本實(shí)用新型涉及一種去合金化領(lǐng)域中的電化學(xué)電極裝置，具體涉及一種在對(duì)鍍在基片上的合金薄膜進(jìn)行腐蝕時(shí)，用來固定薄膜并且提供導(dǎo)電通路的裝置。

背景技術(shù)：

在去合金化領(lǐng)域中，往往采用磁控濺射等鍍膜技術(shù)在基片(硅片、石英片等)上沉積合金薄膜作為去合金化的前驅(qū)體。一般地，這種薄膜前驅(qū)體尺寸較小且很薄(長寬約2×2cm，厚度小于1mm)，加上基片易碎，薄膜易脫落等問題，所以此類合金薄膜前驅(qū)體不易夾持固定，并且不易形成良好的電接觸，這使得薄膜在電解腐蝕過程中很難形成穩(wěn)定的電流，最終使得薄膜在電解腐蝕過程中碎裂甚至脫落，給合金薄膜的去合金化研究造成了相當(dāng)?shù)睦щy。

目前，在電解腐蝕合金薄膜時(shí)，基片多采用金絲或鉑絲和外電路進(jìn)行連接。但是該方法一方面成本較高，另一方面金絲和基片的接觸并不牢靠，在長時(shí)間腐蝕時(shí)很容易出現(xiàn)電接觸不良等問題。因此，亟待提出一種有效的夾持裝置以解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供一種電化學(xué)電極固定裝置，解決現(xiàn)有的連接方式在長時(shí)間腐蝕時(shí)容易出現(xiàn)電接觸不良的問題。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：電化學(xué)電極固定裝置，包括主板、上固定板和下固定板，所述主板上通過上固定螺栓固定連接所述上固定板，上固定板和主板之間還至少設(shè)置一顆定位螺栓；所述主板上設(shè)置至少一條長孔，所述下固定板通過下固定螺栓連接于所述主板上，并且下固定螺栓穿過所述長孔。

進(jìn)一步的是：所述下固定板通過下固定螺栓和定位板配合連接于所述主板上，下固定板和定位板分別位于主板的兩側(cè)。

進(jìn)一步的是：所述下固定板和定位板之間還至少設(shè)置一顆定位螺栓。

進(jìn)一步的是：所述主板上設(shè)置三條互相平行的長孔。

進(jìn)一步的是：所述上固定板，以及與上固定板相連的上固定螺栓和定位螺栓由銅制成；所述主板、下固定板，以及與下固定板相連的下固定螺栓均由聚四氟乙烯制成。

本實(shí)用新型的有益效果是：電化學(xué)電極固定裝置結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，能有效地固定基片并提供良好的電接觸。上固定螺栓兼具固定和接線柱的雙重作用，下固定板安裝于長孔內(nèi)，便于調(diào)整下固定板與上固定板之間的相對(duì)距離，對(duì)合金薄膜前驅(qū)體的尺寸有較大的兼容空間，適用于多種尺寸的合金薄膜。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型電化學(xué)電極固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中零部件、部位及編號(hào)：主板1、長孔11、上固定板2、上固定螺栓21、下固定板3、下固定螺栓31、固定螺母32、定位板4。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1所示，本實(shí)用新型電化學(xué)電極固定裝置，包括主板1、上固定板2和下固定板3，主板1上通過上固定螺栓21固定連接上固定板2，上固定螺栓21還包括相適配的螺母，上固定螺栓21兼具固定和接線柱的雙重作用。為了保證上固定板2的穩(wěn)定，上固定板2和主板1之間還至少設(shè)置一顆定位螺栓，如圖1上固定板2和主板1之間設(shè)置兩顆定位螺栓，且分別位于上固定螺栓21兩側(cè)。

主板1上設(shè)置至少一條長孔11，下固定板3通過下固定螺栓31連接于所述主板1上，并且下固定螺栓31穿過長孔1，下固定螺栓31還包括相適配的固定螺母32。調(diào)整下固定板3在長孔11內(nèi)的固定位置，可調(diào)整上固定板2和下固定板3之間的間距，以適應(yīng)不同尺寸的薄膜前驅(qū)體。當(dāng)長孔11超過一條時(shí)，長孔11相相互平行。具體地，長孔11為三條。

為了保證下固定板3的穩(wěn)固，下固定板3通過下固定螺栓31和定位板4配合連接于主板1上，下固定板3和定位板4分別位于主板1的兩側(cè)。下固定板3和定位板4之間還至少設(shè)置一顆定位螺栓。與下固定板3連接的定位螺栓的數(shù)量較長孔11的數(shù)量少一個(gè)。

為了適應(yīng)電解腐蝕合金薄膜的導(dǎo)電性和腐蝕環(huán)境使用要求，上固定板2，以及與上固定板2相連的上固定螺栓21和定位螺栓由銅制成；主板1、下固定板3，以及與下固定板3相連的下固定螺栓31均由聚四氟乙烯制成。

將鍍有合金薄膜的基片置于上固定板2、下固定板3和主板1之間的間隙內(nèi)，并使鍍有合金薄膜的一面朝外，保證該表面能與上固定板2和下固定板3接觸。然后，通過調(diào)節(jié)下固定板3的位置使基片上下邊緣分別與上固定板2和下固定板3接觸，以限制基片在上下方向上的自由度。再通過調(diào)節(jié)上固定螺栓21和下固定螺栓31，使上固定板2和下固定板3與主板1之間的間隙減小，使基片固定在主板1上。最后，用導(dǎo)線連接上固定螺栓21，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電通路。

電化學(xué)電極固定裝置結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，能有效地固定基片體并提供良好的電接觸。并且，對(duì)薄膜前驅(qū)體的尺寸有較大的兼容空間，適用于多種尺寸的合金薄膜。