓筒部件62的外周、作為螺紋槽泵部定子的固定部件18，以及形成在圓筒部件62與固定部件18之間的螺紋槽泵流路S，由于通過(guò)圓形部件60及圓筒部件62的旋轉(zhuǎn)，通過(guò)螺紋槽泵流路S對(duì)氣體進(jìn)行排氣與圖1的復(fù)合泵Pl同樣，所以對(duì)于相同部件賦予相同的附圖標(biāo)記，省略其詳細(xì)說(shuō)明。
[0097]另外，由圓形部件60和圓筒部件62構(gòu)成的轉(zhuǎn)子6以與圖1的轉(zhuǎn)子6同樣的構(gòu)造與轉(zhuǎn)子軸5 —體化。
[0098]相對(duì)于該圖4所示的真空泵P2的圓筒部件62，與圖1所示的第2圓筒部件62同樣，也能夠適用本發(fā)明。
[0099]本發(fā)明并不僅限于上述的實(shí)施方式，只要是在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思的范圍內(nèi)，根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員的通常的創(chuàng)造能力能夠進(jìn)行更多的變形。
【權(quán)利要求】
1.一種真空泵用零件，是具備覆膜的纖維強(qiáng)化復(fù)合材料，其特征在于，前述覆膜是至少經(jīng)過(guò)除去前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面部分的除去加工工序，和使前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料的表面粗面化的粗面化工序形成的。
2.如權(quán)利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)藥品將前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料溶解，從而除去前述表面部分的處理。
3.如權(quán)利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
4.如權(quán)利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理。
5.如權(quán)利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空泵用零件，其特征在于，前述粗面化工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空泵用零件，其特征在于，前述粗面化工序包含通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理。
8.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空泵用零件，其特征在于，前述粗面化工序包含通過(guò)對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理。
9.如權(quán)利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理，或者通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過(guò)使用在具有柔軟性的基材上固接有磨粒的研磨材料對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，或者通過(guò)在具有柔軟性的基材上涂敷磨粒并對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行研磨，從而使前述表面粗面化的處理，前述粗面化工序使用的前述磨粒粒徑為在前述除去加工工序中使用的前述磨粒的粒徑的3倍以上。
10.如權(quán)利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通過(guò)對(duì)前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而除去前述表面部分的處理，前述粗面化工序包含通過(guò)對(duì)除去了前述表面部分后的前述纖維強(qiáng)化復(fù)合材料進(jìn)行噴丸加工，從而使前述表面粗面化的處理，在前述粗面化工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑為在前述除去加工工序的前述噴丸加工中使用的噴丸材料的粒徑的3倍以上。
11.一種在真空泵中使用的轉(zhuǎn)子，其特征在于，具備前述權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的真空泵用零件。
12.—種真空泵，其特征在于，具備前述權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的真空泵用零 件。
【文檔編號(hào)】F04D19/04GK104471254SQ201380039323
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2013年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月1日
【發(fā)明者】樺澤剛志, 野中學(xué) 申請(qǐng)人:埃地沃茲日本有限公司