專利名稱：包括潤滑流體密封裝置和裝配有這種裝置的離心元件的干真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種干真空泵，如旋轉(zhuǎn)葉輪真空泵，特別是多級(jí)類型的真空泵，例如羅 茨(Roots)真空泵或爪式(Scroll)真空泵，或者如渦形真空泵或者螺旋形真空泵。
背景技術(shù)：
通常，這些泵包括串聯(lián)布置的一級(jí)或多級(jí)，其中將被泵送的氣體在氣體入口和氣 體出口之間行進(jìn)或移動(dòng)。 在公知的真空泵中，在具有旋轉(zhuǎn)凸輪或葉輪的那些真空泵(也被稱為具有兩個(gè)或 三個(gè)凸輪(雙凸輪，三凸輪)的"羅茨(Roots)"泵)之間，或具有兩個(gè)凸榫(tongue)的那 些真空泵(也被稱為"爪形(Claw)"泵)之間進(jìn)行區(qū)別。 這些泵在例如文獻(xiàn)US6， 572， 351、 US5， 234， 323、 EPO， 365， 695、 US4， 789， 314和 EPl， 227， 246中描述了。 —般而言，羅茨旋轉(zhuǎn)凸輪泵包括具有相同的截面的兩個(gè)轉(zhuǎn)子，它們以相反的方向 在定子(該泵的主體)中轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，吸入的氣體被捕獲在轉(zhuǎn)子和定子之間建立 的開放空間內(nèi)，并且隨后通過出口排出或溢出。這種泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)在轉(zhuǎn)子和泵的主體之間不存 在任何機(jī)械接觸，這使得壓縮腔中能夠完全不存在油。 兩個(gè)凸榫的爪形泵也包括葉狀轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子在汽缸中以相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，吸入氣體 并壓縮它。然而，凸輪是特定成形的，以確保干壓縮。 轉(zhuǎn)子由轉(zhuǎn)軸支撐，轉(zhuǎn)軸由至少一個(gè)潤滑的軸承支撐，所述軸承例如可以由油或油 脂潤滑。 當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，所述軸在軸承內(nèi)的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生污染物質(zhì)，如油脂粒子或油塊，當(dāng)它們經(jīng)受 壓力變化時(shí)，會(huì)移向泵級(jí)。 因此，沒有油或油脂的痕跡留在泵級(jí)中對(duì)所謂的"干燥"應(yīng)用(如對(duì)制造半導(dǎo)體基 板的工藝或過程)是必須的。 因此，合適的是采用密封裝置將潤滑的軸承與干泵級(jí)隔離，所述軸通過該密封裝 置還能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。 為了對(duì)此進(jìn)行補(bǔ)救，所謂的〃 唇狀(lip) 〃密封環(huán)是已知的。 然而，倚靠轉(zhuǎn)軸的接合處的摩擦使它們變得磨損，并且很快導(dǎo)致密封特性的損耗， 這要求頻繁地維護(hù)真空泵，每次維護(hù)請(qǐng)求都要求半導(dǎo)體制造設(shè)備和真空泵關(guān)閉，這是非常 昂貴的。 而且，泵級(jí)內(nèi)的壓力在高壓和低壓之間頻繁變化，會(huì)引起軸承和泵級(jí)之間的壓力 產(chǎn)生明顯或顯著的差異。 在接合處兩端上的這些壓力的重復(fù)差異還使得它們?cè)馐苓^早的磨損。 其它技術(shù)也是公知的，它們采用動(dòng)態(tài)非接觸接合，允許壓力在軸承和干泵級(jí)之間
的密封區(qū)域的任一側(cè)上保持平衡。
那些非接觸的動(dòng)態(tài)接合采用氣體湍流作為密封手段。然而，這些裝置不能使油或 油脂霧狀物和蒸汽移向泵送區(qū)域。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提出一種干真空泵，其密封裝置極少要求或不要求對(duì)該泵 的維護(hù)任務(wù)，同時(shí)確保泵級(jí)不存在油或油脂，且更特別地，不存在這些污染物質(zhì)的霧狀物或蒸汽。 最終，本發(fā)明公開了一種干真空泵，包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)軸，其安裝在至少一個(gè)潤滑的
軸承上，和至少一個(gè)密封裝置，其用于密封能夠從所述軸承進(jìn)入軸通道的潤滑流體，所述密
封裝置安裝在所述潤滑的軸承和一個(gè)干泵級(jí)之間，其特征在于，所述密封裝置包括離心元
件，所述離心元件安裝為以便在所述軸上一致地旋轉(zhuǎn)并包括能夠?qū)⑺鰸櫥黧w與可以從
所述軸承行進(jìn)或移動(dòng)至所述干泵級(jí)的流體分離的至少一個(gè)直通管線。 優(yōu)選地，所述離心元件還包括放置在所述直通管線內(nèi)的過濾體，如纖維材料。 優(yōu)選地，所述直通管線比所述離心元件的圓周面更靠近所述轉(zhuǎn)軸。 所述直通管線的孔在軸承端的直徑大于在干泵級(jí)端的直徑。 例如，所述直通管線設(shè)計(jì)為形狀形成為類似錐形筒，其尖端位于所述干泵級(jí)端旁 邊。 替換地，所述直通管線的一部分可以設(shè)計(jì)為具有瓶頸，或者所述直通管線可以由
所述離心元件中的形狀形成為類似錐形筒的凹進(jìn)形成，錐形筒的旋轉(zhuǎn)軸線與所述離心元件
的轉(zhuǎn)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)軸線相同，并且其尖端開口進(jìn)入泵級(jí)端上的預(yù)定數(shù)量的孔中。 此外，所述直通管線的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性設(shè)計(jì)成大于形成在所述離心元件的圓周面和
所述定子的內(nèi)壁之間的外圍流體通道的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性。 優(yōu)選地，所述密封裝置包括止回閥，所述止回閥布置為面向所述直通管線的位于 泵級(jí)端的孔。 優(yōu)選地，所述止回閥由安裝為沿所述轉(zhuǎn)軸滑動(dòng)的圓盤形成。
例如，所述外圍通道可以設(shè)計(jì)成包括曲徑密封墊片。 所述曲徑密封墊片可以包括安裝在所述定子內(nèi)的多個(gè)環(huán)，并且所述離心元件的圓 周面具有多個(gè)對(duì)應(yīng)的凹陷。 有利地，每個(gè)環(huán)都是開口的且具有彈性，使得其能夠安裝在所述定子內(nèi)。 優(yōu)選地，在靜止時(shí)每個(gè)環(huán)的外徑大于所述定子的內(nèi)壁的直徑，使得在所述環(huán)插入
所述定子中之后，通過環(huán)的彈力環(huán)被保持緊靠在所述定子的內(nèi)壁上。 所述密封裝置還可以設(shè)計(jì)為包括安裝在軸上位于所述軸承和所述離心元件之間 的偏轉(zhuǎn)裝置。 本發(fā)明還公開了一種潤滑的流體密封裝置離心元件，其設(shè)計(jì)為安裝成以便在潤滑 的軸承和干泵級(jí)之間在干真空泵的轉(zhuǎn)軸上一致地旋轉(zhuǎn)，其特征在于，其至少一個(gè)直通管線， 流體能夠通過至少一個(gè)直通管線從所述軸承行進(jìn)或移動(dòng)至所述干泵級(jí)以便將潤滑流體與 所述流體分離。


通過閱讀本發(fā)明的說明書及附圖，其它優(yōu)點(diǎn)和特征將變得明顯，在附圖中 圖1為本發(fā)明的真空泵的一部分的縱向截面圖， 圖2為本發(fā)明的離心元件的示例性實(shí)施方式的示意性正視圖， 圖3為圖1的真空泵的一部分的縱向截面圖， 圖4、5和6為圖1的真空泵的變形實(shí)施方式的縱向截面圖。 在這些附圖中，相同的元件采用相同的附圖標(biāo)記。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明用于一種干真空泵，干真空泵包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)軸干真空泵，所述至少一個(gè)
轉(zhuǎn)軸由至少一個(gè)潤滑的軸承支撐，和至少一個(gè)密封裝置，其用于密封能夠從軸承進(jìn)入軸通
道的潤滑流體，所述密封裝置安裝在潤滑的軸承和干泵級(jí)之間。 有利的是，，為真空泵中每個(gè)靠近軸承的泵級(jí)設(shè)置一個(gè)密封裝置。 在真空泵中，特別是多級(jí)類型的真空泵(例如羅茨或爪形泵或基于類似原理的
泵)中，這種真空泵包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)葉狀軸，因而在該泵的四個(gè)軸承處設(shè)置四個(gè)密封裝置。
自然，本發(fā)明還用于任何類型的干真空泵，例如渦形真空泵或螺旋真空泵。
圖1表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的真空泵1的一部分。 真空泵1的定子3內(nèi)部包括軸承5、泵級(jí)7和潤滑的流體密封裝置9，其用于轉(zhuǎn)軸 11的通道、安裝在軸承5和泵級(jí)7之間。 軸承5包括由諸如油脂或油的流體潤滑的滾柱軸承13。為此目的，有利地，軸承5 與將油均勻地分配給軸的齒輪的油盤9 (未圖示)連接在一起。 在泵1內(nèi)較遠(yuǎn)的下游，能夠圍繞旋轉(zhuǎn)軸線14轉(zhuǎn)動(dòng)的軸11延伸進(jìn)入泵級(jí)7中，在那 里軸11支撐轉(zhuǎn)子15(例如具有旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)子)。 泵級(jí)7被稱為"干的(dry)"，因?yàn)楫?dāng)其運(yùn)行時(shí)，在轉(zhuǎn)子15和泵l的主體3之間不存 在任何機(jī)械接觸的情況下，轉(zhuǎn)子15以相反的方向在定子3內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，這使得能夠完全沒有油。
密封裝置9使得能夠在極大地限制來自軸承5的諸如油脂或油之類的潤滑流體進(jìn) 入干泵級(jí)7的通道，同時(shí)能夠在真空泵1運(yùn)行時(shí)使軸11轉(zhuǎn)動(dòng)。 在本發(fā)明中，密封裝置9包括安裝為以便與軸11 一致地旋轉(zhuǎn)的離心元件17，并包 括至少一條直通管線19，所述直通管線能夠?qū)櫥黧w與可以從軸承行進(jìn)或傳遞到干泵級(jí) 7的流體分離或隔離。 可能從軸承行進(jìn)或移動(dòng)到干泵級(jí)的流體包括潤滑流體和氣體的混合物。 在這種方式中，當(dāng)真空泵1運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，離心元件17將以與軸11相同的旋轉(zhuǎn)速度旋
轉(zhuǎn)，例如，對(duì)初級(jí)的羅茨真空泵(Roots vaccum pump)為每分鐘6000轉(zhuǎn)。 因此，由離心元件17承載的直通管線19也將圍繞泵1的軸11的旋轉(zhuǎn)軸線14旋
轉(zhuǎn)，并以相同的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。 當(dāng)潤滑流體為霧狀物形式時(shí)，液體或殘留粒子具有大于氣體的質(zhì)量或密度，在直 通管線19內(nèi)循環(huán)的液體或殘留粒子將保持遠(yuǎn)離離心元件17的中心14。
事實(shí)上，由離心元件17的快速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力將潤滑流體投射到管線19的內(nèi) 側(cè)表面21上，由此通過離心使?jié)櫥黧w與所述流體分開或分離。
更具體地，密封裝置將潤滑劑的霧狀物和/或蒸汽與所述流體分開或分離。
有利地，直通管線19的孔39在軸承5端的直徑大于在干泵級(jí)7端的直徑。
例如，在圖1中，直通管線19的一部分具有瓶頸53，其通過離心元件17中的形狀 形成為類似錐形筒的凹進(jìn)形成，錐形筒的旋轉(zhuǎn)軸線與離心元件17的旋轉(zhuǎn)軸線14相同并且 尖端與在泵級(jí)7端的預(yù)定數(shù)量的孔39連通。 特別地，錐形筒的形狀使得可以通過離心力引導(dǎo)沿著壁收集的潤滑劑的蒸汽和霧 狀物，以便將它們通過管線19排出。 由此潤滑流體被引導(dǎo)朝向離心元件17的底部，使得密封裝置能夠自清潔。
隨后將描述直通管線19的其它實(shí)施方式。 此外，提供多條直通管線19，用這樣的方式以便優(yōu)化氣體的流動(dòng)。 因此，圖2給出離心元件17，其具有直通管線19的8個(gè)孔39以及位于離心元件
17中心的用于軸11的通道的開口 25。 為了進(jìn)一步改善裝置9密封潤滑流體的能力，有利地，離心元件17可以設(shè)計(jì)為包
括設(shè)置在直通管線19內(nèi)的過濾體，如纖維材料(未圖示)。 纖維材料可以例如是基于鋼棉或鋼絨的或基于玻璃棉或玻璃絨的。 以這種方式，無論何時(shí)流體在管線19中行進(jìn)或移動(dòng)，潤滑劑殘留物都被捕獲在過
濾體的纖維中。 隨后，通過離心力，被捕獲在過濾體中的油蒸汽和/或霧狀物將被投射朝向離心
元件17的壁，且隨后被引導(dǎo)向離心元件17的底部。 以這種方式，與直通管線19 一起，過濾體進(jìn)行自清潔。 此外，有利地，密封裝置可以被設(shè)計(jì)為包括安裝軸11上軸承5和離心元件17之間 的偏轉(zhuǎn)裝置27。 偏轉(zhuǎn)裝置27使得能夠改變從軸承5開始的流體的流動(dòng)，以形成初步地或粗略地分 離或隔離來自軸承5的液體、油脂和粒子狀態(tài)或形式的潤滑劑的第一裝置。
在定子3內(nèi)設(shè)置對(duì)應(yīng)的溝槽29，其設(shè)置為從偏轉(zhuǎn)裝置27的周緣邊緣31跨過。
以這種方式，無論何時(shí)流體從流體5行進(jìn)或移動(dòng)至泵級(jí)7，大的粒子和液體被偏轉(zhuǎn) 裝置27偏轉(zhuǎn)到溝槽29中，這形成流體的第一初步或粗略過濾。 優(yōu)選地，管道或通道(canal)(未圖示)從溝槽29延伸進(jìn)入泵1的定子3中。
這種管道可以與潤滑軸承的油盤連接在一起。在溝槽29內(nèi)行進(jìn)或移動(dòng)的潤滑劑 隨后被引入到管道中，隨后引向油盤。 有利地，直通管線19比離心元件17的圓周面33更靠近軸ll，如圖2所示。
這種恰當(dāng)?shù)匾锌枯S11的旋轉(zhuǎn)軸線14的配置使得裝置9能夠盡可能多地從離心效 應(yīng)禾口互補(bǔ)旋轉(zhuǎn)效應(yīng)(complementary rolling effect)中受益。 互補(bǔ)旋轉(zhuǎn)效應(yīng)由偏轉(zhuǎn)裝置27和離心元件17之間的局部高壓產(chǎn)生。它是偏轉(zhuǎn)裝置
27和離心元件17之間的較小的空間產(chǎn)生的結(jié)果。 旋轉(zhuǎn)效應(yīng)還使得能夠?qū)櫥瑒┓稚⒌狡D(zhuǎn)裝置27的外緣。 在本發(fā)明的一種非常有利的方面，直通管線19的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性大于形成在離心
元件17的圓周面33和定子3的內(nèi)壁35之間的外圍流體通道的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性。 在采用這種設(shè)計(jì)的情況下，只要軸承5端的壓力較高，流體都優(yōu)選流過離心元件
717的直通管線19，而不是圍繞其外圍或外緣。 以這種方式，流體由離心元件17很好地過濾，并且離心元件17兩側(cè)的壓力差被限
制或抑制了，因?yàn)橥ㄟ^外圍通道的流量由于所述高的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性而被極大地降低了。
對(duì)于相反的情形，即只要泵級(jí)端的壓力較高，密封裝置9包括面向直通管線19的 孔39、位于泵級(jí)7端的止回閥37。 閥37的位置使得能夠根據(jù)壓力差取向或定向流體的優(yōu)選的通路。 當(dāng)閥37保持遠(yuǎn)離孔39時(shí)，流體優(yōu)選流過直通管線19，因?yàn)橹蓖ü芫€19具有更大
的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性。 當(dāng)它保持緊靠孔39時(shí)，流體優(yōu)選流過離心元件17的外圍通道。 通過閥37進(jìn)行的管線19的打開和關(guān)閉由管線兩側(cè)的壓力差自然地控制。 當(dāng)軸承5端的壓力大于泵級(jí)7中的壓力時(shí)，閥37以這種方式被放置在軸11上，使
得閥位于離開孔39 —定距離的位置上。 通過這種創(chuàng)新的裝置，密封裝置9被優(yōu)化了 ，避免了直通管線19內(nèi)的氣體和潤滑
劑的湍流或紊流運(yùn)動(dòng)，因?yàn)橥ㄟ^直通管線19的流動(dòng)僅沿一個(gè)方向行進(jìn)或流動(dòng)。 因此，密封裝置9兩側(cè)的壓力可以通過兩個(gè)不同的通道自動(dòng)地達(dá)到平衡，這取決
于流體是否注有潤滑劑。 在止回閥的路徑由離心元件17和連接至軸11的止動(dòng)裝置41限定的情況下，止回 閥37可以設(shè)計(jì)為簡單的圓盤形式(如金屬圓盤)，安裝成沿軸11軸向滑動(dòng)。
閥37的半徑設(shè)計(jì)為足夠大，以便能夠阻塞在泵級(jí)7端騰空的直通管線19的孔39。
以這種方式，在軸承5處的壓力大于在泵級(jí)7處的壓力時(shí)，閥37被流體的流動(dòng)朝 向泵級(jí)7推動(dòng)，并且被止動(dòng)裝置41保持(見圖1)，由此允許流體流過離心元件17的直通管 線19。 相反，在軸承5處的壓力小于在泵級(jí)7處的壓力時(shí)，閥37被流體的流動(dòng)拉向離心 元件17，這阻止流體通過直通管線19。 以這種方式，在密封裝置9兩側(cè)的壓力之間達(dá)到平衡，并且此外，在外圍通道內(nèi)的
清潔氣體的循環(huán)使得能夠引導(dǎo)已經(jīng)收集或捕獲在那里的潤滑劑殘留物。 事實(shí)上，氣體的外圍通道的低流導(dǎo)或傳導(dǎo)性使它們加速，這將殘留物引向定子3
的溝槽29。 優(yōu)選地，外圍流體通道由曲徑密封墊片43形成。 曲徑密封墊片包括限定定子3和離心元件17之間通道的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性的一連串 折流板或擋流物(baffle)。 按照慣例，折流板由分別由定子和旋轉(zhuǎn)元件支撐的溝槽和對(duì)應(yīng)的凹陷形成，并居
中朝向它們而不接觸它們以便避免在旋轉(zhuǎn)元件處于高旋轉(zhuǎn)速度時(shí)的顯著的摩擦。 由此在本發(fā)明中，外圍通道構(gòu)造在離心元件17的圓周面33和泵1的定子3之間，
這使得能夠避免在離心元件17處于高旋轉(zhuǎn)速度時(shí)的摩擦。 然而，常規(guī)的曲徑密封墊片具有難以組裝的缺點(diǎn)。 事實(shí)上，為了組裝這些密封墊片，必須設(shè)計(jì)兩部分定子，其圍繞帶有對(duì)應(yīng)的凹陷的 轉(zhuǎn)子進(jìn)行組裝和對(duì)中。 為了克服這種缺陷，有利地，本發(fā)明提供獨(dú)立于管線19的曲徑密封墊片43，其特征在于其包括安裝在定子3內(nèi)部的多個(gè)環(huán)45，并且其特征在于離心元件17的圓周面33具 有多個(gè)對(duì)應(yīng)的凹陷47。 環(huán)45是與定子3不同的元件，并且設(shè)計(jì)為是開口的且具有彈性，使得它們能夠安 裝在定子3內(nèi)部。 這種結(jié)構(gòu)使得組裝較為容易。 事實(shí)上，每個(gè)環(huán)45在靜止時(shí)的外徑大于定子3內(nèi)壁35的直徑，使得環(huán)45插入在 定子3內(nèi)之后，它們通過環(huán)45的彈力保持緊靠在定子3的內(nèi)壁35上。
在組裝時(shí)，首先，開口環(huán)45滑入離心元件17的凹陷47中。 然后，輔助安裝管圍繞支撐環(huán)45的離心元件17設(shè)置，使得在每個(gè)環(huán)45的端部彼 此接觸的情況下壓縮環(huán)45。 接下來，包括環(huán)45和離心元件17的所述管滑入定子3中。
最后，去除所述管，這允許被釋放的環(huán)45在定子3內(nèi)解除壓縮。
選擇環(huán)45的彈性使得它們保持穩(wěn)固地固定到定子3上。 以這種方式，在定子3和離心元件17獲得曲徑密封墊片43，離心元件17的凹陷 47和溝槽45容易制造、對(duì)中和組裝。 自然，這種類型的曲徑密封墊片43良好地應(yīng)用于本發(fā)明的離心元件17，也可以良 好地應(yīng)用于在定子內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的任何旋轉(zhuǎn)元件，例如轉(zhuǎn)子或轉(zhuǎn)軸。 在如前所述的真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)期間，當(dāng)軸承5處的壓力大于泵級(jí)7處的壓力時(shí)，流體經(jīng) 過圖1中的箭頭49所示的通路。 首先，來自軸承4的流體的流動(dòng)由偏轉(zhuǎn)裝置27偏轉(zhuǎn)，初步分離潤滑液體和粒子。
同時(shí)，閥37被推向泵級(jí)7，由此打開到直通管線19的通道，以這種方式大部分流體 流過離心元件17。 由此，通過離心，氣體與潤滑流體分離。 這些潤滑流體隨后通過離心力從直通管線19中排出。 隨后，如果軸承處的壓力變?yōu)樾∮诒眉?jí)7處的壓力，則流體流過外圍通道，其路徑 由圖3的箭頭51表示。 閥37被拉向離心元件17，防止流體通過直通管線19，以這種方式使得大部分流體 通過外圍通道，弓I導(dǎo)潤滑殘留物。 如上所述，直通管線19的其它實(shí)施方式是可以預(yù)見的。 例如，直通管線19的瓶頸53可以由管線19中的阻塞門形成(未圖示)。 圖4和5描述了本發(fā)明的其它有利的實(shí)施方式，其中直通管線19的孔39在軸承
5端的直徑大于在干泵級(jí)7端的直徑。 在圖4中，直通管線19具有通過形成直徑部分減小的臺(tái)階堵塞通向干泵級(jí)7的嘴 部的的截面。 這種變形例具有非常容易構(gòu)造的優(yōu)點(diǎn)。 事實(shí)上，這種管線19例如可以通過采用階梯鉆頭鉆孔而獲得。 替換地，如圖5所示，直通管線19形狀形成為類似錐形筒，其尖端位于干泵級(jí)7處。 直通管線19的部分或連續(xù)的瓶頸53使得能夠減緩?fù)渡涞焦芫€19的內(nèi)側(cè)表面21上的潤滑劑殘留物。 這種殘留物將隨后沿著管線19的內(nèi)表面行進(jìn)或移動(dòng)，直到返回到軸承5。 當(dāng)這種殘留物到達(dá)偏轉(zhuǎn)裝置27時(shí)，它們被弓I導(dǎo)進(jìn)入定子3的溝槽29中，并引導(dǎo)至
通向油盤的管道。 在另一變形例中，直通管線19為管狀(圖6)。 在這種方式中，可以理解到，真空泵1包括至少一個(gè)潤滑流體密封裝置9，其包括 離心元件17，離心元件17安裝成以便在軸11上一致地旋轉(zhuǎn)，并且所述潤滑流體密封裝置9 包括至少一個(gè)直通管線19，使得能夠在不存在任何摩擦部件由此不存在磨損、需要很少的 維護(hù)的情況下確保潤滑劑被密封。
權(quán)利要求
一種干真空泵，包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)軸(11)，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)軸(11)安裝在至少一個(gè)潤滑軸承(5)上；和至少一個(gè)密封裝置(9)，所述至少一個(gè)密封裝置(9)用于密封能夠從所述軸承(5)進(jìn)入軸通道的潤滑流體，所述密封裝置(9)安裝在所述潤滑軸承(5)和干泵級(jí)(7)之間，其特征在于，所述密封裝置(9)包括離心元件(17)，所述離心元件安裝為以便在所述軸(11)上一致地旋轉(zhuǎn)并包括能夠?qū)⑺鰸櫥黧w與能夠從所述軸承(5)行進(jìn)或移動(dòng)至所述干泵級(jí)(7)的流體分離的至少一個(gè)直通管線(19)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的真空泵，其特征在于，所述離心元件(17)還包括布置在所述 直通管線(19)內(nèi)的過濾體。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述過濾體為纖維材料。
4. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，所述直通管線(19)比所述 離心元件(17)的圓周面(33)靠近所述轉(zhuǎn)軸(11)。
5. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，所述直通管線(19)的一部 分具有瓶頸(53)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述直通管線(19)的孔(39)在軸承 (5)端的直徑大于在干泵級(jí)(7)端的直徑。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述直通管線(19)形狀形成為類似錐 形筒，錐形筒的尖端位于所述干泵級(jí)(7)端。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述直通管線(19)由所述離心元 件(17)中的形狀形成為類似錐形筒的凹進(jìn)形成，所述錐形筒的旋轉(zhuǎn)軸線與所述離心元件 (17)的旋轉(zhuǎn)軸線(14)相同并且其尖端通入泵級(jí)(7)端處的預(yù)定數(shù)量的孔(39)中。
9. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，所述直通管線(19)的流導(dǎo) 或傳導(dǎo)性大于形成在所述離心元件(17)的圓周面(33)和所述定子(3)內(nèi)壁(35)之間的 外圍流體通道的流導(dǎo)或傳導(dǎo)性。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空泵，其特征在于，所述密封裝置(9)包括止回閥(37)， 所述止回閥(37)布置為面向所述直通管線(19)的位于泵級(jí)(7)端的孔(39)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空泵，其特征在于，所述止回閥(37)由安裝為沿所述轉(zhuǎn) 軸(11)滑動(dòng)的圓盤形成。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，所述外圍通道包括曲徑 密封墊片(43)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的真空泵，其特征在于，所述曲徑密封墊片(43)包括安裝在 所述定子(3)內(nèi)的多個(gè)環(huán)(45)，并且其特征在于所述離心元件(17)的圓周面(33)具有數(shù) 個(gè)對(duì)應(yīng)的凹陷(47)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的真空泵，其特征在于，每個(gè)環(huán)(45)都是開口的且具有彈性， 使得其能夠安裝在所述定子(3)內(nèi)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的真空泵，其特征在于，在靜止時(shí)每個(gè)環(huán)(45)的外徑大于所 述定子(3)的內(nèi)壁(35)的直徑，使得在所述環(huán)(45)插入所述定子(3)中之后，環(huán)(45)由 環(huán)(45)的彈力保持緊靠在所述定子(3)的內(nèi)壁(35)上。
16. 根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，所述密封裝置(9)還包括 安裝在轉(zhuǎn)軸(11)上的位于所述軸承(5)和所述離心元件(17)之間的偏轉(zhuǎn)裝置(27)。
17. —種用于潤滑的流體密封裝置的離心元件，所述密封裝置設(shè)計(jì)為安裝成位于潤滑 軸承(5)和干泵級(jí)(7)之間、在干真空泵(1)的轉(zhuǎn)軸(11)上一致地旋轉(zhuǎn)，其特征在于，其包 括至少一個(gè)直通管線(19)，通過至少一個(gè)直通管線(19)流體能夠從所述軸承(5)行進(jìn)或移 動(dòng)至所述干泵級(jí)(7)以便將潤滑流體與所述流體分離。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種干真空泵，包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)軸(11)，其安裝在至少一個(gè)潤滑軸承(5)上，和至少一個(gè)密封裝置(9)，其用于密封能夠從所述軸承(5)進(jìn)入軸通道的潤滑流體，所述密封裝置(9)安裝在所述潤滑軸承(5)和干泵級(jí)(7)之間，其特征在于，所述密封裝置(9)包括離心元件(17)，所述離心元件安裝為以便在所述軸(11)上一致地旋轉(zhuǎn)并包括能夠?qū)⑺鰸櫥黧w與可以從所述軸承(5)行進(jìn)或移動(dòng)至所述干泵級(jí)(7)的流體分離的至少一個(gè)直通管線(19)。
文檔編號(hào)F04C27/00GK101784824SQ200880104028
公開日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2008年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月23日
發(fā)明者弗朗索瓦·烏澤, 阿爾貝·卡卡 申請(qǐng)人:阿爾卡特朗訊