技術(shù)編號：5436348
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)低溫泵為通過冷凝或吸附將氣體分子捕捉于冷卻至超低溫的低溫板來排氣的真空泵。低溫泵一般為了實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造工藝等中所要求的清潔的真空環(huán)境而利用。由于低溫泵為所謂的氣體捕集式真空泵，因此需要向外部定期排出捕捉的氣體的再生。為了 排出使用粗抽泵。專利文獻(xiàn)I 日本特表平8-507115號公報(bào)在具有多個(gè)低溫泵的真空系統(tǒng)中，有時(shí)幾個(gè)低溫泵共用粗抽泵。為了整體縮短多個(gè)低溫泵的再生時(shí)間，優(yōu)選并行再生它們。將粗抽泵從某一低溫泵切換為另一低溫泵時(shí)，一...
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