專利名稱：渦輪分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種渦輪分子泵。
背景技術(shù)：
渦輪分子泵使用結(jié)合轉(zhuǎn)子和定子的渦輪葉片進(jìn)行操作，以通過抽空而產(chǎn)生真空。 渦輪葉片繞旋轉(zhuǎn)軸呈放射狀地形成，使得周向速度在葉片的基部與葉片的尖端部之間不 同。鑒于此，對設(shè)計進(jìn)行優(yōu)化，使得在葉片基部與葉片尖端之間的中間點處由葉片角和葉片 間距限定的性能實現(xiàn)目標(biāo)性能。然而，如果渦輪葉片如先前那樣被構(gòu)造成平坦板，則在位于比中間點更遠(yuǎn)的點處， 開口率的增加變得比周向速度的增加大。與中間點處的效果相比，這提高了反流效果。而 破壞了最佳設(shè)計。對于本說明書，當(dāng)從渦輪葉片的軸向向下觀察時，可以看到的相反側(cè)的比 率被稱作開口率。鑒于此，已提出扭轉(zhuǎn)葉片，其中，渦輪葉片的葉片角從葉片基部朝葉片尖端逐漸減 小，以防止外葉片處的開口率增大(例如參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1 未審查專利申請公報02-6138
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明將要解決的問題然而，對于前述的扭轉(zhuǎn)葉片，由于在從葉片的中間區(qū)域至葉片的外尖端的區(qū)域中 將葉片角設(shè)定為最佳，因此，在其中改變?nèi)~片角從而葉片角從葉片基部向葉片尖端逐漸變 小的渦輪葉片的情況下，在其中周向速度小的基部處的葉片角變得太大，這增大了反流對 排氣性能的影響。特別是在伴隨高流速排氣的情況下，當(dāng)分子流靠近中介質(zhì)流時，因反流引 起的排氣性能的下降變得明顯。解決所述問題的方案根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵包括交替地布置的轉(zhuǎn)子和定子的多個節(jié)段，所述轉(zhuǎn)子包 括多個從旋轉(zhuǎn)體呈放射狀地延伸的葉片，所述定子包括多個朝所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)軸呈放射 狀地延伸的葉片，其中，設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子或所述定子中的至少一個上的所述葉片形成為扭 轉(zhuǎn)葉片，通過其中將從所述旋轉(zhuǎn)軸的半徑作為變量的方程式來設(shè)定所述葉片的葉片角，并 且所述葉片角的所述方程式包括第一方程式和第二方程式，所述第一方程式為位于預(yù)定半 徑外的每個葉片提供最佳角度，所述第二方程式提供抑制氣體分子在所述預(yù)定半徑內(nèi)的反 流的葉片角。在根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵的情況下，所述第一方程式中的所述葉片角α滿足 條件a。ut< α ^ α b，所述第二方程式中的所述葉片角α滿足條件α b彡α彡ain，其中， α b是在所述預(yù)定半徑處的葉片角，α in是在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片角，α-是在所述 葉片的最外周處的葉片角。另外，所述式1或式2中的至少任一個包括多個方程式。另外，涉及葉片角α的所述第一方程式被設(shè)定成α = α out ( α b-α out) · (D/Gb。ut)，
3涉及葉片角α的所述第二方程式被設(shè)定成α = ain(ab-aj · (G_D)/Gbin，其中，a b是在 預(yù)定半徑處的葉片角，a in是在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片角，α _是在所述葉片的最外周 處的葉片角，D是距所述葉片最外周的距離，G是所述葉片的長度，Gb。ut是從所述葉片的最 外周到所述預(yù)定半徑的長度，Gbin是從所述葉片的最內(nèi)周到所述預(yù)定半徑的長度。在根據(jù)本發(fā)明的不同模式的渦輪分子泵中，該渦輪分子泵包括交替地布置的轉(zhuǎn)子 和定子的多個節(jié)段，所述轉(zhuǎn)子包括多個從旋轉(zhuǎn)體呈放射狀地延伸的葉片，所述定子包括多 個朝所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)軸呈放射狀地延伸的葉片，其中，所述葉片是扭轉(zhuǎn)葉片，該扭轉(zhuǎn)葉片 的葉片角α在預(yù)定半徑外滿足條件“a。ut< a ≤ a b”，并且在所述預(yù)定半徑內(nèi)滿足條件
a ≤ ain，其中，ab是在所述預(yù)定半徑處的葉片角，ain是在所述葉片的最內(nèi)周處的 葉片角，α _是在所述葉片的最外周處的葉片角。在根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵的情況下，所述轉(zhuǎn)子的所述葉片可以形成為滿足方程 式{Sx-(H/tan αχ)}/2彡{Sy-(H/tan ay)}/2，其中Sx和α χ分別表示在距葉片的最外 周任意距離處葉片的葉片間距和葉片角，Sy和ay分別表示在比所述任意距離小的距離處 的葉片間距和葉片角，H表示葉片的軸向高度。另外，所述轉(zhuǎn)子的所述葉片可以形成為滿足方程式S = Sout-(Sout-Sin) · (D/G)，其 中，S表示在距所述葉片的最外周任意距離處的葉片間距，Sout表示在所述葉片的最外周處 的葉片間距，Sin表示在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片間距。另外，在預(yù)定半徑外可以根據(jù)方程式S = Sout- (Sout-Sb) · (D/Gbout)來設(shè)定 所述轉(zhuǎn)子的所述葉片的所述葉片間距S，并且在所述預(yù)定半徑內(nèi)可以根據(jù)方程式S = Sout-(Sb-Sin) · (D-Gbwt)/Gbin來設(shè)定所述轉(zhuǎn)子的所述葉片的所述葉片間距S，其中，S是在距 所述葉片的最外周任意距離處的葉片間距，S。ut是在所述葉片的最外周處的葉片間距，Sin是 在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片間距，Sb是在所述預(yù)定半徑處的葉片間距。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，在扭轉(zhuǎn)葉片中，葉片的外周的葉片角度可以最佳，同時，改善對葉片 的內(nèi)周處的氣體分子的反流的抑制。


圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵的一個實施方式的剖視圖。圖2(a)示出了轉(zhuǎn)子的俯視圖，圖2(b)是其立體圖。圖3是轉(zhuǎn)子的立體圖。圖4(a)示出了以前的扭轉(zhuǎn)葉片的俯視圖，圖4(b)是其立體圖。圖5示出了半徑Rt與葉片角α之間的關(guān)系。圖5 (a)示出了線性變化的線Ll至 L4。圖5(b)示出了作為曲線變化的線L6。圖6示出了其中沿垂直于軸的方向剖切的轉(zhuǎn)子4B的一部分的剖視圖。圖7是說明加工工具的軌跡的圖。
具體實施例方式接下來參照圖描述用于實現(xiàn)本發(fā)明的最佳模式。第一實施方式
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵的第一實施方式的主體的剖視圖。該渦輪分 子泵包括圖1中所示的泵主體和控制器(未示出)，該控制器向泵主體1供電并且控制泵的 旋轉(zhuǎn)。主泵體1的外殼2在其中包括轉(zhuǎn)子4，該轉(zhuǎn)子4形成多節(jié)段的轉(zhuǎn)子4B和旋轉(zhuǎn)筒狀 單元4D。如圖2所示，在轉(zhuǎn)子4上形成多個葉片40，沿整個外周形成的葉片40形成一個節(jié) 段的轉(zhuǎn)子4B。轉(zhuǎn)子4栓接到軸3。其上固定轉(zhuǎn)子4的軸3通過一對頂部和底部的磁力徑向 軸承7和磁力止推軸承8以非接觸的方式支撐，并且由馬達(dá)M驅(qū)動。轉(zhuǎn)子4由能夠耐受高 速旋轉(zhuǎn)的金屬(諸如鋁合金)制成。多節(jié)段的定子2B和固定筒狀單元9D被布置在泵主體1的基部9上。圖3是定子 2B的立體圖。定子2B包括多個葉片21和呈半環(huán)形的外框架20和內(nèi)框架22。一個節(jié)段的 定子23B通過將一對所述定子2B定位成環(huán)繞轉(zhuǎn)子4而形成。渦輪葉片單元由沿軸向交替 地定位的多節(jié)段的轉(zhuǎn)子4B和多節(jié)段的定子2B構(gòu)成。通過由間隔件2S從上下保持外框架 20，而將多節(jié)段的定子2B保持在外殼2內(nèi)的預(yù)定位置中。分子拖曳泵單元由位于渦輪葉片單元的下游側(cè)的旋轉(zhuǎn)筒狀單元4D和固定筒狀單 元9D構(gòu)成。旋轉(zhuǎn)筒狀單元4D靠近固定筒狀單元9D的內(nèi)周面定位。在固定筒狀單元9D的 內(nèi)周面上形成螺旋槽。固定筒狀單元9D的螺旋槽和高速旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)筒狀單元4D在分子拖 曳泵處產(chǎn)生排氣作用。圖1中所示的聯(lián)接渦輪葉片單元和分子拖曳泵單元的渦輪分子泵被稱作廣域型 渦輪分子泵。通過入口法蘭5流進(jìn)的氣體分子由渦輪葉片沿圖中的向下方向吹送，并且被 壓縮而朝下游側(cè)排出。被壓縮的氣體分子還被分子拖曳泵單元壓縮，并且通過排氣口 6排
出ο在圖1中所示的渦輪分子泵中，扭轉(zhuǎn)葉片(以下被進(jìn)一步描述)使用于從入口法 蘭計前四個節(jié)段的轉(zhuǎn)子4B和定子2B中。使用扭轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)子4B和定子2B的節(jié)段數(shù)基于 所需要的排氣性能而適當(dāng)?shù)卮_定。在描述本實施方式中的扭轉(zhuǎn)葉片的形狀之前，首先參照 圖4和5描述在以前的扭轉(zhuǎn)葉片中發(fā)現(xiàn)的問題。圖4示出了具有先前種類的扭轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)子400的一個實施例。圖4(a)示出了 俯視圖，圖4(b)示出了立體圖。用于形成一個節(jié)段的轉(zhuǎn)子400所需要的多個葉片400繞轉(zhuǎn) 子4的軸J沿轉(zhuǎn)子4的外周呈放射狀地形成。鑒于此，葉片之間的距離S(以下稱為“葉片 間距”)在內(nèi)側(cè)逐漸變小。渦輪分子泵的通常做法是將葉片設(shè)計成使排氣性能在周向速度 較大的半徑Rl外(Rout>R>Rl)最佳，并且可以更容易獲得較高的排氣性能。在扭轉(zhuǎn)葉片的情況下，最外周(葉片尖端)處的葉片角α。ut被設(shè)定成小于最內(nèi)周 (葉片基部)處的葉片角ain。在在用于切削和加工葉片400的加工程序中，使用一個將葉 片角α和葉片間距S作為參數(shù)的加工方程式。以前的通常做法是使用其中將葉片間距S 和葉片角α作為半徑R的函數(shù)來變化的加工方程式進(jìn)行加工。在該情況下，葉片角α被 設(shè)定成從葉片尖端向葉片基部逐漸增大。圖4中所示的轉(zhuǎn)子400是在該條件下進(jìn)行加工。以前，半徑Rt與葉片角α之間的關(guān)系由直線(諸如圖5中的線Li)來表示。在 該情況下，葉片角α相對于半徑R以恒定比率增大。線Ll的斜率被設(shè)定成使排氣性能在 從葉片尖端延伸至接近葉片的中間的某處的區(qū)域Al中最佳。然而，由于葉片角α在位于 區(qū)域Al外的區(qū)域Α2中也以相同的比率增加，因此，存在的問題在于葉片角α因氣體的反
5流效果因此變得太大。通過本實施方式，使位于半徑Rl內(nèi)的區(qū)域A2中的葉片角α根據(jù)與線Ll不同的 線L2至L4而變化。圖5(a)中所示的線L2至L4可以由下列方程式(1)和⑵表示。在 方程式(2)中，設(shè)定ain> %而形成線1^2，設(shè)定Ciin= %而形成線1^3，設(shè)定a in < a b 而形成線L4。(區(qū)域Al) :a = a out ( a b-a。J · (D/Gbout)... (1)(區(qū)域A2) a = a in+(ab-a J · (G-D)/Gbin…(2)在式(1)和(2)中，D、G、Gb。ujPGbin是指圖6中所示的相應(yīng)尺寸，a b表示半徑Rl 處的葉片角。圖6是示出了沿垂直于軸的方向剖切的轉(zhuǎn)子4B的一部分的剖視圖。該剖視 圖的形狀與圖2中所示的葉片40的上端面的形狀相同。剖面中的輪廓線代表由加工工具 所沿的軌跡。如圖6所示，G表示葉片40的長度，Gbout表示從葉片40的最外周(尖端)到 半徑Rl的葉片長度，Gbin表示從葉片40的最內(nèi)周(基部)到半徑Rl的葉片長度。D表示 距最外周的距離。在圖5(a)中，斜L2的斜率(絕對值)小于線Ll的斜率。對于線L3，葉片角α幾 乎恒定。對于線L4，葉片角α被設(shè)定為隨著接近葉片基部(半徑Rin)時變得較小。通過 這樣的方式來設(shè)定葉片角，可以使位于半徑Rl外(R。ut>R彡Rl)的區(qū)域Al(在這里周向 速度較大)中的排氣性能最佳，可易于將排氣性能設(shè)定成正如先前那樣地高，但比以前更 重視抑制氣體流在周向速度較小的區(qū)域A2 (R1 ^ R)中的反流。在圖5(a)中，使用其中葉片角α隨半徑R線性變化的線Ll至線L4。然而，也可 以使用其中葉片角α單調(diào)遞增或單調(diào)遞減的線。還可以改變由圖5(b)中的線L5(其中頂 點位于半徑Rl處)表示的葉片角a。在該情況下，如果葉片間距S的變化如先前那要保持 恒定地進(jìn)行，則與過去一樣，僅需要一個加工方程式，該加工方程式涉及葉片角α和葉片 間距S。以下所示的方程式(3)和(4)是可以同時表示諸如其中線Ll使用于區(qū)域Al中和 線L3或L4使用于區(qū)域A2中的圖5(a)中所示的情形或者其中使用諸如圖5 (b)中所示的 線L5的線的情形。為了說明，區(qū)域Al中的葉片角α被設(shè)定成滿足方程式(3)，而區(qū)域A2 中的葉片角α被設(shè)定成滿足方程式(4)。如果使用滿足這些條件的加工方程式來成形葉片 40，則實現(xiàn)以上所述的操作和效果。a out ^ a ^ a b (區(qū)域 Al)…(3)ab 彡 α 彡 a in (區(qū)域 A2)…(4)當(dāng)根據(jù)圖5(a)中的線L4加工葉片40時，獲得圖2中所示的轉(zhuǎn)子4B。圖2 (a)示 出了俯視圖，而圖2(b)示出了立體圖。在區(qū)域Al中，由于使用以線Ll為特征的加工方程 式來加工圖2中所示的轉(zhuǎn)子4B和圖4中所示的轉(zhuǎn)子400，因此葉片的形狀相同。然而，在區(qū) 域A2中，由于轉(zhuǎn)子4B的葉片角α小于如由線L4所示的轉(zhuǎn)子400的葉片角，因此，開口率 小于傳統(tǒng)轉(zhuǎn)子400的開口率。結(jié)果，在其中周向速度較小的內(nèi)側(cè)的氣體分子的反流可以比 先前被更好地抑制。排氣性能的總體效果得以改善。對于第一實施方式，圖2中所示的定 子2Β的葉片的葉片角被設(shè)定成與轉(zhuǎn)子4Β的葉片40的葉片角相似。對于圖5(a)，加工方程式僅在半徑Rl處改變。然而，只要滿足式(3)和(4)的條 件，在區(qū)域Al內(nèi)或區(qū)域Α2內(nèi)就可以使用多個加工方程式。另外，不存在從區(qū)域Α2描繪區(qū)域Al的半徑Rl的單一值，并且半徑Rl的值基于重視排氣性能(壓縮比、排氣率或其它) 的哪一方面而改變。第二實施方式在前述的第一實施方式下，如圖5所示，使限定葉片角α變化的傾向在半徑Rl 處轉(zhuǎn)換，以抑制內(nèi)側(cè)(區(qū)域Α2)的氣體分子的反流。然而，在其中葉片角α如圖5的線L4 或L5那樣降低的情況下，如果降低率太大，則會發(fā)生這樣的情況，即，當(dāng)從外側(cè)觀看葉片40 時，其中待插入加工工具的內(nèi)側(cè)中的葉片之間的間隙被外側(cè)上的葉片遮擋。如果發(fā)生該情 況，則不可能從外徑方向進(jìn)行加工，并且不得不從軸向來加工轉(zhuǎn)子4Β。然而，如圖1所示，由于轉(zhuǎn)子4Β位于第二節(jié)段至第四節(jié)段的轉(zhuǎn)子4Β的上方，因此， 上葉片與下葉片之間的距離僅略大于定子的一個節(jié)段量的尺寸。鑒于此，很難從軸向加工 轉(zhuǎn)子4Β。因此，在第二模式的情況下，在滿足第一實施方式的條件的同時，葉片的形狀使得 可以從轉(zhuǎn)子的徑向外側(cè)來加工該轉(zhuǎn)子。應(yīng)注意，由于定子2Β可以每次加工一個節(jié)段，因此， 圖3中所示的定子2Β可以比轉(zhuǎn)子4Β更容易地從軸向加工。(第一葉片形狀)第一葉片形狀被設(shè)定成使葉片40的葉片間距S滿足以下方程式(5)。對于圖6中 所示的距葉片40的最外周的距離D，對于滿足關(guān)系Dx < Dy的Dx和Dy的值，將用于距離Dx 的葉片間距設(shè)定成Sx，將用于距離Dy的葉片間距設(shè)定成Sy。H是葉片40沿軸向的高度。{Sx- (H/tan α χ)}彡{Sy-(H/tan α y)}/2— (5)圖7是說明方程式(5)并且示出當(dāng)從外側(cè)看時在距離Dx和Dy處加工工具的軌跡 Tx和Ty的圖。由于葉片40是從外側(cè)加工的，因此，在圖7中，工具在內(nèi)側(cè)的軌跡Tx必須停 留在工具在外側(cè)的軌跡Ty的內(nèi)側(cè)。這里，通過相對于葉片角α設(shè)定如由方程式(5)所限 定的葉片間距S，滿足圖7中所示的關(guān)系，并且可以從外側(cè)加工葉片40。對于葉片角α，其 應(yīng)如由方程式⑴和⑵或者式(3)或(4)的限定來設(shè)定。(第二葉片形狀)第二葉片形狀被設(shè)定成使葉片40的葉片間距S滿足下列方程式(6)。在該設(shè)定 下，由于葉片間距S從外側(cè)向內(nèi)向以恒定比率降低，因此，可以從外側(cè)加工葉片。方程式(6) 涉及葉片間距S，并且應(yīng)如由方程式(1)和(2)或者方程式(3)或(4)的限定來設(shè)定葉片角 α οS = Sout-(Sout-Sin) · (D/G)…(6) (第三葉片形狀)第三葉片形狀被設(shè)定成使葉片40在距離D處的葉片間距S滿足下列方程式(7)和 (8)。Sb是半徑Rl處的葉片間距，并且被設(shè)定成大于最內(nèi)周處的葉片間距Sc (葉片基部)。
(區(qū)域Al) =S = Sout-(Sout-Sb) · (D/Gbout) ... (7) (區(qū)域A2) =S = Sout-(Sb-Sin) · (D-Gbout)/Gbin ... (8)如前所述，在第一實施方式情況下，在對排氣性能具有顯著影響的區(qū)域中(也就 是說，從葉片的外周到葉片的中間(區(qū)域Al))將葉片角設(shè)定成最佳，同時對于氣體分子向 葉片的顯著影響反流的內(nèi)周的反流提供抑制作用。另外，通過如第二實施方式中那樣設(shè)定 葉片間距S，使加工扭轉(zhuǎn)葉片變得簡單。
權(quán)利要求
1.一種渦輪分子泵，該渦輪分子泵包括多個節(jié)段，該多個節(jié)段交替地布置有轉(zhuǎn)子和定子，所述轉(zhuǎn)子具有多個從旋轉(zhuǎn)體呈放射 狀地延伸的葉片，所述定子具有多個朝所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)軸呈放射狀地延伸的葉片，其中，設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子或所述定子中的至少任一個上的所述葉片形成為扭轉(zhuǎn)葉片，通 過其中將距所述旋轉(zhuǎn)軸的半徑方向距離作為變量的方程式來設(shè)定所述葉片的葉片角；并且 所述葉片角的所述方程式包括第一方程式和第二方程式，所述第一方程式為位于預(yù)定半徑 外的每個葉片提供最佳角度，所述第二方程式提供抑制氣體分子在所述預(yù)定半徑內(nèi)的反流 的葉片角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其中，所述第一方程式中的所述葉片角α滿足條件a。ut< α < α b，所述第二方程式 中的所述葉片角α滿足條件α > a in，其中，a b是在所述預(yù)定半徑處的葉片角，a in 是在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片角，a。ut是在所述葉片的最外周處的葉片角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的渦輪分子泵，其中，所述第一方程式或第二方程式的至少 任一個包括多個方程式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其中，涉及葉片角α的所述第一方程式被設(shè) 定成a = a out (ab-aout) · (D/Gb。ut)，涉及葉片角α的所述第二方程式被設(shè)定成a = ain+(ab-aj · (G_D)/Gbin，其中，a b是在所述預(yù)定半徑處的葉片角，ain是在所述葉片的 最內(nèi)周處的葉片角，α _是在所述葉片的最外周處的葉片角，D是距所述葉片最外周的距 離，G是所述葉片的長度，Gb。ut是從所述葉片的最外周到所述預(yù)定半徑的長度，Gbin是從所述 葉片的最內(nèi)周到所述預(yù)定半徑的長度。
5.一種渦輪分子泵，該渦輪分子泵包括交替地布置的轉(zhuǎn)子和定子的多個節(jié)段，所述轉(zhuǎn) 子包括多個從旋轉(zhuǎn)體呈放射狀地延伸的葉片，所述定子包括多個朝所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)軸呈 放射狀地延伸的葉片，其中，所述葉片是扭轉(zhuǎn)葉片，該扭轉(zhuǎn)葉片的葉片角α在預(yù)定半徑外滿足條件 “a out ^ a ^ a b”，并且在所述預(yù)定半徑內(nèi)滿足條件ab≤α≤a in，其中，a b是在所述 預(yù)定半徑處的葉片角，a in是在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片角，α _是在所述葉片的最外周 處的葉片角。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的渦輪分子泵，其中，所述轉(zhuǎn)子的所述葉片形成為 滿足方程式{SX-(H/tan α χ)}/2 ^ {Sy-(H/tan α y)}/2，其中Sx和α x分別表示在距葉 片的最外周任意距離處葉片的葉片間距和葉片角，Sy和ay分別表示在比所述任意距離小 的距離處的葉片間距和葉片角，H表示葉片的軸向高度。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的渦輪分子泵，其中，所述轉(zhuǎn)子的所述葉片形成為滿足方程式S =Sout-(Sout-Sin) · (D/G)，其中，S表示在距所述葉片的最外周任意距離處的葉片間距，Sout 表示在所述葉片的最外周處的葉片間距，Sin表示在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片間距。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的渦輪分子泵，其中，在所述預(yù)定半徑外根據(jù)方程式S= Sout-(Sout-Sb) . (D/Gbout)來設(shè)定所述轉(zhuǎn)子的所述葉片的所述葉片間距S，并且在所述預(yù)定半徑 內(nèi)根據(jù)方程式S = Sout-(Sb-Sin) · (D-Gbwt)/Gbin來設(shè)定所述轉(zhuǎn)子的所述葉片的所述葉片間距 S，其中，S是在距所述葉片的最外周任意距離處的葉片間距，Sout是在所述葉片的最外周處的 葉片間距，Sin是在所述葉片的最內(nèi)周處的葉片間距，Sb是在所述預(yù)定半徑處的葉片間距。
全文摘要
一種渦輪分子泵具有交替地布置有轉(zhuǎn)子和定子的多個節(jié)段。每個轉(zhuǎn)子均具有從旋轉(zhuǎn)體呈放射狀地延伸的葉片。每個定子均具有朝旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)軸呈放射狀地延伸的葉片。設(shè)置在轉(zhuǎn)子或定子中的至少一個上的葉片形成為扭轉(zhuǎn)形狀，通過其中將從旋轉(zhuǎn)軸的半徑作為變量的方程式來設(shè)定葉片角。葉片角的表達(dá)式包括第一表達(dá)式，該第一表達(dá)式為在葉片的預(yù)定半徑的外側(cè)的每個葉片提供最佳角度，葉片角的表達(dá)式還包括第二表達(dá)式，該第二表達(dá)式提供在預(yù)定半徑內(nèi)側(cè)抑制氣體分子反流的葉片角。
文檔編號F04D19/04GK102007298SQ200880128619
公開日2011年4月6日 申請日期2008年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月15日
發(fā)明者大石耕太 申請人:株式會社島津制作所