專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空泵，該真空泵通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)來(lái)驅(qū)動(dòng)泵室中的氣體輸送體，以便于輸送氣體來(lái)產(chǎn)生真空動(dòng)作。
背景技術(shù)：
在未審查的日本專利申請(qǐng)No.10-184576中公開(kāi)的螺旋式真空泵中，排量小于真空泵的排氣裝置被連接到真空泵的排氣區(qū)。排氣裝置降低真空泵排氣區(qū)中的壓力。也就是說(shuō)，排氣裝置防止排氣區(qū)中的氣體回流到真空泵中的封閉空間。本發(fā)明減少真空泵的動(dòng)力損失，因此減少了真空泵的動(dòng)力損耗。
不期望的一個(gè)特征在于，排氣裝置被不同于真空泵驅(qū)動(dòng)源的另外的驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)。由于裝備另外的驅(qū)動(dòng)源來(lái)驅(qū)動(dòng)排氣裝置，因此真空泵的尺寸相對(duì)較大。此外，真空泵的制造成本增加。因此，需要一種真空泵，動(dòng)力損耗減少，而真空泵尺寸和制造成本都沒(méi)有增加。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，一種真空泵，具有一個(gè)主泵和一個(gè)副泵，該真空泵的旋轉(zhuǎn)軸被驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。主泵包括一個(gè)泵室和一個(gè)設(shè)置在泵室中的氣體輸送體。主泵通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸被驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)，以將氣體輸送給排氣空間。副泵被連接到排氣空間，以部分地從排氣空間排出氣體。副泵被同一驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)。副泵的排量小于主泵的排量。
通過(guò)借助例子來(lái)說(shuō)明本發(fā)明原理并結(jié)合附圖的以下描述，可以很清楚地看到本發(fā)明的其它方面和優(yōu)點(diǎn)。


本發(fā)明中被認(rèn)為是新穎的特征特別在附加的權(quán)利要求書(shū)中予以陳述。參考目前最佳實(shí)施例的以下描述及附圖，可以更好地理解本發(fā)明、及其目標(biāo)和效果，其中附圖1是根據(jù)本發(fā)明第一最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵的縱向橫截面示意圖；附圖2是根據(jù)本發(fā)明第一最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵的橫截面俯視圖；附圖3A是沿著附圖2中I-I線的橫截面端視圖；附圖3B是沿著附圖2中II-II線的橫截面端視圖；附圖4A是沿著附圖2中III-III線的橫截面端視圖；附圖4B是沿著附圖2中IV-IV線的橫截面端視圖；附圖5是一個(gè)圖表，顯示了動(dòng)力是氣體流速的函數(shù)，該函數(shù)可以用于解釋帶有副泵的多級(jí)羅茨泵中動(dòng)力的減少。
附圖6是一個(gè)圖表，顯示了體積是主泵室中壓力的函數(shù)，該函數(shù)可以用于解釋帶有副泵的多級(jí)羅茨泵中動(dòng)力的減少。
附圖7A是根據(jù)本發(fā)明第二最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵的縱向橫截面示意圖；附圖7B是根據(jù)本發(fā)明第二最佳實(shí)施例的副泵的部分放大的橫截面示意圖；附圖8是根據(jù)本發(fā)明第三最佳實(shí)施例的螺旋式泵的縱向橫截面示意圖；附圖9是根據(jù)本發(fā)明第三最佳實(shí)施例的螺旋式泵的橫截面俯視圖；附圖10是根據(jù)本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵的縱向橫截面示意圖；附圖11是根據(jù)本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的副泵在隔膜位于底部死點(diǎn)的狀態(tài)下的部分放大的橫截面示意圖；附圖12是根據(jù)本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的副泵在隔膜位于頂部死點(diǎn)的狀態(tài)下的部分放大的橫截面示意圖；附圖13是根據(jù)本發(fā)明第五最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵的縱向橫截面示意圖；附圖14是根據(jù)本發(fā)明第六最佳實(shí)施例的副泵的縱向橫截面示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參考附圖1至6描述本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例。多級(jí)羅茨泵或真空泵11的正面和后面分別對(duì)應(yīng)附圖1和2的左面和右面。
現(xiàn)在參考附圖1，該圖顯示了根據(jù)本發(fā)明第一最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵11的縱向橫截面示意圖。多級(jí)羅茨泵11的殼包括一轉(zhuǎn)子殼12、一前殼13和一后殼14。前殼13與轉(zhuǎn)子殼12的前端相連。后殼14與轉(zhuǎn)子殼12的后端相連。
轉(zhuǎn)子殼12包括一個(gè)汽缸柱15和多個(gè)間壁16、16A。在前殼13和最前的間壁16之間形成一主泵室51。在相鄰間壁16之間分別形成主泵室52、53、54。在最后的間壁16和間壁16A之間形成一主泵室55。在間壁16A和后殼14之間形成一副泵室33。在各個(gè)間壁16、16A中分別形成一通道163。
凸緣41、消聲器42、導(dǎo)管43和排氣管44形成一個(gè)主氣體通道，用來(lái)將從多級(jí)羅茨泵11排出的氣體輸送到一個(gè)圖中未示的廢氣控制設(shè)備。凸緣41與轉(zhuǎn)子殼15相連。凸緣41的內(nèi)部空間經(jīng)過(guò)一個(gè)主排氣口181與主泵室55相通。消聲器42與凸緣41相連。導(dǎo)管43與消聲器42相連。排氣管44與導(dǎo)管43相連。排氣管44與廢氣控制設(shè)備相連。
用來(lái)防止氣體回流的止回閥或裝置插入在主氣體通道中，該止回閥或裝置包括導(dǎo)管43、閥體45和復(fù)位彈簧46。閥體45和復(fù)位彈簧46位于導(dǎo)管43中。錐形閥孔431形成于導(dǎo)管431中，閥體45打開(kāi)和關(guān)閉閥孔431。復(fù)位彈簧46在關(guān)閉閥孔431的方向上推閥體45。主泵室49的排氣空間H1包括不完全排氣空間551、主排氣口181、凸緣41和消聲器42的內(nèi)部空間。
凸緣47和副排氣管48形成一個(gè)副氣體通道，用來(lái)將主泵室55中的氣體部分地輸送到廢氣控制設(shè)備。凸緣47與后殼14和轉(zhuǎn)子殼15相連。凸緣47的內(nèi)部空間經(jīng)過(guò)副排氣口182與副泵室33相連。副排氣管48與凸緣47相連，并與閥體45下游的導(dǎo)管43相連。
現(xiàn)在參考附圖2，該圖顯示了根據(jù)本發(fā)明第一最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵11的橫截面示意圖。旋轉(zhuǎn)軸19通過(guò)徑向軸承21、36分別被前殼13和后殼14支撐。旋轉(zhuǎn)軸20也通過(guò)徑向軸承22、37分別被前殼13和后殼14支撐。旋轉(zhuǎn)軸19、20彼此平行，并且延伸穿過(guò)間壁16、16A。
多個(gè)主轉(zhuǎn)子或氣體輸送體23至27與旋轉(zhuǎn)軸19整體成型。數(shù)量與主轉(zhuǎn)子23至27的數(shù)量相同的主轉(zhuǎn)子或氣體輸送體28至32也與旋轉(zhuǎn)軸20整體成型。主泵49包括主泵室51至55和主轉(zhuǎn)子23至32。副轉(zhuǎn)子34、35分別與旋轉(zhuǎn)軸19、20整體成型。副泵50包括副泵室33和副轉(zhuǎn)子34、35，且排氣量比主泵49小。主轉(zhuǎn)子23至27和副轉(zhuǎn)子34在旋轉(zhuǎn)軸19的軸線191的方向上看具有相同的形狀。同樣，主轉(zhuǎn)子28至32和副轉(zhuǎn)子35在旋轉(zhuǎn)軸20的軸線201的方向上看具有相同的形狀。主轉(zhuǎn)子23至27的厚度按照23、24、25、26和27的順序逐漸減少。同樣，主轉(zhuǎn)子28至32的厚度按照28、29、30、31和32的順序逐漸減少。副轉(zhuǎn)子34、35的厚度分別小于主轉(zhuǎn)子27、32。
主轉(zhuǎn)子23、28以這樣一種方式容納在主泵室51中，即它們以一小間隙彼此嚙合。同樣，主轉(zhuǎn)子24、29也以彼此嚙合的方式容納在主泵室52中。同樣，主轉(zhuǎn)子25、30也容納在主泵室53中，主轉(zhuǎn)子26、31也容納在主泵室54中，主轉(zhuǎn)子27、32也容納在主泵室55中。副轉(zhuǎn)子34、35以這樣一種方式容納在副泵室33中，即它們以一小間隙彼此嚙合。主泵室51至55的體積按照51、52、53、54和55的順序逐漸減小。副泵室33的體積比主泵室55更小。
齒輪殼38與后殼14相連。旋轉(zhuǎn)軸19、20通過(guò)后殼14突出到齒輪殼38中。齒輪39、40分別固定到旋轉(zhuǎn)軸19、20的突出端，并且彼此嚙合。電動(dòng)馬達(dá)或驅(qū)動(dòng)源M位于齒輪殼38中。電動(dòng)馬達(dá)M的驅(qū)動(dòng)軸M1通過(guò)軸聯(lián)接器10與旋轉(zhuǎn)軸19相連。電動(dòng)馬達(dá)M的動(dòng)力經(jīng)過(guò)軸聯(lián)接器10被輸送給旋轉(zhuǎn)軸19。旋轉(zhuǎn)軸20經(jīng)過(guò)嚙合齒輪39、40由電動(dòng)馬達(dá)M驅(qū)動(dòng)。主驅(qū)動(dòng)單元包括驅(qū)動(dòng)軸M1、軸聯(lián)接器10、齒輪39、40和旋轉(zhuǎn)軸19、20，并且通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19、20將動(dòng)力從電動(dòng)馬達(dá)M輸送給主泵49。
現(xiàn)在參考附圖3A，該圖顯示了沿著附圖2的I-I線的橫截面端視圖。汽缸柱15包括一對(duì)塊件(block piece)17、18。間壁16、16A包括一對(duì)壁件161、162。進(jìn)氣口171形成在塊件17中，并且與主泵室51相通。入口164形成在各個(gè)壁件162中，并將主泵室51和通道163相互連接。
順便說(shuō)一句，附圖2的電動(dòng)馬達(dá)M使旋轉(zhuǎn)軸19在箭頭R1所示的方向上旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸20在箭頭R2所示的方向上旋轉(zhuǎn)，也就是說(shuō)，在與旋轉(zhuǎn)軸19的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)。
現(xiàn)在參考附圖3B，該圖顯示了沿著附圖2的II-II線的橫截面端視圖。通道163形成在間壁16中。出口165形成在壁件161中，并將主泵室52和通道163相互連接。因此，相鄰的主泵室51至55通過(guò)通道163與彼此相連。
現(xiàn)在參考附圖4A，該圖顯示了沿著附圖2的III-III線的橫截面端視圖。主排氣口181形成在塊件18中。不完全排氣空間551由主泵室55中的主轉(zhuǎn)子27、32確定。不完全排氣空間551通過(guò)主排氣口181與凸緣41的內(nèi)部空間相通。
再回頭參考附圖2，氣體經(jīng)過(guò)進(jìn)氣口171被引導(dǎo)到主泵室51中，并且借助主轉(zhuǎn)子23、28的旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過(guò)間壁16的入口164、通道163和出口165，輸送到下一個(gè)主泵室52中。同樣，氣體要按照主泵室體積逐漸減少的順序來(lái)輸送，也就是說(shuō)，按照主泵室52、53、54和55的順序。被輸送到主泵室55的氣體通過(guò)主排氣口181被排到轉(zhuǎn)子殼12外面。
現(xiàn)在參考附圖4B，該圖顯示了沿著附圖2的IV-IV線的橫截面端視圖。副排氣口182形成在塊件18中，用于與副泵室33相通。借助副轉(zhuǎn)子34、35的旋轉(zhuǎn)，主泵室55中的氣體通過(guò)間壁16A的入口164、通道163和出口165，部分地輸送到下一個(gè)副泵室33。被輸送到副泵室33的氣體通過(guò)副排氣口182被排到轉(zhuǎn)子殼12外面。
再回頭參考附圖1，當(dāng)電動(dòng)馬達(dá)M被激勵(lì)而使附圖2的旋轉(zhuǎn)軸19、20旋轉(zhuǎn)時(shí)，真空空間中的氣體通過(guò)進(jìn)氣口171被引導(dǎo)到主泵49的主泵室51中。被引導(dǎo)到主泵室51中的氣體被壓縮時(shí)，通過(guò)主泵室52至55被輸送到主泵室55。當(dāng)氣體的流速很大時(shí)，幾乎所有的被輸送到主泵室55的氣體通過(guò)主排氣口181被排出到主氣體通道，部分氣體通過(guò)副排氣口182被副泵50排出到副氣體通道。
依照第一最佳實(shí)施例，可以獲得以下有利的效果。
(1-1)參考附圖5，該圖表顯示了動(dòng)力是氣體流速的函數(shù)，該函數(shù)可以用于解釋帶有副泵50的多級(jí)羅茨泵11中動(dòng)力的減少。該圖表中曲線D顯示了在沒(méi)有副泵的多級(jí)羅茨泵中作為氣體流速函數(shù)的動(dòng)力。該圖表中曲線E顯示了在帶有副泵50的多級(jí)羅茨泵11中作為氣體流速函數(shù)的動(dòng)力。當(dāng)氣體流速低于圖表中的L1所示的一定流速時(shí)，沒(méi)有副泵的真空泵動(dòng)力保持一致。然而，當(dāng)多級(jí)羅茨泵11具有副泵50時(shí)，即使氣體流速低于流速L1，多級(jí)羅茨泵11的動(dòng)力也會(huì)進(jìn)一步減少。
現(xiàn)在參考附圖6，該圖表在帶有副泵50的多級(jí)羅茨泵11中作為主泵室壓力的函數(shù)的體積。圖表中的曲線F顯示了在沒(méi)有副泵的多級(jí)羅茨泵中作為各個(gè)主泵室51至55的壓力的函數(shù)的體積。圖表中的曲線G顯示了在帶有副泵50的多級(jí)羅茨泵11中各個(gè)主泵室51至55的壓力的函數(shù)的體積。曲線F中的F1、F2、F3、F4、F5分別與主泵室51至55相應(yīng)。曲線G中的G1、G2、G3、G4、G5分別與主泵室51至55相應(yīng)。在該圖表中，由曲線F、橫向軸和縱向軸確定的區(qū)域面積反映了沒(méi)有副泵的多級(jí)羅茨泵中的動(dòng)力損耗。在該圖表中，由曲線G、橫向軸和縱向軸確定的區(qū)域面積反映了帶有副泵50的多級(jí)羅茨泵11中的動(dòng)力損耗。
與沒(méi)有副泵的多級(jí)羅茨泵相比，當(dāng)與真空空間中的理想真空度一致的氣體流速低于流速L1時(shí)，第一最佳實(shí)施例中多級(jí)羅茨泵11的動(dòng)力損耗減少了。也就是說(shuō)，由于排氣空間H1中的氣體被排量小于主泵49的副泵50排出，所以與沒(méi)有副泵的多級(jí)羅茨泵相比，排氣空間H1中的壓力減少了。排氣空間H1中壓力的減少導(dǎo)致主泵室51至55中的壓力減少。結(jié)果，多級(jí)羅茨泵11中的動(dòng)力損耗減少了。
副泵50通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19、20以及主泵49由電動(dòng)馬達(dá)M驅(qū)動(dòng)。換句話說(shuō)，副泵50和主泵49的驅(qū)動(dòng)源是同一電動(dòng)馬達(dá)M。由于沒(méi)有使用用于驅(qū)動(dòng)副泵的專用驅(qū)動(dòng)源，所以沒(méi)有被專用驅(qū)動(dòng)源占據(jù)的空間。因此，多級(jí)羅茨泵11相對(duì)緊湊，不需要為專用驅(qū)動(dòng)源投資成本。
(1-2)當(dāng)排氣空間H1和副泵50之間的氣體通道很短時(shí)，氣體通道中的流阻減少。副泵50包括副泵室33和副泵室33中的副轉(zhuǎn)子34、35。于是，主泵49包括主泵室51至55和位于各個(gè)主泵室51至55中的主轉(zhuǎn)子23至32。副泵50的結(jié)構(gòu)基本上與主泵49的結(jié)構(gòu)相同。主泵49最后一級(jí)的主泵室55與副泵室33相鄰。多級(jí)羅茨泵11的殼內(nèi)容納著副泵50，因此排氣空間H1位于副泵50附近，而且使排氣空間H1和副泵50之間的氣體通道相對(duì)變短。通過(guò)縮短排氣空間H1和副泵50之間的氣體通道，氣體通道的流阻被減少，因此多級(jí)羅茨泵11中的動(dòng)力損耗被減少。
(1-3)多級(jí)羅茨泵11使用的動(dòng)力小于螺旋式真空泵，因此本發(fā)明可以適當(dāng)?shù)貞?yīng)用到多級(jí)羅茨泵11中。
現(xiàn)在參考附圖7A和7B描述本發(fā)明第二最佳實(shí)施例。同樣的參考數(shù)字表示的是與第一最佳實(shí)施例中的部件實(shí)際上相同的部件。
現(xiàn)在參考附圖7A，該圖顯示了本發(fā)明第二實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵11的縱向橫截面示意圖。副泵56是一隔膜泵，包括隔膜57、用于防止氣體回流的吸入閥58、用于防止氣體回流的排氣閥59和往復(fù)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60。往復(fù)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60包括曲軸601、徑向軸承602和環(huán)形凸輪603。曲軸601固定地裝配在旋轉(zhuǎn)軸19周?chē)?。環(huán)形凸輪603通過(guò)徑向軸承602由曲軸601支撐，以至相對(duì)于曲軸601旋轉(zhuǎn)。隔膜57部分地確定了一個(gè)壓力室561。環(huán)形凸輪603隨旋轉(zhuǎn)軸19的旋轉(zhuǎn)而繞著旋轉(zhuǎn)軸19的軸線191做圓周運(yùn)動(dòng)。隔膜57借助環(huán)形凸輪603的圓周運(yùn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)而往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
參考附圖7B，該圖顯示了本發(fā)明第二最佳實(shí)施例的副泵56的部分放大的橫截面示意圖。如圖所示，當(dāng)隔膜57向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)推開(kāi)吸入閥58，附圖7A的主泵室55中氣體被引導(dǎo)到壓力室561中。如圖所示，當(dāng)隔膜57向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)推開(kāi)排氣閥59，壓力室561中的氣體被排出到附圖7A所示的凸緣47和副排氣管48中。
根據(jù)本發(fā)明第二最佳實(shí)施例，可以獲得與第一最佳實(shí)施例同樣的有利效果。另外，由于副泵56有效地防止氣體回流，因此可以隨意地使用排量比第一最佳實(shí)施例中副泵50小的副泵56。也就是說(shuō)，副泵56的尺寸可以小于副泵50。
現(xiàn)在參考附圖8和9，描述本發(fā)明第三最佳實(shí)施例。在該第三最佳實(shí)施例中使用了螺旋式真空泵。同樣的參考數(shù)字表示的是與第一最佳實(shí)施例中的部件實(shí)際上相同的部件。
現(xiàn)在參考附圖8，該圖顯示了本發(fā)明第三最佳實(shí)施例的螺旋式真空泵的縱向橫截面示意圖。主泵室61和副泵室62形成在轉(zhuǎn)子殼12A中。不完全排氣空間611形成在主泵室61部分中，并且與主排氣口181相通。主泵67的排氣空間H2包括不完全排氣空間611、主排氣口181以及凸緣41和消聲器42的內(nèi)部空間。
現(xiàn)在參考附圖9，該圖顯示了本發(fā)明第三最佳實(shí)施例的螺旋式真空泵的橫截面俯視圖。主泵67包括主泵室61和主螺旋轉(zhuǎn)子63、64。副泵68包括副泵室62和副螺旋轉(zhuǎn)子65、66。主螺旋轉(zhuǎn)子63、64被容納在主泵室61中。副螺旋轉(zhuǎn)子65、66被容納在副泵室62中。副螺旋轉(zhuǎn)子65、66的螺距p2小于主螺旋轉(zhuǎn)子63、64的螺距p1。也就是說(shuō)，副泵室62中的截留體積小于主泵室61中截留體積，而且副泵68的排量比主泵67的更小。主螺旋轉(zhuǎn)子63和副螺旋轉(zhuǎn)子65與旋轉(zhuǎn)軸19整體旋轉(zhuǎn)。主螺旋轉(zhuǎn)子64和副螺旋轉(zhuǎn)子65與旋轉(zhuǎn)軸20整體旋轉(zhuǎn)。不完全排氣空間611由主泵室61部分中的主螺旋轉(zhuǎn)子63、64確定。
再回頭參考附圖8和9，當(dāng)主螺旋轉(zhuǎn)子63、64旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體從吸入口171輸送到主排氣口181。當(dāng)附圖9中的副螺旋轉(zhuǎn)子65、66旋轉(zhuǎn)時(shí)，不完全排氣空間611的氣體通過(guò)間壁69中的通道691部分地被引導(dǎo)到副泵室62中，并排出到凸緣47和副排氣管48中。
根據(jù)本發(fā)明第三最佳實(shí)施例，可以獲得第一最佳實(shí)施例中(1-1)和(1-2)段所述的同樣的有利效果。
現(xiàn)在參考附圖10至12描述本發(fā)明的第四最佳實(shí)施例。多級(jí)羅茨泵11的正面和后面分別對(duì)應(yīng)附圖10的左面和右面。同樣的參考數(shù)字表示的是與第一最佳實(shí)施例中的部件實(shí)際上相同的部件。
現(xiàn)在參考附圖10，該圖顯示了本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵11的縱向橫截面示意圖。副泵56A包括泵殼70，并且被裝配到齒輪殼38中。泵殼70包括圓筒部分701和閘門(mén)702。電動(dòng)馬達(dá)M的驅(qū)動(dòng)軸M1突出到圓筒部分701中。副泵56A是包括圓形隔膜71、吸入閥72、排氣閥73和凸輪機(jī)構(gòu)81的隔膜泵。隔膜71的外圍部分部分地夾在圓筒部分701和閘門(mén)702之間。吸入閥72和排氣閥73防止氣體回流，并固定在固定件74和閘門(mén)702的前端面之間。固定件74固定地連接到閘門(mén)702。隔膜71和固定件74確定了壓力室561。
凸輪機(jī)構(gòu)81包括凸輪部分75、環(huán)形槽76、導(dǎo)向筒78、輥?zhàn)?9和徑向軸承80。凸輪機(jī)構(gòu)81使隔膜71在驅(qū)動(dòng)軸M1的軸線M11的方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。凸輪部分75的形狀呈柱狀，并且與泵殼70中的驅(qū)動(dòng)軸M1的突出端整體成型。環(huán)形槽76凹進(jìn)在凸輪部分75的圓周面751中，以至可以繞著凸輪部分75旋轉(zhuǎn)。包括環(huán)形槽76的假想平面相對(duì)驅(qū)動(dòng)軸M1的軸線M11的垂直平面是傾斜的。圓柱軸承77滑動(dòng)地裝配在凸輪部分75周?chē)?，且?dǎo)向筒78裝配在軸承77周?chē)?。?dǎo)向筒78通過(guò)軸承77由筒形凸輪部分75支撐，而且可以在驅(qū)動(dòng)軸M1的軸線M11的方向上沿著凸輪部分75的圓周面751滑動(dòng)。輥?zhàn)?9通過(guò)徑向軸承80被導(dǎo)向筒78的外部圓柱部分旋轉(zhuǎn)地支撐。輥?zhàn)?9的一端被裝配在環(huán)形槽76中。導(dǎo)向筒78被連接到隔膜71的中間部分。
吸入孔道82和放泄道83形成在封閉件702和固定件74的兩端板上。吸入孔道82通過(guò)吸管84與凸緣41的內(nèi)部相通，而放泄道83通過(guò)排氣管道85與導(dǎo)管43的內(nèi)部相通。
當(dāng)電動(dòng)馬達(dá)M被激勵(lì)時(shí)驅(qū)動(dòng)軸M1旋轉(zhuǎn)，使附圖2的旋轉(zhuǎn)軸19、20旋轉(zhuǎn)。待真空化區(qū)域的氣體通過(guò)吸入口171被引導(dǎo)到主泵49的主泵室51中。真空區(qū)域沒(méi)有在附圖中顯示。當(dāng)被壓縮時(shí)，被引導(dǎo)到主泵室51中的氣體通過(guò)主泵室52至55被輸送到主泵室55。被輸送到主泵室55中的氣體通過(guò)主排氣口181被排出到凸緣41中。
現(xiàn)在參考附圖11，該圖顯示了本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的副泵56A在隔膜71位于底部死點(diǎn)的狀態(tài)下的部分放大的橫截面示意圖。當(dāng)凸輪部分75旋轉(zhuǎn)時(shí)，環(huán)形槽76中的輥?zhàn)?9沿著環(huán)形槽76被相對(duì)地導(dǎo)向。被徑向軸承80旋轉(zhuǎn)支撐的輥?zhàn)?9，在環(huán)形槽76側(cè)面761或環(huán)形槽76側(cè)面762上相對(duì)滾動(dòng)。當(dāng)輥?zhàn)?9和導(dǎo)向筒78被環(huán)形槽76相對(duì)導(dǎo)向時(shí)，它們?cè)谳SM1的方向上整體移動(dòng)。如圖所示，當(dāng)輥?zhàn)?9和導(dǎo)向筒78離固定件74最遠(yuǎn)時(shí)，也就是在底部死點(diǎn)處時(shí)，壓力室561中的體積最大。
現(xiàn)在參考附圖12，該圖顯示了本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的副泵56A在隔膜71位于頂部死點(diǎn)的狀態(tài)下的部分放大的橫截面示意圖。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸M1從附圖11的狀態(tài)連續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，輥?zhàn)?9和導(dǎo)向筒78朝著固定件74移動(dòng)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸M1從附圖11的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)半周時(shí)，輥?zhàn)?9和導(dǎo)向筒78離固定件74最近，也就是在頂部死點(diǎn)處。于是，壓力室561中的體積最小。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸M1從附圖12的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)半周時(shí)，輥?zhàn)?9和導(dǎo)向筒78位于底部死點(diǎn)處，如圖11所示。也就是說(shuō)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸M1旋轉(zhuǎn)完整的一周時(shí)，輥?zhàn)?9和導(dǎo)向筒78在軸M11的方向上完成一個(gè)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
當(dāng)導(dǎo)向筒78從頂部死點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到底部死點(diǎn)時(shí)，隔膜71離開(kāi)固定件74，因此壓力室561的體積增加。由于體積增加，通過(guò)推開(kāi)吸入閥72，排氣空間H1中的氣體被引導(dǎo)到壓力室561中。當(dāng)導(dǎo)向筒78從底部死點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到頂部死點(diǎn)時(shí)，隔膜71接近固定件74，因此壓力室561的體積減少。由于體積減少，通過(guò)推開(kāi)排氣閥73，壓力室561中的氣體被排到導(dǎo)管43。
再回頭參考附圖10，主驅(qū)動(dòng)單元將電動(dòng)馬達(dá)M和主泵49連接起來(lái)，并且包括如圖2所示的驅(qū)動(dòng)軸M1、軸聯(lián)接器10、齒輪39、40和旋轉(zhuǎn)軸19、20。副驅(qū)動(dòng)單元將電動(dòng)馬達(dá)M和副泵56A連接起來(lái)，并且包括凸輪部分75。然而，副驅(qū)動(dòng)單元不包括主驅(qū)動(dòng)單元部分。
根據(jù)第四最佳實(shí)施例，除了可以獲得與第一最佳實(shí)施例(1-1)中所述的同樣的有利效果，還可以獲得下面的有利效果。
(4-1)當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸19上的徑向軸承21、36之間和旋轉(zhuǎn)軸20上的徑向軸承22、37之間的距離伸長(zhǎng)時(shí)，會(huì)發(fā)生以下的問(wèn)題。
如圖1所示，當(dāng)在水平方向使用羅茨泵11時(shí)，如果旋轉(zhuǎn)軸19上的徑向軸承21、36之間的距離伸長(zhǎng)，徑向軸承21、36之間的旋轉(zhuǎn)軸19就會(huì)由于主轉(zhuǎn)子23至27和旋轉(zhuǎn)軸19的重量而傾向于變形。于是，主轉(zhuǎn)子23至27的前后端面與泵室51至55中面對(duì)這些端面的相對(duì)面之間的間隙變大。例如，在主轉(zhuǎn)子23中，前殼13的后端面與間壁16的前端面對(duì)應(yīng)于上述相對(duì)面。當(dāng)間隙增加時(shí)，氣體輸送效率降低。同樣地，在旋轉(zhuǎn)軸20上也會(huì)發(fā)生上述問(wèn)題。
當(dāng)因?yàn)榻o氣體施加了壓力，而使轉(zhuǎn)子殼12中的溫度升高時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸19由于溫度升高而膨脹。當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸19膨脹時(shí)，主轉(zhuǎn)子23至27在旋轉(zhuǎn)軸19的軸線191的方向上移動(dòng)。當(dāng)主轉(zhuǎn)子23至27的位移相對(duì)較大時(shí)，主轉(zhuǎn)子23至27可能干涉與主轉(zhuǎn)子23至27的前后端面相對(duì)的相對(duì)面。于是，當(dāng)主轉(zhuǎn)子23至27的位移相對(duì)較大時(shí)，主轉(zhuǎn)子23至27的前后端面與相對(duì)面之間的間隙需要相對(duì)較大的距離。然而，當(dāng)間隙增加時(shí)，氣體輸送效率降低。同樣地，旋轉(zhuǎn)軸20上也會(huì)發(fā)生上述問(wèn)題。
當(dāng)副泵56A由驅(qū)動(dòng)軸M1上裝備的凸輪部分75驅(qū)動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸19上的徑向軸承21、36之間和旋轉(zhuǎn)軸20上的徑向軸承22、37之間的距離被確定在一個(gè)必要的最小值。結(jié)果，主轉(zhuǎn)子23至32的前后端面與相對(duì)面之間的間隙相對(duì)較小，因此，氣體輸送效率不會(huì)降低。
(4-2)電動(dòng)馬達(dá)M的后面也就是在電動(dòng)馬達(dá)M的旋轉(zhuǎn)軸19的相反側(cè)的空間，沒(méi)有任何部件與副泵56A的組件發(fā)生干涉。當(dāng)副泵56A位于電動(dòng)馬達(dá)M的后面時(shí)，只有幾個(gè)設(shè)計(jì)要求，因此副泵56A很容易裝配。
(4-3)副泵56A的排量由隔膜71的直徑和軸M11方向上隔膜71中心的行程距離確定。當(dāng)副泵56A的排量需要確定在某個(gè)特定量時(shí)，當(dāng)隔膜71直徑增加，隔膜71的行程距離會(huì)減少。
隔膜71被設(shè)置成跨過(guò)驅(qū)動(dòng)軸M1的軸線M11的假想膨脹線。隔膜71的這種布置允許隔膜71的直徑根據(jù)泵殼70的圓筒部分701的直徑增加。也就是說(shuō)，當(dāng)隔膜71的行程距離減少時(shí)，根據(jù)隔膜71往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的隔膜71的變形減少。根據(jù)隔膜71往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的隔膜71的變形意味著與外圍附近的導(dǎo)向筒78的圓形端面接觸的隔膜71的彎曲，以及與泵殼70接觸的隔膜71的外圍部分的彎曲。當(dāng)隔膜71的變形減少時(shí)，隔膜71的耐用性就增加了，因此副泵56A的可靠性改善了。
現(xiàn)在參考附圖13描述本發(fā)明第五最佳實(shí)施例。多級(jí)羅茨泵11的正面和后面分別對(duì)應(yīng)附圖13的左側(cè)和右側(cè)。同樣的參考數(shù)字表示的是與第二最佳實(shí)施例中的部件實(shí)際上相同的部件。
現(xiàn)在參考附圖13，該圖顯示了本發(fā)明第四最佳實(shí)施例的多級(jí)羅茨泵11的縱向橫截面示意圖。副泵56B包括裝配到齒輪殼38的泵殼86。副泵56B被設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸20的后面附近。小直徑部分202與旋轉(zhuǎn)軸20的后端整體成型。小直徑部分202通過(guò)齒輪殼38的端壁突出到泵殼86中。與第二最佳實(shí)施例中副泵56相同的部件被容納在泵殼86中。副泵56B的相同參考數(shù)字表示的是與副泵56的部件實(shí)際上相同的部件。
吸入孔道861和放泄道862形成在泵殼86的圓周壁中。吸入孔道861通過(guò)吸管84與凸緣41的內(nèi)部空間相通，放泄道862通過(guò)排氣管道85與導(dǎo)管43的內(nèi)部空間相通。
隨著與旋轉(zhuǎn)軸20整體旋轉(zhuǎn)的小直徑部分202的旋轉(zhuǎn)，環(huán)形凸輪603相對(duì)小直徑部分202做圓周運(yùn)動(dòng)。當(dāng)環(huán)形凸輪603相對(duì)小直徑部分202做圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)，隔膜57往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)隔膜57向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)推開(kāi)吸入閥58，凸緣41中的氣體被引導(dǎo)到壓力室561中。當(dāng)隔膜向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)推開(kāi)排氣閥59，壓力室561中的氣體被排到凸緣47中。
主驅(qū)動(dòng)單元將電動(dòng)馬達(dá)M與主泵49連接起來(lái)，并且如圖2所示，包括驅(qū)動(dòng)軸M1、軸聯(lián)接器10、齒輪39、40和旋轉(zhuǎn)軸19、20。副驅(qū)動(dòng)單元將電動(dòng)馬達(dá)M與副泵56B連接起來(lái)，并且包括小直徑部分202、驅(qū)動(dòng)軸M1、軸聯(lián)接器10、旋轉(zhuǎn)軸19、20部分和齒輪39、40。也就是說(shuō)，副驅(qū)動(dòng)單元部分地包括主驅(qū)動(dòng)單元。副泵56B直接連接到副驅(qū)動(dòng)單元上除主驅(qū)動(dòng)單元部分之外的部分，以至能通過(guò)副驅(qū)動(dòng)單元被驅(qū)動(dòng)。
根據(jù)第五最佳實(shí)施例，可以獲得第四最佳實(shí)施例中(4-1)和(4-2)段所述的有利效果。
現(xiàn)在參考附圖14描述本發(fā)明的第六最佳實(shí)施例。相同的參考數(shù)字表示與第四優(yōu)選實(shí)施例中基本上相同的部件。
現(xiàn)在參考附圖14，該圖顯示了本發(fā)明第六最佳實(shí)施例的副泵56C的部分放大的橫截面示意圖。副泵56C包括與一個(gè)元件一起成型的泵殼70C。圓柱形凸臺(tái)741與固定件74整體成型。凸輪機(jī)構(gòu)81C包括凸輪部分75、環(huán)形槽76、輥?zhàn)?9、徑向軸承80和導(dǎo)向筒78C。凸輪機(jī)構(gòu)81C使導(dǎo)向筒78C在軸M11的方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)向筒78C滑動(dòng)地裝配在圓柱形凸臺(tái)741中，但是被阻擋著不能旋轉(zhuǎn)。導(dǎo)向筒78C通過(guò)軸承77C被凸輪部分75支撐。導(dǎo)向筒78C如同第四最佳實(shí)施例中的導(dǎo)向筒78C作用相同。當(dāng)凸輪部分75旋轉(zhuǎn)時(shí)，導(dǎo)向筒78C在軸M11的方向上移動(dòng)。導(dǎo)向筒78C和圓柱形凸臺(tái)741確定了壓力室742。也就是說(shuō)，導(dǎo)向筒78C起一個(gè)活塞的作用，用于改變副泵56C的排量。
根據(jù)第六最佳實(shí)施例，可以獲得第一最佳實(shí)施例中(1-1)段和第四最佳實(shí)施例中(4-1)和(4-2)段所述的有利效果。
本發(fā)明并不是要限制到上述實(shí)施例中，而是可以經(jīng)過(guò)修改得到以下選擇性實(shí)施例。
(1)在上述第二、第四和第五最佳實(shí)施例的替換實(shí)施例中，副泵56、56A、56C中的隔膜都可以用波紋管替換。
(2)在上述第三最佳實(shí)施例的替換實(shí)施例中，所述第三實(shí)施例的副泵68可以用第二最佳實(shí)施例中的副泵56來(lái)替換。
(3)在上述第三最佳實(shí)施例的替換實(shí)施例中，所述第三實(shí)施例的副泵68用第四至第六最佳實(shí)施例中各自的副泵56A、56B、56C中之一替換。
(4)在上述最佳實(shí)施例的替換實(shí)施例中，副泵被設(shè)置在前殼13附近，副泵通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19、20的前端也就是通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19、20的前殼側(cè)被驅(qū)動(dòng)。
當(dāng)?shù)谒淖罴褜?shí)施例中的副泵56A通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19的前端被驅(qū)動(dòng)時(shí)，凸輪部分75被裝備在旋轉(zhuǎn)軸19的前端。在這種狀態(tài)下，副驅(qū)動(dòng)單元包括驅(qū)動(dòng)軸M1、軸聯(lián)接器10和旋轉(zhuǎn)軸19。副驅(qū)動(dòng)單元將動(dòng)力從電動(dòng)馬達(dá)M輸送到副泵56A。副驅(qū)動(dòng)單元部分地包括通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19、20將動(dòng)力輸送給主泵49的主驅(qū)動(dòng)單元。
當(dāng)?shù)谒淖罴褜?shí)施例中的副泵56A通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸20的前端被驅(qū)動(dòng)時(shí)，凸輪部分75被裝備在旋轉(zhuǎn)軸20的前端。在這種狀態(tài)下，副驅(qū)動(dòng)單元包括驅(qū)動(dòng)軸M1、軸聯(lián)接器10、旋轉(zhuǎn)軸19、20、齒輪39、40和凸輪部分75。副驅(qū)動(dòng)單元將動(dòng)力從電動(dòng)馬達(dá)M輸送到副泵56A。副驅(qū)動(dòng)單元部分地包括通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸19、20將動(dòng)力輸送到主泵49的主驅(qū)動(dòng)單元。
(5)在上述第二和第四至第六最佳實(shí)施例的替換實(shí)施例中，在副泵56、56A、56B、56C中，舌形吸入閥58、72和舌形排氣閥59、73用球形閥體來(lái)替換。
(6)在上述最佳實(shí)施例的替換實(shí)施例中，本發(fā)明可以應(yīng)用到除羅茨泵和螺旋泵之外的真空泵中。
因此，目前這些例子和實(shí)施例都被認(rèn)為是說(shuō)明性而非限制性的，本發(fā)明不應(yīng)被限制到在此給出的描述中，而是可以在附加的權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)修改。
權(quán)利要求
1.一種真空泵，其旋轉(zhuǎn)軸被驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，該真空泵包括一個(gè)主泵，該主泵包括一個(gè)泵室和一個(gè)被設(shè)置在泵室中的氣體輸送體，主泵通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸被驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)，將氣體輸送給排氣空間；以及一個(gè)副泵，該副泵被連接到排氣空間，用來(lái)部分地從排氣空間排出氣體，副泵由同一驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)，副泵的排量小于主泵的排量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，還包括被設(shè)置在排氣空間下游的止回閥，用來(lái)防止氣體回流。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其中，副泵的放泄道與止回閥下游的氣體通道相通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，還包括用來(lái)防止氣體回流的裝置，該裝置被設(shè)置在排氣空間的下游。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，副泵被設(shè)置在真空泵的殼中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，真空泵是羅茨泵，該羅茨泵包括被設(shè)置成彼此平行的多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，副泵通過(guò)至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)；以及作為分別連接到旋轉(zhuǎn)軸上的氣體輸送體的多個(gè)主轉(zhuǎn)子，相鄰旋轉(zhuǎn)軸上的主轉(zhuǎn)子彼此嚙合，一套嚙合主轉(zhuǎn)子被容納在作為泵室的多個(gè)主泵室中，這些泵室中具有最小體積的泵室與排氣空間相通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其中，副泵包括一個(gè)副泵室，體積小于具有最小體積的主泵室；以及分別連接到旋轉(zhuǎn)軸上的多個(gè)副轉(zhuǎn)子，相鄰旋轉(zhuǎn)軸上的副轉(zhuǎn)子彼此嚙合，嚙合的副轉(zhuǎn)子容納在副泵室中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其中副轉(zhuǎn)子與主轉(zhuǎn)子同軸。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵，其中，副泵是一個(gè)隔膜泵，該隔膜泵包括隔膜、吸入閥和排氣閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空泵，其中，隔膜被設(shè)置成跨過(guò)旋轉(zhuǎn)軸的軸線的假想膨脹線。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，真空泵是一個(gè)羅茨泵，該羅茨泵包括多個(gè)設(shè)置成彼此平行的旋轉(zhuǎn)軸；作為分別連接到旋轉(zhuǎn)軸上的氣體輸送體的多個(gè)主轉(zhuǎn)子，相鄰旋轉(zhuǎn)軸上的主轉(zhuǎn)子彼此嚙合，一套嚙合主轉(zhuǎn)子容納在作為泵室的多個(gè)主泵室中，這些泵室中具有最小體積的泵室與排氣空間相通；一副驅(qū)動(dòng)單元，將驅(qū)動(dòng)源與副泵連接起來(lái)，用來(lái)驅(qū)動(dòng)副泵。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空泵，其中，副驅(qū)動(dòng)單元部分地包括一個(gè)主驅(qū)動(dòng)單元，該主驅(qū)動(dòng)單元將動(dòng)力通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸從驅(qū)動(dòng)源輸送到主泵。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空泵，其中，副驅(qū)動(dòng)單元與主驅(qū)動(dòng)單元分開(kāi)設(shè)置，該主驅(qū)動(dòng)單元通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸將動(dòng)力從驅(qū)動(dòng)源輸送到主泵。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空泵，其中，副驅(qū)動(dòng)單元在旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)于驅(qū)動(dòng)源的相反側(cè)被連接到驅(qū)動(dòng)源上，副泵被設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)于驅(qū)動(dòng)源的相反側(cè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，真空泵是一個(gè)螺旋泵，該螺旋泵包括被設(shè)置成彼此平行的多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，副泵通過(guò)至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)；以及作為分別連接到旋轉(zhuǎn)軸上的氣體輸送體的多個(gè)主螺旋轉(zhuǎn)子，相鄰旋轉(zhuǎn)軸上的主螺旋轉(zhuǎn)子彼此嚙合，一套嚙合主螺旋轉(zhuǎn)子容納在多個(gè)作為泵室的主泵室中，這些泵室與排氣空間相通。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的真空泵，其中，副泵包括一個(gè)副泵室，體積小于主泵室；以及分別連接到旋轉(zhuǎn)軸上的多個(gè)副螺旋轉(zhuǎn)子，相鄰旋轉(zhuǎn)軸上的副螺旋轉(zhuǎn)子彼此嚙合，嚙合的副螺旋轉(zhuǎn)子容納在副泵室中。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的真空泵，其中，副螺旋轉(zhuǎn)子被設(shè)置成與主螺旋轉(zhuǎn)子同軸。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，副泵被設(shè)置在排氣空間附近。
19.通過(guò)真空泵排出特定空間中的氣體的方法，包括以下步驟提供具有主泵和副泵的真空泵，該副泵的排量小于主泵；通過(guò)一單個(gè)驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)主泵和副泵；將氣體從特定空間引導(dǎo)到主泵中；將主泵中的氣體輸送到一個(gè)排氣空間，用來(lái)將氣體排出到真空泵外面；部分地將排氣空間中的氣體引導(dǎo)到副泵；以及將副泵中的氣體排到真空泵外面。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的排出特定空間中氣體的方法，其中，驅(qū)動(dòng)步驟包括將動(dòng)力通過(guò)主驅(qū)動(dòng)單元從驅(qū)動(dòng)源輸送到主泵；將動(dòng)力通過(guò)副驅(qū)動(dòng)單元從驅(qū)動(dòng)源輸送到副泵，該副驅(qū)動(dòng)單元與主驅(qū)動(dòng)單元分開(kāi)設(shè)置。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的排出特定空間中的氣體的方法，其中，驅(qū)動(dòng)步驟包括將動(dòng)力通過(guò)主驅(qū)動(dòng)單元從驅(qū)動(dòng)源輸送到主泵；將動(dòng)力通過(guò)副驅(qū)動(dòng)單元從驅(qū)動(dòng)源輸送到副泵，該副驅(qū)動(dòng)單元部分地包括主驅(qū)動(dòng)單元。
全文摘要
一種真空泵，具有一個(gè)主泵和一個(gè)副泵，該真空泵的旋轉(zhuǎn)軸被驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。主泵包括一個(gè)泵室和一個(gè)被設(shè)置在泵室中的氣體輸送體。主泵通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸被驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)，以將氣體輸送給排氣空間。副泵被連接到排氣空間，以部分地從排氣空間排出氣體。副泵被同一驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)。副泵的排量小于主泵的排量。
文檔編號(hào)F04C25/00GK1445459SQ03128630
公開(kāi)日2003年10月1日 申請(qǐng)日期2003年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月20日
發(fā)明者山本真也, 藏本覺(jué), 內(nèi)山理, 佐藤大輔, 藤原三佳, 川口真廣, 桑原衛(wèi), 星野伸明, 越坂亮介 申請(qǐng)人:株式會(huì)社豐田自動(dòng)織機(jī)