專(zhuān)利名稱(chēng)：低溫泵系統(tǒng)及用于低溫泵的再生方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種低溫泵系統(tǒng)及用于低溫泵的再生方法。
背景技術(shù)：
低溫泵為通過(guò)冷凝或吸附將氣體分子捕捉于冷卻至超低溫的低溫板來(lái)排氣的真空泵。低溫泵一般為了實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造工藝等中所要求的清潔的真空環(huán)境而利用。由于低溫泵為所謂的氣體捕集式真空泵，因此需要向外部定期排出捕捉的氣體的再生。為了 排出使用粗抽泵。專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特表平8-507115號(hào)公報(bào)在具有多個(gè)低溫泵的真空系統(tǒng)中，有時(shí)幾個(gè)低溫泵共用粗抽泵。為了整體縮短多個(gè)低溫泵的再生時(shí)間，優(yōu)選并行再生它們。將粗抽泵從某一低溫泵切換為另一低溫泵時(shí)，一般這些低溫泵的壓力是不同的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，其某一方式的例示性目的之一在于緩和多個(gè)低溫泵的壓力差對(duì)再生工藝的影響。本發(fā)明的一種形態(tài)的低溫泵系統(tǒng)具備多個(gè)低溫泵，共用粗抽泵且分別包含粗抽閥；及控制器，為了所述多個(gè)低溫泵的再生而控制各粗抽閥，在封閉已開(kāi)放的粗抽閥和開(kāi)放已封閉的其他粗抽閥之間設(shè)定延遲時(shí)間。本發(fā)明的另一形態(tài)為用于多個(gè)低溫泵的再生方法。該多個(gè)低溫泵連接于共同的粗抽管路。該方法包含進(jìn)行第I粗抽的工序，通過(guò)所述粗抽管路對(duì)低溫泵進(jìn)行排氣；及進(jìn)行第2粗抽的工序，從所述第I粗抽經(jīng)過(guò)延遲時(shí)間，通過(guò)所述粗抽管路對(duì)其他低溫泵進(jìn)行排氣。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠緩和多個(gè)低溫泵的壓力差對(duì)再生工藝的影響。


圖I是示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖2是示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的低溫泵的圖。圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的再生方法的流程圖。圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的控制處理的流程圖。圖中10_低溫泵，11-第I缸，12-第2缸，13-第I冷卻臺(tái)，14-第2冷卻臺(tái)，20-CP控制器，30-低溫泵容器，40-放射屏蔽件，43-制冷機(jī)插通孔，50-制冷機(jī)，60-低溫板，70-通氣閥，72-粗抽閥，73-粗抽泵，90-粗抽管路，92-粗抽配管，100-低溫泵系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式圖I是示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)100的整體結(jié)構(gòu)的圖。低溫泵系統(tǒng)100為了進(jìn)行作為在真空環(huán)境下對(duì)物體進(jìn)行處理的真空處理裝置的真空腔室(未圖示)的真空排氣而使用。真空處理裝置例如為在離子注入裝置或?yàn)R射裝置等的半導(dǎo)體制造工序中使用的裝置。低溫泵系統(tǒng)100包含多臺(tái)低溫泵10。低溫泵10安裝于真空腔室內(nèi)，為了將真空腔室(未圖示)內(nèi)部的真空度提高至所希望的工藝所需的水平而使用。例如可以在真空腔室實(shí)現(xiàn)10_5Pa 10_8Pa左右的高真空度。低溫泵10具備容納其構(gòu)成要件的低溫泵容器30及設(shè)置于泵容器30的粗抽閥72。參考圖2對(duì)一實(shí)施例所涉及的低溫泵10的結(jié)構(gòu)的詳細(xì)內(nèi)容進(jìn)行后述。低溫泵系統(tǒng)100具備低溫泵控制器(以下還稱(chēng)CP控制器)20。CP控制器20控制 低溫泵10。即，低溫泵10隨著CP控制器20所決定的控制指令運(yùn)轉(zhuǎn)。CP控制器20還控制粗抽閥72的開(kāi)閉。CP控制器20具備執(zhí)行各種運(yùn)算處理的CPU、儲(chǔ)存各種控制程序的ROM、作為用于儲(chǔ)存數(shù)據(jù)或執(zhí)行程序的作業(yè)區(qū)而利用的RAM、輸入輸出界面、儲(chǔ)存器等。并且，CP控制器20構(gòu)成為還能夠與用于控制真空處理裝置的主控制器(未圖示)通信。CP控制器20與低溫泵10分體或者一體地構(gòu)成。圖I中，用虛線(xiàn)表示低溫泵10與CP控制器20的控制通信線(xiàn)。設(shè)置有用于對(duì)低溫泵10進(jìn)行粗抽的粗抽管路90?？梢杂傻蜏乇孟到y(tǒng)100包括粗抽管路90，也可以由通過(guò)低溫泵系統(tǒng)100排氣的真空處理裝置包括粗抽管路90。粗抽管路90可以為用于進(jìn)行低溫泵系統(tǒng)100和/或真空處理裝置的真空排氣的真空排氣系統(tǒng)的一部分。該真空排氣系統(tǒng)可包括低溫泵系統(tǒng)100。粗抽管路90為了進(jìn)行多個(gè)低溫泵10的粗抽而設(shè)置。多個(gè)低溫泵10連接于共同的粗抽管路90。粗抽管路90包括粗抽泵73和粗抽配管92。粗抽泵73共同設(shè)置于多個(gè)低溫泵10，多個(gè)低溫泵10共用粗抽泵73。可以設(shè)置2臺(tái)以上的粗抽泵73，這些粗抽泵共用于多個(gè)低溫泵10。粗抽泵73可以連接于真空處理裝置的真空腔室，為了進(jìn)行該真空腔室的排氣而使用。粗抽泵73為用于進(jìn)行多個(gè)低溫泵10的真空抽取的真空泵，優(yōu)選為粗泵或干式真空泵。低溫泵10為用于真空腔室的主泵，粗抽泵73為輔助泵。粗抽泵73為，用于向低溫泵10提供低溫泵10的動(dòng)作壓力范圍的低真空區(qū)域，換言之作為低溫泵10的動(dòng)作開(kāi)始?jí)毫Φ幕A(chǔ)壓力水平的真空泵。粗抽泵73能夠從大氣壓對(duì)低溫泵容器30進(jìn)行減壓直到基礎(chǔ)壓力水平?；A(chǔ)壓力水平相當(dāng)于粗抽泵73的高真空區(qū)域，包含于粗抽泵73和低溫泵10的動(dòng)作壓力范圍的重疊部分?；A(chǔ)壓力水平例如在IPa以上IOPa以下的范圍內(nèi)。粗抽配管92連接粗抽泵73和多個(gè)低溫泵10的粗抽閥72。粗抽閥72可看作為粗抽管路90的一部分。粗抽配管92包括粗抽泵配管94、分支部分96及低溫泵配管98。粗抽泵配管94將粗抽泵73連接于分支部分96。低溫泵配管98分別獨(dú)立設(shè)置于多個(gè)低溫泵10，并連接低溫泵10和分支部分96。粗抽閥72和分支部分96通過(guò)低溫泵配管98連接。低溫泵配管98在分支部分96匯合到粗抽泵配管94。分支部分96例如可以為歧管。粗抽配管92的一部分可包含于真空處理裝置中。這樣多個(gè)低溫泵10并列連接于粗抽泵73。通過(guò)多個(gè)低溫泵配管98的排氣流動(dòng)在分支部分96匯集于粗抽泵配管94。粗抽閥72為用于連接或遮斷低溫泵10與粗抽泵73的真空閥。粗抽閥72通過(guò)粗抽配管92連接于粗抽泵73。粗抽泵73和低溫泵容器30通過(guò)打開(kāi)粗抽閥72而連通。粗抽泵73和低溫泵容器30通過(guò)關(guān)閉粗抽閥72而被遮斷。能夠通過(guò)打開(kāi)粗抽閥72并使粗抽泵73進(jìn)行動(dòng)作來(lái)對(duì)低溫泵10的內(nèi)部進(jìn)行減壓直到基礎(chǔ)壓力水平。另外，粗抽閥72可以不必分別安裝于多個(gè)低溫泵10。例如，用于切換特定的至少I(mǎi)個(gè)低溫泵10與粗抽泵73的連接的切換機(jī)構(gòu)可設(shè)置于粗抽管路90的途中?？梢詫⑦@種切換機(jī)構(gòu)看作粗抽閥72。粗抽閥72接受來(lái)自閥控制部例如CP控制器20的開(kāi)放指令而開(kāi)放，接受封閉指令 而封閉。與真空排氣運(yùn)行中的低溫泵10對(duì)應(yīng)的粗抽閥72被封閉，并允許與再生中的低溫泵10對(duì)應(yīng)的粗抽閥72開(kāi)放。粗抽閥72選擇性且排他性開(kāi)放。多個(gè)粗抽閥72不同時(shí)開(kāi)放。即，連接于粗抽泵73的多個(gè)粗抽閥72中的I個(gè)被開(kāi)放時(shí)其他粗抽閥72被封閉。這樣，共同的粗抽泵73對(duì)低溫泵10個(gè)別地進(jìn)行排氣。CP控制器20容許由多個(gè)低溫泵10同時(shí)或并行地進(jìn)行再生。由此，有時(shí)進(jìn)行某一個(gè)低溫泵10的粗抽時(shí)，產(chǎn)生用其他低溫泵10執(zhí)行粗抽的要求。因此，CP控制器20調(diào)整多個(gè)低溫泵10的粗抽順序。例如，當(dāng)產(chǎn)生用多個(gè)低溫泵10執(zhí)行粗抽的要求時(shí)，CP控制器20按產(chǎn)生要求的順序依次執(zhí)行粗抽。CP控制器20禁止其他低溫泵10的粗抽，直至某一個(gè)低溫泵10完成執(zhí)行中的粗抽。當(dāng)此期間還產(chǎn)生用其他低溫泵10執(zhí)行粗抽的要求時(shí)，禁止該低溫泵10的粗抽，直至完成之前提出粗抽要求的所有低溫泵10的粗抽。CP控制器20可根據(jù)需要替換多個(gè)低溫泵10的粗抽順序。因此，CP控制器20可對(duì)低溫泵10或粗抽執(zhí)行要求設(shè)定優(yōu)先等級(jí)，并根據(jù)其優(yōu)先等級(jí)決定粗抽順序。圖2是示意地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的低溫泵10的圖。低溫泵10包含低溫泵容器30、放射屏蔽件40及制冷機(jī)50。制冷機(jī)50為例如吉福德-麥克馬洪式制冷機(jī)(所謂GM制冷機(jī))等制冷機(jī)。制冷機(jī)50具備第I缸11、第2缸12、第I冷卻臺(tái)13、第2冷卻臺(tái)14、閥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16。第I缸11與第2缸12串聯(lián)連接。在第I缸11的與第2缸12的結(jié)合部側(cè)設(shè)置第I冷卻臺(tái)13，在第2缸12的遠(yuǎn)離第I缸11的一側(cè)的端部設(shè)置第2冷卻臺(tái)14。圖2所示的制冷機(jī)50為二級(jí)式制冷機(jī)，通過(guò)串聯(lián)二級(jí)組合缸來(lái)實(shí)現(xiàn)更低的溫度。制冷機(jī)50通過(guò)制冷劑管18連接于壓縮機(jī)52。壓縮機(jī)52壓縮例如氦等制冷劑氣體，即工作氣體，通過(guò)制冷劑管18供給至制冷機(jī)50。制冷機(jī)50使工作氣體通過(guò)蓄冷器來(lái)進(jìn)行冷卻，并且首先在第I缸11內(nèi)部的膨脹室膨脹，接著在第2缸12內(nèi)部的膨脹室膨脹，由此進(jìn)一步進(jìn)行冷卻。蓄冷器組裝于膨脹室內(nèi)部。由此，設(shè)置于第I缸11的第I冷卻臺(tái)13冷卻至第I冷卻溫度水平，設(shè)置于第2缸12的第2冷卻臺(tái)14冷卻至低于第I冷卻溫度水平的溫度的第2冷卻溫度水平。例如，第I冷卻臺(tái)13冷卻至65K 100K左右，第2冷卻臺(tái)14冷卻至IOK 20K左右。通過(guò)在膨脹室依次膨脹來(lái)吸熱且冷卻各冷卻臺(tái)的工作氣體再次通過(guò)蓄冷器，經(jīng)過(guò)制冷劑管18返回到壓縮機(jī)52。從壓縮機(jī)52到制冷機(jī)50、及從制冷機(jī)50到壓縮機(jī)52的工作氣體的流動(dòng)通過(guò)制冷機(jī)50內(nèi)的回轉(zhuǎn)閥(未圖示)切換。閥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16從外部電源接受電力的供給，使回轉(zhuǎn)閥旋轉(zhuǎn)。CP控制器20根據(jù)第I冷卻臺(tái)13或第2冷卻臺(tái)14的冷卻溫度控制制冷機(jī)50。因此，可以在第I冷卻臺(tái)13或第2冷卻臺(tái)14設(shè)置溫度傳感器(未圖示)。CP控制器20可通過(guò)控制閥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16的運(yùn)行頻率來(lái)控制冷卻溫度。因此，CP控制器20也可具備用于控制閥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16的逆變器。CP控制器20可構(gòu)成為控制壓縮機(jī)52及后述的各閥。圖2所示的低溫泵10為所謂的臥式低溫泵。臥式低溫泵一般是指，制冷機(jī)的第2冷卻臺(tái)14沿著與筒狀放射屏蔽件40的軸向交叉的方向(通常為正交方向)插入于放射屏蔽件40的內(nèi)部的低溫泵。另外，本發(fā)明同樣也能夠應(yīng)用于所謂的立式低溫泵中。立式低溫泵是指沿著放射屏蔽件的軸向插入制冷機(jī)的低溫泵。低溫泵容器30具有形成為一端具有開(kāi)口且另一端堵塞的圓筒狀形狀的部位(以下稱(chēng)為“胴部”)32。該開(kāi)口作為用于接受應(yīng)從連接低溫泵的濺射裝置等的真空腔室排氣的 氣體的泵口 34設(shè)置。泵口 34由低溫泵容器30的胴部32的上端部?jī)?nèi)表面劃分。并且，除了作為泵口 34的開(kāi)口之外，胴部32上還形成有用于插通制冷機(jī)50的開(kāi)口 37。胴部32的開(kāi)口 37上安裝有圓筒狀制冷機(jī)容納部38的一端，另一端安裝于制冷機(jī)50的殼體。制冷機(jī)容納部38容納制冷機(jī)50的第I缸11。并且，在低溫泵容器30的胴部32的上端，朝向徑向外側(cè)延伸有安裝法蘭36。低溫泵10利用安裝法蘭36安裝于安裝端的真空腔室。低溫泵容器30為了隔開(kāi)低溫泵10的內(nèi)部與外部而設(shè)置。如上所述低溫泵容器30包含胴部32和制冷機(jī)容納部38而構(gòu)成，胴部32及制冷機(jī)容納部38的內(nèi)部氣密地保持共同的壓力。由此，低溫泵容器30在低溫泵10的排氣運(yùn)行中作為真空容器發(fā)揮作用。由于低溫泵容器30的外表面在低溫泵10的動(dòng)作中，即制冷機(jī)工作期間也暴露于低溫泵10外部的環(huán)境中，因此維持高于放射屏蔽件40的溫度。典型的有，低溫泵容器30的溫度維持成環(huán)境溫度。在此，環(huán)境溫度是指設(shè)置有低溫泵10的地點(diǎn)的溫度或接近其溫度的溫度，例如室溫左右。并且，在低溫泵容器30的制冷機(jī)容納部38的內(nèi)部設(shè)置有壓力傳感器54。壓力傳感器54周期性測(cè)定制冷機(jī)容納部38的內(nèi)部壓力即低溫泵容器30的壓力，并將表示測(cè)定壓力的信號(hào)輸出至CP控制器20。壓力傳感器54與CP控制器20連接為能夠?qū)ζ漭敵鲞M(jìn)行通信。另外，壓力傳感器54還可以設(shè)置于低溫泵容器30的胴部32。壓力傳感器54具有包含通過(guò)粗抽泵73實(shí)現(xiàn)的基礎(chǔ)壓力水平和大氣壓水平雙方的較寬的測(cè)量范圍。優(yōu)選將至少能夠在再生處理中產(chǎn)生的壓力范圍包含于測(cè)量范圍內(nèi)。在本實(shí)施方式中，優(yōu)選例如使用晶體壓力計(jì)作為壓力傳感器54。晶體壓力計(jì)是指利用水晶振子的振動(dòng)阻力隨壓力而變化的現(xiàn)象來(lái)測(cè)定壓力的傳感器?；蛘?，壓力傳感器54也可以為皮拉尼真空計(jì)。另外，真空水平的測(cè)定用壓力傳感器和大氣壓水平的測(cè)定用壓力傳感器可個(gè)別地設(shè)置于低溫泵10。低溫泵容器30上連接有通氣閥70、粗抽閥72及抽氣閥74。通氣閥70、粗抽閥72及抽氣閥74的開(kāi)閉分別通過(guò)CP控制器20控制。通氣閥70設(shè)置于排出管路80的例如末端?；蛘咄忾y70可設(shè)置于排出管路80的途中，且在末端設(shè)置用于回收被放出的流體的罐等。通過(guò)通氣閥70被開(kāi)閥來(lái)容許排出管路80的流動(dòng)，并通過(guò)通氣閥70被閉閥來(lái)遮斷排出管路80的流動(dòng)。被排出的流體基本上為氣體，但也可以為液體或氣液混合物。例如，被低溫泵10冷凝的氣體的液化物可混合在排出流體中。通過(guò)通氣閥70被開(kāi)閥，能夠向外部釋放在低溫泵容器30的內(nèi)部產(chǎn)生的正壓。排出管路80包含用于從低溫泵10的內(nèi)部空間向外部環(huán)境排出流體的排出導(dǎo)管82。排出導(dǎo)管82例如連接于低溫泵容器30的制冷機(jī)容納部38。排出導(dǎo)管82是與流動(dòng)方向正交的截面為圓形的導(dǎo)管，但也可以具有其他任何截面形狀。排出管路80還可以包含用于從在排出導(dǎo)管82中排出的流體中去除異物的過(guò)濾器。該過(guò)濾器可以在排出管路80中設(shè)置于通氣閥70的上游。通氣閥70構(gòu)成為還作為所謂的安全閥發(fā)揮作用。通氣閥70是設(shè)置于排出導(dǎo)管82的例如常閉型控制閥。通氣閥70進(jìn)一步預(yù)先設(shè)定閉閥力，以便在預(yù)定的差壓起作用時(shí)機(jī)械地開(kāi)閥。該設(shè)定差壓例如能夠考慮可作用于低溫泵容器30的內(nèi)壓或泵容器30的結(jié)構(gòu)上的耐久性等來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。由于低溫泵10的外部環(huán)境通常為大氣壓，所以設(shè)定差壓以大氣壓 為基準(zhǔn)設(shè)定為預(yù)定值。通氣閥70通常在例如如再生中等從低溫泵10放出流體時(shí)，通過(guò)CP控制器20開(kāi)閥。在不該放出時(shí)，通氣閥70通過(guò)CP控制器20閉閥。另一方面，當(dāng)設(shè)定差壓起作用時(shí)，通氣閥70機(jī)械地開(kāi)閥。因此，當(dāng)?shù)蜏乇脙?nèi)部由于某些原因成為高壓時(shí)，無(wú)需進(jìn)行控制而機(jī)械地開(kāi)閥通氣閥70。由此，能夠避免內(nèi)部的高壓。這樣，通氣閥70作為安全閥發(fā)揮作用。如此通過(guò)將通氣閥70兼作安全閥，從而可以得到與分別設(shè)置2個(gè)閥時(shí)相比更加降低成本或節(jié)省空間之類(lèi)的優(yōu)點(diǎn)。抽氣閥74與未圖示的吹掃氣體供給裝置連接。吹掃氣體例如為氮?dú)狻Ｍㄟ^(guò)由CP控制器20控制抽氣閥74來(lái)控制吹掃氣體向低溫泵10的供給。放射屏蔽件40配設(shè)于低溫泵容器30的內(nèi)部。放射屏蔽件40形成為一端具有開(kāi)口且另一端堵塞的圓筒狀形狀，即杯狀形狀。放射屏蔽件40也可以構(gòu)成為如圖2所示的一體的筒狀，另外，也可以構(gòu)成為通過(guò)多個(gè)零件整體上呈筒狀形狀。這些多個(gè)零件也可以相互保持間隙而配設(shè)。低溫泵容器30的胴部32及放射屏蔽件40均形成為大致圓筒狀，并在同軸上配設(shè)。低溫泵容器30的胴部32的內(nèi)徑稍微大于放射屏蔽件40的外徑，放射屏蔽件40在與低溫泵容器30的胴部32的內(nèi)表面之間保持若干間隔而以與低溫泵容器30非接觸的狀態(tài)配置。即，放射屏蔽件40的外表面與低溫泵容器30的內(nèi)表面對(duì)置。另外，低溫泵容器30的胴部32及放射屏蔽件40的形狀并非局限于圓筒形狀，也可以是方柱形狀或橢圓柱形狀等任何截面的筒形狀。典型的放射屏蔽件40的形狀成為與低溫泵容器30的胴部32的內(nèi)表面形狀相似的形狀。放射屏蔽件40作為主要從來(lái)自低溫泵容器30的輻射熱保護(hù)第2冷卻臺(tái)14及熱連接于該第2冷卻臺(tái)的低溫板60的放射屏蔽件設(shè)置。第2冷卻臺(tái)14在放射屏蔽件40的內(nèi)部配置于放射屏蔽件40的大致中心軸上。放射屏蔽件40以熱連接的狀態(tài)固定于第I冷卻臺(tái)13，被冷卻為和第I冷卻臺(tái)13相同程度的溫度。低溫板60例如包含多個(gè)板64。板64例如各自具有圓錐臺(tái)側(cè)面形狀，譬如傘狀的形狀。各板64安裝于在第2冷卻臺(tái)14上安裝的板安裝部件66。各板64上通常設(shè)置有活性炭等吸附劑(未圖示)。吸附劑例如粘結(jié)于板64的背面。多個(gè)板64相互隔開(kāi)間隔安裝于板安裝部件66。多個(gè)板64從泵口 34觀(guān)察時(shí)排列成朝向泵內(nèi)部的方向。為了從來(lái)自真空腔室等的輻射熱保護(hù)第2冷卻臺(tái)14及熱連接于該第2冷卻臺(tái)的低溫板60，在放射屏蔽件40的吸氣口上設(shè)置有擋板62。擋板62例如形成為百葉窗結(jié)構(gòu)或人字形結(jié)構(gòu)。擋板62可以形成為以放射屏蔽件40的中心軸為中心的同心圓狀，或者也可以形成為格子狀等其他形狀。擋板62安裝于放射屏蔽件40的開(kāi)口側(cè)端部，被冷卻為和放射屏蔽件40相同程度的溫度。放射屏蔽件40的側(cè)面上形成有制冷機(jī)安裝孔42。制冷機(jī)安裝孔42關(guān)于放射屏蔽件40的中心軸方向上形成于放射屏蔽件40側(cè)面的中央部。放射屏蔽件40的制冷機(jī)安裝孔42設(shè)置于與低溫泵容器30的開(kāi)口 37相同的軸上。制冷機(jī)50的第2缸12及第2冷卻臺(tái)14從制冷機(jī)安裝孔42沿著與放射屏蔽件40的中心軸方向垂直的方向插入。放射屏蔽件40在制冷機(jī)安裝孔42中以熱連接的狀態(tài)固定于第I冷卻臺(tái)13。以下對(duì)基于上述結(jié)構(gòu)的低溫泵10的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。低溫泵10工作時(shí)，首先在其工 作前通過(guò)粗抽閥72用粗抽泵73將低溫泵容器30的內(nèi)部粗抽至動(dòng)作開(kāi)始?jí)毫槔鏘Pa IOPa左右。壓力通過(guò)壓力傳感器54測(cè)定。之后，啟動(dòng)低溫泵10。在基于CP控制器20的控制下，通過(guò)制冷機(jī)50的驅(qū)動(dòng)冷卻第I冷卻臺(tái)13及第2冷卻臺(tái)14，且還冷卻與這些冷卻臺(tái)熱性連接的放射屏蔽件40、擋板62及低溫板60。被冷卻的擋板62冷卻從真空腔室朝向低溫泵10內(nèi)部飛來(lái)的氣體分子，使在該冷卻溫度下蒸氣壓充分變低的氣體(例如水分等)冷凝在表面上而排氣。在擋板62的冷卻溫度下蒸氣壓不會(huì)充分變低的氣體通過(guò)擋板62進(jìn)入放射屏蔽件40內(nèi)部。進(jìn)入的氣體分子中在低溫板60的冷卻溫度下蒸氣壓充分變低的氣體冷凝在低溫板60的表面上而被排氣。在該冷卻溫度下蒸氣壓也未充分變低的氣體(例如氫等)通過(guò)粘結(jié)于低溫板60的表面并被冷卻的吸附劑吸附而被排氣。這樣，低溫泵10能夠使安裝端的真空腔室的真空度達(dá)到所希望的水平。通過(guò)繼續(xù)進(jìn)行排氣運(yùn)行，低溫泵10中逐漸蓄積氣體。為了向外部排出蓄積的氣體，從開(kāi)始排氣運(yùn)行后經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間時(shí)或滿(mǎn)足預(yù)定的再生開(kāi)始條件時(shí)，進(jìn)行低溫泵10的再生。再生處理包含升溫工序、排出工序及冷卻工序。低溫泵10的再生處理例如通過(guò)CP控制器20控制。CP控制器20判定是否滿(mǎn)足預(yù)定的再生開(kāi)始條件，當(dāng)滿(mǎn)足該條件時(shí)開(kāi)始再生。此時(shí)，CP控制器20中止制冷機(jī)50的低溫板冷卻運(yùn)行，開(kāi)始制冷機(jī)50的升溫運(yùn)行，具體而言開(kāi)始急速升溫。不滿(mǎn)足該條件時(shí)，CP控制器20不開(kāi)始再生，例如繼續(xù)進(jìn)行真空排氣運(yùn)行。圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的再生方法的流程圖。再生處理包含將低溫泵10升溫至高于排氣運(yùn)行中的低溫板溫度的溫度即再生溫度的升溫工序(S10)。圖3所示的再生處理的一例為所謂極限再生。極限再生對(duì)包含低溫泵10的低溫板60及擋板62的所有低溫板進(jìn)行再生。低溫板從用于真空排氣運(yùn)行的冷卻溫度加熱至例如接近常溫的再生溫度(例如約300K)。升溫工序包含逆轉(zhuǎn)升溫。一實(shí)施例中逆轉(zhuǎn)升溫運(yùn)行使制冷機(jī)50內(nèi)的回轉(zhuǎn)閥與冷卻運(yùn)行時(shí)的方向相反地旋轉(zhuǎn)，從而使工作氣體的吸排氣的時(shí)刻相異，以便工作氣體產(chǎn)生絕熱壓縮。由這樣得到的壓縮熱加熱低溫板。
如圖3所不,一實(shí)施例中升溫工序包含急速升溫(Sll)和低速升溫(S12)。急速升溫時(shí)，以較高速將低溫板從冷卻運(yùn)行中的低溫板冷卻溫度加熱至升溫速度切換溫度。低速升溫時(shí)，以低于急速升溫的速度將低溫板從該升溫速度切換溫度加熱至再生溫度。升溫速度切換溫度例如為選自200K 250K的溫度范圍的溫度。另外，這2個(gè)階段的升溫并非必須過(guò)程。可以以恒定升溫速度加熱低溫板，也可為升溫速度劃分成多于2個(gè)階段的多階段的升溫工序。升溫工序中CP控制器20在急速升溫中以高于低速升溫時(shí)的旋轉(zhuǎn)控制閥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16。CP控制器20在急速升溫中判定低溫板溫度的測(cè)定值是否達(dá)到升溫速度切換溫度。CP控制器20繼續(xù)進(jìn)行急速升溫直至達(dá)到該切換溫度，當(dāng)達(dá)到該切換溫度時(shí)從急速升溫切換成低速升溫。CP控制器20在低速升溫中，判定低溫板溫度的測(cè)定值是否達(dá)到再生溫度。CP控制器20繼續(xù)進(jìn)行低速升溫直至達(dá)到再生溫度，當(dāng)達(dá)到再生溫度時(shí)結(jié)束升溫工序，開(kāi)始下一個(gè)排出工序。排出工序從低溫板表面向低溫泵10的外部排出再氣化氣體(S14)。再氣化氣體例如通過(guò)排出管路80或者使用粗抽泵73排出至外部。再氣化氣體根據(jù)需要與通過(guò)抽氣閥74導(dǎo)入的吹掃氣體一同從低溫泵10排出。在排出工序中，可繼續(xù)進(jìn)行制冷機(jī)50的升溫運(yùn)行，·也可停止制冷機(jī)50的運(yùn)行。在一實(shí)施例中，排出工序可包含所謂的粗抽及吹掃工序。其為反復(fù)多次基于粗抽管路90的粗抽和吹掃氣體的導(dǎo)入來(lái)排出氣體的工序。通過(guò)粗抽管路90的低溫泵10的減壓設(shè)定有開(kāi)始?jí)毫徒Y(jié)束壓力。開(kāi)始?jí)毫鐬榇髿鈮骸＝Y(jié)束壓力為高于基礎(chǔ)壓力水平的壓力，例如選自50Pa 500Pa，優(yōu)選選自IOOPa 300Pa的范圍。以下，有時(shí)將該壓力區(qū)域稱(chēng)為準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平。在另外一實(shí)施例中，結(jié)束壓力可以為基礎(chǔ)壓力水平。粗抽及吹掃工序的低溫泵內(nèi)壓在由這種開(kāi)始?jí)毫徒Y(jié)束壓力確定的壓力區(qū)域中往返振動(dòng)。本再生方法包含根據(jù)壓力判定氣體排出完成的壓力上升(build up)判定工序(S16).壓力上升判定在排出工序與冷卻工序之間。壓力上升判定可看作為排出工序的一部分。為了壓力上升判定而封閉包括粗抽閥72在內(nèi)的各閥，并氣密地保持低溫泵容器30。若完成氣體排出(并且嚴(yán)格來(lái)講若沒(méi)有泄露)，則可維持低溫泵容器30的壓力。由此，CP控制器20根據(jù)壓力上升梯度即根據(jù)判定時(shí)間內(nèi)有無(wú)壓力上升來(lái)判定是否完成氣體排出。預(yù)先設(shè)定用于判定有無(wú)壓力上升的壓力閾值。CP控制器20為了壓力上升判定而使用例如基于壓力傳感器54的低溫泵10內(nèi)部的壓力測(cè)定值。當(dāng)壓力上升判定為合格時(shí)即判定為無(wú)壓力上升時(shí)，CP控制器20過(guò)渡至下一個(gè)工序例如冷卻工序，當(dāng)壓力上升判定為不合格時(shí)即判定為有壓力上升時(shí)，返回到排出工序。當(dāng)返回到排出工序時(shí)，CP控制器20只進(jìn)行粗抽來(lái)重新執(zhí)行壓力上升判定，或者進(jìn)行粗抽及吹掃之后執(zhí)行壓力上升判定。在一實(shí)施例中，CP控制器20可以執(zhí)行多階段壓力上升判定。例如，CP控制器20可以執(zhí)行低真空區(qū)域中的第I壓力上升判定及高于該低真空區(qū)域的真空區(qū)域中的第2壓力上升判定。第I壓力上升判定可以為是否能夠保持粗抽及吹掃工序的結(jié)束壓力的判定。換而言之，第I壓力上升判定也可以為是否能夠保持準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平的判定。第I壓力上升判定合格的低溫泵10通過(guò)粗抽管路90減壓至更低壓，例如基礎(chǔ)壓力水平。第2壓力上升判定可以為是否能夠保持基礎(chǔ)壓力水平的判定。第2壓力上升判定合格的低溫泵10過(guò)渡至冷卻工序。任一階段的壓力上升判定中不合格的低溫泵10繼續(xù)進(jìn)行包含壓力上升判定的排出工序。冷卻工序?yàn)榱酥匦麻_(kāi)始真空排気運(yùn)行而再冷卻低溫板(S18)。開(kāi)始制冷機(jī)50的冷卻運(yùn)行。可以在冷卻工序的至少一部分進(jìn)行粗抽，例如可以從開(kāi)始冷卻工序起繼續(xù)進(jìn)行粗抽，直至達(dá)到粗抽結(jié)束壓力或粗抽結(jié)束溫度。CP控制器20判定低溫板溫度的測(cè)定值是否達(dá)到用于真空排気運(yùn)行的低溫板冷卻溫度。CP控制器20繼續(xù)進(jìn)行冷卻工序直至達(dá)到低溫板冷卻溫度，當(dāng)達(dá)到該冷卻溫度時(shí)結(jié)束冷卻工序。從而完成再生處理。重新開(kāi)始低溫泵10的真空排気運(yùn)行。如上所述，CP控制器20容許由多個(gè)低溫泵10同時(shí)或并行進(jìn)行再生。實(shí)際上，由
于應(yīng)在真空處理裝置的停機(jī)時(shí)間或不執(zhí)行真空處理時(shí)進(jìn)行再生，因此經(jīng)常并行再生多個(gè)低溫栗10。為了整體縮短多個(gè)低溫泵10的再生時(shí)間，與每一臺(tái)分別按順序再生相比，優(yōu)選并行再生多個(gè)低溫泵10。如果能夠使多個(gè)低溫泵10的再生處理完全同步且同時(shí)開(kāi)始并完成，則只要同時(shí)開(kāi)閉再生的低溫泵10的粗抽閥72即可。但是，由于想到蓄積于低溫泵10中的氣體量未必分別相等，并且低溫泵10可能也存在個(gè)體差異，因此這種完全同步再生未必一定能現(xiàn)實(shí)。由此，采用多個(gè)低溫泵10的并行再生。并行再生包含將粗抽泵73從某一低溫泵10改接于其他低溫泵10的處理。封閉某一低溫泵10的粗抽閥72并剛結(jié)束粗抽之后的粗抽配管92的壓力處于該粗抽結(jié)束壓力水平。將粗抽配管92的壓力減壓至低于該粗抽結(jié)束壓力水平的壓力水平例如粗抽泵73的到達(dá)真空度時(shí)，需要一些時(shí)間(例如數(shù)秒左右)。根據(jù)在再生的哪一個(gè)階段，每個(gè)低溫泵10的容器內(nèi)壓是不同的。由此，接著進(jìn)行粗抽的低溫泵10的壓力有可能低于粗抽配管92的壓力。這時(shí)，由于粗抽配管92的壓力低溫泵10瞬時(shí)或暫時(shí)升壓。因從粗抽配管92向低溫泵10產(chǎn)生的逆流，粒子還有可能進(jìn)入低溫泵10。因此，本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)100在其他低溫泵10的粗抽時(shí)使接下來(lái)進(jìn)行粗抽的低溫泵10待機(jī)直至該粗抽結(jié)束。而且，即使其他低溫泵10的粗抽完成，也暫時(shí)持續(xù)下一個(gè)低溫泵10的待機(jī)，稍微延遲其粗抽開(kāi)始?？梢栽谶@種低溫泵10的粗抽待機(jī)時(shí)間內(nèi)進(jìn)行不需要粗抽泵73的處理，例如進(jìn)行吹掃氣體的導(dǎo)入或壓力上升判定。為了延遲下一個(gè)低溫泵10的粗抽開(kāi)始，CP控制器20例如當(dāng)存在開(kāi)放的粗抽閥72時(shí)禁止打開(kāi)其他粗抽閥72。而且，CP控制器20即使在關(guān)閉該開(kāi)放的粗抽閥72之后也暫時(shí)持續(xù)禁止其他粗抽閥72的開(kāi)放。S卩，CP控制器20設(shè)定有從關(guān)閉某一粗抽閥72之后至打開(kāi)其他粗抽閥72的延遲時(shí)間或待機(jī)時(shí)間。低溫泵系統(tǒng)100具備多個(gè)包含第I低溫泵和第2低溫泵的低溫泵10。在此為了方便說(shuō)明，將第I低溫泵稱(chēng)為低溫泵A，第2低溫泵稱(chēng)為低溫泵B。并且，將附隨或?qū)?yīng)于低溫泵A的粗抽閥72稱(chēng)為粗抽閥A，附隨或?qū)?yīng)于低溫泵B的粗抽閥72稱(chēng)為粗抽閥B。再生用于低溫泵系統(tǒng)100的多個(gè)低溫泵10的方法包括分別對(duì)低溫泵A及低溫泵B進(jìn)行升溫工序、排出工序及冷卻工序。低溫泵A的排出工序包括通過(guò)粗抽管路90對(duì)低溫泵A進(jìn)行減壓的工序。該減壓工序通過(guò)開(kāi)放粗抽閥A并將低溫泵A連接于粗抽泵73來(lái)開(kāi)始，通過(guò)封閉粗抽閥A并從粗抽管路90遮斷低溫泵A來(lái)結(jié)束。對(duì)于低溫泵A的減壓工序的下一個(gè)工序例如為向低溫泵A的吹掃氣體導(dǎo)入、低溫泵A的壓力上升判定或低溫泵A的冷卻工序。同樣，低溫泵B的排出工序包括通過(guò)粗抽管路90對(duì)低溫泵B進(jìn)行減壓的工序。該減壓工序通過(guò)開(kāi)放粗抽閥B并將低溫泵B連接于粗抽泵73來(lái)開(kāi)始，通過(guò)封閉粗抽閥B并從粗抽管路90遮斷低溫泵B來(lái)結(jié)束。對(duì)于低溫泵B的減壓工序的下一個(gè)工序例如為向低溫泵B的吹掃氣體導(dǎo)入、低溫泵B的壓力上升判定或低溫泵B的冷卻工序。在本發(fā)明的一實(shí)施方式中，關(guān)于低溫泵A與低溫泵B的并行再生，可以繼低溫泵A的減壓工序之后執(zhí)行低溫泵B的減壓工序。如上所述，CP控制器20中在低溫泵A的減壓結(jié)束和低溫泵B的減壓開(kāi)始期間設(shè)定有延遲時(shí)間。由此，從低溫泵A的減壓工序經(jīng)過(guò)延遲時(shí)間后進(jìn)行低溫泵B的減壓工序。具體而言，在封閉已開(kāi)放的粗抽閥A和開(kāi)放已封閉的粗抽閥B之間設(shè)定有延遲時(shí)間，在封閉粗抽閥A之后經(jīng)過(guò)該延遲時(shí)間后開(kāi)放粗抽閥B。在一實(shí)施例中，為了控制上的簡(jiǎn)單化，可以在分別封閉多個(gè)粗抽閥72時(shí)一律適用 這種延遲時(shí)間。延遲時(shí)間可以為預(yù)先設(shè)定的恒定值。延遲時(shí)間根據(jù)粗抽管路90的特性、例如根據(jù)基于粗抽泵73的粗抽配管92的瞬間壓力特性設(shè)定為使粗抽配管92的壓力降低至基礎(chǔ)壓力水平的時(shí)間。延遲時(shí)間例如為10秒以?xún)?nèi)，優(yōu)選為選自I秒 3秒范圍內(nèi)的值。圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的控制處理的流程圖。CP控制器20可以判定延遲允許條件是否成立(S20)。延遲允許條件可包含多個(gè)條件，CP控制器20可以將其中任一條件成立的情況判斷為延遲允許條件成立。當(dāng)延遲允許條件成立時(shí)(S20的是)，CP控制器20使延遲時(shí)間有效(S22)。當(dāng)延遲允許條件未成立時(shí)(S20的否)，CP控制器20使延遲時(shí)間無(wú)效(S24)。即，當(dāng)延遲允許條件成立時(shí)適用延遲，相反則不適用延遲。CP控制器20例如在低溫泵10的再生中周期性重復(fù)執(zhí)行該延遲允許判定處理。延遲時(shí)間在開(kāi)始低溫泵10的再生起至延遲允許條件成立期間無(wú)效，在多個(gè)低溫泵之間的粗抽泵73的改接時(shí)不適用延遲。在延遲允許條件成立期間適用延遲。當(dāng)延遲允許條件不成立時(shí)延遲時(shí)間再次變?yōu)闊o(wú)效，不適用延遲。在再生中每一個(gè)低溫泵通常進(jìn)行多次粗抽。例如低溫泵A處于再生的前半階段且低溫泵B處于再生的后半階段時(shí)，在低溫泵A的粗抽之前低溫泵B至少進(jìn)行I次粗抽。與再生開(kāi)始當(dāng)初相比，在再生處理的最后階段低溫泵內(nèi)壓變低。當(dāng)繼低溫泵A的粗抽之后進(jìn)行低溫泵B的粗抽時(shí)，低溫泵B的壓力有可能低于低溫泵A。例如，低溫泵A處于壓力上升判定前例如在粗抽及吹掃階段且低溫泵B處于壓力上升判定中或判定后階段時(shí)，低溫泵B的粗抽開(kāi)始?jí)毫τ锌赡艿陀诘蜏乇肁的粗抽結(jié)束壓力及在該時(shí)刻時(shí)的粗抽配管壓力。由此，例如可以根據(jù)至少一個(gè)低溫泵10的狀態(tài)，例如在再生處理的哪個(gè)階段來(lái)確定延遲允許條件。這時(shí)，延遲允許條件可包括具有正進(jìn)行壓力上升判定或者已進(jìn)行至少一次壓力上升判定的低溫泵。延遲允許條件可包括多個(gè)低溫泵10中至少一個(gè)在預(yù)先設(shè)定的內(nèi)壓以下。例如，延遲允許條件可包括多個(gè)低溫泵10中至少一個(gè)在準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平或基礎(chǔ)壓力水平。例如，可包括多個(gè)低溫泵10中至少一個(gè)在300Pa以下、200Pa以下、IOOPa以下或50Pa以下。作為低溫泵10的內(nèi)壓，例如可以使用壓力傳感器54的測(cè)定值，也可以使用用于定義粗抽處理的設(shè)定值例如設(shè)定粗抽開(kāi)始?jí)毫蛟O(shè)定粗抽結(jié)束壓力。另外，還可以根據(jù)具有封閉的粗抽閥72的低溫泵10的狀態(tài)及具有其次開(kāi)放的粗抽閥72的低溫泵10的狀態(tài)確定延遲允許條件。這時(shí)，延遲允許條件可包括結(jié)束粗抽的低溫泵10未進(jìn)行壓力上升判定，且接下來(lái)開(kāi)始粗抽的低溫泵正進(jìn)行壓力上升判定或者進(jìn)行至少一次壓力上升判定。延遲允許條件可包括低溫泵B的粗抽開(kāi)始?jí)毫Φ陀诘蜏乇肁的粗抽結(jié)束壓力。即，延遲允許條件可包括具有接下來(lái)開(kāi)放的粗抽閥B的低溫泵B的內(nèi)壓低于具有封閉的粗抽閥A的低溫泵A的內(nèi)壓?？梢栽跅l件上附加連接于粗抽泵73的低溫泵B的內(nèi)壓在準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平或基礎(chǔ)壓力水平。在此，低溫泵10的內(nèi)壓可以為測(cè)定值或者也可以為設(shè)定值。可以使用粗抽配管92的壓力代替由粗抽泵73遮斷的低溫泵10的內(nèi)壓。因此，粗抽管路90可具備用于測(cè)定粗抽配管92的壓力的壓力傳感器或壓力開(kāi)關(guān)。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，從之前已進(jìn)行粗抽的低溫泵10的粗抽結(jié)束之后稍微 延遲接下來(lái)進(jìn)行粗抽的低溫泵10的粗抽開(kāi)始。在這種延遲時(shí)間內(nèi)，粗抽配管92通過(guò)粗抽泵73被充分減壓。由此，能夠防止接下來(lái)開(kāi)始粗抽的低溫泵10基于粗抽配管92的暫時(shí)升壓。還可防止粒子從粗抽配管92進(jìn)入該低溫泵10。上述準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平或者尤其是基礎(chǔ)壓力水平之類(lèi)的對(duì)粗抽泵73來(lái)說(shuō)的高真空區(qū)域中，在減壓時(shí)比壓力低于該高真空區(qū)域的真空區(qū)域(例如大氣壓水平)更花費(fèi)時(shí)間。由此，尤其在這種高真空區(qū)域中假設(shè)產(chǎn)生基于粗抽配管92的暫時(shí)升壓時(shí)，在其恢復(fù)時(shí)需要時(shí)間。延遲時(shí)間例如為數(shù)秒左右，期待比壓力恢復(fù)所需時(shí)間更短。由此，能夠通過(guò)附加延遲時(shí)間來(lái)縮短再生所需的合計(jì)時(shí)間。以上，根據(jù)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明。本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該可以理解可進(jìn)行各種設(shè)計(jì)變更，可實(shí)現(xiàn)各種變形例、及這種變形例也屬于本發(fā)明的范圍內(nèi)。延遲時(shí)間的長(zhǎng)度可未必恒定。例如，可按照延遲粗抽閥72的開(kāi)放的低溫泵10的壓力水平變更延遲時(shí)間。也可按照具有開(kāi)放的粗抽閥的低溫泵與具有封閉的粗抽閥的低溫泵的壓力差變更延遲時(shí)間。并且，當(dāng)在延遲時(shí)間途中粗抽配管92的壓力充分下降時(shí)，可以中斷延遲時(shí)間迅速開(kāi)放下一個(gè)粗抽閥72。
權(quán)利要求
1.一種低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，具備 多個(gè)低溫泵，共用粗抽泵且分別包含粗抽閥 '及 控制器，為了所述多個(gè)低溫泵的再生而控制各粗抽閥， 在封閉已開(kāi)放的粗抽閥和開(kāi)放已封閉的其他粗抽閥之間設(shè)定延遲時(shí)間。
2.如權(quán)利要求I所述的低溫泵系統(tǒng)，其特征在于， 當(dāng)存在預(yù)定內(nèi)壓以下的低溫泵時(shí)，所述控制器使所述延遲時(shí)間有效。
3.如權(quán)利要求I或2所述的低溫泵系統(tǒng)，其特征在于， 當(dāng)具有所述已封閉的其他粗抽閥的低溫泵的內(nèi)壓低于具有所述已開(kāi)放的粗抽閥的低溫泵的內(nèi)壓時(shí)，所述控制器使所述延遲時(shí)間有效。
4.一種用于多個(gè)低溫泵的再生方法，該多個(gè)低溫泵連接于共同的粗抽管路，其特征在于，該方法包含 進(jìn)行第I粗抽的工序，通過(guò)所述粗抽管路對(duì)低溫泵進(jìn)行排氣 '及進(jìn)行第2粗抽的工序，從所述第I粗抽經(jīng)過(guò)延遲時(shí)間，通過(guò)所述粗抽管路對(duì)其他低溫泵進(jìn)行排氣。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于， 該方法還包括以下工序在所述第I粗抽之前，通過(guò)所述粗抽管路對(duì)所述其他低溫泵進(jìn)行排氣，直到壓力低于所述第I粗抽的結(jié)束壓力。
全文摘要
本發(fā)明提供一種緩和多個(gè)低溫泵的壓力差對(duì)再生工藝的影響的低溫泵系統(tǒng)及用于低溫泵的再生方法。低溫泵系統(tǒng)(100)具備共用粗抽泵(73)且分別包含粗抽閥(72)的多個(gè)低溫泵(10)、及為了多個(gè)低溫泵(10)的再生而控制各粗抽閥(72)的CP控制器(20)，在封閉已開(kāi)放的粗抽閥(72)和開(kāi)放已封閉的其他粗抽閥(72)之間設(shè)定延遲時(shí)間。
文檔編號(hào)F04B49/00GK102777346SQ201210146309
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者安東正道 申請(qǐng)人:住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社